JP5505361B2 - X線回折装置 - Google Patents
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Description
Claims (7)
- 測定対象物に向けてX線を出射するX線出射器と、
中央に前記X線を通過させる貫通孔が形成されたテーブルと、
前記テーブルに固定されていて、前記測定対象物にて回折した前記X線の回折光を受光する受光面を有し、前記回折光の像である回折環を記録する回折光受光器と、
前記回折光受光器の受光面にレーザ光を照射するとともに、前記レーザ光の照射によって前記回折光受光器から出射された光の強度を検出するレーザ検出装置と、
回転することにより前記テーブルを前記貫通孔の中心軸回りに回転させる出力軸を有する回転手段であって、前記出力軸の中心軸が前記貫通孔の中心軸に一致するように配置され、前記X線が通過可能な貫通孔が前記出力軸に形成されている回転手段と、
前記テーブルを、前記回折光受光器の受光面に平行な方向に、前記X線出射器及び前記レーザ検出装置に対して相対的に移動させる移動手段と、
前記回転手段によって前記テーブルが回転され、かつ前記移動手段によって前記テーブルが移動されている状態で、前記レーザ検出装置によって繰り返し検出された光の強度を、それぞれの光の強度の検出時における前記テーブルの回転角度及び前記レーザ検出装置に対する前記テーブルの相対位置に関連付けて複数の読み取りデータとしてそれぞれ記憶するデータ読み取り手段と、
前記記憶した複数の読み取りデータを用いて前記回折環の形状を検出する回折環形状検出手段を備えたことを特徴とするX線回折装置。 - 請求項1に記載のX線回折装置において、
前記回折環形状検出手段は、前記テーブルの所定の回転角度ごとに、前記回折光受光器の受光面の半径方向の位置と前記レーザ検出装置によって検出した光の強度との関係を表した受光曲線における、前記検出した光の強度のピークの有無を検出し、前記ピークを有する受光曲線が所定数以上存在するとき、前記データ読み取り手段による前記検出した光の強度の前記読み取りデータとしての記憶を終了させることを特徴とするX線回折装置。 - 請求項1又は2に記載のX線回折装置において、
前記回折環形状検出手段は、前記レーザ検出装置によって検出された光の強度が所定の基準値より大きいとき、前記光の強度に対応した読み取りデータを前記回折環の形状を検出するためのデータとして採用し、前記レーザ検出装置によって検出された光の強度が所定の基準値以下であるとき、前記光の強度に対応した読み取りデータを前記回折環の形状を検出するためのデータとして採用しないことを特徴とするX線回折装置。 - 請求項1乃至3のうちのいずれか1つに記載のX線回折装置において、
前記テーブルの回転角度を検出する回転角度検出手段と、
前記レーザ検出装置に対する前記テーブルの相対位置を検出する位置検出手段とを備え、
前記データ読み取り手段は、前記回転角度検出手段によって検出した前記テーブルの回転角度が所定の角度になるごとに、前記レーザ検出装置によって検出した光の強度及び前記位置検出手段によって検出した前記レーザ検出装置に対する前記テーブルの相対位置を1組の読み取りデータとして記憶することを特徴とするX線回折装置。 - 請求項1乃至3のうちのいずれか1つに記載のX線回折装置において、
前記テーブルの回転角度を検出する回転角度検出手段と、
前記レーザ検出装置に対する前記テーブルの相対位置を検出する位置検出手段とを備え、
前記データ読み取り手段は、前記位置検出手段によって検出した前記レーザ検出装置に対する前記テーブルの相対位置が所定の位置になるごとに、前記レーザ検出装置によって検出した光の強度及び前記回転角度検出手段によって検出した前記テーブルの回転角度を1組の読み取りデータとして記憶することを特徴とするX線回折装置。 - 請求項1乃至3のうちのいずれか1つに記載のX線回折装置において、
前記テーブルの回転角度を検出する回転角度検出手段と、
前記レーザ検出装置に対する前記テーブルの相対位置を検出する位置検出手段とを備え、
前記データ読み取り手段は、一定の時間間隔で前記レーザ検出装置によって検出した光の強度、前記回転角度検出手段によって検出した前記テーブルの回転角度、及び前記位置検出手段によって検出した前記レーザ検出装置に対する前記テーブルの相対位置を1組の読み取りデータとして記憶することを特徴とするX線回折装置。 - 請求項1乃至6のうちのいずれか1つに記載のX線回折装置において、
前記レーザ検出装置は、
前記回折光受光器の受光面に照射するレーザ光を出射するレーザ出射器と、
前記レーザ出射手段から出射されたレーザ光を集光する対物レンズと、
前記対物レンズを前記レーザ光の光軸方向に移動させるアクチュエータと、
受光した光の強度及び形状に応じた受光信号を出力するフォトディテクタと、
前記回折光受光器の受光面のレーザ光照射位置から入射した光を前記フォトディテクタに導くとともに、前記レーザ光の焦点と前記回折光受光器の受光面とのずれに応じて、前記フォトディテクタの受光面に形成される受光した光の形状を異ならせる光学部品とを備え、
前記データ読み取り手段は、
前記フォトディテクタから出力された受光信号に基づいて、前記対物レンズによって集光された前記レーザ光の焦点と前記回折光受光器の受光面とのずれに相当するエラー信号を生成し、前記エラー信号に基づいて、前記レーザ光の焦点と前記回折光受光器の受光面とが一致するように前記アクチュエータを駆動する駆動手段を備えたことを特徴とするX線回折装置。
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