JP4135054B2 - 光干渉計用移動ミラー支持装置 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば光干渉計を有する分光分析計に関し、特に、その移動ミラー支持装置の動作安定に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
光干渉計を用いる分光分析計や各種測定器においては、その移動ミラーの駆動部および支持部にμmオーダーの移動精度が要求される。しかし、プラント現場等で使用する場合、環境振動の影響で精度の高い測定ができないという問題があった。その問題を解決するために板バネを平行に配置して移動ミラーを支持することにより、その移動方向以外の方向に対する剛性を高めたものがある。
【０００３】
図１０は分光分析計の分光計として最も利用されている、Michelson干渉計の要部構成図である。
図１０において、光源１からの光がコリメートレンズ２で平行光束とされ、その平行光束がビームスプリッタ３で２光束に分けられる。移動ミラー４、固定ミラー５はそれぞれの光束を元の方向に戻してビームスプリッタ３の上で重ねあわせ、その時にできる干渉光を利用して測定体（図示省略）の物性が測定される。
【０００４】
図１１（ａ）はこのような干渉計に用いられる移動ミラーの従来の支持装置の側面図を示すもので、移動ミラー４は基体１０に平行に取り付けた２枚の板バネ１１によって上部から吊り下げられている。２枚の板バネで吊り下げることで移動ミラー４が動作したときに生じる回転運動を抑制することができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
このような干渉計を分光分析計に適用する場合、移動ミラーは図示しないボイスコイルなどにより例えば０．３ｍｍ，２Ｈｚ程度で強制的に横方向に駆動される。このような構成で、干渉計の分解能を上げるためには移動ミラーの振幅（横方向の動き）を大きくする必要がある。
【０００６】
しかしながら、移動ミラー４の振幅を大きくすると、図１１（ｂ）に示すように板バネ１１の変形が大きくなり、移動ミラー４が横方向だけでなく、縦方向にも変位するようになる。そして、縦方向への変位が起きると戻り光の光軸がずれてしまうという問題があった。また、移動ミラーの初期駆動時にオーバシュートにより移動ミラーが他の部品に衝突し光軸がずれてしまうという問題もあった。
【０００７】
本発明は上記問題点を解決するためになされたもので、分解能を上げるために横方向の振幅を大きくしても縦方向への変位がなく、移動ミラーの初期駆動時のオーバシュートを防止した光干渉計用移動ミラー支持装置を実現することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するために本発明の光干渉計用移動ミラー支持装置では、請求項１においては、
同形状で同様の弾性係数を有する４枚の板バネを有しており、
前記板バネの２枚で構成され、それぞれの一端が基体に固定され、前記２枚の板バネが所定の間隔を保って平行に、かつ前記基体に対して垂直に配置された第１板バネと、
前記第１板バネのそれぞれの他端に水平に固定された連結板と、
前記板バネの他の２枚で構成され、前記第１板バネの内側であって前記連結板にそれぞれの一端が固定され、前記基体側に向かって前記第１板バネに対して平行にかつ、所定の間隔を保持し、バネの有効長（Ｌ）が前記第１板バネと同一長さになるように配置された第２板バネと、
前記第２板バネのそれぞれの他端に固定された移動ミラーと、
前記連結板の側面に取り付けられた緩衝器と、
からなり、
前記緩衝器は移動ミラーを駆動する際に生じる振動を抑制するように構成したことを特徴とする。
【０００９】
請求項２においては光干渉計用移動ミラー支持装置において、
同形状で同様の弾性係数を有する４枚の板バネを有しており、
前記板バネの２枚で構成され、それぞれの一端が基体に固定され、前記２枚の板バネが所定の間隔を保って平行に、かつ前記基体に対して垂直に配置された第１板バネと、
前記第１板バネのそれぞれの他端に水平に固定された連結板と、
前記板バネの他の２枚で構成され、前記第１板バネの内側であって前記連結板にそれぞれの一端が固定され、前記基体側に向かって前記第１板バネに対して平行にかつ、所定の間隔を保持し、バネの有効長（Ｌ）が前記第１板バネと同一長さになるように配置された第２板バネと、
前記第２板バネのそれぞれの他端に固定された移動ミラーと、
前記連結板の側面に取り付けられた変位計１５ａと、
前記変位計からの信号を入力する制御装置１６ａと、
前記制御装置からの信号入力するアクチュエータ１７ａからなり、
前記制御装置は前記変位計からの信号をもとに、前記移動ミラーを駆動する際に生じる連結板の移動が移動ミラーの動きの１／２になるように抑制することを特徴とする。
【００１０】
請求項３においては光干渉計用移動ミラー支持装置において、
同形状で同様の弾性係数を有する４枚の板バネを有しており、
前記板バネの２枚で構成され、それぞれの一端が基体に固定され、前記２枚の板バネが所定の間隔を保って平行に、かつ前記基体に対して垂直に配置された第１板バネと、
前記第１板バネのそれぞれの他端に水平に固定された連結板と、
前記板バネの他の２枚で構成され、前記第１板バネの内側であって前記連結板にそれぞれの一端が固定され、前記基体側に向かって前記第１板バネに対して平行にかつ、所定の間隔を保持し、バネの有効長（Ｌ）が前記第１板バネと同一長さになるように配置された第２板バネと、
前記第２板バネのそれぞれの他端に固定された移動ミラーと、
前記移動ミラーの変位を監視する変位計１５ｂと、
前記変位計からの信号を入力する移動鏡制御装置１６ｂと、
前記移動鏡制御装置からの出力信号を入力する連結板制御装置１６ｃと
前記連結板の側面に取り付けられ前記連結板制御装置の出力に関連して制御されるアクチュエータ１７ａと、
前記移動ミラーに取り付けられ前記移動鏡制御装置の出力に関連して制御されるアクチュエータ１７ｂと、
からなり、前記連結板制御装置および前記移動鏡制御装置は前記変位計からの信号をもとに所定の振幅比で前記アクチュエータ１７ａ，１７ｂを制御するように構成したことを特徴とする。
【００１１】
請求項４においては光干渉計用移動ミラー支持装置において、
同形状で同様の弾性係数を有する４枚の板バネを有しており、
前記板バネの２枚で構成され、それぞれの一端が基体に固定され、前記２枚の板バネが所定の間隔を保って平行に、かつ前記基体に対して垂直に配置された第１板バネと、
前記第１板バネのそれぞれの他端に水平に固定された連結板と、
前記板バネの他の２枚で構成され、前記第１板バネの内側であって前記連結板にそれぞれの一端が固定され、前記基体側に向かって前記第１板バネに対して平行にかつ、所定の間隔を保持し、バネの有効長（Ｌ）が前記第１板バネと同一長さになるように配置された第２板バネと、
前記第２板バネのそれぞれの他端に固定された移動ミラーと、
前記連結板および移動ミラーの動きを監視する変位計（１５ａ，１５ｂ）と、
これらの変位計の出力を入力する制御装置（１６ｄ）と、
前記制御装置１６ｄの出力に関連して前記連結板を移動させるアクチュエータ（１７ａ）と、
前記制御装置１６ｄの出力に関連して移動ミラー制御装置を介して前記移動ミラーを移動させるアクチュエータ（１７ｂ）と、
からなり、
前記制御手段１６ｄは前記変位計からの出力信号に基づいて前記連結板と移動ミラーの変位が所定の比率になるように前記アクチュエータ（１７ａ，１７ｂ）を制御するように構成したことを特徴とする。
【００１２】
請求項５においては請求項２乃至４のいずれかに記載の光干渉計用移動ミラー支持装置において、
前記移動ミラーまたは連結板の少なくとも一方に制御目標を徐々に変化させる初期オーバシュート防止手段を設けたことを特徴とする。
【００１３】
請求項６においては請求項５に記載の光干渉計用移動ミラー支持装置において、
初期オーバシュート防止手段として移動ミラーまたは連結板を駆動させる駆動系の少なくとも一方に制御目標を徐々に変化させるスロースタート機能を設けたことを特徴とする。
【００１４】
請求項７においては光干渉計用移動ミラー支持装置において、
初期オーバシュート防止手段として移動ミラーまたは連結板を駆動させる駆動系の少なくとも一方に駆動系のゲインを徐々に変化させるゲイン可変アンプを設けたことを特徴とする。
【００１５】
請求項８においては請求項５に記載の光干渉計用移動ミラー支持装置において、
初期オーバシュート防止手段として移動ミラーまたは連結板を駆動させる駆動系の少なくとも一方に位置（振幅）の操作量を制限するリミッタを設けたことを特徴とする。
【００１６】
請求項９においては請求項５に記載の光干渉計用移動ミラー支持装置において、
初期オーバシュート防止手段として、
（１）移動ミラーまたは連結板の少なくとも一方の位置（振幅）の制御目標を徐々に変化させるスロースタート機能、
（２）移動ミラーまたは連結板を駆動させる駆動系の少なくとも一方に駆動系のゲインを徐々に変化させるゲイン可変アンプ、
（３）移動ミラーまたは連結板を駆動させる駆動系の少なくとも一方に位置（振幅）の操作量を制限するリミッタ、のうち２以上を組み合わせて設けたことを特徴とする。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、図面を用いて本発明を説明する。図１は本発明の実施の形態の一例を示す側面図である。
図１（ａ）において、図１１と同一要素には同一符号を付している。この実施例では同形状で同様の弾性係数を有する板バネが４枚使用され、外側の２枚の第１板バネ１１ａの一端が固定部材１０ａを介して基体１０に垂直に固定され、他端に連結板１２の両端が固定されて連結板１２を水平に支持している。
【００２０】
内側の２枚の第２板バネ１１ｂの一端は連結板１２に固定され、他端には移動ミラー４が吊り下げられた状態で固定されている。それぞれの板バネは平行にかつ、所定の間隔を保って全て有効長（Ｌ）を有するように形成されている。
【００２１】
図１（ｂ）はボイスコイル（図示省略）により移動ミラー４に矢印Ｘで示す横方向に振幅の大きな（例えば振幅３ｍｍ，２Ｈｚ程度）の力を加えた状態を示す断面図である。この場合、外側の第１板バネ１１ａと内側の第２板バネ１１bの長さ方向に対する湾曲が同程度となり、移動ミラー４の上下方向の移動は生じない。
【００２２】
即ち、移動ミラー４は矢印Ｘ方向に対して直線運動をすることができ、戻り光の光軸のずれがなく正確に干渉光を得ることができる。
図２はこのような支持装置の板バネの動きを説明するためのもので、移動ミラー４が例えば点線の方向に移動した場合、移動ミラー４の移動距離（ｄ２）は連結板１２の移動距離の２倍（ｄ１×２）となる。
【００２３】
しかし、この動きの比は外乱や板バネの振動により正確に維持されない場合があり、精度の高い振幅（移動ミラーの横方向の動き）が維持できず、その結果、精度の高い干渉光を得られないことがある。
【００２４】
図３はそのような板バネ１１ａ，１１ｂの振動を抑制するために連結板１２の動きを規制するための緩衝器１３を設けたものである。この緩衝器１３は連結板１２の側面に取付けられており、緩衝器１３を取付けたことにより連結板１２と移動ミラー４との変位の比がくずれ移動ミラー４に縦方向の変位が発生するが、この変位は精度に影響しない程度の力で接触するように設計されている。
【００２５】
このように連結板１２の動きを規制する緩衝器１３を取り付けることで、移動ミラーを駆動する際に生じる振動を抑制し、安定した動作を得ることができる。
図４は連結板１２の側面に変位計１５ａを取り付け、その信号をもとに移動ミラー４を駆動（駆動手段は省略）する際に生じる板バネ１１ａ，１１ｂの振動を制御装置１６ａとアクチュエータ（ボイスコイル）１７ａで抑制するようにしたもので、具体的には制御装置１６ａは連結板１２の移動が移動ミラー４の動きの１／２になるように制御する。
【００２６】
図５は移動ミラー４の変位を監視する変位計１５ｂを取り付け、変位計１５ｂからの信号をもとに移動ミラー制御装置１６ｂにより移動ミラー４を駆動するとともに、その信号を連結板制御装置１６ｃに入力して所定の振幅比でアクチュエータ１７ａ，１７ｂを制御するようにしたもので、図４に示す実施例と同様安定した動作を得ることができる。
【００２７】
図６は更に他の実施例を示すもので、この実施例においては連結板１２と移動ミラー４の両方の動きを変位計１５ａ，１５ｂにより監視している。制御装置１６ｄはこれらの変位計からの信号を入力しその変位が所定の比率（１：２）になるように連結板の１２のアクチュエータ１７ａを駆動するとともに移動ミラー制御装置１６ｂを介して移動ミラーのアクチュエータ１７ｂを駆動する。このような構成によれば更に安定した動作を得ることができる。
【００２８】
ところで、先にも述べたように移動ミラー４はボイスコイル１７ｂなどにより例えば２Ｈｚ程度で強制的に横方向に駆動される。そして、この駆動信号としては図７（ａ，ｂ）に示すような正弦波や三角波が用いられる。
駆動信号として例えば図７（ｂ）の三角波を用いたとすると、起動時等においてａ〜ｃの途中で初期値が印加されることとなる。
【００２９】
その場合、aで示すタイミングで駆動信号が入力されるとアクチュエータ（ボイスコイル）１７ｂには徐々に電力が印加される。しかし例えばｃで示すタイミングで駆動信号が入力された場合アクチュエータには急激に電力が加わることになり、移動ミラー４が急激に変動する。この急激な変動は移動ミラー４を設定された位置から大きくオーバシュートさせて他の部品に衝突させるる可能性がある。
その結果、光学系の光軸がずれてＳ／Ｎが悪化するという問題が生じる。
【００３０】
図８はこのような問題を解決した出力制限（初期オーバシュート防止）手段を有する制御系の一実施例を示す構成ブロック図である。図において、２０は目標信号であり、移動ミラーの振幅及び周期を出力する駆動信号源（例えば三角波発生手段）として機能する。この目標信号は複数段（例えば４段）に切換え可能となっており、はじめは低い目標に設定されている。
【００３１】
１５ｂは移動ミラーの位置を検出してその位置に応じた所定の信号を出力する変位計、２２は駆動信号と変位計からの信号の偏差を演算する加算器、２３は駆動系２４で生じる様々な（例えば移動ミラーに共振が生じるような）信号を除去するサーボ用フィルタ、２５はサーボ用フィルタの後段に配置され任意にゲインを与えるゲイン可変アンプ、２６は出力の最大値を所定の振幅となるように制限するリミッタであり、このリミッタで制限された信号が制御信号として駆動系に出力される。
【００３２】
２７はスロースタート手段であり、例えば図９のように構成されている。
３０は電源であり、この電源３０の電圧がスイッチ３１を介して一端が接地されたコンデンサ２８の他端及びトランジスタ２９のベースに印加されている。
図９において、はじめ、スイッチ３１は点線のようにオンとされている。この時点では電源の電圧はコンデンサ２８を充電するのでトランジスタ２９のベースに印加される電圧は零である。
【００３３】
次にコンデンサが充電されたらトランジスタ２９のベースに電圧が印加されるので駆動信号源２０の三角波は必ず零（図７ｂで示す）a点から始まることとなる。更に、移動ミラーの振幅及び周期を出力する駆動信号源２０ははじめ最小振幅（低い目標）に設定とされている。このようにすることにより駆動信号源２０からの信号と変位計からの信号との差を小さくすることができる。
【００３４】
また、ゲイン可変アンプ２５は例えば２段切替えになっており、はじめは低いゲインに設定されている。駆動信号源２０からの信号と変位計からの信号との差が十分小さくなった状態で駆動信号源２０とゲイン可変アンプ２５のゲインを所定の値に変更する。
これら単体または複合的な構成により移動ミラー４の初期オーバシュートを抑制することができる。
なお、このような初期オーバシュートを抑制する構成の制御装置は連結板の制御装置側にも用いることができる。
【００３５】
なお、本発明の以上の説明は、説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。したがって本発明はその本質から逸脱せずに多くの変更、変形をなし得ることは当業者に明らかである。例えば実施例で示した移動ミラーの移動距離や移動周期（Ｈｚ）、部品の取付け位置などは必要に応じて任意に変更可能であり、要は横方向の振幅により上下方向の変位がないような構成であればよい。また、図8に示すスロースタート手段、ゲイン可変アンプ、リミッタはいずれか一つまたは2以上の組み合わせであっても良い。
【００３６】
また、適用製品も分光分析計に限ることなく、例えば波長測定装置，ＯＴＤＲ装置などにも適用可能である。特許請求の範囲の欄の記載により定義される本発明の範囲は、その範囲内の変更、変形を包含するものとする。
【００３７】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の請求項１によれば、板バネを２重に取り付けることで、移動ミラーの移動距離を長くしても直線運動させることができ、分光分析計の分解能を向上させることができる。そして、連結板に緩衝器を接触させることで、移動ミラーを駆動する際に生じる板バネの振動を抑制し、安定した動作を得ることができる。
【００３８】
また、請求項２ , ３，４によれば連結板や移動ミラーの変位を監視して振動を制御装置によって制御することで、移動ミラーを駆動する際に生じる板バネの振動を抑制し、安定した動作を得ることができる。
【００３９】
また、請求項５〜９によれば、移動ミラーまたは連結板の少なくとも一方に出力制限（初期オーバシュート防止）手段を設けたのでこれらが他の部品に衝突することがなく、光軸のずれを防止することができる。
【００４０】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る光干渉計用移動ミラー支持装置の実施形態の一構成例を示す側面図である。
【図２】移動ミラー支持装置の板バネの動きを説明するための図である。
【図３】他の実施例を示す側面図である。
【図４】他の実施例を示す側面図である。
【図５】他の実施例を示す側面図である。
【図６】他の実施例を示す側面図である。
【図７】移動ミラーを駆動する波形を示す図である。
【図８】制御系の一実施例を示す構成ブロック図である。
【図９】初期オーバシュート防止手段の一例を示す図である。
【図１０】光干渉計用移動ミラー支持装置の従来例を示す側面図である。
【図１１】光干渉計用移動ミラー支持装置の従来例を示す側面図である。
【符号の説明】
１ 光源
２ コリメートレンズ
３ ビームスプリッタ
４ 移動ミラー
５ 固定ミラー
１０ 基体
１１ａ 第１板バネ
１１ｂ 第２板バネ
１２ 連結板
１５ａ，１５ｂ 変位計
１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄ 制御装置
２０ 駆動信号源
２２ 加算器
２３ サーボ用フィルタ
２４ 駆動系
２５ ゲイン可変アンプ
２６ リミッタ
２７ スロースタート手段

Claims (9)

1. 同形状で同様の弾性係数を有する４枚の板バネを有しており、
   前記板バネの２枚で構成され、それぞれの一端が基体に固定され、前記２枚の板バネが所定の間隔を保って平行に、かつ前記基体に対して垂直に配置された第１板バネと、
   前記第１板バネのそれぞれの他端に水平に固定された連結板と、
   前記板バネの他の２枚で構成され、前記第１板バネの内側であって前記連結板にそれぞれの一端が固定され、前記基体側に向かって前記第１板バネに対して平行にかつ、所定の間隔を保持し、バネの有効長（Ｌ）が前記第１板バネと同一長さになるように配置された第２板バネと、
   前記第２板バネのそれぞれの他端に固定された移動ミラーと、
   前記連結板の側面に取り付けられた緩衝器と、
   からなり、
   前記緩衝器は移動ミラーを駆動する際に生じる振動を抑制するように構成したことを特徴とする光干渉計用移動ミラー支持装置。
2. 同形状で同様の弾性係数を有する４枚の板バネを有しており、
   前記板バネの２枚で構成され、それぞれの一端が基体に固定され、前記２枚の板バネが所定の間隔を保って平行に、かつ前記基体に対して垂直に配置された第１板バネと、
   前記第１板バネのそれぞれの他端に水平に固定された連結板と、
   前記板バネの他の２枚で構成され、前記第１板バネの内側であって前記連結板にそれぞれの一端が固定され、前記基体側に向かって前記第１板バネに対して平行にかつ、所定の間隔を保持し、バネの有効長（Ｌ）が前記第１板バネと同一長さになるように配置された第２板バネと、
   前記第２板バネのそれぞれの他端に固定された移動ミラーと、
   前記連結板の側面に取り付けられた変位計１５ａと、
   前記変位計からの信号を入力する制御装置１６ａと、
   前記制御装置からの信号入力するアクチュエータ１７ａからなり、
   前記制御装置は前記変位計からの信号をもとに、前記移動ミラーを駆動する際に生じる連結板の移動が移動ミラーの動きの１／２になるように抑制することを特徴とする光干渉計用移動ミラー支持装置。
3. 同形状で同様の弾性係数を有する４枚の板バネを有しており、
   前記板バネの２枚で構成され、それぞれの一端が基体に固定され、前記２枚の板バネが所定の間隔を保って平行に、かつ前記基体に対して垂直に配置された第１板バネと、
   前記第１板バネのそれぞれの他端に水平に固定された連結板と、
   前記板バネの他の２枚で構成され、前記第１板バネの内側であって前記連結板にそれぞれの一端が固定され、前記基体側に向かって前記第１板バネに対して平行にかつ、所定の間隔を保持し、バネの有効長（Ｌ）が前記第１板バネと同一長さになるように配置された第２板バネと、
   前記第２板バネのそれぞれの他端に固定された移動ミラーと、
   前記移動ミラーの変位を監視する変位計１５ｂと、
   前記変位計からの信号を入力する移動鏡制御装置１６ｂと、
   前記移動鏡制御装置からの出力信号を入力する連結板制御装置１６ｃと
   前記連結板の側面に取り付けられ前記連結板制御装置の出力に関連して制御されるアクチュエータ１７ａと、
   前記移動ミラーに取り付けられ前記移動鏡制御装置の出力に関連して制御されるアクチュエータ１７ｂと、
   からなり、前記連結板制御装置および前記移動鏡制御装置は前記変位計からの信号をもとに所定の振幅比で前記アクチュエータ１７ａ，１７ｂを制御するように構成したことを特徴とする光干渉計用移動ミラー支持装置。
4. 同形状で同様の弾性係数を有する４枚の板バネを有しており、
   前記板バネの２枚で構成され、それぞれの一端が基体に固定され、前記２枚の板バネが所定の間隔を保って平行に、かつ前記基体に対して垂直に配置された第１板バネと、
   前記第１板バネのそれぞれの他端に水平に固定された連結板と、
   前記板バネの他の２枚で構成され、前記第１板バネの内側であって前記連結板にそれぞれの一端が固定され、前記基体側に向かって前記第１板バネに対して平行にかつ、所定の間隔を保持し、バネの有効長（Ｌ）が前記第１板バネと同一長さになるように配置された第２板バネと、
   前記第２板バネのそれぞれの他端に固定された移動ミラーと、
   前記連結板および移動ミラーの動きを監視する変位計（１５ａ，１５ｂ）と、
   これらの変位計の出力を入力する制御装置（１６ｄ）と、
   前記制御装置１６ｄの出力に関連して前記連結板を移動させるアクチュエータ（１７ａ）と、
   前記制御装置１６ｄの出力に関連して移動ミラー制御装置を介して前記移動ミラーを移動させるアクチュエータ（１７ｂ）と、
   からなり、
   前記制御手段１６ｄは前記変位計からの出力信号に基づいて前記連結板と移動ミラーの変位が所定の比率になるように前記アクチュエータ（１７ａ，１７ｂ）を制御するように構成したことを特徴とする光干渉計用移動ミラー支持装置。
5. 前記移動ミラーまたは連結板の少なくとも一方に制御目標を徐々に変化させる初期オーバシュート防止手段を設けたことを特徴とする請求項２乃至４のいずれかに記載の光干渉計用移動ミラー支持装置。
6. 初期オーバシュート防止手段として移動ミラーまたは連結板を駆動させる駆動系の少なくとも一方に制御目標を徐々に変化させるスロースタート機能を設けたことを特徴とする請求項５に記載の光干渉計用移動ミラー支持装置。
7. 初期オーバシュート防止手段として移動ミラーまたは連結板を駆動させる駆動系の少なくとも一方に駆動系のゲインを徐々に変化させるゲイン可変アンプを設けたことを特徴とする請求項５に記載の光干渉計用移動ミラー支持装置。
8. 初期オーバシュート防止手段として移動ミラーまたは連結板を駆動させる駆動系の少なくとも一方に位置（振幅）の操作量を制限するリミッタを設けたことを特徴とする請求項５に記載の光干渉計用移動ミラー支持装置。
9. 初期オーバシュート防止手段として、
   （１）移動ミラーまたは連結板の少なくとも一方の位置（振幅）の制御目標を徐々に変化させるスロースタート機能、
   （２）移動ミラーまたは連結板を駆動させる駆動系の少なくとも一方に駆動系のゲインを徐々に変化させるゲイン可変アンプ、
   （３）移動ミラーまたは連結板を駆動させる駆動系の少なくとも一方に位置（振幅）の操作量を制限するリミッタ、のうち２以上を組み合わせて設けたことを特徴とする請求項５に記載の光干渉計用移動ミラー支持装置。

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