JP5487521B2 - 蒸気乾燥装置、および、それを用いた製造方法 - Google Patents
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Description
前記被乾燥物および前記蒸気を収容する処理槽と、
該処理槽内に設置され、前記蒸気を前記被乾燥物の表面に導入するための孔を有する蒸気導入部材とを備えることを特徴とする蒸気乾燥装置である。
前記蒸気導入部材は、前記蒸気が発生する部位から前記被乾燥物が設置される部位への前記蒸気の流れを生じさせることが好ましい。
また、本発明は、水での洗浄が必要な製品の製造方法であって、
前記製品を水で洗浄した後に、請求項1に記載の蒸気乾燥装置を用いて前記製品を乾燥する工程を含む、製造方法にも関する。
以下、本発明の蒸気乾燥装置の一実施形態について、図面に基づいて具体的に説明する。
(1) 蒸気導入部材401に、ウエハ300が入ったカセット301をセットする。
(2) 昇降機構により冷却蛇管101上方から一体となったカセット301と蒸気導入部材401を、IPA液面と冷却蛇管101より規定される空間に入れる。
(3) カセット301と蒸気導入部材401が上記空間にてIPA蒸気に曝される。
(4) カセット301内のウエハ300表面の水分は蒸気導入部材401により整流されたIPA蒸気と置換される。
(5) 昇降機構によりカセット301と蒸気導入部材401を上記空間から出す。
図6に、蒸気導入部材401の孔411の開口率と、蒸気導入部材401を用いてウエハの処理を行った後の異物検査結果との関係を示す。ここで、孔411の開口率とは、蒸気導入部材401の底板部分の面積に対する孔411の開口部面積の比率である。なお、蒸気導入部材401の孔の数は一定(64個/m2)とし、孔の径を変化させることにより、各々の開口率(5、10、15、20、25、30、40、50、70、100%)を有する蒸気導入部材を作製した。
Claims (6)
- 水で洗浄された被乾燥物を有機溶剤の蒸気中に曝し、前記被乾燥物の表面で前記蒸気を凝縮させることにより、前記被乾燥物の表面に残留する水分を前記有機溶剤で置換した後に、前記被乾燥物の表面の前記有機溶剤を揮発させることによって、前記被乾燥物を乾燥する蒸気乾燥方法に用いられる蒸気乾燥装置であって、
前記被乾燥物および前記蒸気を収容する処理槽と、
該処理槽内に設置され、前記蒸気を前記被乾燥物の表面に導入するための孔を有する蒸気導入部材とを備え、
前記蒸気導入部材は、前記被乾燥物が設置される部位の下側、かつ、前記蒸気が発生する部位の上側に設置され、
前記蒸気導入部材全体の水平投影面積に対する、前記孔の水平投影面積の合計値の比率が20%以下である、蒸気乾燥装置。 - 前記蒸気導入部材が、前記蒸気が発生する部位から前記被乾燥物が設置される部位への前記蒸気の流れを生じさせる、請求項1に記載の蒸気乾燥装置。
- さらに、前記被乾燥物の表面の前記水分と前記有機溶剤との混合物を回収し、前記処理槽の外部へ排出するための排出手段を、前記蒸気導入部材の下側に備える、請求項1に記載の蒸気乾燥装置。
- 前記蒸気導入部材の孔が、前記混合物を前記排出手段によって排出するための排出孔を兼ねる、請求項3に記載の蒸気乾燥装置。
- 前記有機溶剤は、イソプロピルアルコールである、請求項1〜4のいずれか1項に記載の蒸気乾燥装置。
- 水での洗浄が必要な製品の製造方法であって、
前記製品を水で洗浄した後に、請求項1に記載の蒸気乾燥装置を用いて前記製品を乾燥する工程を含む、製造方法。
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