JP5530712B2 - 感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物及び該組成物を用いたパターン形成方法 - Google Patents

感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物及び該組成物を用いたパターン形成方法 Download PDF

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Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5523854B2 (ja) * 2009-02-06 2014-06-18 住友化学株式会社 化学増幅型フォトレジスト組成物及びパターン形成方法
JP5712099B2 (ja) * 2010-09-28 2015-05-07 富士フイルム株式会社 レジスト組成物、並びに、それを用いたレジスト膜及びパターン形成方法
JP5728883B2 (ja) * 2010-10-20 2015-06-03 Jsr株式会社 感放射線性樹脂組成物
JP5924071B2 (ja) * 2011-04-20 2016-05-25 住友化学株式会社 レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
JP5873250B2 (ja) * 2011-04-27 2016-03-01 東京応化工業株式会社 レジストパターン形成方法
CN109643064B (zh) 2016-08-26 2022-07-26 富士胶片株式会社 感光化或感放射线性树脂组合物及其膜、图案形成方法、电子器件制造方法、化合物及树脂
JP7053477B2 (ja) * 2016-10-04 2022-04-12 富士フイルム株式会社 感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、レジスト膜、パターン形成方法、電子デバイスの製造方法
JP7292194B2 (ja) * 2019-12-03 2023-06-16 東京応化工業株式会社 レジスト組成物及びレジストパターン形成方法
JP7546353B2 (ja) * 2019-12-11 2024-09-06 東京応化工業株式会社 レジスト組成物及びレジストパターン形成方法
JP7433033B2 (ja) * 2019-12-11 2024-02-19 東京応化工業株式会社 レジスト組成物及びレジストパターン形成方法
TW202346264A (zh) * 2022-05-23 2023-12-01 日商Ｊｓｒ股份有限公司 感放射線性樹脂組成物及圖案形成方法
TW202346262A (zh) * 2022-05-23 2023-12-01 日商Jsr 股份有限公司 感放射線性樹脂組成物及圖案形成方法

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4186054B2 (ja) * 2002-04-05 2008-11-26 信越化学工業株式会社 レジスト材料及びパターン形成方法
JP4533660B2 (ja) * 2004-05-14 2010-09-01 富士フイルム株式会社 ポジ型感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法
JP5428159B2 (ja) * 2005-05-11 2014-02-26 Ｊｓｒ株式会社 新規化合物および重合体、ならびに感放射線性樹脂組成物
JP4861767B2 (ja) * 2005-07-26 2012-01-25 富士フイルム株式会社 ポジ型レジスト組成物およびそれを用いたパターン形成方法
JP4861781B2 (ja) * 2005-09-13 2012-01-25 富士フイルム株式会社 ポジ型レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法
JP4881687B2 (ja) * 2005-12-09 2012-02-22 富士フイルム株式会社 ポジ型レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法
JP4871718B2 (ja) * 2005-12-27 2012-02-08 富士フイルム株式会社 ポジ型レジスト組成物およびそれを用いたパターン形成方法
JP4539865B2 (ja) * 2006-01-06 2010-09-08 信越化学工業株式会社 ラクトン含有化合物、高分子化合物、レジスト材料及びパターン形成方法
TWI440978B (zh) * 2006-02-15 2014-06-11 Sumitomo Chemical Co 化學增幅正型阻劑組合物
JP4905772B2 (ja) * 2006-06-06 2012-03-28 富士フイルム株式会社 樹脂、該樹脂を含有するポジ型レジスト組成物、該樹脂を含有する保護膜形成組成物、該ポジ型レジスト組成物を用いたパターン形成方法及び該保護膜形成組成物を用いたターン形成方法
JP4858714B2 (ja) * 2006-10-04 2012-01-18 信越化学工業株式会社 高分子化合物、レジスト材料、及びパターン形成方法
JP5398248B2 (ja) * 2008-02-06 2014-01-29 東京応化工業株式会社 液浸露光用レジスト組成物およびそれを用いたレジストパターン形成方法

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