JP5537522B2 - リードフレーム、半導体製造装置、半導体装置 - Google Patents
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Description
本発明の実施形態は、寸法精度を向上できるリードフレーム、該リードフレームを使用する半導体製造装置及び半導体装置を提供することを目的とする。
図1は、実施形態に係るリードフレーム1の構成図(俯瞰図)である。図2(a)は、リードフレーム1の鎖線で囲んだ領域の平面図である。図2(b)は、図1の矢印αの方向に見たリードフレーム1の側面図である。なお、図2(a)及び図2(b)において、鎖線は、モールド樹脂によるパッケージの境界線を示している。また、一点鎖線及び太い実線は、モールド樹脂によるパッケージ化後のリードフレーム1の切断位置を示している。以下、図1及び図2を参照して、実施形態に係るリードフレーム1について説明する。
図3は、ダイボンディング装置100の構成図である。ダイボンディング装置100は、固定治具110、突き上げ機構120、X−Yステージ130、シリンダ140、コレット150、駆動機構160、シリンダ170及び制御機構180を備え、実施形態に係るリードフレーム1(図1,図2を参照)のダイパッド10上に半導体チップCを載置する。なお、突き上げ機構120及びコレット150には、図示しない真空ポンプに接続されている。
図4は、ワイヤボンディング装置200の構成図である。ワイヤボンディング装置200は、X−Yステージ201と、ボンディングヘッド202と、ボンディングアーム203と、キャピラリ204と、ボンディングステージ205と、スプール206と、超音波振動子207と、スパークロッド208と、ワイヤクランプ209と、撮像手段210と、制御機構211とを備える。
図5は、樹脂モールド装置300の構成図である。樹脂モールド装置300は、半導体チップCが実装されたリードフレーム1を樹脂でモールドする成型機構310と、成型機構310の所定位置へ半導体チップCが実装されたリードフレーム1を搬送・搬出する搬送機構320と、成型機構310を所定の温度(例えば、160℃〜180℃)に加熱する加熱機構330とを備える。加熱機構330は、例えば、電熱線(抵抗ヒータ)である。
次に、図1乃至図5を参照して、実施形態に係るリードフレーム1を使用した半導体パッケージの製造について説明する。
初めに、複数の半導体チップが形成されたウェハから所望の半導体チップCをコレット150でピックアップし、リードフレーム1のダイパッド10の載置面11上に載置する。ダイパッド10の載置面11上には、例えば、熱硬化性樹脂、又は、金属ペースト(銀ペースト等)が塗布されている。半導体チップCをダイパッド10の載置面11上に載置した後、加熱して半導体チップCをダイパッド10の載置面11上に固定する。なお、この実施形態では、半導体チップCは、ダイパッド10の載置面11上にフェースアップ実装される。
初めに、キャピラリ204に挿入されたボンディングワイヤBの先端がスパークロッド208によりスパークされ、ボンディングワイヤBの先端がボール形状に加工される。次に、キャピラリ204が半導体チップCの電極上に下降する。ボンディングワイヤBの先端に形成されたボールを半導体チップCの電極に押し当てた状態で、超音波振動子207により超音波が印可され、半導体チップCの電極上にボンディングワイヤBの先端が接合される。
加熱機構330は、成型機構310の金型311を予め所定の温度(例えば、160℃〜180℃)に加熱する。搬送機構320により、半導体チップCが実装されたリードフレーム1が成型機構310の所定位置にセットされると、成型機構310は、駆動機構312により、上金型311aを降下して、リードフレーム1を上金型311a及び下金型311bで挟持する。
樹脂モールド後に、各リード21を連結するタイバー22を切断する。その後、リードの先端(アウターリード21b側)を所望の形状に折り曲げながら、図2(a)の一点鎖線の位置でリードフレーム1を切断する。次に、図2(a)の実線の位置、すなわち吊りピン31の位置でリードフレーム1を切断し、製造した半導体パッケージを枠体40から分離する。
図6は、実施形態の変形例に係るリードフレーム2の構成図(俯瞰図)である。実施形態では、1つの枠体40内に、2素子分の構成が形成されたリードフレーム1(図1及び図2を参照)について説明した。しかしながら、1つの枠体40内に備える構成は、2素子分に限られない。
以上のように、本発明のいくつかの実施形態について説明したが、上記実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することを意図するものではない。上記実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を変更しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態や変形が、発明の範囲や要旨に含まれるのと同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
Claims (9)
- 半導体チップを載置する載置面を有するダイパッドと、
インナーリード及びアウターリードを有する複数のリードと、
前記ダイパッド及び前記複数のリードを保持する枠体と、
前記ダイパッドを前記枠体に連結する吊りピンと、前記複数のリードを前記枠体に連結する連結ピンとを有し、前記ダイパッドから前記複数のリードの両端側にかけて延在し、前記インナーリードの端部が前記載置面の上部に位置するように、前記ダイパッドと前記複数のリードとを連結する連結部材と、
を備えるリードフレーム。 - 前記連結部材には、前記インナーリードの端部を前記載置面の上部に位置させる曲げ部が形成されている請求項1に記載のリードフレーム。
- 前記複数のリードは、前記複数のリードの長手方向に対して垂直方向に延在するタイバーにより連結されている請求項1または2に記載のリードフレーム。
- 前記連結ピンは、前記タイバーと前記枠体とを連結する請求項3に記載のリードフレーム。
- 前記ダイパッドは、前記複数のリード及び前記連結部材より厚い請求項1から4のいずれかに記載のリードフレーム。
- リードフレームのダイパッド上に載置された半導体チップの電極と、前記リードフレームが備える複数のリードとをボンディングワイヤにより接続する半導体製造装置であって、
請求項1から5のいずれかに記載のリードフレームが備える前記ダイパッドの載置面上に載置された前記半導体チップの電極と、前記複数のリードが有するインナーリードとを、前記ボンディングワイヤで接続するキャピラリを備える半導体製造装置。 - リードフレームと、このリードフレームに実装された半導体チップとをモールド樹脂により封止する半導体製造装置であって、
請求項1から5のいずれかに記載のリードフレームの少なくとも一部と、前記リードフレームが備える前記ダイパッドの載置面上に載置された前記半導体チップとを樹脂によりモールド成型するモールド金型を備える半導体製造装置。 - 請求項1から5のいずれかに記載のリードフレームと、
前記ダイパッドの載置面上に載置された半導体チップと、
前記リードフレームの少なくとも一部と、前記載置面上に載置された前記半導体チップとを封止する封止樹脂と、
を備える半導体装置。 - 前記ダイパッドの裏面が、前記封止樹脂から露出している請求項8に記載の半導体装置。
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