JP5459722B2 - 積層型ウェハレンズおよびその製造方法、多層レンズ - Google Patents
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Description
本発明の実施形態1に係る積層型ウェハレンズ20を、図1〜図7に基づいて、説明する。
はじめに、ウェハスケールレンズ201,202を形成する。図1に示すように、第1および第2のウェハスケールレンズ201,202には、レンズ光学部2011,2021および平坦部2012,2022が形成される。また、第2のウェハスケールレンズ202には、第1のウェハスケールレンズ201と対向する面の、レンズ光学部2021と平坦部2022との境界部分に、中空部209を取り囲むようにして、先端(エッジ)を有する突起部2023が形成される。なお、突起部2023は、ウェハスケールレンズ201,202に一体として形成されているため、ウェハスケールレンズ201,202の対向面の構造、すなわち、レンズ光学部2011,2021および平坦部2012,2022と同一工程において同時に形成することが好ましい。
次に、図1に示すように、第1および第2のウェハスケールレンズ201,202の互いに対向する面の平坦部2012,2022に、通気性膜205を形成する。
次に、第1および第2のウェハスケールレンズ201,202を重ね合わせる。このとき、第1のウェハスケールレンズ201のレンズ光学部2011と第2のウェハスケールレンズ202のレンズ光学部2021とが対応するように、かつ、第1のウェハスケールレンズ201の平坦部2012と第2のウェハスケールレンズ202の平坦部2022とが対応するように、正しく重ね合わせる。詳細には、ウェハスケールレンズは、ウェハ上に複数個配置されたレンズ光学部(光学面)を2箇所以上で個々に光学的に合わせることで、重ね合わせる。
次に、位置を調整した状態で固定したウェハスケールレンズ201,202の間に形成された充填部203に、遮光性接着剤213を浸透充填する(充填工程)。遮光性接着剤213が固着し、重ね合わせたウェハスケールレンズ201,202同士が接着すると、積層型ウェハレンズ20が完成する。
最後に、積層型ウェハレンズ20を個々の多層レンズ30に分割する。図7は、積層型ウェハレンズ20の断面図であり、切断ライン212に沿って切断して多層レンズ30に分割する様子を示している。積層型ウェハレンズ20を、ウェハスケールレンズ201,202に設定された切断ライン212に沿って、一つまたは複数のレンズ光学部2011,2021を含むように切断すると、多層レンズ30が完成する。なお切断にはダイシング刃210を用いることができる。
本発明の他の実施形態について説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、前記実施形態1にて説明した部材と同じ機能を有する部材については同じ符号を付記し、その説明を省略する。
30 多層レンズ
201,202,401,402,403,601,602 ウェハスケールレンズ
205,605 通気性膜
211 貫通穴
212 切断ライン(切断位置)
213,421,422,613 遮光性接着剤
614 スペーサー(障壁部)
2011,2021,6011,6021 レンズ光学部
2012,2022,6012,6022 平坦部(遮光領域)
2023 突起部(障壁部)
Claims (9)
- 複数のレンズ光学部を有するウェハスケールレンズが、複数枚重ね合わされて接着された積層型ウェハレンズであって、
互いに接着された2枚のウェハスケールレンズの対向する2面の間に、レンズ光学部と該レンズ光学部の周囲の遮光領域とを隔てるように、該レンズ光学部を取り囲んだ障壁部を有し、
2枚のウェハスケールレンズの上記遮光領域における対向面の間に遮光性接着剤が充填されており、
上記遮光領域における2枚のウェハスケールレンズの対向面の間隔が、該対向面の間に上記遮光性接着剤を毛細管現象によって浸透可能な間隔となるように、上記障壁部の高さが設定されており、
上記ウェハスケールレンズの対向する2面のいずれか一方または両方には、少なくとも上記レンズ光学部と上記遮光領域との境界位置から、多層レンズを切り出すための切断位置まで連続した通気性膜が形成されていることを特徴とする積層型ウェハレンズ。 - 上記障壁部は、上記2枚のウェハスケールレンズの対向する2面のいずれか一方または両方に設けられた突起部、または、上記2枚のウェハスケールレンズの対向する2面の間に設けられたスペーサーであることを特徴とする請求項1に記載の積層型ウェハレンズ。
- 複数のレンズ光学部を有するウェハスケールレンズが、複数枚重ね合わされて接着された積層型ウェハレンズの製造方法であって、
上記積層型ウェハレンズは、互いに接着される2枚のウェハスケールレンズの対向する2面の間に、レンズ光学部と該レンズ光学部の周囲の遮光領域とを隔てるように、該レンズ光学部を取り囲んだ障壁部を有するとともに、2枚のウェハスケールレンズの上記遮光領域における対向面の間隔が、該対向面の間に遮光性接着剤を毛細管現象によって浸透可能な間隔となるように、上記障壁部の高さが設定されており、
上記ウェハスケールレンズの対向する2面のいずれか一方または両方に、少なくとも上記レンズ光学部と上記遮光領域との境界位置から、多層レンズを切り出すための切断位置まで連続した通気性膜を形成する通気性膜形成工程と、
上記遮光領域における2枚のウェハスケールレンズの対向面の間隔が、該対向面の間に上記遮光性接着剤を毛細管現象によって浸透可能な間隔となるように、上記2枚のウェハスケールレンズを保持する保持工程と、
保持した上記2枚のウェハスケールレンズの上記遮光領域における対向面の間に、上記遮光性接着剤を毛細管現象によって浸透させることによって充填する充填工程と、を含むことを特徴とする積層型ウェハレンズの製造方法。 - 上記充填工程の際、重ね合わせた2枚のウェハスケールレンズのうちの、一方のウェハスケールレンズに設けられた貫通穴から、他方のウェハスケールレンズに上記遮光性接着剤を滴下することを特徴とする請求項3に記載の積層型ウェハレンズの製造方法。
- 上記充填工程の際、ずらして重ね合わせた2枚のウェハスケールレンズのうちの、一方のウェハスケールレンズ上における、他方のウェハスケールレンズからはみ出た位置に上記遮光性接着剤を滴下することを特徴とする請求項3に記載の積層型ウェハレンズの製造方法。
- 上記充填工程の際、重ね合わせた2枚のウェハスケールレンズのうちの、径の大きいウェハスケールレンズ上における、径の小さいウェハスケールレンズからはみ出た位置に上記遮光性接着剤を滴下することを特徴とする請求項3に記載の積層型ウェハレンズの製造方法。
- 上記遮光性接着剤の粘度は、10Pa・s以下であることを特徴とする請求項3〜6のいずれか1項に記載の積層型ウェハレンズの製造方法。
- 上記保持工程における、上記遮光領域における2枚のウェハスケールレンズの対向面の間隔は、1mm以下であることを特徴とする請求項3〜7のいずれか1項に記載の積層型ウェハレンズの製造方法。
- 請求項1または2に記載の積層型ウェハレンズから、1組または複数組の重ね合わされたレンズ光学部を含むように切断されたことを特徴とする多層レンズ。
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