JP5534400B2 - テトラビシクロベンゾポルフィリン及び半導体材料の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の要旨は、メソ位に有機基が2個置換した以下のテトラベンゾポルフィリン化合物1a又は1b(以下、二置換テトラベンゾポルフィリン化合物と称す)にある。
本発明に係る二置換テトラベンゾポルフィリン化合物は、以下の二置換テトラビシクロベンゾポルフィリン化合物を変換することによって得ることが好適である。
次に、本発明に係る二置換テトラベンゾポルフィリン化合物の合成方法を説明する。
まず、次に示すルートで、cis-1,2-ジクロロエチレンからジピロメタンを合成する。この手法は、J. Chem. Soc., Perkin Trans. 1, 3161 (1997)に記載されている。
以上で得られたビシクロ化合物を加熱することにより、二置換テトラベンゾポルフィリン化合物が得られる。加熱温度は、100℃以上、好ましくは130℃以上、最も好ましくは150℃以上であるのがよい。低温ほど反応を長時間行うことが好ましく、150℃では3時間以上、180℃では10分以上、200℃では5分以上が望ましい。二置換テトラベンゾポルフィリン化合物は、例えば光電変換素子、FET等の電子デバイスとして用いることができる。これらの用途によっては、ビシクロ化合物の一部のみを変換することで特性を調整することも可能である。この際には、低温あるいは短時間での処理で行われる。また、加熱には、ヒーターを用いた伝熱による加熱の他、炭酸ガスレーザーや赤外線ランプ、あるいはこのビシクロ化合物が吸収する波長の光を照射する事も利用できる。この際、ビシクロ化合物の近傍に光を吸収する層を設け、光をこの層で吸収させることにより、加熱することも可能である。反応雰囲気は特に規定されないが、窒素又はアルゴンのような不活性ガス中、あるいは真空中が望ましい。
合成された二置換テトラビシクロベンゾポルフィリン化合物を用いることで、以下のような金属錯体を得ることができる。例えば、クロロホルム−メタノールのような適当な溶媒中で、酢酸亜鉛二水和物と反応させることによって、二置換テトラビシクロベンゾポルフィリン化合物の亜鉛錯体を合成することができる。酢酸亜鉛の代わりに適当な金属塩を用いることもでき、例えばマグネシウム、銅、チタン、鉛、バナジウム、鉄、コバルト、ニッケル、ガリウム、アルミニウム、珪素、イリジウム、白金、銀、ランタン等の錯体を合成してもよい。得られた二置換テトラビシクロベンゾポルフィリン化合物の金属錯体は、金属錯体とする前の二置換テトラビシクロベンゾポルフィリン化合物と同様に、二置換テトラベンゾポルフィリン化合物の金属錯体へと変換することができる。
次に、本発明の化合物を半導体材料として、電子デバイス、例えば半導体に用いる方法について説明する。本発明の二置換テトラベンゾポルフィリン化合物を利用して得られる電子デバイスとは、本発明の二置換テトラベンゾポルフィリン化合物を有機半導体として用い、2個以上の電極を有し、その電極間に流れる電流や生じる電圧を、電気、光、磁気、又は化学物質等により制御するデバイス、あるいは、印加した電圧や電流により、光や電場、磁場を発生させる装置である。例えば、電圧や電流の印加により電流や電圧を制御する素子、磁場の印加による電圧や電流を制御する素子、化学物質を作用させて電圧や電流を制御する素子が挙げられる。この制御としては、整流、スイッチング、増幅、発振が挙げられる。
本発明に係る電子デバイスは、基板上に作製するが、その基板処理により特性を向上させることができる。これは基板の親水性/疎水性を調整して、製膜の際に得られる膜質を向上させること、特に基板と半導体層の界面部分の特性を改良することがその原理であると推定される。このような基板処理としては、ヘキサメチルジシラザン、シクロヘキセン、オクタデシルトリクロロシラン等の疎水化処理、塩酸や硫酸、酢酸等の酸や水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化カルシウム、アンモニア等のアルカリ処理、オゾン処理、フッ素化処理、酸素やアルゴン等のプラズマ処理、ラングミュアブロジェット膜の形成処理、その他の絶縁体や半導体の薄膜の形成処理が挙げられる。
本発明の電子デバイスには、例えば基板上に形成した、二置換テトラベンゾポルフィリン化合物が用いられる。この化合物を膜状に形成して薄膜電子デバイスで用いる場合、膜厚が薄いと十分に光吸収ができなかったり短絡することが多くなる。また、膜厚が厚くなると膜厚方向の抵抗が増して特性が劣化する事が多い。従って、好ましい膜厚は1nmから10μmの範囲であり、より好ましくは10nmから500nmの範囲であることが望ましい。また、基板上に均一な膜があるのではなく、ビシクロ化合物を含む溶液を液滴として付着させて電子デバイスを製造する場合でも、その付着物の厚さが上記範囲であることが好ましい。
本発明の二置換テトラベンゾポルフィリン化合物が電子デバイスの製造において単独で有機半導体として使用できることはもちろんであるが、他の化合物と混合して用いることもできる。さらには、他の層との積層構造として用いることも出来る。
上述の通り、ビシクロ化合物を溶媒に溶解した後に塗布し、その後上記で述べたように変換反応を行うことによって、本発明の二置換テトラベンゾポルフィリン化合物を含む電子デバイスを作製することが出来る。塗布の方法としては、キャスティング、スピンコーティング、ディップコーティング、ブレードコーティング、ワイヤバーコーティング、スプレーコーティング等のコーティング法や、インクジェット印刷、スクリーン印刷、オフセット印刷、凸版印刷等の印刷法、マイクロコンタクトプリンティング法等のソフトリソグラフィーの手法等、さらにはこれらの手法を複数組み合わせた方法を用いることができる。さらに、塗布に類似の技術として、水面上に形成した単分子膜を基板に移し積層するラングミュア・ブロジェット法、液晶や融液状態を2枚の基板で挟んだり毛管現象で基板間に導入する方法等も挙げられる。
また、光電変換素子及びFETを含む電子デバイス作製の為の電極や配線には、金、アルミニウム、銅、クロム、ニッケル、コバルト、チタン、白金、等の金属、ポリアニリン、ポリピロール、ポリチオフェン、ポリアセチレン、ポリジアセチレン、等の導電性高分子及びそのドーピングされた材料、シリコン、ゲルマニウム、ガリウム砒素、等の半導体及びそのドーピングされた材料、フラーレン、カーボンナノチューブ、グラファイト等の炭素材料、等を用いることができる。これらを形成する方法も、真空蒸着法、スパッタ法、塗布法、印刷法、ゾルゲル法等を用いることができる。また、そのパターニング方法も、フォトレジストのパターニングとエッチング液や反応性のプラズマでのエッチングを組み合わせたフォトリソグラフィー法、インクジェット印刷、スクリーン印刷、オフセット印刷、凸版印刷等の印刷法、マイクロコンタクトプリンティング法等のソフトリソグラフィーの手法及びこれらの手法の複数の組み合わせた手法を利用することができる。また、レーザーや電子線等のエネルギー線を照射して材料を除去したり材料の導電性を変化させる事により、直接パターンを作製することも利用できる。
本発明の光電変換素子は基板と1対の電極を有し、当該1対の電極間に、少なくとも電子受容体と、電子供与体とを含む混合物層を有する。また、混合物層と電極(正極)との間にp型半導体層を設けることができる。本発明に係る光電変換素子は、混合物層とp型半導体層との少なくとも一方に、上記の二置換テトラベンゾポルフィリン化合物又はその金属錯体を含む。
本発明の光電変換素子の基板は電極等の支持体となるものである。基板の材料(基板材料)は電極等の支持体となり得るであれば特に限定されない。ただし、本発明の光電変換素子において、基板に照射された光を素子内に取り込むため、基板には透光性の材料が用いられる。基板材料としては、当該基板を透過する可視光の透過率が、60%以上が好ましく、80%以上がさらに好ましい。
ン、アラミド、ポリフェニレンスルフィド、ポリウレタン、ポリカーボネート、ポリアリレート、ポリノルボルネン等の有機材料;紙、合成紙等の紙材料;ステンレス、チタン、アルミニウム等の金属に、絶縁性を付与するために表面をコート或いはラミネートしたもの等の複合材料などが挙げられる。これらの中でも、ガラス、ポリエステル、ポリメタクリレート、ポリカーボネート、ポリスルホンが好ましい。なお、基板材料は、1種のみを用いてもよく、2種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。
本発明の光電変換素子において、電極に用いられる材料は、導電性を有するものであれば特に限定されるものではないが、例えば、ITO、酸化スズ、酸化亜鉛、Au、Co、Ni、Ptなどの仕事関数が高い材料と、Al、Ag、Li、In、Ca、Mg、LiFなどを組み合わせて用いることが好ましい。なかでも、光が透過する位置にある電極は、ITO、酸化スズ、酸化亜鉛などの透明電極を用いることが好ましい。これら電極の製造方法及び膜厚などは適宜選択することができる。
混合物層は、電子供与体として用いられる化合物と電子受容体として用いられる化合物とを含めば特に限定されない。電子供与体及び電子受容体には、1種の化合物を単独で用いてもよいし、2種以上の化合物を任意の組み合わせ及び比率で併用しても良い。また、混合物層に電子供与体又は電子受容体として働かない他の化合物を含んでもよい。
電子供与体と電子受容体を含む混合物層と電極(正極)との間に、p型半導体層が設けることができる。p型半導体層の材料(p型半導体材料)としては、混合物層で生成した正孔を効率よく正極へ輸送できるものが好ましい。そのためには、p型半導体材料は、正孔移動度が高いこと、導電率が高いこと、正極との間の正孔注入障壁が小さいこと、混合物層からp型半導体層への正孔注入障壁が小さいこと、などの性質を有することが好ましい。
電子供与体と電子受容体を含む混合物層と電極(負極)との間に、n型半導体層を設けることができる。n型半導体層の材料(n型半導体材料)としては、混合物層で生成した電子を効率よく負極へ輸送できるものが好ましい。混合物層で生成される励起子(エキシトン)が負極により消光されるのを防ぐために、電子供与体と電子受容体が有する光学的ギャップより大きい光学的ギャップを、n型半導体層の材料(n型半導体材料)が有することが好ましい。
本発明の光電変換素子は、1対の電極、およびその間に配置された電子供与体と電子受容体の化合物の他に、さらに正孔取り出し層と電子取り出し層とからなる群から選ばれる1以上を有することができる。
本発明の光電変換素子は、太陽電池に限らず、光スイッチング装置、センサなどの各種の光電変換装置に好適に使用することができる。
本発明に係る二置換テトラベンゾポルフィリン化合物を適用するのに好適な電子デバイスの別の例としては、電界効果トランジスタ(FET)が挙げられる。以下、このFETについて詳細に説明する。
以下に本発明の実施例を示すが、本発明の範囲はこれらに制限されるものではない。1H NMRは、JEOL JNM-AL400、JEOL JNM-EX400、又はVarian VXR-500を用いて測定した。吸収スペクトルは、JASCO V-630を用いて測定した。MALDI-TOF質量分析は、JEOL JMS-700を用いて行った。元素分析は、Yanaco MT-5を用いて行った。
元素組成(分子量): C46H42N4 (650.85);
外観: 紫色結晶;
1H NMR(CDCl3, 500MHz): δ= 10.16(s, 2H), 7.07-7.17(m, 8H), 5.89(m 4H), 5.74(m, 4H), 4.91(s, 6H), 2.11-2.19(m, 8H), 1.81-2.03(m, 8H), -3.12(brs, 2H);
質量分析(MALDI-TOF-MS) :652[M+];
UV-vis (CHCl3)λmax (ε): 410 (5.13), 509 (4.19), 580 (3.75);
Elemental analysis for C46H42N4・CHCl3+1/2H2O (calcd): C, 72.40(72.44), H, 5.53(5.69), N, 7.31(7.19);
元素組成(分子量): C48H46N4 (678.90);
外観: 紫色結晶;
1H NMR(CDCl3, 500MHz): δ= 10.23(s, 2H), 7.13(brs, 8H), 5.79(m, 8H), 5.34(m, 2H), 5.25(m, 2H), 2.37(s,6H), 1.88-2.20(m, 16H), -3.21(brs, 2H)
質量分析(MALDI-TOF-MS) : 680[M+];
UV-vis (CHCl3)λmax (ε): 410 (5.11), 508 (4.21), 576 (3.81);
Elemental analysis for C48H46N4・5/4CHCl3+H2O (calcd): C, 69.89(69.91), H, 5.52(5.87), N, 6.72(6.62);
元素組成(分子量): C46H40N4Zn (714.23);
外観: 赤紫色結晶;
1H NMR(CDCl3, 500MHz): δ= 10-14(s, 2H), 7.12(m, 8H), 5.95(m, 4H), 5.72(m, 4H), 4.97(m, 6H), 2.16(m, 8H), 1.89-2.05(m, 8H);
質量分析(MALDI-TOF-MS): 714[M+];
UV-vis (CHCl3)λmax (ε): 415 (5.37), 541 (4.13);
元素組成(分子量): C48H44N4Zn (742.29);
外観: 赤紫色結晶;
1H NMR(CDCl3, 500MHz): δ= 10.02(s, 2H), 7.15(m, 8H), 5.85(m, 4H), 5.78(m, 4H), 5.28-5.48(m, 4H), 2.54(s, 3H), 2.44(s, 3H), 1.87-2.20(m, 16H);
質量分析(MALDI-TOF-MS): 742[M+];
UV-vis (CHCl3)λmax (ε): 414 (5.44), 538 (4.15);
元素組成(分子量): C56H46N4 (775.00);
外観: 茶色粉末;
1H NMR(CDCl3, 500MHz): δ= 10.36(s, 2H), 8.18-8.33(m, 4H), 7.78-7.95(m, 6H), 7.03(m, 4H), 6.71(m, 4H), 5.71(m, 4H), 3.72(m, 4H), 2.17(m, 4H), 1.81-1.90(m, 4H), 1.72(m, 4H), 1.54-1.68(m, 4H), -3.80(s, 4H);
質量分析(MALDI-TOF-MS): 776[M+];
UV-vis (CHCl3)λmax (ε): 406 (5.29), 504 (4.35), 572 (3.91);
Elemental analysis for C56H46N4・1/2H2O (calcd): C, 85.45(85.79), H, 5.86(6.04), N, 7.31(7.15);
元素組成(分子量): C56H36F10N4 (954.90);
外観: 茶色粉末;
1H NMR(CDCl3, 500MHz): δ= 10.40(s, 2H), 7.10(m, 4H), 6.85(m, 4H), 5.77(s, 4H), 4.03(s, 4H), 0.87-2.17(16H), -3.76(s, 2H);
質量分析(MALDI-TOF-MS): 956[M+];
UV-vis (CHCl3)λmax (ε): 392 (5.10), 503 (4.06), 536 (3.85), 573 (3.70), 626 (3.59);
元素組成(分子量): C56H44N4Zn (838.37);
外観: 赤色粉末;
1H NMR(CDCl3, 500MHz): δ= 10.35(s, 2H), 8.20-8.30(m, 4H), 7.80-7.95(m, 6H), 6.99-7.05(m, 4H), 6.68-6.72(m, 4H), 5.70(m, 4H), 3.63(m, 4H), 2.07(m, 4H), 1.87(m, 6H), 1.69(m, 6H);
質量分析(MALDI-TOF-MS): 838[M+];
UV-vis (CHCl3)λmax (ε): 411 (5.51), 535 (4.26), 570 (3.80);
元素組成(分子量): C56H34F10N4Zn (1018.28);
外観: 赤色粉末;
1H NMR(CDCl3, 500MHz): δ= 10.45(s, 2H), 7.10(m, 4H), 6.85(m, 4H), 5.77(m, 4H), 3.92(m, 4H), 1.75-2.17(m, 16H);
質量分析(MALDI-TOF-MS): 1018[M+];
UV-vis (CHCl3)λmax (ε): 410 (5.13), 538 (3.98), 575 (3.95);
元素組成(分子量): C52H42N4S2 (787.05);
外観: 赤色粉末;
1H NMR(CDCl3, 500MHz): δ= 10.37(s, 2H), 7.92-7.95(m, 4H), 7.60-7.61(m, 2H), 7.02(m, 4H), 6.82(m, 4H), 5.71(s, 4H), 3.95(s, 4H), 1.72-2.11(m, 16H), -3.81(brs, 2H);
質量分析(MALDI-TOF-MS): 788[M+];
UV-vis (CHCl3)λmax (ε): 404 (5.21), 507 (4.23), 541 (3.88), 574 (3.84), 627 (3.50);
Elemental analysis for C52H42N4S2・3/2H2O (calcd): C, 76.41(76.72), H, 5.22(5.57), N, 6.94(6.88);
元素組成(分子量): C52H42N4S2 (787.05);
外観: 赤色粉末;
1H NMR(CDCl3, 500MHz): δ= 10.36(s, 2H), 8.01(m, 4H), 7.83(m, 2H), 7.05(m, 4H), 6.80(m, 4H), 5.72(s, 4H), 3.92(s, 4H), 1.83-2.10(m, 16H), -3.84(brs, 2H);
質量分析(MALDI-TOF-MS): 788[M+];
UV-vis (CHCl3)λmax (ε): 405 (5.15), 505 (4.19), 538 (3.59), 573 (3.76);
元素組成(分子量): C52H46N8 (782.98);
外観: 茶色粉末;
1H NMR(CDCl3, 500MHz): δ= 10.43(s, 2H), 7.78(m, 2H), 7.63(m, 2H), 7.05(m, 4H), 6.92(m, 2H), 6.81(m, 2H), 5.72(s, 4H), 3.25-3.79(m, 10H), 2.12(m, 4H), 1.90(m, 12H), -4.11(s, 2H);
質量分析(MALDI-TOF-MS): 784[M+];
UV-vis (CHCl3)λmax (ε): 394(5.05), 502(4.08), 536(3.86), 572(3.73), 624(3.56);
元素組成(分子量): C52H40N4S2Zn (850.43);
外観: 赤色粉末;
1H NMR(CDCl3, 500MHz): δ= 10.33(s, 2H), 7.91(m, 4H), 7.60(m, 2H), 7.04(m, 4H), 6.82(m, 4H), 5.71(m, 4H), 3.85(m, 4H), 1.85-2.10(m, 16H);
質量分析(MALDI-TOF-MS): 850[M+];
UV-vis (CHCl3)λmax (ε): 413 (5.26), 538 (4.05), 576 (3.91);
元素組成(分子量): C52H40N4S2Zn (850.73);
外観: 赤色粉末;
1H NMR(CDCl3, 500MHz): δ= 10.37(m, 2H), 8.00(m, 4H), 7.83(m, 2H), 7.04(m, 4H), 6.79(m, 4H), ;
質量分析(MALDI-TOF-MS):851[M+];
UV-vis (CHCl3)λmax (ε): 411 (5.06), 536 (3.80), 572 (3.39);
元素組成(分子量): C52H44N8Zn (846.37);
外観: 赤色粉末;
1H NMR(CDCl3, 500MHz): δ= 10.29(s, 2H), 7.78(m, 2H), 7.63(m, 2H), 7.05(m, 4H), 6.90(m, 2H), 6.78(m, 2H), 6.76(m, 2H), 5.72(4, H), 3.03-3.75(m, 10H), 1.81-2.08(m, 16H);
質量分析(MALDI-TOF-MS): 845[M+];
UV-vis (CHCl3)λmax (ε): 411(5.17), 543(4.15), 579(4.06);
元素組成(分子量): C38H26N4 (538.64);
外観: 緑色結晶;
質量分析(MALDI-TOF-MS): 538[M+];
UV-vis (CHCl3-TFA)λmax (ε): 449(5.41), 459(5.39), 620(4.06), 676(4.74);
元素組成(分子量): C40H30N4 (566.69);
外観: 緑色結晶;
質量分析(MALDI-TOF-MS): 566[M+];
UV-vis (CHCl3-TFA)λmax (ε): 451(5.30), 617(3.99), 674(4.57);
元素組成(分子量): C48H30N4 (662.78);
外観: 緑色粉末;
質量分析(MALDI-TOF-MS): 662[M+];
UV-vis (CHCl3-TFA)λmax (ε): 454(5.51), 608(4.05), 666(4.55);
元素組成(分子量): C48H20F10N4 (842.68);
外観: 緑色粉末;
質量分析(MALDI-TOF-MS):812[M+];
UV-vis (CHCl3-TFA)λmax (ε): 450(5.54), 673(4.81);
元素組成(分子量): C44H26N4S2 (674.83);
外観: 緑色粉末;
質量分析(MALDI-TOF-MS): 674[M+];
UV-vis (CHCl3-TFA)λmax (ε): 464(5.39), 619(4.10), 674(4.70);
元素組成(分子量): C44H26N4S2 (674.83);
外観: 緑色粉末;
質量分析(MALDI-TOF-MS): 674[M+];
UV-vis (CHCl3-TFA)λmax (ε):458(5.44), 615(4.05), 672(4.62);
元素組成(分子量): C44H30N8 (670.76);
外観: 緑色結晶;
質量分析(MALDI-TOF-MS): 670[M+];
UV-vis (CHCl3-TFA)λmax (ε): 391(4.60), 419(5.22), 435(5.30), 574(4.07), 605(4.62), 614(4.65), 671(4.64);
・ビシクロ化合物
各ビシクロ化合物の吸収スペクトルを測定した。溶媒としてはクロロホルムを用いた。図1に測定したスペクトルを示す。図1において、「H」は式(1a)においてR1=R2=Hである化合物を示す。同様に、「Me」は上記の化合物(2−1)を、「Et」は化合物(2−2)を、「Ph」は化合物(2−5)を、「C6F5」は化合物(2−6)を、「2−thienyl」は化合物(2−9)を、「3−thienyl」は化合物(2−10)を、「1−methylimidazol−2−yl」は化合物(2−11)を、それぞれ示す。
各二置換テトラベンゾポルフィリン化合物の吸収スペクトルを測定した。溶媒としてはクロロホルム−トリフルオロ酢酸(TFA)混合溶媒を用いた。図2には測定したスペクトルについて300−750nmの部分を示し、図3には600−750nmの部分、すなわちQ帯付近を拡大して示す。図2及び図3において、「H」は式(1c)においてR1=R2=Hである化合物を示す。同様に、「Me」は上記の化合物(2−15)を、「Et」は化合物(2−16)を、「Ph」は化合物(2−17)を、「C6F5」は化合物(2−18)を、「2−thienyl」は化合物(2−19)を、「3−thienyl」は化合物(2−20)を、「1−methylimidazol−2−yl」は化合物(2−21)を、それぞれ示す。
各種ビシクロ化合物の10mmol/lのクロロホルム溶液を調製し、ITO付きガラス基板上にスピンコートすることにより、膜を良好に生成した。その後、210℃で20分間加熱処理を行うことにより、各二置換テトラベンゾポルフィリン化合物の半導体膜を作製した。この半導体膜のイオン化ポテンシャルを、住友重機械メカトロニクス製イオン化ポテンシャル測定装置PCR-101を用いて測定した。測定結果を以下の表に示す。以下の表において、「H」「Me」「Et」「Ph」「C6H5」「2−thienyl」「3−thienyl」及び「1−methylimidazol−2−yl」との表記は、上記二置換テトラベンゾポルフィリン化合物の吸収スペクトル測定におけるのと同一の化合物を示す。
膜厚300nmの酸化膜を形成したn型シリコン(Si)基板(Sbドープ、抵抗率0.02Ω・cm以下、住友金属工業社製)上に、フォトリソグラフィーで長さ(L)10μm、幅(W)500μmのギャップを有する金属極をソース、ドレイン電極として形成した。また、この電極とは異なる位置の酸化膜を削り取ってむき出しになったSi部分にクロムを蒸着して、この部分をシリコン基板に電圧を印加するためのゲート電極として利用した。各種ビシクロ化合物の10mmol/lのクロロホルム溶液を調製し、それを上述の基板上にスピンコートすることにより、膜を良好に生成した。その後210℃で20分間加熱処理をすることによって、以下の二置換テトラベンゾポルフィリン化合物の半導体膜を、電極を形成した基板上に作製した。こうして得られたFET(電界効果トランジスタ)素子を、Agilent社製半導体パラメータアナライザー4155Cを用いて評価した。上記化合物(2−15)はFET特性を示し、その飽和移動度は、8.4x10−6[cm2/V・s] であった。また、上記化合物(2−16)はFET特性を示し、その飽和移動度は、4.4x10−5[cm2/V・s] であった。
Claims (2)
- 2か所のメソ位が複素環基で置換された、テトラビシクロベンゾポルフィリン。
- 請求項1に記載のテトラビシクロベンゾポルフィリンを変換して、テトラベンゾポルフィリンとする工程を含む、半導体材料の製造方法。
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