JP5119644B2 - Iii−v族化合物半導体エピタキシャルウェハ - Google Patents
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族化合物半導体は、Si(シリコン)半導体に比べて、電子移動度が高いという特長がある。この特長をいかして、GaAsやInGaAsは高速動作や高効率動作を要求されるデバイスに多く用いられている。代表例としてHEMT(High Electron Mobility Transistor;高電子移動度トランジスタ)が挙げられ、携帯電話の送信用マイクロ波増幅器や
衛星放送用受信アンテナの高周波増幅器に用いられている。
構造が主流と成っている。
本発明の第1の態様は、基板上に、バッファ層、キャリア供給層、第1スペーサ層、チャネル層、第2スペーサ層、キャリア供給層、ショットキー層、コンタクト層が積層されたIII−V族化合物半導体エピタキシャルウェハにおいて、前記バッファ層は、膜厚が1000nmのi−Al 0.25 GaAsからなり、前記第1スペーサ層は、膜厚が5nmのi−Al 0.40 GaAsからなり、前記チャネル層は、膜厚が10nmのi−In 0.30 GaAsからなり、前記第2スペーサ層は、膜厚が5nmのi−Al 0.40 GaAsからなり、前記ショットキー層は、膜厚が30nmのi−Al 0.25 GaAsからなり、前記コンタクト層は、膜厚が150nmのn−GaAsからなり、前記基板側の下側の前記キャリア供給層は、キャリア濃度1×10 12 cm -2 のδドープ層であり、上側の前記キャリア供給層は、キャリア濃度3×10 18 cm -3 の均一ドープ層であって、かつ、膜厚15nmのn−Al 0.20 GaAsからなることを特徴とする。
を用いて説明する。
なる、バッファ層2、δドープ層のキャリア供給層(電子供給層)3、スペーサ層4、チャネル層5、スペーサ層6、均一ドープ層のキャリア供給層(電子供給層)7、ショットキー層8、コンタクト層(キャップ層)9(9a、9b)が順次積層されており、ショットキー層8上にゲート電極10が形成され、ゲート電極10を挟んで両側に形成されたコンタクト層9a、9b上にそれぞれドレイン電極11、ソース電極12が形成されている。
型ドーパントがドープされたものが好ましい。AlGaAsはGaAsに格子整合し、Al組成比を変えることでバンド間エネルギーギャップを容易に制御できる。更に、キャリア供給層3,7のn型ドーパントには、拡散の少ないSiが好ましい。また、チャネル層5は、InGaAsを用いるのが好ましい。
原料、希釈用ガス、ドーパント原料を供給すると、原料ガスが熱により分解し、基板1上にエピタキシャル層を成長する。
V族原料としては、例えば、AsH3(アルシン)、As(CH3)3(トリメチル砒素)、TBA(ターシヤリーブチルアルシン)、PH3(ホスフィン)、NH3(アンモニア)などを用いる。また、III族原料として、例えば、Al(CH3)3(トリメチルア
ルミニウム)、Ga(CH3)3(トリメチルガリウム)、In(CH3)3(トリメチルインジウム)、Al(CH3CH2)3(トリエチルアルミニウム)、Ga(CH3CH2)3(トリエチルガリウム)、In(CH3CH2)3(トリエチルインジウム)を用いる。希釈用ガスとしては、H2(水素)、N2(窒素)またはAr(アルゴン)を用いる。また、n型ドーパント原料としては、例えば、Si2H6(ジシラン)、SiH4(モノシラン)、H2Se(セレン化水素)、DETe(ジエチルテルル)などを用いる。
一方、下側のキャリア供給層3がδドープ層であると、δドープのドーピング層は極めて薄い(厚さがない)ので、電圧OFF時の空乏層の伸びが少なくて済むため、閾値電圧Vthの低下に有効である。これに対し、下側のキャリア供給層3を均一ドープ層とした場合、閾値電圧Vthの低下は期待できない。
また、この実施例のHEMTと比較するために、図2に示す実施例のHEMT用エピタキシャルウェハ構造において、下側のキャリア供給層のみを異にするHEMT用エピタキシャルウェハを用いて比較例のHEMTを作製した。比較例のHEMTは、下側のキャリア供給層が均一ドープのn−Al0.2GaAsキャリア供給層(厚さ5nm)であり、キャリア濃度が1.5×1018cm−3、2.0×1018cm−3、2.5×1018
cm−3の3種類のHEMTを作製した。これら比較例のHEMTに対しても、同様に閾値電圧とシート抵抗を測定した。図3に、実施例及び比較例のHEMTの測定結果を示す。なお、図3に示す3種類の比較例のHEMTは、キャリア濃度1.5×1018cm−
3、2.0×1018cm−3、2.5×1018cm−3の順に閾値電圧Vthが低くなっている。
図3に示すように、本実施例のHEMTは、比較例のHEMTに比べ、同じ閾値電圧Vthの時にシート抵抗ρsが低くなることが確かめられた。
2 バッフア層
3 キャリア供給層
4 スペーサ層
5 チャネル層
6 スペーサ層
7 キャリア供給層
8 ショットキー層
9、9a、9b コンタクト層
10 ゲート電極
11 ドレイン電極
12 ソース電極
Claims (1)
- 基板上に、バッファ層、キャリア供給層、第1スペーサ層、チャネル層、第2スペーサ層、キャリア供給層、ショットキー層、コンタクト層が積層されたIII−V族化合物半導体エピタキシャルウェハにおいて、
前記バッファ層は、膜厚が1000nmのi−Al 0.25 GaAsからなり、
前記第1スペーサ層は、膜厚が5nmのi−Al 0.40 GaAsからなり、
前記チャネル層は、膜厚が10nmのi−In 0.30 GaAsからなり、
前記第2スペーサ層は、膜厚が5nmのi−Al 0.40 GaAsからなり、
前記ショットキー層は、膜厚が30nmのi−Al 0.25 GaAsからなり、
前記コンタクト層は、膜厚が150nmのn−GaAsからなり、
前記基板側の下側の前記キャリア供給層は、キャリア濃度1×10 12 cm -2 のδドープ層であり、
上側の前記キャリア供給層は、キャリア濃度3×10 18 cm -3 の均一ドープ層であって、かつ、膜厚15nmのn−Al0.20GaAsからなることを特徴とするIII−V族化合物半導体エピタキシャルウェハ。
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