JP5466958B2 - 超純水の比抵抗調整方法及び超純水処理装置 - Google Patents
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Description
また、微量のガス流量を制御する方法が難しいために、超純水を2つの流れに分配させて、一方の水には炭酸ガスを飽和に近い状態まで溶解させ、他方の水は炭酸ガスを含まない超純水とし、この両者を混合することで一定の比抵抗値の超純水を作る分配混合法もある。(例えば、特許文献3参照)。
[4] 前記モータ駆動ロータリーバルブの駆動にステッピングモ−タを用い、回転数を0〜150rpmの範囲内で調整可能なものである[2]又は[3]に記載の超純水処理装置。
[5] 前記ガス圧力調節弁が炭酸ガス圧力を0〜1.0MPaの範囲内で調節できるものである[2]〜[4]のいずれかに記載の超純水処理装置。
[6] 前記気液接触室が疎水性微多孔隔膜で気液界面を形成する[2]〜[5]のいずれか記載の超純水処理装置。
[7] 前記モータ駆動ロータリーバルブがペリスタポンプである[2]〜[6]のいずれかに記載の超純水処理装置。
ここで、疎水性微多孔隔膜22としては、ガスは透過するが超純水は透過しない隔膜を使用するが、具体的には、形状としては中空糸で、材質としてはポリプロピレンやPTFEといったものを使用することができる。また、比抵抗値を測定するには、公知の比抵抗計を使用することができる。
なお、ペリスタポンプは1回転あたりの体積流量1.35mlのものをステッピングモ−タ36で駆動し、該ステッピングモ−タは気液接触室20から放出する超純水の比抵抗値によってコントローラー40からの信号で回転数を0〜150rpmで制御した。この制御にはPID制御を使用した。
なお、図2及び後述の図3中の実線は比抵抗値を示し、点線は超純水量を示す。
また、当該実施例の構成は、主に炭酸ガス圧力調整弁とペリスタポンプとこのモ−タ回転数を制御する回転数制御手段との組合せからなるため、従来よりも比較的簡便そして安価な構成で、超純水の広範囲な流量変動に対しても十分良好な効果を発揮できることが確認できた。
10A・・液室
12・・・比抵抗計
20・・・気液接触室
22・・・疎水性微多孔隔膜
30・・・ガス流通路
30A・・気室
32・・・可変式ガス圧調整弁
34・・・ペリスタポンプ
36・・・ステッピングモ−タ
40・・・回転制御手段
Claims (7)
- 超純水に炭酸ガスを溶解して比抵抗値を調整する際に、供給する炭酸ガス圧力を調整してモータ駆動ロータリーバルブへ供給し、該モータ駆動ロータリーバルブの回転数に応じた炭酸ガスを気液接触室へ供給し、気液接触室から放出する超純水の比抵抗値を測定し、測定した比抵抗値をフィ−ドバックして前記モータ駆動ロータリーバルブの回転数を調整し、炭酸ガス溶解後の超純水比抵抗値を0.2〜1.0MΩ・cmの範囲で一定にすることを特徴とする超純水の比抵抗調整方法。
- 超純水が流通する超純水流通路と、炭酸ガスが流通するガス流通路と、前記超純水流通路及びガス流通路が接触してなる気液接触室とを有し、前記気液接触室よりも下流の前記超純水流通路に比抵抗計、前記気液接触室よりも上流の前記ガス流通路にガス圧力調節弁およびモータ駆動ロータリーバルブが設けられてなり、
前記ガス圧力調節弁により圧力が調整された炭酸ガスがモータ駆動ロータリーバルブへ供給され、該モータ駆動ロータリーバルブの回転数に応じた前記炭酸ガスが気液接触室へ供給される超純水処理装置。 - 前記モータ駆動ロータリーバルブは、回転数が0のとき圧力0.10MPa以下の炭酸ガスの流通を遮断する能力を有し、1回転あたりの体積流量が0.01〜50mlの範囲にある請求項2に記載の超純水処理装置。
- 前記モータ駆動ロータリーバルブの駆動にステッピングモ−タを用い、回転数を0〜150rpmの範囲内で調整可能なものである請求項2又は3に記載の超純水処理装置。
- 前記ガス圧力調節弁が炭酸ガス圧力を0〜1.0MPaの範囲内で調節できるものである請求項2〜4のいずれか1項に記載の超純水処理装置。
- 前記気液接触室が疎水性微多孔隔膜で気液界面を形成する請求項2〜5のいずれか1項に記載の超純水処理装置。
- 前記モータ駆動ロータリーバルブがペリスタポンプである請求項2〜6のいずれか1項に記載の超純水処理装置。
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