JP5464194B2 - 酸化物超電導薄膜線材 - Google Patents
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Description
金属基板とその上に設けられた中間層とを備える結晶配向基材上に酸化物超電導層が設けられている酸化物超電導薄膜線材であって、
前記酸化物超電導層と前記中間層のキャップ層との間に、前記酸化物超電導層と前記キャップ層との反応、もしくは前記酸化物超電導層と前記キャップ層との間における金属元素の拡散、による界面層が形成されていることを特徴とする酸化物超電導薄膜線材である。
前記界面層の厚みが、100nm以下であることを特徴とする第1の技術に記載の酸化物超電導薄膜線材である。
前記キャップ層の表面粗さRaが、10nm以下であることを特徴とする第1の技術または第2の技術に記載の酸化物超電導薄膜線材である。
前記キャップ層が、Mg、Sr、Ba、Al、Zr、Y、ランタノイド元素の1種以上の金属元素を含むことを特徴とする第1の技術ないし第3の技術のいずれか1項に記載の酸化物超電導薄膜線材である。
金属基板とその上に設けられた中間層とを備える結晶配向基材上にRE123(REBa 2 Cu 3 O 7−x :REはY元素及び希土類元素のうちの1つ以上の元素)で示される酸化物超電導層が設けられている酸化物超電導薄膜線材であって、
Baの比率が前記RE123の化学量論比よりも多くなるように原料が調整されることにより、前記酸化物超電導層が形成されていると共に、前記酸化物超電導層と前記中間層のキャップ層との間に、前記酸化物超電導層と前記キャップ層との反応、もしくは前記酸化物超電導層と前記キャップ層との間における金属元素の拡散、による界面層が形成されていることを特徴とする酸化物超電導薄膜線材である。
前記界面層の厚みが、100nm以下であることを特徴とする請求項1に記載の酸化物超電導薄膜線材である。
前記キャップ層の表面粗さRaが、10nm以下であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の酸化物超電導薄膜線材である。
前記キャップ層が、Mg、Sr、Ba、Al、Zr、Y、ランタノイド元素の1種以上の金属元素を含むことを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の酸化物超電導薄膜線材である。
以下の手順により、実施例および比較例のY123酸化物超電導薄膜線材を作製した。
(1)配向金属基材の準備
配向金属基材としては、2軸配向したNi層を持つクラッド金属基材を用いた。
前記配向金属基材の上に、スパッタ法を用いて、配向金属基材側からCeO2/YSZ/CeO2の順で、形成して、配向金属基板とした。なお、第1層目のCeO2のシード層は100nm、第2層目のYSZのバリア層は400nm、第3層目のCeO2のキャップ層は100nmの厚さで成膜した。
次に、キャップ層の上に、MOD法を用いて、以下の要領で、酸化物超電導層を作製した。
MOD溶液として、Y:Ba:Cu=1:2.2:3の比率(モル比)のMOD溶液を調整した。なおMOD溶液のY3+、Ba2+、Cu2+を合わせた総カチオン濃度を1mol/Lとした。
形成されたキャップ層の上に、前記MOD溶液を塗布し、乾燥させて塗膜を作製した。
塗膜が形成された基板を、大気雰囲気下、500℃、120分間の仮焼熱処理を行い、0.6μm厚のY123仮焼膜を作製した。
作製されたY123仮焼膜に対し、アルゴン・酸素混合ガス(酸素分圧10Pa)雰囲気下、830℃で90分間の本焼熱処理を行い、0.5μm厚のY−Ba−Cu−O酸化物超電導層を形成し、酸化物超電導薄膜線材を得た。
さらに保護層として、スパッタ法により銀層を形成し、酸素雰囲気中550℃に加熱し、5時間かけて実施例1の酸化物超電導薄膜線材を作製した。
中間層の形成のためのスパッタ条件および酸化物超電導層の形成のためのMOD法の条件を実施例1と変えて、実施例1より表面粗さRaの大きいRa25nmのキャップ層を形成したこと以外は実施例1と同様にして酸化物超電導薄膜線材を作製した。
酸化物超電導層の形成における本焼成処理時間を実施例1の90分間よりも長い180分間で本焼熱処理を行い、実施例1より厚い界面層を形成したこと以外は、実施例1と同様にして、酸化物超電導薄膜線材を作製した。
配向金属基板上に、PLD法により、0.5μm厚のY−Ba−Cu−O酸化物超電導層を形成したこと以外は、実施例1と同様にして、酸化物超電導薄膜線材を作製した。
(1)評価方法
(イ)断面構造観察
各実施例および比較例の酸化物超電導薄膜線材の断面構造をTEMにより観察した。
次に、各実施例および比較例の酸化物超電導薄膜線材の銀層表面と基板側表面のそれぞれに円柱状の金属棒を半田により貼り付け、線材厚み方向に除々に印加する力を強くすることにより剥離強度を測定した。
次に、各実施例および比較例の酸化物超電導薄膜線材について、直流四端子法を用いた通電法で、臨界電流値Icを測定した。
(イ)断面構造観察
実施例1〜3においては、キャップ層と酸化物超電導層の間にBa−Ce−Oからなる界面層が確認された。これに対して比較例においては、界面層が確認されなかった。
実施例1では48MPaのとき剥離し、キャップ層と界面層の境界で線材が破壊した。実施例2では、52MPaのとき、キャップ層と界面層の境界で線材が破壊した。実施例3では、66MPaのとき、金属基材とシード層で線材が破壊した。これに対して、比較例では、250MPaのとき剥離し、キャップ層と超電導層の境界で線材が破壊した。
実施例1では35Aであった。実施例2では、20Aであり、実施例3では、28Aであった。
Claims (4)
- 金属基板とその上に設けられた中間層とを備える結晶配向基材上にRE123(REBa 2 Cu 3 O 7−x :REはY元素及び希土類元素のうちの1つ以上の元素)で示される酸化物超電導層が設けられている酸化物超電導薄膜線材であって、
Baの比率が前記RE123の化学量論比よりも多くなるように原料が調整されることにより、前記酸化物超電導層が形成されていると共に、前記酸化物超電導層と前記中間層のキャップ層との間に、前記酸化物超電導層と前記キャップ層との反応、もしくは前記酸化物超電導層と前記キャップ層との間における金属元素の拡散、による界面層が形成されていることを特徴とする酸化物超電導薄膜線材。 - 前記界面層の厚みが、100nm以下であることを特徴とする請求項1に記載の酸化物超電導薄膜線材。
- 前記キャップ層の表面粗さRaが、10nm以下であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の酸化物超電導薄膜線材。
- 前記キャップ層が、Mg、Sr、Ba、Al、Zr、Y、ランタノイド元素の1種以上の金属元素を含むことを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の酸化物超電導薄膜線材。
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