JP2007324126A - 赤外光源 - Google Patents
赤外光源 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007324126A JP2007324126A JP2007138959A JP2007138959A JP2007324126A JP 2007324126 A JP2007324126 A JP 2007324126A JP 2007138959 A JP2007138959 A JP 2007138959A JP 2007138959 A JP2007138959 A JP 2007138959A JP 2007324126 A JP2007324126 A JP 2007324126A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light source
- infrared light
- dielectric material
- infrared
- grating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
【課題】構造が簡単であり、広い分野に応用することのできる、特定波長の赤外光源を提供する。
【解決手段】本発明による赤外光源は、発熱体と、正の誘電体として機能する部分および負の誘電体として機能する部分を一定方向に一定周期で交互に形成した格子とを備え、前記発熱体の放射エネルギを、前記格子の配列方向と直交する偏光面を有する、前記格子の形状によって定まる特定の波長の赤外線に集中させて放射することを特徴とする。
【選択図】図3
【解決手段】本発明による赤外光源は、発熱体と、正の誘電体として機能する部分および負の誘電体として機能する部分を一定方向に一定周期で交互に形成した格子とを備え、前記発熱体の放射エネルギを、前記格子の配列方向と直交する偏光面を有する、前記格子の形状によって定まる特定の波長の赤外線に集中させて放射することを特徴とする。
【選択図】図3
Description
本発明は、赤外光源に関する。特に、特定の波長の赤外光を発する赤外光源に関する。
赤外波長域の特定波長で強い強度が得られる赤外光源は非常に少ない。
一部の特定波長で発振するレーザーは高価であり、また、特定波長を任意の値とすることはできない。
ヒータなどからの放射光を波長フィルタ等用いて任意波長の光を取り出す装置も考えられる。しかし、部品点数が多く、波長フィルタの製造方法が煩雑であり、出力エネルギが極めて低いなどの問題がある。
また、高温発光マイクロキャビティ光源も提案されている(たとえば、特表2001-519079号公報)。しかし、構造が煩雑である。
他方、赤外波長域での光源を使用したアプリケーションは、医療、バイオ分野を含む分野に拡大しつつある。
特表2001-519079号公報
したがって、構造が簡単であり、広い分野に応用することのできる、特定波長の赤外光源に対するニーズがある。
本発明による赤外光源は、発熱体と、複数の特定波長にそれぞれ対応する複数の格子とを備えた赤外光源である。前記複数の格子のそれぞれは、正の誘電体材料部および負の誘電体材料部を一定方向に一定周期で交互に形成した格子である。当該一定周期をP、当該一定方向の正の誘電体材料部の幅をT、格子深さをDとし、特定の波長を
とした場合に
であるP、TおよびDに対して、赤外光源から発せられる赤外線強度のピーク波長が当該特定波長と一致するようにP、TおよびDを定めている。
本発明によれば、複数の特定波長の赤外線を放射する、構造が簡単でコンパクトな光源が得られる。
本発明による赤外光源は、発熱体と、異なる方向に配列された2種類以上の格子とを備えた赤外光源である。前記2種類以上の格子のそれぞれは、正の誘電体材料部および負の誘電体材料部を一定方向に一定周期で交互に形成した格子である。当該一定周期をP、当該一定方向の正の誘電体材料部の幅をT、格子深さをDとし、特定の波長を
とした場合に
であるP、TおよびDに対して、赤外光源から発せられる赤外線強度のピーク波長が当該特定波長と一致するようにP、TおよびDを定めている。
本発明によれば、2種類以上の異なる偏光面に偏光された、特定波長の赤外線を放射する、構造が簡単でコンパクトな光源が得られる。
本発明による赤外光源は、発熱体と、正の誘電体材料部および負の誘電体材料部を一定方向に一定周期で交互に形成した格子とを備えた赤外光源である。当該一定周期をP、当該一定方向の正の誘電体材料部の幅をT、格子深さをDとし、特定の波長を
とした場合に
であるP、TおよびDに対して、赤外光源から発せられる赤外線強度のピーク波長が当該特定波長と一致するようにP、TおよびDを定め、さらに前記一定方向に沿って、前記特定の波長が変化するようにDを変化させている。
本発明によれば、所定の波長帯域の赤外線を放射する赤外光源が得られる。
本発明による赤外光源は、発熱体と、正の誘電体材料部および負の誘電体材料部を一定方向に一定周期で交互に形成した格子とを備えた赤外光源であり、前記格子がレンズの表面に配置されている。当該一定周期をP、当該一定方向の正の誘電体材料部の幅をT、格子深さをDとし、特定の波長を
とした場合に
であるP、TおよびDに対して、赤外光源から発せられる赤外線強度のピーク波長が当該特定波長と一致するようにP、TおよびDを定めている。
本発明によれば、放射する赤外光を集光あるいは発散させる赤外光源が得られる。
本発明による赤外光源は、発熱体と、正の誘電体材料部および負の誘電体材料部(金属など)を一定方向に一定周期で交互に形成した格子と、を備えている。本発明による赤外光源は、当該一定周期をP、当該一定方向の正の誘電体材料部の幅をT、格子深さをDとし、特定の波長を
とした場合に
である任意のP、Tに対して、赤外光源から発せられる赤外線強度のピーク波長が当該特定波長と一致するようにDを定めている。
本発明による赤外光源は、カットオフ波長を有さず、T、PおよびDを最適に調整することにより任意の波長に赤外線強度のピーク波長を定めることができる。本発明による赤外光源は、負の誘電体材料(金属材料など)を使用することにより表面波の定在波が得られるように調整されている赤外光源である。
本発明による赤外光源は、発熱体の放射エネルギを、ピーク波長と一致する特定の波長の赤外線に集中させる機能を有する。しかも、特定の波長の赤外線は、格子の配列方向に対して直交する偏光面を有する(図1参照)。したがって、構造が簡単であり、広い分野に応用することのできる、特定波長の赤外光源が得られる。
本発明による赤外光源を製造する方法は、発熱体と、正の誘電体材料部(誘電体など)および負の誘電体材料部(金属など)を一定方向に一定周期で交互に形成した格子とを備えた赤外光源を製造する。本発明による赤外光源を製造する方法は、当該一定周期をP、当該一定方向の正の誘電体材料部(誘電体など)の幅をT、格子深さをDとし、特定の波長を
とした場合に
である任意のP、Tに対して、赤外光源から発せられる赤外線強度のピーク波長が当該特定波長と一致するようにDを定める。また、T、Pを調整することによっても、赤外光源から発せられる赤外線強度のピーク波長を当該特定波長と一致させることができる。
本発明によって製造された赤外光源は、発熱体の放射エネルギを、ピーク波長と一致する特定の波長の赤外線に集中させる機能を有する。しかも、特定の波長の赤外線は、格子の配列方向に対して直交する偏光面を有する(図1参照)。したがって、構造が簡単であり、広い分野に応用することのできる、特定波長の赤外光源を製造することができる。
本発明の一実施形態によれば、赤外光源から発せられる前記特定波長の赤外線強度の、発熱体から発せられる前記特定波長の赤外線強度に対する比率を赤外線強度比とした場合に、Pの値をそのままとして、
の範囲で、赤外線強度比が最大となるようにTを定めている。
したがって、赤外線強度比は、正の誘電体材料部(誘電体など)の幅Tに関して最大となっている。
したがって、赤外線強度比は、格子周期Pに関して最大となっている。
図1は、本発明の一実施形態による赤外光源100の構成を示す図である。赤外光源100は、格子101と発熱体107とを含む。本実施形態においては、発熱体107の表面に格子101が備わる。発熱体107は、たとえば、セラミックヒータである。他に、SiCヒータなどであってもよい。格子101は、負の誘電体材料部(金属など)103と正の誘電体材料部(誘電体など)105とからなる。負の誘電体材料部(金属など)103は、たとえば、アルミニウム、金、銀などの金属でもよい。また、負の誘電体材料部103は、任意の材料の表面に金属膜を形成したものであってもよい。正の誘電体材料部(誘電体など)105は、たとえば、中空またはシリコンなどの半導体としてもよい。格子101の周期をP、格子101の深さをD、正の誘電体材料部(誘電体など)105の幅をTで表わす。図1における矢印Aは、赤外光源100が発する光の、格子の配列方向に対して直交する偏光面の方向を示す。この偏光面については後で説明する。
図2は、波長に対する、赤外線の強度分布を示す図である。横軸は波長、縦軸は放射エネルギ密度を表わす。放射エネルギ密度を強度と呼称する。
一点鎖線は、格子101を伴わない発熱体107によって放射される赤外線の強度分布を表わす。赤外線は、広い波長にわたり緩やかに分布している。発熱体107によって放射される赤外線は、あらゆる偏光面を有している。
実線は赤外光源100によって放射される赤外線の強度分布を表わす。実線で表わされる赤外光源100によって放射される赤外線の強度分布は、複数のピークを有し、ピーク以外の波長における強度はほぼゼロである。複数のピークは、波長の長い方から、第1のピーク、第2のピークというように、数字によって特定する。第2のピーク波長
は、第1のピーク波長
に対して、図8の形態の構造では約1/3である。また、図9の形態の構造では約1/2である。図2以下の図において、第1および第2のピーク以外は図示しない。
上記のピーク波長においては、格子101の配列方向に対して直交する偏光面を有する光(図1参照)のみが放射される。
図2において、横軸と一点鎖線によって囲まれる部分の面積は、横軸と実線によって囲まれる部分の面積と等しい。このように、赤外光源100は、発熱体の放射エネルギを特定の波長の赤外線に集中させる機能を有する。しかも、特定の波長の赤外線は、格子101の配列方向に対して直交する偏光面を有する(図1参照)。
図2において、第1のピーク波長における、赤外光源100によって放射される赤外線の強度(B)の、発熱体によって放射される赤外線の強度(A)に対する比率を赤外線強度比と呼称する。
そこで、特定の波長を第1のピーク波長と一致させることができれば、当該特定波長の赤外光源が得られる。以下に、特定の波長を第1のピーク波長と一致させた赤外光源を製作する方法について説明する。
図3は、赤外光源において、格子周期Pおよび正の誘電体材料部(誘電体など)の幅Tを定めた場合に、格子深さDを求める方法を示す流れ図である。
以下において、赤外光源100の放射する赤外線の強度を、たとえば、FDTD法などの計算によって求めてもよい。FDTD法は、マクスウェルの方程式を差分化して電磁界をシミュレートする方法である。
ステップS3020において、格子深さDを変化させて、赤外光源100によって放射される赤外線の強度分布をもとめる。
図4は、赤外光源の格子深さDを変化させた場合の、赤外光源によって放射される赤外線の強度分布の変化を示す図である。(B)の場合の格子深さは、(A)の場合の格子深さよりも大きく、(C)の場合の格子深さは、(B)の場合の格子深さよりも大きい。図4に示すように、格子深さDを大きくすると、第1のピーク波長
も大きくなる。したがって、格子深さDを調整することにより、第1のピーク波長
を特定の波長
に一致させることができる。(C)において、第1のピーク波長
は、特定の波長
に一致している。
ステップS3030において、第1のピーク波長
が特定の波長
に一致したかどうか判断する。一致していなければ、ステップS3020に戻り、さらに格子深さDを変化させる。一致していれば、そのときの、格子深さDを赤外光源100の格子深さとして終了する。
図5は、赤外光源において、格子周期Pを定めた場合に、格子深さDおよび正の誘電体材料部(誘電体など)の幅Tを求める方法を示す流れ図である。
ステップS5020において、正の誘電体材料部(誘電体など)の幅Tを変化させて、第1のピーク波長が特定の波長に一致する格子深さDおよびその格子深さの場合の赤外線強度比を求める。具体的に、正の誘電体材料部(誘電体など)の幅Tをある値に定めた後、図3の流れ図にしたがって、第1のピーク波長が特定の波長に一致する格子深さDおよびその格子深さの場合の赤外線強度比を求める。つぎに、正の誘電体材料部(誘電体など)の幅Tを別の値に定めた後、図3の流れ図にしたがって、第1のピーク波長が特定の波長に一致する格子深さDおよびその格子深さの場合の赤外線強度比を求める。このステップを繰り返して、正の誘電体材料部(誘電体など)の幅Tの値を変化させながら、その値に対して、第1のピーク波長が特定の波長に一致する格子深さDおよびその格子深さの場合の赤外線強度比を求める。
図6は、赤外光源の正の誘電体材料部(誘電体など)の幅Tを変化させた場合に、特定の波長における赤外線強度比の変化を示す図である。格子101の負の誘電体材料部(金属など)103は、金であり、正の誘電体材料部(誘電体など)105は、空気である。図6の横軸は、所定の格子周期Pに対する正の誘電体材料部(誘電体など)の幅Tの比であり、縦軸は、第1のピークと一致する特定の波長における赤外線強度比である。図6に示すように、特定の波長における赤外線強度比は、正の誘電体材料部(誘電体など)の幅Tの特定の値に対してピークを示す。具体的に、特定の波長は、9.6マイクロ・メータ、所定の格子周期Pは、3マイクロ・メータであり、
すなわち、正の誘電体材料部(誘電体など)の幅Tが0.06マイクロ・メータ(60ナノ・メータ)の値に対して、赤外線強度比は、ピークを示す。
図5のステップS5030において、正の誘電体材料部(誘電体など)の幅Tが、図6における赤外線強度比の曲線のピークに対応する値かどうか判断する。ピークに対応していなければ、ステップS5020に戻り、正の誘電体材料部(誘電体など)の幅Tをさらに変化させる。ピークに対応していれば、そのときの正の誘電体材料部(誘電体など)の幅Tを赤外光源100の正の誘電体材料部(誘電体など)の幅として終了する。
図7は、正の誘電体材料部(誘電体など)の幅Tを一定として赤外光源の格子周期Pを変化させた場合に、特定の波長における赤外線強度比の変化を示す図である。格子101の負の誘電体材料部(金属など)103は、金であり、正の誘電体材料部(誘電体など)105は、空気である。図7の横軸は、所定の格子周期Pであり、縦軸は、第1のピークと一致する特定の波長における赤外線強度比である。図7に示すように、特定の波長における赤外線強度比は、格子周期Pの特定の値に対してピークを示す。具体的に、特定の波長は、9.6マイクロ・メータ、正の誘電体材料部(誘電体など)の幅Tは、400ナノ・メータであり、
すなわち、格子周期Pが特定の波長の近傍の値に対して、赤外線強度比は、ピークを示す。
上記においては、格子周期Pを定め、所望の特定の波長において、赤外線強度比が最大となるように格子深さDおよび正の誘電体材料部(誘電体など)の幅Tを定める方法について説明した。上記の方法に代わり、格子深さDを定め、所望の特定の波長において、赤外線強度比が最大となるように格子周期Pおよび正の誘電体材料部(誘電体など)の幅Tを定めてもよい。あるいは、誘電体材料部(誘電体など)の幅Tを定め、所望の特定の波長において、赤外線強度比が最大となるように格子周期Pおよび格子深さDを定めてもよい。
図8は、本発明の一実施形態による赤外光源の構成を示す図である。発熱体107上に負の誘電体材料部(金属など)103からなる格子101を設けている。本実施形態において、正の誘電体材料部(誘電体など)105は、中空である。格子の負の誘電体材料部(金属など)103および発熱体107は、金属のケース109に収納されている。金属のケース109は、格子101以外からの赤外線の放射を抑制する。ケース109の金属は、格子の負の誘電体材料部(金属など)103と同種の金属であっても異種の金属であってもよい。
本実施形態による赤外光源は、以下の手順によって製造することができる。発熱体107上に金属を成膜し、レジストを塗布し電子線描画かマスク露光によって格子のパターンを形成し、その後エッチング加工を行う。あるいは、発熱体107上に金属を成膜し、高温に熱せられた、格子形成された金型によりインプリンティングして金属に格子パターンを形成する。金属を成膜するには、たとえば、真空蒸着法やスパッタ法などによる。
図9は、本発明の他の実施形態による赤外光源の構成を示す図である。発熱体107上に金属の格子凸部(格子の負の誘電体材料部(金属など))103を設けている。本実施形態において、正の誘電体材料部(誘電体など)105は、中空である。金属の格子凸部103および発熱体107は、金属のケース109に収納されている。金属のケース109は、格子101以外からの赤外線の放射を抑制する。ケース109の金属は、格子の負の誘電体材料部(金属など)103と同種の金属であっても異種の金属であってもよい。
本実施形態による赤外光源は、以下の手順によって製造することができる。発熱体107上に金属を成膜し、レジストを塗布し電子線描画かマスク露光によって格子のパターンを形成し、その後エッチング加工を行う。金属を成膜するには、たとえば、真空蒸着法やスパッタ法などによる。
図10は、本発明の他の実施形態による赤外光源の構成を示す図である。本実施形態は、正の誘電体材料部(誘電体など)105に格子の形状を形成し、その上に金属膜111を成膜し、さらに材料103Aを配置して製造してもよい。材料103Aは、セラミック系接着剤やエポキシ系接着剤などの接合材料や金属などである。正の誘電体材料部(誘電体など)105は、シリコンなどの半導体であってもよい。材料103Aと発熱体107とを接続する。赤外光源の赤外線放射面に反射防止コート121を設けている。反射防止121コートにより、赤外光源の放射効率が向上する。発熱体107、金属膜111、材料103A、正の誘電体材料部(誘電体など)105および反射防止コート121は、金属のケース109に収納されている。金属のケース109は、格子101以外からの赤外線の放射を抑制する。ケース109の金属は、金属膜111と同種の金属であっても異種の金属であってもよい。
図11は、本発明の他の実施形態による赤外光源の構成を示す図である。本実施形態においては、材料103Aが発熱体をかねている。本実施形態は、正の誘電体材料部(誘電体など)105に格子の形状を形成し、その上に金属膜111を成膜し、さらに材料103Aを配置して製造してもよい。正の誘電体材料部(誘電体など)105は、シリコンなどの半導体であってもよい。赤外光源の赤外線放射面に反射防止コート121を設けている。反射防止コート121により、赤外光源の放射効率が向上する。金属膜111、材料103A、正の誘電体材料部(誘電体など)105および反射防止コート121は、金属のケース109に収納されている。金属のケース109は、格子101以外からの赤外線の放射を抑制する。ケース109の金属は、金属膜111と同種の金属であっても異種の金属であってもよい。
図12は、本発明の他の実施形態による赤外光源の構成を示す図である。本実施形態においては、半導体などの正の誘電体材料部(誘電体など)105が発熱体をかねている。本実施形態は、正の誘電体材料部(誘電体など)105に格子の形状を形成し、その上に金属膜111を成膜し、さらに材料103Aを配置して製造してもよい。赤外光源の赤外線放射面に反射防止コート121を設けている。反射防止コート121により、赤外光源の放射効率が向上する。金属膜111、材料103A、正の誘電体材料部(誘電体など)105および反射防止コート121は、金属のケース109に収納されている。金属のケース109は、格子101以外からの赤外線の放射を抑制する。ケース109の金属は、金属膜111と同種の金属であっても異種の金属であってもよい。
図10乃至12に示した実施形態による赤外光源は、以下の手順によって製造することができる。正の誘電体材料部(誘電体など)105上に金属を成膜し、レジストを塗布し電子線描画かマスク露光によって格子のパターンを形成し、金属膜111および材料103Aを成膜する。その後、成膜面を研磨処理してもよい。つぎに、発熱体107を使用する場合には、材料103Aを接着材などで発熱体107に接続する。その後、周囲に金属を成膜してケース部109とする。金属を成膜するには、たとえば、真空蒸着法やスパッタ法などによる。
現在の半導体製造技術を利用した場合、格子周期Pおよび正の誘電体材料部(誘電体など)の幅Tは、30ナノ・メータまで小さくすることができる。格子深さDは、誘電体材料部(誘電体など)の幅Tの約50倍まで大きくすることができる。
図13は、本発明の他の実施形態による赤外光源の構成を示す図である。一方の面が平面で他方の面が凸面のレンズ131の、凸面に赤外光源100がレンズ131に向けて赤外線を放射するように設けられている。赤外光源100から放射された赤外線は、レンズ131によって集光される。レンズ131の平面には、反射防止コート121が設けられる。反射防止コート121により、赤外光源の放射効率が向上する。
図14は、本発明の他の実施形態による赤外光源の構成を示す図である。一方の面が平面で他方の面が凸面のレンズ131の、平面に赤外光源100がレンズ131に向けて赤外線を放射するように設けられている。赤外光源100から放射された赤外線は、レンズ131によって発散される。レンズ131の凸面には、反射防止コート121が設けられる。反射防止コート121により、赤外光源の放射効率が向上する。
図15は、本発明の他の実施形態による赤外光源の構成を示す図である。一方の面が平面で他方の面が凸面のレンズ131の、凸面に格子101が設けられている。発熱体107は、レンズ131の凸面に対向する位置に配置される。赤外光源100から放射された赤外線は、格子101によって特定波長に変換され、レンズ131によって集光される。レンズ131の平面には、反射防止コート121が設けられる。反射防止コート121により、赤外光源の放射効率が向上する。
図16は、本発明の他の実施形態による赤外光源の構成を示す図である。一方の面が平面で他方の面が凸面のレンズ131の、平面に格子101が設けられている。赤外光源100から放射された赤外線は、格子101によって特定波長に変換され、レンズ131によって発散される。レンズ131の凸面には、反射防止コート121が設けられる。反射防止コート121により、赤外光源の放射効率が向上する。
図13乃至16に示した実施形態のレンズは、平凸形状である。他に、平凹形状および凹凸形状のレンズのいずれかの面に格子101を設けてもよい。
図17Aは、本発明の他の実施形態による赤外光源の格子の構成を示す図である。本実施形態においては、1チップの発熱体上に複数の、特定波長の異なる格子を設けている。具体的に、A乃至Dの各領域で、格子深さDを一定として、格子周期P、正の誘電体材料部(誘電体など)の幅Tを各領域で変化させることにより、各領域のピーク波長を変化させ、かつ電界強度を大きくすることが可能となる。格子周期Pについては各領域で一定としてもよい。本実施形態によれば、1チップで、複数の特定波長の赤外光源が得られる。
図17Bは、本発明の他の実施形態による赤外光源の格子の構成を示す図である。本実施形態においては、1チップの発熱体上に複数の、特定波長の異なる格子を設けている。具体的に、A乃至Dの各領域で、正の誘電体材料部(誘電体など)の幅Tを一定として、格子周期P、格子深さDを各領域で変化させることにより、各領域のピーク波長を変化させ、かつ電界強度を大きくすることが可能となる。格子周期Pについては各領域で一定としてもよい。本実施形態によれば、1チップで、複数の特定波長の赤外光源が得られる。
図18は、本発明の他の実施形態による赤外光源の格子の構成を示す図である。本実施形態においては、格子周期Pおよび正の誘電体材料部(誘電体など)の幅Tを一定として、深さDを変化させている。
図20は、図18の実施形態によって放射される赤外線の強度分布を概念的に示す図である。本実施形態によれば、所定の波長帯域の赤外線を放射する赤外光源が得られる。
図19は、本発明の他の実施形態による赤外光源の格子の構成を示す図である。本実施形態においては、1チップの発熱体上に、方向の異なる、複数の格子を設けている。本実施形態によれば、偏光された方向の異なる、複数の特定波長の赤外光源が得られる。
本発明によれば、構造が簡単であり、広い分野に応用することのできる、特定波長の赤外光源が得られる。
本発明によれば、構造が簡単であり、広い分野に応用することのできる、特定波長の赤外光源が得られる。
上記において説明した本発明による赤外光源の応用について以下に説明する。
二酸化炭素の検出器
二酸化炭素が特定の赤外光を吸収することを利用し、その波長の赤外線の減衰率を検出することにより、二酸化炭素濃度を検出する。
二酸化炭素が特定の赤外光を吸収することを利用し、その波長の赤外線の減衰率を検出することにより、二酸化炭素濃度を検出する。
このような光吸収法で測定する検出器においては、従来、光源としてレーザーやセラミック・ヒータなどが使用されている。レーザーを使用した場合は二酸化炭素の吸収が大きい波長でのレーザーが存在しないので、近い波長のレーザーを使用しているケースが多い。セラミック・ヒータの場合も二酸化炭素の吸収が大きい波長の光強度は全エネルギに対して小さい。本発明による赤外光源を使用することにより二酸化炭素の吸収が大きい波長にエネルギを集中して検出感度および精度を向上させることができる。
赤外線分光器
赤外線分光器においては、従来、シリコンカーバイド光源、ハロゲン光源、セラミック光源などが使用されており、これらの光源からの光を、フィルタや回折格子などを使用して分光する。本発明による赤外光源を使用することにより、フィルタや回折格子の負荷が軽減し、効率が向上する。
赤外線分光器においては、従来、シリコンカーバイド光源、ハロゲン光源、セラミック光源などが使用されており、これらの光源からの光を、フィルタや回折格子などを使用して分光する。本発明による赤外光源を使用することにより、フィルタや回折格子の負荷が軽減し、効率が向上する。
赤外線を利用した分析装置
赤外線を利用した分析装置は、シリコンカーバイド光源、ハロゲン光源、セラミック光源などからの光を、赤外線分光器で特定の波長成分に分離し、標本に照射し、標本の反射量や透過量を測定することにより、標本の状態を分析する。本発明による赤外光源を使用することにより、赤外線分光器の負荷が軽減し、場合によっては、赤外線分光器が不要となる。
赤外線を利用した分析装置は、シリコンカーバイド光源、ハロゲン光源、セラミック光源などからの光を、赤外線分光器で特定の波長成分に分離し、標本に照射し、標本の反射量や透過量を測定することにより、標本の状態を分析する。本発明による赤外光源を使用することにより、赤外線分光器の負荷が軽減し、場合によっては、赤外線分光器が不要となる。
路面状況取得装置
路面に、水分の吸収波長である2乃至7マイクロメータの赤外線を照射し、反射量をセンサによって観察することにより、路面状況に関する情報を取得する。また、土が吸収する波長の赤外線を路面に照射し、反射量をセンサによって観察することにより、路面状況に関する情報を取得する。
路面に、水分の吸収波長である2乃至7マイクロメータの赤外線を照射し、反射量をセンサによって観察することにより、路面状況に関する情報を取得する。また、土が吸収する波長の赤外線を路面に照射し、反射量をセンサによって観察することにより、路面状況に関する情報を取得する。
従来、光源としては発光ダイオードやレーザダイオードが使用されている。これらの光源は、特定の波長のものしか存在しない。本発明による赤外光源を使用することにより、任意の波長の光源が得られるので、路面状況に関する、より多くの情報を取得することができる。
赤外線を利用した治療のための医療器具
8乃至14マイクロ・メータの遠赤外線を人体に照射する医療器具が使用されている。光源としてはランプ、発光ダイオードおよびレーザダイオードなどが使用されている。発光ダイオードおよびレーザダイオードは、特定の波長のものしか存在しない。ランプの場合には、光の波長範囲が広いので、入力電力のほとんどが不要な光として放射されている。本発明による赤外光源を使用することにより、所望の波長の光源が得られるので、効率的に治療を行うことができる。
8乃至14マイクロ・メータの遠赤外線を人体に照射する医療器具が使用されている。光源としてはランプ、発光ダイオードおよびレーザダイオードなどが使用されている。発光ダイオードおよびレーザダイオードは、特定の波長のものしか存在しない。ランプの場合には、光の波長範囲が広いので、入力電力のほとんどが不要な光として放射されている。本発明による赤外光源を使用することにより、所望の波長の光源が得られるので、効率的に治療を行うことができる。
糖度計
糖度計は、赤外光を対象物に照射し、透過量または吸収量を測定することにより糖度または酸度を測定する。光源としては、従来、ハロゲンランプ、発光ダイオードおよびレーザダイオードなどが使用されている。ハロゲンランプなどを使用すると、冷却装置が必要となり装置が大型化する。発光ダイオードおよびレーザダイオードは、特定の波長のものしか存在しない。本発明による赤外光源を使用することにより、所望の波長の光源が得られるので、糖度に関する、より多くの情報を取得することができる。
糖度計は、赤外光を対象物に照射し、透過量または吸収量を測定することにより糖度または酸度を測定する。光源としては、従来、ハロゲンランプ、発光ダイオードおよびレーザダイオードなどが使用されている。ハロゲンランプなどを使用すると、冷却装置が必要となり装置が大型化する。発光ダイオードおよびレーザダイオードは、特定の波長のものしか存在しない。本発明による赤外光源を使用することにより、所望の波長の光源が得られるので、糖度に関する、より多くの情報を取得することができる。
水分計
水分計は、赤外光を対象物に照射し、水分子による吸収量を測定することによって水分量を測定する。光源としては、従来、ハロゲンランプなどが使用されている。ハロゲンランプは、光の波長範囲が広いので、入力電力のほとんどが不要な光として放射されている。本発明による赤外光源を使用することにより、所望の波長の光源が得られるので、効率的に水分量を測定することができる。
水分計は、赤外光を対象物に照射し、水分子による吸収量を測定することによって水分量を測定する。光源としては、従来、ハロゲンランプなどが使用されている。ハロゲンランプは、光の波長範囲が広いので、入力電力のほとんどが不要な光として放射されている。本発明による赤外光源を使用することにより、所望の波長の光源が得られるので、効率的に水分量を測定することができる。
赤外線物体検出システム
赤外光の光源を備えた投光器と赤外光のセンサ備えた受光器からなる。光源から射出された赤外光が、光径路中の物体によって遮蔽されセンサによって検出されない場合に、物体が存在することを検出する。光径路に反射板を備え、投光器と受光器を一体型としたものもある。本発明による赤外光源を使用することにより、たとえば、太陽光や照明光のスペクトル成分が小さい波長を選択して使用することが可能となり、太陽光や照明光によるノイズを低減することができる。
赤外光の光源を備えた投光器と赤外光のセンサ備えた受光器からなる。光源から射出された赤外光が、光径路中の物体によって遮蔽されセンサによって検出されない場合に、物体が存在することを検出する。光径路に反射板を備え、投光器と受光器を一体型としたものもある。本発明による赤外光源を使用することにより、たとえば、太陽光や照明光のスペクトル成分が小さい波長を選択して使用することが可能となり、太陽光や照明光によるノイズを低減することができる。
車載レーダ
車載レーダは、ミリ波や赤外光を発射し、その反射を測定することにより、たとえば、先行車や障害物の位置を検出するのに使用される。車載レーダとして、高価なミリ波レーダに代わり、発光ダイオードやレーザダイオード光源のレーダが使用され始めている。発光ダイオードおよびレーザダイオードは、特定の波長のものしか存在しない。本発明による赤外光源を使用することにより、所望の波長の光源が得られるので、より多くの情報を取得することができる。
車載レーダは、ミリ波や赤外光を発射し、その反射を測定することにより、たとえば、先行車や障害物の位置を検出するのに使用される。車載レーダとして、高価なミリ波レーダに代わり、発光ダイオードやレーザダイオード光源のレーダが使用され始めている。発光ダイオードおよびレーザダイオードは、特定の波長のものしか存在しない。本発明による赤外光源を使用することにより、所望の波長の光源が得られるので、より多くの情報を取得することができる。
Claims (5)
- 発熱体と、正の誘電体として機能する部分および負の誘電体として機能する部分を一定方向に一定周期で交互に形成した格子とを備え、前記発熱体の放射エネルギを、前記格子の配列方向と直交する偏光面を有する、前記格子の形状によって定まる特定の波長の赤外線に集中させて放射する赤外光源。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007138959A JP2007324126A (ja) | 2006-05-26 | 2007-05-25 | 赤外光源 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2006/310575 WO2007141826A1 (ja) | 2006-05-26 | 2006-05-26 | 赤外光源 |
PCT/JP2006/324023 WO2007138726A1 (ja) | 2006-05-26 | 2006-11-30 | 赤外光源 |
JP2007138959A JP2007324126A (ja) | 2006-05-26 | 2007-05-25 | 赤外光源 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007324126A true JP2007324126A (ja) | 2007-12-13 |
Family
ID=38856712
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007138959A Pending JP2007324126A (ja) | 2006-05-26 | 2007-05-25 | 赤外光源 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007324126A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011185781A (ja) * | 2010-03-09 | 2011-09-22 | Asahi Kasei Corp | 電磁波集光シート |
JP2012083335A (ja) * | 2010-09-13 | 2012-04-26 | Yazaki Corp | 赤外光源 |
JP2014013731A (ja) * | 2012-07-05 | 2014-01-23 | Panasonic Corp | 光源装置 |
JP2015148581A (ja) * | 2014-02-10 | 2015-08-20 | 矢崎総業株式会社 | 赤外光源 |
-
2007
- 2007-05-25 JP JP2007138959A patent/JP2007324126A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011185781A (ja) * | 2010-03-09 | 2011-09-22 | Asahi Kasei Corp | 電磁波集光シート |
JP2012083335A (ja) * | 2010-09-13 | 2012-04-26 | Yazaki Corp | 赤外光源 |
JP2014013731A (ja) * | 2012-07-05 | 2014-01-23 | Panasonic Corp | 光源装置 |
JP2015148581A (ja) * | 2014-02-10 | 2015-08-20 | 矢崎総業株式会社 | 赤外光源 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2007138726A1 (ja) | 赤外光源 | |
KR102293477B1 (ko) | 광학 특성 측정 시스템의 교정 방법 | |
CN102472714B (zh) | X射线装置、其使用方法以及x射线照射方法 | |
WO2007139022A1 (ja) | 赤外光源およびその製造方法 | |
CN108107013A (zh) | 用于生物组织样品的非侵入式测量的紧凑光谱仪系统 | |
JP2007324126A (ja) | 赤外光源 | |
WO2010082852A1 (en) | Led based coded-source spectrometer | |
JP2013167496A (ja) | 赤外線光源 | |
JP6500474B2 (ja) | 光学分析装置 | |
KR20200121631A (ko) | 초박막 렌즈를 이용한 멀티 가스 센서의 제조방법 | |
CN110087541B (zh) | 生物体物质测定装置 | |
US20140118743A1 (en) | Optical measuring apparatus and optical measuring method | |
CN102216727A (zh) | 用于通过干涉法光学测量对象厚度的方法、测量配置以及设备 | |
JP2004333131A (ja) | 全反射蛍光xafs測定装置 | |
JP2626009B2 (ja) | 粒度分布測定装置 | |
US10337917B2 (en) | Adjustable multi-wavelength lamp | |
JP2011028132A (ja) | テラヘルツ波装置 | |
JPH08503301A (ja) | 調節段階格子を用いる光学的スペクトル分析器と符号器 | |
JP2014123476A (ja) | 赤外線光源及び該赤外線光源を用いたセンサ及びガスセンサ | |
RU2622239C1 (ru) | Устройство для бесконтактного измерения температуры объекта | |
KR101816027B1 (ko) | 자외선 광의 파워 측정장치 | |
JP6681632B2 (ja) | 光学特性測定システムの校正方法 | |
JP6833224B2 (ja) | 光学測定装置 | |
JP2024004579A (ja) | 温度測定装置、局所加熱システムおよび温度測定方法 | |
JPS5852547A (ja) | 半導体結晶中の不純物濃度分布測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071206 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20071206 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20071206 |