JP5500857B2 - ダイシング用補助シート - Google Patents
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Description
波長:266nm
繰り返し周波数:50kHz
平均出力:4w
集光スポット:楕円形(長軸200μm、短軸10μm)
加工送り速度:150mm/秒
12・・・接着層
13・・・透明プラスチックフィルム
2・・・・ダイシング用補助フィルム
Claims (5)
- シリカ粒子を充填した2軸延伸ポリエステルフィルムの少なくとも一方の面に、無機顔料およびバインダー樹脂を含む無機顔料充填層を有することを特徴とするレーザーダイシング用補助シート。
- シリカ粒子を充填した2軸延伸ポリエステルフィルムの両方の面に、無機顔料およびバインダー樹脂を含む無機顔料充填層を有することを特徴とする請求項1記載のレーザーダイシング用補助シート。
- 前記無機顔料充填層上に接着層を有することを特徴とする請求項1又は2記載のレーザーダイシング用補助シート。
- 前記無機顔料充填層が接着性を有することを特徴とする請求項1又は2記載のレーザーダイシング用補助シート。
- 前記無機顔料がシリカおよび/または炭酸カルシウムであることを特徴とする請求項1から4何れか1項記載のレーザーダイシング用補助シート。
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Applications Claiming Priority (1)
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