JP5525013B2 - 電界効果型トランジスタ構造の製造方法 - Google Patents
電界効果型トランジスタ構造の製造方法 Download PDFInfo
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Description
102…バッファ層
103…第1チャネル層
104…第2チャネル層
105…第3チャネル層
106…スペーサ層
107…電子供給層
108…障壁層
109…エッチング停止層
110…オーミックコンタクト層
111…オーミックコンタクト層
Claims (1)
- 有機金属気相成長法による電界効果型トランジスタ構造の製造方法であって、
InPからなる基板上に、基板温度を600℃以上にして、InAlAsからなるバッファ層と、In組成xがx≦0.8のInGaAsからなる第1チャネル層を、順に形成するステップと、
基板温度を430℃以上460℃以下に降温した後、前記第1チャネル層上にIn組成xが0.8<x≦1のInGaAsあるいはInAsからなる第2チャネル層と、In組成xがx≦0.8のInGaAsからなる第3チャネル層を、順に形成するステップと、
基板温度を600℃以上に昇温した後、一定時間基板温度を安定化させることにより、前記第3チャネル層の表面に分布していた微小な2次元島を崩壊させて規則的な1分子層高さのステップ列に変化させてから、前記第3チャネル層上にInAlAsからなるスペーサ層、障壁層を順に形成するステップと、
を有することを特徴とする電界効果型トランジスタ構造の製造方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012172837A JP5525013B2 (ja) | 2012-08-03 | 2012-08-03 | 電界効果型トランジスタ構造の製造方法 |
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JP2014033080A JP2014033080A (ja) | 2014-02-20 |
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JP (1) | JP5525013B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6373015B2 (ja) * | 2014-02-25 | 2018-08-15 | 住友化学株式会社 | 半導体エピタキシャルウエハおよび半導体装置 |
CN106783613B (zh) * | 2017-01-13 | 2022-12-13 | 桂林电子科技大学 | 一种iii-v族半导体moshemt器件及其制备方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH043943A (ja) * | 1990-04-20 | 1992-01-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2674420B2 (ja) * | 1992-05-06 | 1997-11-12 | 日本電気株式会社 | 電界効果トランジスタ |
JPH0685239A (ja) * | 1992-09-01 | 1994-03-25 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2674539B2 (ja) * | 1994-12-21 | 1997-11-12 | 日本電気株式会社 | 電界効果トランジスタ |
JP3367546B2 (ja) * | 1995-10-18 | 2003-01-14 | 日本電信電話株式会社 | 共鳴トンネル構造の作製方法 |
JPH11204438A (ja) * | 1998-01-09 | 1999-07-30 | Hitachi Cable Ltd | 化合物半導体エピタキシャルウェハおよびその製造方法 |
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2012
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Publication number | Publication date |
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JP2014033080A (ja) | 2014-02-20 |
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