JP2012103224A - X線回折装置及びx線回折の測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】X線を照射するX線照射源1と、X線が測定対象物9に照射されて回折したX線を検出する検出器2と、X線照射源1と検出器2とを移動可能に支持する支持部材10と、を備えているX線回折装置100であって、支持部材10は、直交する二軸のそれぞれの軸方向に、それぞれ独立して移動可能な第1の位置決め手段13及び第2の位置決め手段14と、二軸に垂直な軸の軸方向に移動可能な第3の位置決め手段15とを備え、X線照射源1及び検出器2が固定された第1の位置決め手段13、第2の位置決め手段14及び第3の位置決め手段15が所定の位置に移動することにより、X線の照射位置及び回折したX線の検出位置が決定されるように構成されているX線回折装置。
【選択図】図1
Description
[1−1.構成]
図1は、第一実施形態に係るX線回折装置を用いて、円筒形状の配管の外側面のX線回折を測定する様子を模式的に表した図である。図1に示すように、第一実施形態に係るX線回折装置100は、X線照射源としてのX線管球1と、検出器としての二次元検出器2と、支持部材としてのx軸方向位置決め手段(第1の位置決め手段)3、y軸方向位置決め手段(第2の位置決め手段)4及びz軸方向位置決め手段(第3の位置決め手段)5と、を備えてなる。なお、ここで言う「x軸」、「y軸」及び「z軸」とは、図1において示すx方向、y方向及びz方向の軸を表すものとする。
なお、図2に示す第一実施形態に係るX線回折装置100においては、二次元検出器2としてイメージングプレートが用いられている。
次に、第一実施形態に係るX線回折装置100における、各部の作用について説明する。x軸方向位置決め手段3、y軸方向位置決め手段4及びz軸方向位置決め手段5は、上記のように、それぞれ独立して移動するようになっている。そして、これらはX線管球1及び二次元検出器2に直接又は間接的に接続されているため、一体化したX線管球1及び二次元検出器2の位置は、これらの各位置決め手段が移動することにより制御される。
本実施形態に係る別のX線回折装置として、図6に示す、第二実施形態に係るX線回折装置200を例に説明する。図6(a)は、第二実施形態に係るX線回折装置200において、円盤状の表面のX線回折を測定する部位を模式的に表す図であり、(b)は、(a)におけるA−A線部を模式的に表す図である。なお、図1と同じものを表す部材については同様の符号を用い、その説明を省略する。
なお、ガイドレール19の材質としては、一体化したX線管球1及び二次元検出器2の移動位置によっては高いモーメント負荷がかかる可能性があるため、例えばステンレス鋼等の強度の高い金属材料を用いることが好ましい。
以上、本実施形態に係るX線回折装置の構成及び動作を、具体例を挙げつつ説明した。このように、上記の本実施形態に係るX線回折装置に拠れば、X線照射位置を迅速かつ容易に位置決めし、X線回折を測定することが可能となる。特に、複数個所を連続して測定する場合に、このような効果が顕著なものとなる。また、本実施形態に係るX線回折装置に拠れば、複雑な形状を有する測定対象物や固定された測定対象物に対しても、容易にX線回折を測定することができる。
1a 先端部
2 二次元検出器(検出器)
3 x軸方向位置決め手段(第1の位置決め手段;支持部材)
4 y軸方向位置決め手段(第2の位置決め手段;支持部材)
5 z軸方向位置決め手段(第3の位置決め手段;支持部材)
6 入射角制御手段
7 架台
8 フレーム
9 配管(測定対象物)
10 シャフト
11 ガイドレール
12 仰角制御手段
13 h方向位置決め手段(第1の位置決め手段;支持部材)
14 r方向位置決め手段(第2の位置決め手段;支持部材)
15 z方向位置決め手段(第3の位置決め手段;支持部材)
16 目盛りスケール
17a ハンドル
17b ハンドル
17c ハンドル
19 ガイドレール
21 鋼板(測定対象物)
22 二次元検出器
100 X線回折装置
200 X線回折装置
Claims (7)
- X線を照射するX線照射源と、
前記X線が測定対象物に照射されて回折した前記X線を検出する検出器と、
前記X線照射源と前記検出器とを移動可能に支持する支持部材と、
を備えているX線回折装置であって、
前記支持部材は、
直交する二軸のそれぞれの軸方向に、それぞれ独立して移動可能な第1の位置決め手段及び第2の位置決め手段と、前記二軸に垂直な軸の軸方向に移動可能な第3の位置決め手段とを備え、
前記X線照射源及び前記検出器が固定された前記第1の位置決め手段、前記第2の位置決め手段及び前記第3の位置決め手段が所定の位置に移動することにより、前記X線の照射位置及び回折した前記X線の検出位置が決定されるように構成されている
ことを特徴とする、X線回折装置。 - 前記X線発生源と前記検出器とが一体となって備えられている
ことを特徴とする、請求項1に記載のX線回折装置。 - 前記検出器が平面状の二次元検出器である
ことを特徴とする、請求項2に記載のX線回折装置。 - 前記二次元検出器が二次元位置敏感型検出器である
ことを特徴とする、請求項3に記載のX線回折装置。 - 前記二次元検出器が、輝尽性蛍光体を用いているものである
ことを特徴とする、請求項3に記載のX線回折装置。 - X線を照射するX線照射源と、
前記X線が測定対象物に照射されて回折したX線を検出する検出器と、を用いたX線回折の測定方法であって、
直交する二軸のそれぞれの軸方向に、それぞれ独立して移動可能な第1の位置決め手段及び第2の位置決め手段と、前記二軸に垂直な軸の軸方向に移動可能な第3の位置決め手段とがそれぞれ移動し、前記X線照射源及び前記検出器が所定の位置に移動されることにより、前記X線の照射位置及び回折した前記X線の検出位置が決定される
ことを特徴とする、X線回折の測定方法。 - 前記測定対象物が、固定物である
ことを特徴とする、請求項6に記載のX線回折の測定方法。
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