JP5498206B2 - 電磁波集光シート - Google Patents
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Description
[1] 第1の表面から熱エネルギーを入射させた場合に、目的波長の電磁波成分を第2の表面から出射させ、かつ出射波を所定の集光方向で進行させて焦点で収束させる、電磁波集光シートであって、
シート厚み方向に貫通するか又は貫通しない空洞部が複数設けられ、
シート厚み方向に対して垂直の面内断面における空洞部形状の外心をシート厚み方向に亘って結んだ線として規定される仮想中心線が該焦点を通るように該空洞部が形成されることによって、該集光方向が規定されており、
内径が該目的波長の略1/2倍であり、かつ深さが該内径の0.7〜3倍であるように該空洞部が形成されることによって、該目的波長の電磁波成分が第2の表面から出射する、電磁波集光シート。
[2] 該空洞部の形状が、角柱状及び円柱状からなる群から選ばれる少なくとも1種である、上記[1]に記載の電磁波集光シート。
[3] 該空洞部の内壁が電磁波反射材料で被覆されている、上記[1]又は[2]に記載の電磁波集光シート。
[4] 該目的波長の電磁波成分が赤外線であり、該空洞部の内径が0.5〜10μmの範囲であり、該空洞部の深さが該内径の0.7〜3倍の範囲である、上記[1]〜[3]のいずれかに記載の電磁波集光シート。
[5] フレキシブルシートである、上記[4]に記載の電磁波集光シート。
[6] 上記[5]に記載の電磁波集光シートと熱源とからなる、電磁波集光型赤外光源。
本発明は、第1の表面から熱エネルギーを入射させた場合に、目的波長の電磁波成分を第2の表面から出射させ、かつ出射波を所定の集光方向で進行させて焦点で収束させる、電磁波集光シートであって、シート厚み方向に貫通するか又は貫通しない空洞部が複数設けられ、シート厚み方向に対して垂直の面内断面における空洞部形状の外心をシート厚み方向に亘って結んだ線として規定される仮想中心線が該焦点を通るように該空洞部が形成されることによって、該集光方向が規定されており、内径が該目的波長の略1/2倍であり、かつ深さが該内径の0.7〜3倍であるように該空洞部が形成されることによって、該目的波長の電磁波成分が第2の表面から出射する、電磁波集光シートを提供する。本発明の「電磁波集光シート」について、以下にさらに説明する。
本発明はまた、上述した本発明の電磁波集光シートと熱源とからなる電磁波集光型赤外光源を提供する。図4は、本発明の一態様に係る電磁波集光型赤外光源について説明する模式図である。本発明の電磁波集光型赤外光源は、図4に示すように、例えば図2に示す電磁波集光シート1のような本発明に係る電磁波集光シートと、熱源5とからなる。電磁波集光シート1の裏面(入射面である第1の表面)側に設置された熱源5から、必要に応じて蓄熱材(図示せず)を通じて、電磁波集光シート1に電磁波(例えば熱又は赤外線等)が伝達され、電磁波集光シート1に配置された空洞部2により特定波長の赤外線が電磁波集光シートの前面(出射面である第2の表面)からターゲット10に集光放射される。
次に、本発明の電磁波集光シートの製造方法について述べる。電磁波集光シートは、本発明の電磁波集光シートのために好適な材質として前述した材質のシートに、例えば斜角柱状、斜円柱状等の傾斜形状等、所望の形状の空洞部を形成することによって製造できる。空洞部の形成方法としては、フォトリソグラフィーによる形成、インプリント法による型からの複製、レーザー又は電子ビーム等による形成、精密機械加工による形成、等が挙げられるが、コスト、生産性、及び大面積化の点でフォトリソグラフィー又はインプリント等の一括作製が好ましい。
以下、本発明に係る電磁波集光シートを実際に作製した例について更に説明する。
日本製箔社製厚み50μmのアルミシートに、上村工業社製ジンケート処理液を用いてシート表面に亜鉛置換メッキ皮膜を形成した後、旭化成社製厚み5μmメッキ用DFR(ネガ型)をラミネートした基板を作製した。次に、オーク社製平行光露光装置に白ガラス製凸レンズ(レンズ径10cm、焦点距離10cm)を取り付け、基板がレンズから12cmの高さになるように調整した後、上記基板に密着したフォトマスクを介して基板を露光した。フォトマスクは遮光部が5μm角、遮光部間隔が2.5μmの格子状であり、露光エリア径は2cmである。0.4wt%水酸化ナトリウム溶液で現像した後、アルミシート上に一辺5μm、厚み5μmの立方体状DFRが2.5μmの間隔でレイアウトされ、かつ、それぞれのDRFは上記凸レンズの焦点方向に傾斜した構造であった。次に、上村工業社製硫酸銅メッキ液を用いて、アルミシートを電極として電解銅メッキにより、厚み20μmの銅皮膜を形成した後、1%水酸化ナトリウム溶液によりDFRを、また15%塩酸溶液によりアルミシートをそれぞれ溶解除去した。得られた銅シートを菱化システム社製光干渉顕微鏡で観察した結果、開口部が一辺5μm、深さ5μmである立方体形状のキャビティが開口部間隔2.5μmで配列した空洞部を有する厚さ20μmの銅シートが得られたことが確認された。
2 空洞部
3 内径
4 深さ
5 熱源
6 焦点
7 焦点距離
8 仮想中心線
9,9a,9b 電磁波反射材料
10 ターゲット
11 受光素子
12 測定セル
S1 第1の表面
S2 第2の表面
Claims (6)
- 第1の表面から熱エネルギーを入射させた場合に、目的波長の電磁波成分を第2の表面から出射させ、かつ出射波を所定の集光方向で進行させて焦点で収束させる、電磁波集光シートであって、
シート厚み方向に貫通するか又は貫通しない空洞部が複数設けられ、
シート厚み方向に対して垂直の面内断面における空洞部形状の外心をシート厚み方向に亘って結んだ線として規定される仮想中心線が該焦点を通るように該空洞部が形成されることによって、該集光方向が規定されており、
内径が該目的波長の略1/2倍であり、かつ深さが該内径の0.7〜3倍であるように該空洞部が形成されることによって、該目的波長の電磁波成分が第2の表面から出射し、
且つ、該空洞部の内壁が金属材料、セラミックス材料、金属材料及び/又はセラミック材料のナノ粒子、並びに有機材料からなる群から選択される1つ以上で被覆されている、電磁波集光シート。 - 該空洞部の内壁が銅で被覆されている、請求項1に記載の電磁波集光シート。
- 該空洞部の形状が、角柱状及び円柱状からなる群から選ばれる少なくとも1種である、請求項1又は2に記載の電磁波集光シート。
- 該目的波長の電磁波成分が赤外線であり、該空洞部の内径が0.5〜10μmの範囲であり、該空洞部の深さが該内径の0.7〜3倍の範囲である、請求項1〜3のいずれか一項に記載の電磁波集光シート。
- フレキシブルシートである、請求項4に記載の電磁波集光シート。
- 請求項5に記載の電磁波集光シートと熱源とからなる、電磁波集光型赤外光源。
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