JPH06109669A - 単結晶製品板の結晶評価法及びその装置 - Google Patents
単結晶製品板の結晶評価法及びその装置Info
- Publication number
- JPH06109669A JPH06109669A JP4280899A JP28089992A JPH06109669A JP H06109669 A JPH06109669 A JP H06109669A JP 4280899 A JP4280899 A JP 4280899A JP 28089992 A JP28089992 A JP 28089992A JP H06109669 A JPH06109669 A JP H06109669A
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- Japan
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- plate
- single crystal
- stage
- imaging plate
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 擬コッセル法を用いて、単結晶製品板の結晶
状態を迅速且つ高い精度で評価することができる単結晶
製品板の結晶評価法及びその装置を提供する。 【構成】 本発明装置は、開口部２を有する容器１と、
開口部２に設けたＸ−Ｙステージ３と、Ｘ−Ｙステージ
３へ単結晶板８を移送するオートチェンジャー装置７
と、開口部２の中心とその中心軸１８が一致する細管Ｘ
線管球９と、細管Ｘ線管球９に取り付けた発散スリット
１１と、中心軸１８と直交するイメージングプレート１
５と、イメージングプレート１５を中心軸１８周りに連
続回転させる回転ステージ１４と、イメージングプレー
ト１５の露光面を読み取る読取装置１７と、中心軸１８
との直交軸に沿って読取装置１７を平行移動させるＸス
テージ１９と、各装置の制御等を行う演算装置２１と、
演算装置２１の解析結果を表示する表示装置２２と、イ
メージングプレート１５を初期化する消去ランプ２３
と、を備えている。
状態を迅速且つ高い精度で評価することができる単結晶
製品板の結晶評価法及びその装置を提供する。 【構成】 本発明装置は、開口部２を有する容器１と、
開口部２に設けたＸ−Ｙステージ３と、Ｘ−Ｙステージ
３へ単結晶板８を移送するオートチェンジャー装置７
と、開口部２の中心とその中心軸１８が一致する細管Ｘ
線管球９と、細管Ｘ線管球９に取り付けた発散スリット
１１と、中心軸１８と直交するイメージングプレート１
５と、イメージングプレート１５を中心軸１８周りに連
続回転させる回転ステージ１４と、イメージングプレー
ト１５の露光面を読み取る読取装置１７と、中心軸１８
との直交軸に沿って読取装置１７を平行移動させるＸス
テージ１９と、各装置の制御等を行う演算装置２１と、
演算装置２１の解析結果を表示する表示装置２２と、イ
メージングプレート１５を初期化する消去ランプ２３
と、を備えている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、単結晶製品板の結晶評
価方法とこの方法に使用する結晶評価装置に関する。
価方法とこの方法に使用する結晶評価装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】所謂、擬コッセル法は、理論的に単結晶
の結晶状態、即ち例えば格子定数，結晶方位，結晶格子
の局部的な乱れ及び三軸応力等を解析するために有用な
手段である（養賢堂，日本材料学会編；Ｘ線材料強度
学）。かかる擬コッセル法を用いた従来の結晶評価方法
によれば、高輝度Ｘ線源を使用することにより、数十秒
間の露光時間で擬コッセル線をフィルムに撮影すること
ができる。
の結晶状態、即ち例えば格子定数，結晶方位，結晶格子
の局部的な乱れ及び三軸応力等を解析するために有用な
手段である（養賢堂，日本材料学会編；Ｘ線材料強度
学）。かかる擬コッセル法を用いた従来の結晶評価方法
によれば、高輝度Ｘ線源を使用することにより、数十秒
間の露光時間で擬コッセル線をフィルムに撮影すること
ができる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
擬コッセル法では、フィルムの装填，現像，定着，水洗
及び乾燥等の写真処理に伴い、長時間の作業が必要にな
るばかりか、フィルムの伸縮に起因して本来の精度を得
ることができなかった。本発明はかかる実情に鑑み、擬
コッセル法を用いて、単結晶製品板の結晶状態を迅速且
つ高い精度で評価することができる単結晶製品板の結晶
評価法及びその装置を提供することを目的とする。
擬コッセル法では、フィルムの装填，現像，定着，水洗
及び乾燥等の写真処理に伴い、長時間の作業が必要にな
るばかりか、フィルムの伸縮に起因して本来の精度を得
ることができなかった。本発明はかかる実情に鑑み、擬
コッセル法を用いて、単結晶製品板の結晶状態を迅速且
つ高い精度で評価することができる単結晶製品板の結晶
評価法及びその装置を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明方法は、オートチ
ェンジャー装置によって単結晶板が移送され、且つ容器
の開口部に設けられているＸ−Ｙステージのガイドに対
して、上記単結晶板のオリエンテイションフラット部を
含む縁部を接触させることによって、上記開口部が塞が
れて、その内部が暗黒化し、上記容器内にある細管Ｘ線
管球と一体化した発散スリットからの発散Ｘ線ビームを
上記単結晶板の任意場所に照射し、該単結晶板からの擬
コッセル線をイメージングプレート上に露光し、上記発
散Ｘ線ビームの照射を停止した後、上記イメージングプ
レートの上記細管Ｘ線管球の中心軸周りの回転と、読取
装置の上記細管Ｘ線管球の中心軸に直交する方向への移
動とを組み合せ、且つ上記イメージングプレートの回転
速度や上記読取装置の移動速度を制御することによっ
て、該読取装置が上記イメージングプレート上で等速度
の渦巻走査をして、上記擬コッセル線を定量的に検出
し、その検出結果を演算装置が記憶し、上記単結晶板の
結晶状態をその単結晶板のオリエンテイションフラット
や板面法を基準に評価し、その評価結果を表示装置が表
示した後、上記容器内に設けられた消去ランプが点灯し
て上記イメージングプレートを初期化し、上記オートチ
ェンジャー装置が評価済の上記単結晶板を上記Ｘ−Ｙス
テージから除去するようにしたものである。
ェンジャー装置によって単結晶板が移送され、且つ容器
の開口部に設けられているＸ−Ｙステージのガイドに対
して、上記単結晶板のオリエンテイションフラット部を
含む縁部を接触させることによって、上記開口部が塞が
れて、その内部が暗黒化し、上記容器内にある細管Ｘ線
管球と一体化した発散スリットからの発散Ｘ線ビームを
上記単結晶板の任意場所に照射し、該単結晶板からの擬
コッセル線をイメージングプレート上に露光し、上記発
散Ｘ線ビームの照射を停止した後、上記イメージングプ
レートの上記細管Ｘ線管球の中心軸周りの回転と、読取
装置の上記細管Ｘ線管球の中心軸に直交する方向への移
動とを組み合せ、且つ上記イメージングプレートの回転
速度や上記読取装置の移動速度を制御することによっ
て、該読取装置が上記イメージングプレート上で等速度
の渦巻走査をして、上記擬コッセル線を定量的に検出
し、その検出結果を演算装置が記憶し、上記単結晶板の
結晶状態をその単結晶板のオリエンテイションフラット
や板面法を基準に評価し、その評価結果を表示装置が表
示した後、上記容器内に設けられた消去ランプが点灯し
て上記イメージングプレートを初期化し、上記オートチ
ェンジャー装置が評価済の上記単結晶板を上記Ｘ−Ｙス
テージから除去するようにしたものである。
【０００５】本発明装置は、開口部を有する容器と、上
記開口部に設けられたＸ−Ｙステージと、上記Ｘ−Ｙス
テージへ単結晶板を移送するオートチェンジャー装置
と、上記容器内で上記開口部の中心とその中心軸が一致
する細管Ｘ線管球と、上記細管Ｘ線管球の箔対陰極部に
取り付けた交換可能な発散スリットと、上記細管Ｘ線管
球の中心軸と直交するように置かれたイメージングプレ
ートと、上記イメージングプレートを上記細管Ｘ線管球
の中心軸周りに連続回転させる回転ステージと、上記イ
メージングプレートの露光面を読み取る読取装置と、上
記細管Ｘ線管球の中心軸と直交する軸に沿って上記読取
装置を平行移動させるＸステージと、各上記装置の制御
及び上記読取装置の読取結果の記憶又は解析を行う演算
装置と、この演算装置の解析結果を表示する表示装置
と、上記イメージングプレートを初期化する上記容器内
に設置されている消去ランプと、を備えている。
記開口部に設けられたＸ−Ｙステージと、上記Ｘ−Ｙス
テージへ単結晶板を移送するオートチェンジャー装置
と、上記容器内で上記開口部の中心とその中心軸が一致
する細管Ｘ線管球と、上記細管Ｘ線管球の箔対陰極部に
取り付けた交換可能な発散スリットと、上記細管Ｘ線管
球の中心軸と直交するように置かれたイメージングプレ
ートと、上記イメージングプレートを上記細管Ｘ線管球
の中心軸周りに連続回転させる回転ステージと、上記イ
メージングプレートの露光面を読み取る読取装置と、上
記細管Ｘ線管球の中心軸と直交する軸に沿って上記読取
装置を平行移動させるＸステージと、各上記装置の制御
及び上記読取装置の読取結果の記憶又は解析を行う演算
装置と、この演算装置の解析結果を表示する表示装置
と、上記イメージングプレートを初期化する上記容器内
に設置されている消去ランプと、を備えている。
【０００６】
【作用】本発明によれば、単結晶製品板の任意箇所に発
散ビームを照射し、これにより得られる擬コッセル線に
よって、イメージングプレートが１秒以下の極めて短い
時間露光される。そして読取装置によって、イメージン
グプレートから擬コッセル線を検出し、且つ演算装置に
よりこの検出結果を記憶し又は解析し、これにより僅か
数分間で単結晶製品板の結晶状態を高い精度で評価する
ことができ、しかもこれを連続して行うことができる。
散ビームを照射し、これにより得られる擬コッセル線に
よって、イメージングプレートが１秒以下の極めて短い
時間露光される。そして読取装置によって、イメージン
グプレートから擬コッセル線を検出し、且つ演算装置に
よりこの検出結果を記憶し又は解析し、これにより僅か
数分間で単結晶製品板の結晶状態を高い精度で評価する
ことができ、しかもこれを連続して行うことができる。
【０００７】
【実施例】以下、図１及び図２に基づき、本発明による
単結晶製品板の結晶評価法及びその装置の一実施例を説
明する。なお、図１は本発明装置の正面図、図２はその
平面図である。
単結晶製品板の結晶評価法及びその装置の一実施例を説
明する。なお、図１は本発明装置の正面図、図２はその
平面図である。
【０００８】本発明装置は容器１の内部及び外部に特徴
を有している。即ち、図において、容器１の開口部２に
はＸ−Ｙステージ３が設けられ、更にこのＸ−Ｙステー
ジ３にはガイド４が設けられている。そして、オートチ
ェンジャー装置７によって移送された単結晶板８が、上
記ガイド４上に載置されるようになっている。このガイ
ド４のサイズは単結晶板８のサイズよりも大きく、この
ため、上記オートチェンジャー装置７の吸引によって移
送されてきた単結晶板８は、該オートチェンジャー装置
７の吸引が解除されて落下し、ガイド４の所定位置に支
持される。
を有している。即ち、図において、容器１の開口部２に
はＸ−Ｙステージ３が設けられ、更にこのＸ−Ｙステー
ジ３にはガイド４が設けられている。そして、オートチ
ェンジャー装置７によって移送された単結晶板８が、上
記ガイド４上に載置されるようになっている。このガイ
ド４のサイズは単結晶板８のサイズよりも大きく、この
ため、上記オートチェンジャー装置７の吸引によって移
送されてきた単結晶板８は、該オートチェンジャー装置
７の吸引が解除されて落下し、ガイド４の所定位置に支
持される。
【０００９】この結果、容器１の開口部２が単結晶板８
によって塞がれて、容器１の内部が暗黒状態になる。ま
た、単結晶板８は、上記Ｘ−Ｙステージ３のモータ５及
びモータ６により、無歪状態で且つ開口部２の中心に対
して任意のＸ，Ｙ方向に移動し得るようになっている。
容器１の内部には細管Ｘ線管球９が設置されており、そ
の先端に箔対陰極物質１０が貼り付けられると共に、発
散スリット１１が被着している。細管Ｘ線管球９からの
強力なＸ線は、発散スリット１１を通過することによ
り、発散ビーム１２となって単結晶板８に照射される。
によって塞がれて、容器１の内部が暗黒状態になる。ま
た、単結晶板８は、上記Ｘ−Ｙステージ３のモータ５及
びモータ６により、無歪状態で且つ開口部２の中心に対
して任意のＸ，Ｙ方向に移動し得るようになっている。
容器１の内部には細管Ｘ線管球９が設置されており、そ
の先端に箔対陰極物質１０が貼り付けられると共に、発
散スリット１１が被着している。細管Ｘ線管球９からの
強力なＸ線は、発散スリット１１を通過することによ
り、発散ビーム１２となって単結晶板８に照射される。
【００１０】単結晶板８で反射した反射擬コッセル線１
３によって、イメージングプレート１５が１秒以下の極
めて短い時間露光され、この後、細管Ｘ線管球９の電源
を停止し、上記反射擬コッセル線１３による撮影が終了
する。回転ステージ１４に固定された上記イメージング
プレート１５は、モータ１６によって細管Ｘ線管球９の
中心軸１８の周りを単結晶板８と平行に回転する。この
イメージングプレート１５の回転の際、容器１内にある
読取装置１７を、細管Ｘ線管球９の中心軸１８と直交す
る軸に沿って移動させるために、移動Ｘステージ１９の
モータ２０を回転させる。
３によって、イメージングプレート１５が１秒以下の極
めて短い時間露光され、この後、細管Ｘ線管球９の電源
を停止し、上記反射擬コッセル線１３による撮影が終了
する。回転ステージ１４に固定された上記イメージング
プレート１５は、モータ１６によって細管Ｘ線管球９の
中心軸１８の周りを単結晶板８と平行に回転する。この
イメージングプレート１５の回転の際、容器１内にある
読取装置１７を、細管Ｘ線管球９の中心軸１８と直交す
る軸に沿って移動させるために、移動Ｘステージ１９の
モータ２０を回転させる。
【００１１】イメージングプレート１５のモータ１６の
回転と、移動Ｘステージ１９のモータ２０の回転とを連
動させることにより、読取装置１７がイメージングプレ
ート１５上を一定間隔を保持しながら等速度で渦巻走査
を行い、これによりイメージングプレート１５上に露光
されている反射擬コッセル線１３は、かかる読取装置１
７によって高い精度で、しかも定量的に検出される。
回転と、移動Ｘステージ１９のモータ２０の回転とを連
動させることにより、読取装置１７がイメージングプレ
ート１５上を一定間隔を保持しながら等速度で渦巻走査
を行い、これによりイメージングプレート１５上に露光
されている反射擬コッセル線１３は、かかる読取装置１
７によって高い精度で、しかも定量的に検出される。
【００１２】なお、演算装置２１は、読取装置１７の読
取開始及び読取終了等の制御を行い、更に検出された反
射擬コッセル線１３からの情報を記録すると共に、単結
晶板８のオリエンテイションフラットと該単結晶板８の
板面法線とを基準にして解析を行う。演算装置２１の解
析結果は表示装置２２によって表示され、そしてイメー
ジングプレート１５は、容器１内に設けられた消去ラン
プ２３により初期化される。
取開始及び読取終了等の制御を行い、更に検出された反
射擬コッセル線１３からの情報を記録すると共に、単結
晶板８のオリエンテイションフラットと該単結晶板８の
板面法線とを基準にして解析を行う。演算装置２１の解
析結果は表示装置２２によって表示され、そしてイメー
ジングプレート１５は、容器１内に設けられた消去ラン
プ２３により初期化される。
【００１３】演算装置２１による解析が終了した単結晶
板８は、オートチェンジャー装置７によって吸引されて
ガイド４から取り外され、別の単結晶板と交換される。
なお、演算装置２１は上記読取装置１７のみならず各装
置を制御し、これにより上述の装置動作が連続的に繰り
返して行われる。
板８は、オートチェンジャー装置７によって吸引されて
ガイド４から取り外され、別の単結晶板と交換される。
なお、演算装置２１は上記読取装置１７のみならず各装
置を制御し、これにより上述の装置動作が連続的に繰り
返して行われる。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の単結晶製
品板の結晶評価法及びその装置によれば、擬コッセル法
を有効に活用することにより、この種の単結晶製品板の
結晶状態を迅速且つ高い精度で評価することができると
いう極めて優れた利点を有している。
品板の結晶評価法及びその装置によれば、擬コッセル法
を有効に活用することにより、この種の単結晶製品板の
結晶状態を迅速且つ高い精度で評価することができると
いう極めて優れた利点を有している。
【図１】本発明による単結晶製品板の結晶評価装置の一
実施例の正面図である。
実施例の正面図である。
【図２】本発明による上記結晶評価装置の一実施例の平
面図である。
面図である。
１ 容器 ２ 開口部 ３ Ｘ−Ｙステージ ４ ガイド ５ モータ ６ モータ ７ オートチェンジャー装置 ８ 単結晶板 ９ 細管Ｘ線管球 １１ 発散スリット １２ 発散ビーム １３ 擬コッセル線 １４ 回転ステージ １５ イメージングプレート １６ モータ １７ 読取装置 １９ 移動Ｘステージ ２１ 演算装置
Claims (2)
- 【請求項１】 オートチェンジャー装置によって単結晶
板が移送され、且つ容器の開口部に設けられているＸ−
Ｙステージのガイドに対して、上記単結晶板のオリエン
テイションフラット部を含む縁部を接触させることによ
って、上記開口部が塞がれ、その内部が暗黒化し、 上記容器内にある細管Ｘ線管球と一体化した発散スリッ
トからの発散Ｘ線ビームを上記単結晶板の任意場所に照
射し、該単結晶板からの擬コッセル線をイメージングプ
レート上に露光し、 上記発散Ｘ線ビームの照射を停止した後、上記イメージ
ングプレートの上記細管Ｘ線管球の中心軸周りの回転
と、読取装置の上記細管Ｘ線管球の中心軸に直交する方
向への移動とを組み合せ、且つ上記イメージングプレー
トの回転速度や上記読取装置の移動速度を制御すること
によって、該読取装置が上記イメージングプレート上で
等速度の渦巻走査をして、上記擬コッセル線を定量的に
検出し、 その検出結果を演算装置が記憶し、上記単結晶板の結晶
状態をその単結晶板のオリエンテイションフラットや板
面法を基準に評価し、 その評価結果を表示装置が表示した後、上記容器内に設
けられた消去ランプが点灯して上記イメージングプレー
トを初期化し、上記オートチェンジャー装置が評価済の
上記単結晶板を上記Ｘ−Ｙステージから除去するように
したことを特徴とする単結晶製品板の結晶評価法。 - 【請求項２】 開口部を有する容器と、上記開口部に設
けられたＸ−Ｙステージと、上記Ｘ−Ｙステージへ単結
晶板を移送するオートチェンジャー装置と、上記容器内
で上記開口部の中心とその中心軸が一致する細管Ｘ線管
球と、上記細管Ｘ線管球の箔対陰極部に取り付けた交換
可能な発散スリットと、上記細管Ｘ線管球の中心軸と直
交するように置かれたイメージングプレートと、上記イ
メージングプレートを上記細管Ｘ線管球の中心軸周りに
連続回転させる回転ステージと、上記イメージングプレ
ートの露光面を読み取る読取装置と、上記細管Ｘ線管球
の中心軸と直交する軸に沿って上記読取装置を平行移動
させるＸステージと、各上記装置の制御及び上記読取装
置の読取結果の記憶又は解析を行う演算装置と、この演
算装置の解析結果を表示する表示装置と、上記イメージ
ングプレートを初期化する上記容器内に設置されている
消去ランプと、を備えていることを特徴とする単結晶製
品板の結晶評価装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4280899A JPH06109669A (ja) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | 単結晶製品板の結晶評価法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4280899A JPH06109669A (ja) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | 単結晶製品板の結晶評価法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06109669A true JPH06109669A (ja) | 1994-04-22 |
Family
ID=17631500
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4280899A Withdrawn JPH06109669A (ja) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | 単結晶製品板の結晶評価法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06109669A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012103224A (ja) * | 2010-11-15 | 2012-05-31 | Hitachi-Ge Nuclear Energy Ltd | Ｘ線回折装置及びｘ線回折の測定方法 |
| JP2012225796A (ja) * | 2011-04-20 | 2012-11-15 | Pulstec Industrial Co Ltd | Ｘ線回折装置 |
| JP2013104673A (ja) * | 2011-11-10 | 2013-05-30 | Pulstec Industrial Co Ltd | Ｘ線回折測定装置及びｘ線回折測定方法 |
| JP2013113737A (ja) * | 2011-11-29 | 2013-06-10 | Pulstec Industrial Co Ltd | Ｘ線回折測定装置 |
| WO2014010260A1 (ja) * | 2012-07-09 | 2014-01-16 | パルステック工業株式会社 | Ｘ線回折測定装置及びｘ線回折測定システム |
| WO2014128874A1 (ja) * | 2013-02-21 | 2014-08-28 | パルステック工業株式会社 | 回折環形成装置及びｘ線回折測定装置 |
| JP2014206506A (ja) * | 2013-04-15 | 2014-10-30 | パルステック工業株式会社 | Ｘ線回折測定システム |
| JP6308374B1 (ja) * | 2016-12-02 | 2018-04-11 | パルステック工業株式会社 | Ｘ線回折測定方法及び回折環読取装置 |
-
1992
- 1992-09-25 JP JP4280899A patent/JPH06109669A/ja not_active Withdrawn
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| WO2014128874A1 (ja) * | 2013-02-21 | 2014-08-28 | パルステック工業株式会社 | 回折環形成装置及びｘ線回折測定装置 |
| JP5967394B2 (ja) * | 2013-02-21 | 2016-08-10 | パルステック工業株式会社 | 回折環形成装置及びｘ線回折測定装置 |
| JP2014206506A (ja) * | 2013-04-15 | 2014-10-30 | パルステック工業株式会社 | Ｘ線回折測定システム |
| JP6308374B1 (ja) * | 2016-12-02 | 2018-04-11 | パルステック工業株式会社 | Ｘ線回折測定方法及び回折環読取装置 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19991130 |