JP2002170917A - 半導体装置用リードフレームの製造方法 - Google Patents

半導体装置用リードフレームの製造方法

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JP2002170917A
JP2002170917A JP2000364857A JP2000364857A JP2002170917A JP 2002170917 A JP2002170917 A JP 2002170917A JP 2000364857 A JP2000364857 A JP 2000364857A JP 2000364857 A JP2000364857 A JP 2000364857A JP 2002170917 A JP2002170917 A JP 2002170917A
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heat sink
leads
lead
lead frame
forming
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Norinaga Watanabe
典永 渡辺
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Goto Seisakusho KK
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Goto Seisakusho KK
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/93Batch processes
    • H01L2224/95Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips
    • H01L2224/97Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips the devices being connected to a common substrate, e.g. interposer, said common substrate being separable into individual assemblies after connecting

Abstract

(57)【要約】 【課題】 半導体装置用のリードフレームにおいて、回
路チップを搭載するための相対的に肉厚の放熱板を肉薄
のリードと一体に形成する方法を提供する。 【解決手段】 複数の突条11cを有する金属製帯板材
11を使用する。突条11cは、帯板材11の短尺方向
に相互間隔をおいて、互いに平行に、帯板材11の長尺
方向に伸びる。この金属製帯板材11を打ち抜いて、複
数の放熱板2と、放熱板接続部4と、複数のリード3
と、リード接続部5とを形成してリードフレーム1を得
る。放熱板2は、複数が突条11c上に長尺方向に連続
して配置される。リード3は、各放熱板2の短尺方向の
両辺に内方端を接近させて短尺方向に伸びるように配置
される。リード接続部5は、リード3の外方端間を接続
するように配置される。この方法により、相対的に肉厚
の放熱板2と相対的に肉薄のリード3とを帯板材11上
に一体に形成することができ、別体のリードと放熱板と
を後に接着剤等で接続する工程を省略できる

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体装置用の
リードフレームの製造方法に関し、特に、回路チップを
搭載するための相対的に肉厚の放熱板をリードと一体に
形成する方法に係るものである。
【0002】
【従来の技術】従来例えば、矩形の放熱板の一辺側にの
み複数のリードが伸びる形式のリードフレームにおいて
は、放熱板を形成する側が相対的に肉厚で、リードを形
成する側が相対的に肉薄に形成された長尺の金属製帯板
材(異形条材)が用いられている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、放熱板
の対向する2片側、あるいは放熱板の4方にリードが伸
びる形式のリードフレームにおいては、異形条材が用い
られていない。従って、従来は、放熱板とリードとが一
体に均等肉厚の条材から形成されるか、両者が肉厚の異
なる別の材料から形成され、後に、かしめや接着により
接続されている。放熱板がリードと同じ厚みでは放熱効
果が小さいし、放熱板とリードとを別に形成して接続す
る場合には、接続のための追加的工程を必要とする。従
って、本発明は、放熱板の対向する2辺側、あるいは放
熱板の4方にリードが伸びる形式のリードフレームを異
形条材を使用して一体に形成する方法を提供することを
課題としている。
【0004】
【課題を解決するための手段】第1の発明においては、
上記課題を解決するため、複数の突条11cを有する金
属製帯板材11を使用する。この金属製帯板材11は、
第1の面11aとその反対側の第2の面11bを有し、
第2の面11b側に、複数の突条11cを有する。突条
11cは、帯板材11の短尺方向(以下、単に「短尺方
向」という)に相互間隔をおいて、互いに平行に、帯板
材11の長尺方向(以下、単に「長尺方向」という)に
伸びる。この金属製帯板材11を打ち抜いて、複数の放
熱板2と、放熱板2の相互間を接続する放熱板接続部4
と、複数のリード3と、リード3間を接続するリード接
続部5とを形成してリードフレーム1を得る。放熱板2
は、複数が突条11c上に長尺方向に連続して配置され
る。リード3は、各放熱板2の短尺方向の両辺に内方端
を接近させて短尺方向に伸びるように配置される。リー
ド接続部5は、リード3の外方端間を接続するように配
置される。この方法により、相対的に肉厚の放熱板2と
相対的に肉薄のリード3とを金属製帯板材11上に一体
に形成することができ、別体のリードと放熱板とを後に
接着剤等で接続する工程を省略できる。
【0005】第2の発明においては、第1の面21a
と、これと平行なその反対側の第2の面21bとを有す
る均一厚さの金属板材21を使用する。この金属板材2
1をプレスし、第1の面21a側に凹所21cを形成す
ることにより、第2の面21b側に、放熱板2を構成す
るための凸部21dを形成して第1中間材P1を得る。
第1中間材P1の第1の面21a側を凹所21cの底面
まで切削し、連続する平滑面を形成して第2中間材P2
を得る。第2中間材P2を打ち抜いて、凸部21d上の
放熱板2と、この放熱板2の周囲に内方端を接近させて
放熱板2から離れる方向へ伸びる複数のリード3と、各
リード3の外方端間を接続するリード接続部15と、こ
のリード接続部15と放熱板2とを接続する放熱板支持
部14とを形成してリードフレーム1を得る。この方法
により、相対的に肉厚の放熱板2の四方に、相対的に肉
薄のリード3を一体に形成することができる。
【0006】第3の発明においては、第2の発明におけ
る金属板材21として、帯板材が使用される。放熱板2
は、帯板材21の長尺方向に相互間隔をおいて複数形成
され、各放熱板2の周りに、リード3、リード接続部1
5、放熱板支持部14が形成される。
【0007】
【発明の実施の形態】図面を参照して本発明の実施の形
態を説明する。図1は本発明の方法によって形成された
リードフレームを示す平面図とIB−IB断面図、図2は図
1に示すリードフレームの素材としての金属製帯板材を
示す平面図と正面図、図3は本発明の他の実施形態によ
って形成されたリードフレームを示す平面図とIIIB−II
IB断面図、図4乃至図7は図3に示すリードフレームの
製造工程を順を追って示す金属製帯板材の単純化した平
面図と断面図である。
【0008】図1(A)、(B)において、1は、本発
明の方法によって形成されたリードフレームであって、
図1(A)において上方に所定長さ連続する。リードフ
レーム1は、図2(A),(B)に示す金属製板材11
を打ち抜いて形成され、半導体装置用の複数の放熱板2
と、それの周りに形成された複数のリード3とを有す
る。
【0009】図2に示すように、金属製帯板材11は、
上下方向(長尺方向)に所定長さ伸びる異形条材であ
る。金属製帯板材11は、第1の面11aと、これと平
行なその反対側の第2の面11bとを有し、第2の面側
11bに、複数の突条11cを有する。突条11cは、
帯板材11の短尺方向に相互間隔をおいて、互いに平行
に長尺方向に伸びる。この帯板材11を打ち抜いて、複
数の放熱板2と、複数のリード3と、放熱板2間を接続
する放熱板接続部4と、リード間3を接続するリード接
続部5とを形成してリードフレーム1を得る。放熱板2
は、複数が突条11c上に長尺方向に連続して配置され
る。リード3は、各放熱板2の短尺方向の両辺に内方端
を接近させて短尺方向に伸びるように配置される。リー
ド接続部5は、リード3の外方端間を接続するように配
置される。リード3の中間部は、ダムバー6で接続され
ている。
【0010】図示しないが、周知のように、放熱板2上
に回路チップが搭載され、この回路チップ上の端子とリ
ード3との間がボンディングワイヤで接続される。その
後、リード3の外方部分を外方へ延出させた状態で、回
路チップ、ボンディングワイヤ、リード3の内方部分が
樹脂モールディングにより封止される。さらにその後、
各リード3が切り離される。
【0011】放熱板2は、帯板材11における突条11
c上に形成されるから、リード3よりも肉厚となる。肉
厚の放熱板2は優れた放熱効果を有する。放熱板2の表
面を封止樹脂から露出させれば、放熱効果が一層高めら
れる。放熱板2とリード3とが、一体にリードフレーム
1上に形成されるので、リードと放熱板とを別体に構成
した場合における、後の両者の接着工程を省略できる。
【0012】図3、図4には本発明の他の実施形態を示
す。図3(A)、(B)において、1は、本発明の方法
によって形成されたリードフレームであって、図1
(A)において左右に所定長さ連続する。このリードフ
レーム1は、図4(A),(B)に誇張して示す金属製
板材11を打ち抜いて形成され、半導体装置用の複数の
放熱板2と、それの周りに形成された複数のリード3と
を有する。
【0013】図4に示すように、金属製帯板材21は、
左右方向(長尺方向)に所定長さ伸びる均一厚さの条材
である。帯板材21は、第1の面21aと、これと平行
なその反対側の第2の面21bとを有する。図5に示す
ように、この金属板材21をプレスし、第1の面21a
側に凹所21cを形成することにより、第2の面21b
側に、放熱板を構成するための凸部21dを形成して第
1中間材P1を得る。
【0014】次いで、図6に示すように、第1中間材P
1の第1の面21a側を凹所21cの底面まで切削し、
連続する平滑面を形成して第2中間材P2を得る。
【0015】次いで、図7(図3)に示すように、第2
中間材P2を打ち抜いて、凸部21d上に放熱板2を形
成し、この放熱板2の周囲に内方端を接近させて放熱板
2から離れる方向へ伸びる複数のリード3と、各リード
3の外方端間を接続するリード接続部15と、このリー
ド接続部15と放熱板2とを接続する放熱板支持部14
とを形成してリードフレーム1を得る。この方法によ
り、相対的に肉厚の放熱板2の四方に、相対的に肉薄の
リード3を一体に形成することができる。
【0016】
【発明の効果】以上のように、本発明においては、放熱
板2の対向する2辺側、あるいは放熱板2の4方にリー
ド3が伸びる形式のリードフレーム1を異形条材等を使
用して一体に形成することができ、その結果、リードよ
り肉厚の放熱板をリードフレームと別個に製作し、両者
を接着剤や接着テープにて接続するという、従来の方法
における接着工程を省略して製造コスト引き下げること
ができるという効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】(A)は本発明の方法によって形成されたリー
ドフレームを示す平面図、(B)はIB−IB断面図であ
る。
【図2】図1に示すリードフレームの素材としての金属
製帯板材を示す平面図と正面である。
【図3】(A)は本発明の他の実施形態によって形成さ
れたリードフレームを示す平面図、(B)はIIIB−IIIB
断面図である。
【図4】(A)はリードフレームの製造工程を順を追っ
て単純化して示す金属製帯板材の平面図、(B)IVB−I
VB断面図である。
【図5】(A)はリードフレームの製造工程を順を追っ
て単純化して示す金属製帯板材の平面図、(B)VB−VB
断面図である。
【図6】(A)はリードフレームの製造工程を順を追っ
て単純化して示す金属製帯板材の平面図、(B)VIB−V
IB断面図である。
【図7】(A)はリードフレームの製造工程を順を追っ
て単純化して示す金属製帯板材の平面図、(B)VIIB−
VIIB断面図である。
【符号の説明】
1 リードフレーム 2 放熱板 3 リード 4 放熱板接続部 5 リード接続部 6 ダムバー 11 金属帯板材 11a 第1の面 11b 第2の面 11c 突条 14 放熱板支持部 15 リード接続部 21 金属帯板材 21a 第1の面 21b 第2の面 21c 凹所 21d 凸部

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1の面と、これと平行なその反対側の
    第2の面とを有し、第2の面側に膨出し短尺方向に相互
    間隔をおいて互いに平行に長尺方向に伸びる複数の突条
    を有する金属製帯板材を用意する工程と、 この帯板材を打ち抜いて、前記突条上に接続部を介して
    長尺方向に連続する複数の放熱板と、各放熱板の短尺方
    向の両辺に内方端を接近させて短尺方向に伸びる複数の
    リードと、各リードの外方端間を接続するリード接続部
    とを形成する工程とを具備することを特徴とする半導体
    装置用リードフレームの製造方法。
  2. 【請求項2】 第1の面と、これと平行なその反対側の
    第2の面とを有する均一厚さの金属板材を用意する工程
    と、 この金属板材をプレスし、第1の面側に凹所を形成する
    ことにより、第2の面側に、放熱板を構成するための凸
    部を形成して第1中間材を得る工程と、 上記第1中間材の前記第1の面側を前記凹所の底面まで
    切削し、連続する平滑面を形成して第2中間材を得る工
    程と、 上記第2中間材を打ち抜いて、前記凸部上の放熱板と、
    この放熱板の周囲に内方端を接近させて放熱板から離れ
    る方向へ伸びる複数のリードと、各リードの外方端間を
    接続するリード接続部と、このリード接続部と放熱板と
    を接続する放熱板支持部とを形成する工程とを具備する
    ことを特徴とする半導体装置用リードフレームの製造方
    法。
  3. 【請求項3】 前記金属板材が帯板材であり、前記放熱
    板が帯板材の長尺方向に相互間隔をおいて複数形成さ
    れ、かつ各放熱板の周りに前記リード、前記リード接続
    部、前記放熱板支持部が形成されることを特徴とする請
    求項2に記載の半導体装置用リードフレームの製造方
    法。
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Cited By (3)

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