JP5461379B2 - 試験装置 - Google Patents
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Description
Claims (11)
- 被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスに供給する電源電圧を発生する電源部と、
前記電源部と前記被試験デバイスとの間の経路上に設けられた誘導負荷部と、
前記誘導負荷部を少なくとも含む基板を収容する収容部と、
前記基板における予め定められた箇所の電圧が設定電圧よりも大きい場合、前記収容部内の前記基板にオペレータをアクセスさせるための開閉部のロック状態を維持するロック維持部と、
試験終了後において、前記誘導負荷部に蓄積されたエネルギーを放出させる放出用スイッチと、
を備え、
前記ロック維持部は、前記誘導負荷部にエネルギーが残存している場合、前記開閉部のロック状態を維持する
試験装置。 - 前記ロック維持部は、前記誘導負荷部の両端の一方の電圧が前記設定電圧よりも大きい場合、前記開閉部のロック状態を維持する
請求項1に記載の試験装置。 - 前記放出用スイッチは、前記誘導負荷部の両端のそれぞれを予め定められた基準電位に接続する
請求項1または2に記載の試験装置。 - 被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスに供給する電源電圧を発生する電源部と、
前記電源部と前記被試験デバイスとの間の経路上に設けられた誘導負荷部と、
前記被試験デバイスに印加される電圧を予め定められた範囲内に制限するクランプ部と、
前記誘導負荷部を少なくとも含む基板を収容する収容部と、
前記基板における予め定められた箇所の電圧が設定電圧よりも大きい場合、前記収容部内の前記基板にオペレータをアクセスさせるための開閉部のロック状態を維持するロック維持部と、
を備え、
前記ロック維持部は、前記クランプ部の電圧が予め定められた電圧より大きい場合、前記開閉部のロック状態を維持する
試験装置。 - 前記ロック維持部は、前記基板における予め定められた箇所の電圧が設定電圧よりも大きい場合、前記被試験デバイスを当該試験装置へと搬送するハンドラ装置による当該試験装置へのアクセスを禁止する
請求項1から4の何れか一項に記載の試験装置。
- 被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスに供給する電源電圧を発生する電源部と、
前記電源部と前記被試験デバイスとの間の経路上に設けられた誘導負荷部と、
前記誘導負荷部を少なくとも含む基板を収容する収容部と、
前記基板における予め定められた箇所の電圧が設定電圧よりも大きい場合、前記収容部内の前記基板にオペレータをアクセスさせるための開閉部のロック状態を維持するロック維持部と、
を備え、
前記ロック維持部は、前記基板における予め定められた箇所の電圧が設定電圧よりも大きい場合、前記被試験デバイスを当該試験装置へと搬送するハンドラ装置による当該試験装置へのアクセスを禁止する
試験装置。 - 前記電源部と前記誘導負荷部との間に設けられた電源スイッチを更に備える
請求項1から6の何れか一項に記載の試験装置。 - 被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスに供給する電源電圧を発生する電源部と、
前記電源部と前記被試験デバイスとの間の経路上に設けられた誘導負荷部と、
前記電源部と前記誘導負荷部との間に設けられた電源スイッチと、
前記誘導負荷部を少なくとも含む基板を収容する収容部と、
前記基板における予め定められた箇所の電圧が設定電圧よりも大きい場合、前記収容部内の前記基板にオペレータをアクセスさせるための開閉部のロック状態を維持するロック維持部と、
を備える試験装置。 - 前記被試験デバイスは、絶縁ゲート型バイポーラトランジスタである
請求項1から8の何れか一項に記載の試験装置。 - 絶縁ゲート型バイポーラトランジスタである被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスに供給する電源電圧を発生する電源部と、
前記電源部と前記被試験デバイスとの間の経路上に設けられた誘導負荷部と、
前記誘導負荷部を少なくとも含む基板を収容する収容部と、
前記基板における予め定められた箇所の電圧が設定電圧よりも大きい場合、前記収容部内の前記基板にオペレータをアクセスさせるための開閉部のロック状態を維持するロック維持部と、
を備える試験装置。 - 前記ロック維持部は、前記基板における予め定められた箇所の電圧が前記設定電圧よりも大きい場合、一定時間経過後に再度予め定められた箇所の電圧を検出する
請求項1から10の何れか一項に記載の試験装置。
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