JP5508251B2 - シリコン単結晶引上げ用シリカガラスルツボの洗浄方法 - Google Patents
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Description
上記方法において、ポリシリコン融液を収容するためのルツボには、一般に、内層が透明シリカガラス、外層が多数の気泡を含む不透明シリカガラスからなるシリカガラスルツボが用いられている。
このブラウンモールドは、生成したクリストバライトの結晶核が加熱により徐々に成長して拡大したものであり、ルツボ内表面の荒れや剥離を引き起こす。その結果、ポリシリコン融液中に剥離した結晶片等が混入してシリコン単結晶に転位が発生し、シリコン単結晶の歩留の低下を招くこととなる。
このため、フッ酸の濃度を高くすることにより洗浄力を高める等の方法が採られていたが、高濃度のフッ酸を用いると、ルツボ内表面が局所的にエッチングされ、数百μm〜数mmの微小な凹凸が生じることがあった。
このような洗浄方法によれば、ルツボ内表面における洗浄時の微小な凹凸の発生が抑制されるとともに、塵埃や不純物を1サイクルで効率的に除去することができる。
これらの種類の界面活性剤を用いることにより、ルツボ内表面に付着した油膜等の有機物を効果的に除去することができ、また、次工程のフッ硝酸によるエッチングの際、局所的なエッチングを防止することができる。
これにより、ルツボ内表面の局所的なエッチングが防止されるため、微小な凹凸の発生が抑制され、かつ、金属不純物を効率的に除去することができる。
したがって、本発明に係るシリカガラスルツボは、シリコン単結晶引上げの歩留向上に寄与し得るものである。
本発明に係るシリコン単結晶引上げ用シリカガラスルツボの洗浄方法は、シリコン単結晶引上げ用シリカガラスルツボの内表面を洗浄する方法に関する。そして、その洗浄方法は、純水洗浄→界面活性剤洗浄→フッ硝酸洗浄→純水洗浄の各工程を順に経るものであり、前記フッ硝酸洗浄においては、0.2〜1重量%のフッ硝酸水溶液を用いる。
このような工程を経る洗浄方法によれば、シリコン単結晶の歩留低下の要因であるブラウンモールドの発生の起点となるルツボ内表面の微小な凹凸の発生が抑制され、しかも、塵埃や不純物を1サイクルで効率的に除去することができる。
まず、最初の純水洗浄工程においては、水で除去可能な塵埃や不純物を除去する。
具体的な洗浄条件としては、温度35〜45℃、流量10〜25リットル/min、洗浄時間15〜20分間とすることが好ましい。
ルツボ内表面に微小な凹凸を生じさせない観点からは、このように、ルツボ内表面に対して強い衝撃や急激な温度変化等を及ぼすことなく、比較的穏やかな条件で洗浄することが好ましい。また、作業性の観点からも、このような安全性の高い条件であることが好ましい。
具体的な洗浄条件としては、用いられる界面活性剤の種類にもよるが、濃度0.1〜5.0重量%の水溶液で、温度20〜50℃、流量1〜20リットル/min、洗浄時間5〜15分間とすることが好ましい。
一方、前記濃度又は流量が高すぎたり、洗浄時間が長すぎたりする場合、濃度の増加に見合った洗浄力の向上はみられないため、コストの点からも、5.0重量%以下、20リットル/min、10分間以下の洗浄で十分である。
前記流量は、10〜20リットル/minであることがより好ましい。
また、前記温度は、界面活性剤が効果的に洗浄力を発揮し得る温度であり、また、作業性においても適した温度であることが好ましく、25〜35℃であることがより好ましい。
具体的な洗浄条件としては、フッ酸濃度及び硝酸濃度ともに0.2〜1重量%のフッ硝酸水溶液で、温度35〜45℃、流量10〜25リットル/min、洗浄時間7.5〜15分間とすることが好ましい。
このような条件でフッ硝酸洗浄を行えば、硝酸の酸化作用により、ルツボ内表面が、従来のフッ酸洗浄のように局所的にエッチングされることが防止される。しかも、フッ酸洗浄と同等の洗浄力が得られるため、ルツボの内表面に微小な凹凸が発生することを抑制しつつ、金属不純物を効率的に除去することができる。
一方、前記濃度又は流量が高すぎたり、洗浄時間が長すぎたりする場合、局所的なエッチングが発生しやすくなり、ルツボの内表面に微小な凹凸を生じるおそれがある。
また、前記温度は、上記範囲内であれば、局所的なエッチングを生じることなく、フッ硝酸による洗浄力を十分に発揮することができ、作業性においても適した温度である。
この純水洗浄の具体的な洗浄条件は、最初の純水洗浄の場合と同様でよい。
乾燥は、上記洗浄方法により清浄化されたルツボ内表面を汚染することがないように行う必要があるが、乾燥方法は、特に限定されるものではない。
好ましい乾燥方法としては、例えば、30〜40℃の高純度窒素ガスを35〜60リットル/minで15〜25分間、ルツボ内表面に吹付けることにより行うことができる。
[実施例1]
内層が透明シリカガラス、外層が不透明シリカガラスからなる外径600mm、高さ400mmのシリカガラスルツボを作製した後、該ルツボの内表面を洗浄した。
洗浄工程は、純水洗浄1→界面活性剤洗浄→フッ硝酸洗浄→純水洗浄2の順で行った。各工程における洗浄条件を表1に示す。なお、界面活性剤洗浄においては、界面活性剤としてポリオキシエチレンアルキルエーテル(炭素数12)を用いた。
洗浄後、30℃の高純度窒素ガスを50リットル/minで20分間、ルツボ内表面に吹付けて乾燥した。
実施例1において、界面活性剤及びフッ硝酸の濃度、温度、流量、洗浄時間を変更し、それ以外については、実施例1と同様の工程で洗浄・乾燥した。
界面活性剤洗浄及びフッ硝酸洗浄の条件を表2に示す。
実施例1において、洗浄工程を、純水洗浄1→オゾン水洗浄→フッ酸洗浄→純水洗浄2に変更し、その後、実施例1と同様に乾燥した。
各工程における洗浄条件は、純水洗浄1,2は、いずれも、実施例1と同様であり、オゾン水洗浄は、濃度10mg/リットルの水溶液で、温度30℃、流量20リットル/min、洗浄時間15分間とし、また、フッ酸洗浄は、濃度20%の水溶液で、温度40℃、流量20リットル/min、洗浄時間20分間とした。
実施例1において、洗浄工程を、純水洗浄1→フッ酸洗浄→純水洗浄2に変更し、その後、実施例1と同様にして乾燥した。
各工程における洗浄条件は、純水洗浄1,2は、いずれも、実施例1と同様であり、フッ酸洗浄は、濃度20%の水溶液で、温度40℃、流量20リットル/min、洗浄時間20分間とした。
そして、シリコン単結晶引上げ後のルツボ内表面を観察し、微小凹凸(サイズ:0.1〜2mm)密度をマイクロスコープにより測定し、また、メルトラインと接触するルツボ直胴部の内表面におけるブラウンモールドの発生密度を目視により測定した。
また、シリコン単結晶引上げにおける引上げ率(収率)を求めた。引上げ率は、使用した原料のポリシリコンの重量に対する引上げたシリコン単結晶の重量を表したものである。下記表3において、引上げ率は、比較例4を100%としたときの相対値で示した。
これらの評価及び測定結果を表3にまとめて示す。
Claims (3)
- シリコン単結晶引上げ用シリカガラスルツボの内表面を、純水で洗浄する工程、界面活性剤で洗浄する工程、0.2〜1重量%のフッ硝酸水溶液で洗浄する工程、純水で洗浄する工程を順に経ることを特徴とするシリコン単結晶引上げ用シリカガラスルツボの洗浄方法。
- 前記界面活性剤は、ポリオキシエチレンアルキルエーテル(炭素数12〜15)、アルキルスルホン酸塩及びアルキルジフェニルオキサイドスルホン酸塩のうちのいずれか1種であることを特徴とする請求項1記載のシリコン単結晶引上げ用シリカガラスルツボの洗浄方法。
- 前記フッ硝酸で洗浄する工程では、35〜45℃、流量10〜25リットル/minで7.5〜15分間洗浄することを特徴とする請求項1又は2に記載のシリコン単結晶引上げ用シリカガラスルツボの洗浄方法。
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