JP5483950B2 - 光学部品保持装置 - Google Patents
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Description
2 ベース
3 可動部
4 板ばね
5 球座
6 ストッパ
10 永久磁石
11、12 ヨーク
13 ロータリーアクチュエータ
16 回転ストッパ
100 レーザー干渉測長計
106 反射ミラー
110 マウント
Claims (5)
- 干渉光学系の光学部品を保持する光学部品保持装置であって、
ベースと、
前記ベースに対し、対向して懸架された一対の弾性部材を介して、前記一対の弾性部材同士を結ぶ第一の方向の剛性よりも、前記第一の方向に対して交差する第二の方向の剛性の方が低くなるように振動可能に支持された可動部と、
前記可動部を吸引するための吸引力を発生する吸引力発生手段と、
前記可動部に光学部品を固定するための固定手段と、
前記可動部を振動させるために、前記吸引力発生手段の吸引力を解除する吸引力解除手段と、を有し、
前記可動部は、前記干渉光学系の光学部品の測定方向と前記第二の方向とが一致するように前記干渉光学系の光学部品を取り付ける取付部を備えていることを特徴とする光学部品保持装置。 - 前記吸引力発生手段によって吸引された前記可動部の静止位置を規定するストッパがさらに設けられていることを特徴とする請求項1記載の光学部品保持装置。
- 前記吸引力は、磁気回路によって発生する磁気吸引力であることを特徴とする請求項1または2に記載の光学部品保持装置。
- 前記吸引力発生手段は、
前記可動部に取付けられた第1のヨークと、
前記ベースに取付けられた第2のヨークと、
前記第1及び前記第2のヨークの間に、回転自在に支持された永久磁石と、を備え、
前記吸引力解除手段は、
前記永久磁石を回転させるロータリーアクチュエータを備えたことを特徴とする請求項3に記載の光学部品保持装置。 - 請求項1ないし4のいずれか1項に記載の光学部品保持装置と、レーザー干渉測長計と、反射ミラーと、を有する干渉光学系において、
前記光学部品保持装置によって保持された光学部品は、前記レーザー干渉測長計又は前記反射ミラーであることを特徴とする干渉光学系。
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