WO2010143454A1

WO2010143454A1 - ウエハレンズ集合体及びレンズユニット

Info

Publication number: WO2010143454A1
Application number: PCT/JP2010/053229
Authority: WO
Inventors: 暢高佐藤; 宏史押谷
Original assignee: コニカミノルタオプト株式会社
Priority date: 2009-06-12
Filing date: 2010-03-01
Publication date: 2010-12-16

Abstract

　本発明は、従来と比較して歩留まりを向上させる。　樹脂２１Ａによってガラス基板２０の一方の面に凹状のレンズ面２３が複数設けられたウエハレンズ２と、ウエハレンズ２に積層されたガラス基板３０とを備えるウエハレンズ集合体１は、ウエハレンズ２と、当該ウエハレンズ２における前記一方の面側に積層されたガラス基板３０とを接着した接着層４を備える。接着層４は、ウエハレンズ２におけるレンズ面２３の形成基準面２３Ａに対して固着されるとともに、レンズ面２３から接着剤４０を離間させて配設することで当該レンズ面２３との間に形成された第１空間部４１と、第１空間部４１から所定の距離だけ離間して当該第１空間部４１の外周側に形成された第２空間部４２とを有しており、第２空間部４２は、レンズ面２３の周方向に間隔を空けて複数形成されているか、或いは当該周方向に連続して環状に形成されている。

Description

ウエハレンズ集合体及びレンズユニット

　本発明は、レンズユニット及びウエハレンズ集合体に関する。

　従来、光学レンズの製造分野においては、複数の凹又は凸のレンズ面を形成した、いわゆる「ウエハレンズ」を形成し、その後にレンズ面ごとにガラス基板をカットする方法が提案されている。複数のレンズ面は、例えばガラスの基板と一体に成形されるか、もしくは、ガラス基板上に光や熱により硬化するエネルギー硬化性樹脂を硬化させて形成される。

　また、このようなウエハレンズを他の基板、例えば他のウエハレンズと光軸が合うように各レンズ面が位置合わせされた状態で複数枚積層、接着したり、同じくウエハ化された撮像センサ（ＣＭＯＳ，ＣＣＤ等）がマウントされた基板と位置合わせして積層、接着したり、もしくは少なくとも１枚のウエハレンズを含む複数のウエハ基板間に所定の間隔を調整するためのスペーサ基板を積層、接着してウエハレンズ集合体を形成し、これらを切断することによりレンズユニットを構成する場合がある（例えば特許文献１参照）。

特表２００１－５１９６０１号公報

　しかしながら、ウエハレンズを他のウエハ基板と接着剤で接着する場合には、接着剤に含有される揮発性成分等に起因して接着層に気泡が発生するため、そのままでは接着力の低いウエハレンズ集合体が形成されてしまい、製造時の歩留まりが低下してしまうという問題がある。

　特にこの問題は、平坦面の一部に凹レンズ面を形成したような基板と、他の基板とを平坦面同士で接合する場合、凹レンズ面以外に接着層内の気泡の逃げ場がなく、顕著な問題となる。

　この点、特許文献１では、接着部を凸レンズ面が形成された基板から突出して形成されたスペース部材上にトレンチ溝を形成し、当該溝内に接着剤を導入、他のウエハ基板と接着する構成が開示されているが、上記気泡の問題について何ら解決手段は開示も示唆もされておらず、平坦面の一部に凹レンズ面を形成し、他の基板の平坦面同士で接着する構成でもなく、係る課題はそれほど顕著でないと考えられる。

　本発明の課題は、従来と比較して歩留まりを向上させることのできるレンズユニット及びウエハレンズ集合体を提供することである。

　本発明の第１の形態に係るレンズユニットは、ガラス基板の少なくとも一方の面に、硬化性樹脂で形成された樹脂部の平坦表面の一部に凹状の第１レンズ面を有する、第１レンズブロックと、ガラス基板の少なくとも一方の面に、硬化性樹脂で形成された樹脂部の平坦表面の一部に凹状の第２レンズ面を有する、第２レンズブロックと、前記第１レンズブロックの凹状の第１レンズ面が形成された樹脂部の平坦表面と前記第２レンズブロックの凹状の第２レンズ面が形成された樹脂部の平坦表面とは接着剤で所定間隔をもって接合されると共に、当該接着剤の光軸と直交する断面での光軸方向からみた形成領域が、前記第１及び第２レンズ面から間隔をもって形成されていることを特徴とする。

　また本発明の第２の形態に係るレンズユニットは、ガラス基板の少なくとも一方の面に、硬化性樹脂で形成された樹脂部の平坦表面の一部に凹状の第１レンズ面を有する、第１レンズブロックと、ガラス基板の少なくとも一方の面に、硬化性樹脂で形成された樹脂部の平坦表面の一部に凹状の第２レンズ面を有する、第２レンズブロックと、前記第１レンズブロックの凹状の第１レンズ面が形成された樹脂部の平坦表面と前記第２レンズブロックの凹状の第２レンズ面が形成された樹脂部の平坦表面とは接着剤で所定間隔をもって接合されると共に、当該接着剤の光軸と直交する断面での光軸方向からみた形成領域が、前記第１及び第２レンズ面とユニット端部との間の空間を分けるように形成されていることを特徴とする。

　また、前記第１又は第２の形態に係るレンズユニットにおいては、前記平坦表面同士の接着剤の所定間隔は、第１レンズブロックの樹脂部の平坦表面と前記第２レンズブロックの樹脂部の平坦表面の何れか少なくとも一方に形成された突起部によって調整されていることが好ましい。

　また前記第１又は第２の形態に係るレンズユニットにおいては、前記平坦表面同士の接着剤の所定間隔は、前記接着剤に含有されているビーズにより調整されていることが好ましい。

　また本発明の第３形態にかかるウエハレンズ集合体は、第１基板の一方の面にエネルギー硬化性樹脂で形成された表面が平坦な樹脂部の一部に凹状のレンズ面が複数設けられたウエハレンズと、前記ウエハレンズの前記レンズ面が形成された側の面に積層接着された第２基板と、を備えるウエハレンズ集合体であって、前記ウエハレンズと前記第２基板とを接着する接着層は、前記ウエハレンズにおける平坦な樹脂部に対して固着されるとともに、前記レンズ面から接着剤を離間させて配設することで当該レンズ面との間に形成された第１空間部と、前記第１空間部から所定の距離だけ離間して当該第１空間部の外周側に形成された第２空間部とを有しており、前記第２空間部は、前記レンズ面の周方向に間隔を空けて複数形成されているか、或いは当該周方向に連続して環状に形成されていることを特徴とする。

　また第４の形態に係るウエハレンズ集合体においては、第１基板の一方の面に平坦面と、複数の凹状のレンズ面とを有するウエハレンズと、平坦面を有する第２基板と、を有し、前記第１基板の、前記凹状のレンズ面が複数形成された平坦部と、前記第２基板の平坦部とを接着層を介して積層接着して構成されるウエハレンズ集合体であって、前記ウエハレンズ集合体は、前記第１基板の前記平坦部及び／又は前記第２基板の平坦部に前記接着層を形成して得られる接着部で両者を接着する構成であり、前記接着部は、前記複数の凹状のレンズ面各々の周囲を取り囲むように形成される領域であって、当該領域内側に凹状のレンズ面との間で形成された第１空間部、前記接着部外側で隣接する他の凹状レンズ面の周囲を取り囲む接着部との間に形成される第２空間部が形成されていることを特徴とする。

　また前述した形態に係るウエハレンズ集合体においては、前記第２基板の前記ウエハレンズと接着される面側には、凹状のレンズ面を複数有し、前記ウエハレンズの凹状のレンズ面と互いに対向して接着されることが好ましい。

　また前述した形態に係るウエハレンズ集合体においては、前記ウエハレンズの前記第２基板と積層される側とは反対側の面には、凸状のレンズ面を複数有することが好ましい。

　また前述した形態に係るウエハレンズ集合体においては、前記第２基板の前記ウエハレンズと接着される面と反対側の面には、凸状のレンズ面を複数有することが好ましい。

　また前述した形態に係るウエハレンズ集合体においては、前記レンズ面はガラス基板上に光硬化性樹脂を硬化して形成されていることが好ましい。

　また前述した形態に係るウエハレンズ集合体においては、前記レンズ面はガラス基板と一体成形して形成されていることが好ましい。

　また第５の形態に係るウエハレンズ集合体においては、第１基板の一方の面に平坦面と、複数の凹状のレンズ面とを有するウエハレンズと、スペーサとを有し、前記第１基板の、前記凹状のレンズ面が複数形成された平坦部と、前記スペーサの一方の面とを接着層を介して積層接着して構成されるウエハレンズ集合体であって、前記ウエハレンズ集合体は、前記第１基板の前記平坦部と前記スペーサとを前記接着層を形成して得られる接着部で両者を接着する構成であり、前記接着部は、前記複数の凹状のレンズ面各々の周囲を取り囲むように形成される領域であって、当該領域内側に凹状のレンズ面との間で形成された第１空間部と、前記接着部外側で隣接する他の凹状レンズ面の周囲を取り囲む接着部との間に形成される第２空間部が形成されていることを特徴とする。

　また前述したウエハレンズ集合体においては、前記スペーサは、厚み方向への貫通口を有することが好ましい。

　また前述したウエハレンズ集合体においては、前記第１空間部と前記第２空間部とが、互いに連通していることが好ましい。

　また前述したウエハレンズ集合体においては、前記接着層の接着剤は、光、電子線または熱によって硬化するか、或いは硬化が促進されることが好ましい。

　また前述したウエハレンズ集合体においては、前記接着層には、当該接着層の厚みと略同じ直径のフィラーが含有されていることが好ましい。

　また前述したウエハレンズ集合体においては、前記第１基板または前記第２基板のうち、少なくとも一枚の基板には、前記レンズ面に対する絞りが設けられており、前記接着層の接着剤は、光、電子線または熱によって硬化するか、或いは硬化が促進されるものであり、前記絞りは、前記接着層の接着剤を硬化する際に照射される光、電子線または熱線を当該接着剤に到達させることができる領域に形成されていることが好ましい。

　また前述したウエハレンズ集合体においては、前記第１基板及び前記第２基板は、それぞれ１つ以上のアライメントマークを有することが好ましい。

　また第６の形態に係るレンズユニットにおいては、前述してきたウエハレンズ集合体において、前記第２空間部の部分で厚み方向にカットして製造したことを特徴とする。

　本発明によれば、凹状のレンズ面を有するウエハレンズと他の基板とを平坦面同士で接着剤で接合する際、接着部が凹状のレンズ面を所定間隔をもって各々取り囲むように形成され、内側に第１空間部、外側で他の隣接する凹状のレンズ面との間に第２空間部を有しているので、接着剤に含有される揮発性成分や接着面の凹凸に起因して接着層に気泡が発生しても、ウエハレンズによって接着剤が押圧されることにより、この気泡は第１空間部や第２空間部に移動し、これらの空間に吸収されることとなる。従って、接着層に気泡が存在して接着力の低いウエハレンズ集合体が形成されてしまうのを防止することができるため、従来と比較して製造時の歩留まりを向上させることができる。

　また、第１空間部の内部の気体が接着時に圧縮される結果、接着幅の薄い側に向かって接着剤ごと第１空間部が移動しようとする場合であっても、第１空間部は第２空間部に向かって当該第１空間部の中心軸に対して軸対称に広がることとなる。従って、第１空間部が接着剤ごと移動してレンズ面に接着剤が付着してしまうのを防止することができるため、製造時の歩留まりをいっそう向上させることができる。そのため、凹状のレンズ面から所定間隔をもって位置調整された接着剤形成領域を持つ光学性能上良好なレンズユニットが得られる。

　なお本発明でいう「凹状のレンズ面を各々取り囲む」とはレンズ面各々の周囲を完全に独立させるように取り囲むものには限定されず、レンズ面の周方向に所定間隔を持って空間が介在するものであってもよく、その結果、第１空間部と第２空間部とが部分的に連通するような構成であっても良い。

ウエハレンズ集合体の概略構成を示す平面図である。ウエハレンズ集合体の概略構成を示す分解斜視図である。図１のＡ－Ａ線でウエハレンズ集合体を断面とした場合における端面図である。図１のレンズ集合体を切断、個片化して得られるレンズユニットを示す図である。第２実施形態におけるウエハレンズ集合体を断面とした場合における端面図である。本発明における他のウエハレンズ集合体を図１と同様な断面とした場合における端面図である。

　以下、図面を参照しながら本発明の好ましい実施形態について説明する。
［第１の実施形態］
　図１は本実施形態におけるウエハレンズ集合体１の概略構成を示す平面図であり、図２は分解斜視図である。また、図３は、図１のＡ－Ａ線でウエハレンズ集合体１を切断した場合における端面図である。

　これらの図に示すように、ウエハレンズ集合体１は、積層されて互いに接着された２枚のウエハレンズ２，３を備えている。

　ウエハレンズ２は、ガラス基板２０、樹脂部２１及び絞り２２を有している。

　ガラス基板２０は、本発明における第１基板であり、所定の厚みの円盤状に形成されている。このガラス基板２０の周縁部には、図１，図２に示すように、１対のアライメントマーク２４ａが形成されている。なお、ガラス基板２０の形状は円盤状に限らず、他の形状としてもよい。また、本実施の形態におけるアライメントマーク２４ａは金属膜で構成されているが、これに限らず、遮光性のレジストやシリコン成膜物，カーボン成膜物等で構成されてもよい。また配置についても基板の周縁部や表裏など特に限定されるものではない。

　樹脂部２１は、図１～図３に示すように、透明な樹脂２１Ａによってガラス基板２０におけるウエハレンズ３側の面に積層されており、一部に複数のレンズ面２３を形成している。ここで、本実施の形態における樹脂２１Ａは、光硬化性樹脂であり、好ましくはＵＶ光硬化性アクリル系樹脂であるが、透明樹脂であれば特に拘らない。使用可能な樹脂としては、例えば熱硬化性樹脂や熱可塑性樹脂、電子線硬化性のエポキシ系やウレタン系の樹脂がある。なお、これらの樹脂は、光や熱、電子線によって完全に硬化せずに、硬化が促進されてもよい。

　レンズ面２３は、ガラス基板２０側に窪んだ部位であり、その表面が光学面となっている。なお、本実施の形態におけるレンズ面２３のサイズは、直径５ｍｍ、高さ０．５ｍｍとなっている。但し、レンズ面２３の形状やサイズは、入射光に対して集光や拡散、光ベクトル偏向、吸収、偏光変換など何らかの光学的効果が発生すれば他の形状，サイズでも構わない。

　レンズ面２３が形成された領域の外側には、突起部２４が設けられている。突起部２４はウエハレンズ２，３の接合時に接合の際の押圧により間の接着剤が後述するような所望領域形成を損なうことの無いよう、樹脂部２１，３１の平坦面間の間隔を所定間隔に規定する接着剤厚みを調整するものである。またウエハレンズ２，３の接着時にレンズ面２３，３３が形成されている樹脂部２１，３１の平坦面同士が接触したり、レンズ面２３，３３が衝突するのを防止するようにもなっている。但し、突起部２４の形状や配置などは特に拘らない。本実施形態では突起部２４はレンズ面２３の周囲４ヶ所に直径０．０２ｍｍ、高さ４μｍの円柱形に設けられているが、レンズ面２３を囲むようなリング形状であっても構わない。また突起部２４はレンズ面２３、３３が形成されている樹脂部２１，３１の両方に形成される必要はなく、片側のみに存在していても構わない。

　絞り２２は、レンズ面２３に対する光量調整を行う部分であり、レンズ面２３の対応位置に円形状の光透過孔２２Ａを有する環状に形成されている。なお、本実施の形態における絞り２２は、遮光性の高い金属をガラス基板２０の表面に成膜することで形成されている。また、この絞り２２は、樹脂部２１の樹脂２１Ａや、後述の接着剤４０を硬化する際に照射される光、電子線または熱線を、当該樹脂２１Ａや接着剤４０に到達させることができる領域に形成されている。

　一方、ウエハレンズ３は、ガラス基板３０、樹脂部３１及び絞り３２を有している。

　ガラス基板３０は、本発明における第２基板であり、ガラス基板２０と同形状に形成されている。このガラス基板３０の周縁部には、ガラス基板２０におけるアライメントマーク２４ａとの対応位置に１対のアライメントマーク３４ａが形成されている。なお、ガラス基板２０の形状は円盤状に限らず、他の形状としてもよい。また、本実施の形態におけるアライメントマーク３４ａは金属膜で構成されているが、これに限らず、遮光性のレジストやシリコン成膜物，カーボン成膜物等で構成されてもよい。また配置についても基板の周縁部や表裏など特に限定されるものではない。

　樹脂部３１は、透明な樹脂３１Ａによってガラス基板３０におけるウエハレンズ２側の面に積層されており、ウエハレンズ２におけるレンズ面２３の対向位置に複数のレンズ面３３を形成している。なお、樹脂３１Ａとしては、樹脂部２１の樹脂２１Ａと同様のものを用いることができる。

　レンズ面３３は、ガラス基板３０側に窪んだ部位であり、その表面が光学面となっている。なお、本実施の形態におけるレンズ面３３のサイズは、直径５ｍｍ、高さ０．５ｍｍとなっている。但し、レンズ面３３の形状やサイズは、入射光に対して集光や拡散、光ベクトル偏向、吸収、偏光変換など何らかの光学的効果が発生すれば他の形状，サイズでも構わない。レンズ面３３の周囲には、ウエハレンズ２における突起部２４と同様の突起部３４が設けられており、これら突起部２４，３４は互いに対向した状態となっている。

　絞り３２は、レンズ面３３に対する光量調整を行う部分であり、レンズ面３３の対応位置に円形状の光透過孔３２Ａを有する環状に形成されている。なお、本実施の形態における絞り３２は、遮光性の高い金属をガラス基板３０の表面に成膜することで形成されている。また、この絞り３２は、樹脂部３１の樹脂３１Ａや、後述の接着剤４０を硬化する際に照射される光、電子線または熱線を、当該樹脂３１Ａや接着剤４０に到達させることができる領域に形成されている。

　以上のウエハレンズ２、３は、図３に示すように、接着剤４０を層状に設けた接着層４によって互いに接着されている。

　この接着層４は、ウエハレンズ２，３におけるレンズ面２３，３３が形成される平坦面２３Ａ，３３Ａ（形成基準面とも言う）に対して固着されており、係る領域で接着部を形成している。そして接着層のレンズ面２３，３３が形成された側にはレンズ面２３，３３が形成された領域との間に所定の空間として第１空間部４１を形成し、当該接着部と、隣接する他のレンズ面２３，３３が形成された領域の周囲を囲む接着部との間には所定の空間として第２空間部４２を形成している。

　なおここでは平坦面とのべているが、ここでいう平坦はレンズ面のような凹凸が施されていない部位を差すものであり、表面粗さとして所定値以上等を限定するものではない。

　第１空間部４１は、レンズ面２３から接着剤４０を離間させて配設することでレンズ面２３との間に形成されている。より詳細には、本実施の形態における第１空間部４１は、レンズ面２３よりも径の大きい円筒状に形成されており、ウエハレンズ２，３の樹脂部２１，３１の間に亘ってウエハレンズ集合体１の厚み方向に延在している。

　第２空間部４２は、第１空間部４１から所定の距離だけ離間して当該第１空間部４１の外周側に形成されている。より詳細には、図１，図３に示すように、本実施の形態における第２空間部４２は、各第１空間部４１を仕切るように格子状に形成されており、かつ、ウエハレンズ２，３の樹脂部２１，３１の間に亘ってウエハレンズ集合体１の厚み方向に延在している。これにより、第２空間部４１は、レンズ面２３の周方向に連続して環状に形成された状態となっている。なお、本実施の形態においては、第２空間部４２の幅は約０．１ｍｍとなっており、ガラス基板２０，３０の周縁部にまで延在している。但し、第２空間部４２の形状や配置はこれに限定されることは無く、平面視曲線状に形成されてもよいし、レンズ面２３，３３の周方向に間隔を空けて複数形成されていてもよい。

　ここで、以上の接着層４における接着剤４０は、本実施の形態においては透明なＵＶ光硬化性アクリル系樹脂となっているが、他の接着剤としてもよい。接着剤４０として使用可能な樹脂としては、例えば熱硬化性樹脂や熱可塑性樹脂、電子線硬化性のエポキシ系やウレタン系の樹脂がある。また透明性などの光学特性についても特に限定されず、黒色接着剤であっても構わない。なお、これらの接着剤は、光や熱、電子線によって完全に硬化せずに、硬化が促進されてもよい。

　また、接着剤４０の塗布方法については一般的な塗布方法を用いることができ、手法は特に拘らない。代表的な塗布方法としては、例えばグラビア印刷やスクリーン印刷などがある。また接着剤４０の塗布時や接合時の環境も特に限定されるものではなく、例えば真空中や窒素や不活性ガス中での塗布や接合、高温下や高圧下での塗布や接合を行っても構わない。

　続いて、以上のウエハレンズ集合体１の製造方法について説明する。

　まず、ウエハレンズ３におけるレンズ面３３側の面に対し、第１空間部４１，第２空間部４２の形成領域を除いて接着剤４０を塗布する。

　次に、接着剤４０を間に挟むよう、ウエハレンズ３に対してウエハレンズ２を積層する。

　このとき、接着剤４０に含有される揮発性成分や接着面の凹凸に起因して接着層４には気泡が発生する。但し、当該接着層４には、レンズ面２３，３３から接着剤４０を離間させて配設することでレンズ面２３，３３との間に形成された第１空間部４１と、第１空間部４１から所定の距離だけ離間して当該第１空間部４１の外周側に形成された第２空間部４２とが具備されており、第２空間部４２はレンズ面２３，３３の周方向に連続して環状に形成されているので、ウエハレンズ２，３によって接着剤４０が押圧されることにより、接着層４に発生する気泡は第１空間部４１や第２空間部４２に移動し、これらの空間に吸収されることとなる。また、このとき、第１空間部４１の内部の気体が圧縮される結果、接着幅の薄い側に向かって接着剤４０ごと第１空間部４１が移動しようとする場合であっても、第１空間部４１は第２空間部４２に向かって当該第１空間部４１の中心軸に対して軸対称に広がることとなる。

　また当該第１空間部、第２空間部は前述したウエハレンズ２，３の何れか又は両方に形成された突起部で接合時の押圧を調整しているため、平坦面同士を接合しても維持される。

　そして、ウエハレンズ２，３の積層体に対してＵＶ光を照射することにより、接着剤４０を硬化させる。これにより、ウエハレンズ集合体１が製造される。

　なお、図４に示すように、以上のウエハレンズ集合体１を第２空間部４２の部分で厚み方向にカットすれば、複数のレンズユニット１０をいっぺんに製造することができる。ここで、切断の方法は特に限定されるものではなく一般的な手法、例えばスクライブ加工やダイシング加工、レーザー加工などを用いることができる。

　ここで図４はレンズユニットの一つを示しているが、このように個別に切断された結果、ウエハレンズ２は個片化されて第１レンズブロックを、ウエハレンズ３は第２レンズブロックをそれぞれ構成している形となる。

　また当該図面と図１を併せて見れば明らかな通り、接着層４の部分で光軸方向と直交する断面を当該光軸方向からみたとき、接着剤の形成領域はレンズ面２３，３３から光軸とは直交する方向に間隔をもって環状に形成されている。（なおここでいう環状とは、図１にあるように円環状には限定されず、矩形の環型等他の輪郭を有するものであっても含む意味である。）
　また本実施例では第２空間部及びそれに隣接する接着部の接着剤４０と共に切断しているが、第２空間部を調整し、当該第２空間部の幅内に収まるような切断幅を持つ切断部材で切断することが出来れば、接着部に形成されている接着剤を切断により飛散させ、ウエハレンズ集合体を不用意に汚す必要がなく、光学特性にも悪影響が少ないため望ましい。

　なおこの場合、結果としてレンズユニットにおいて形成される接着領域は、レンズ面２３，３３と切断面であるレンズユニット端部との間の空間を２つの空間に分けるように形成されることが明らかである。

　以上のウエハレンズ集合体１によれば、接着剤４０に含有される揮発性成分や接着面の凹凸に起因して接着層４に気泡が発生しても、ウエハレンズ２，３によって接着剤４０を押圧させることで、この気泡を第１空間部４１や第２空間部４２に移動させ、これらの空間に吸収させることができるため、接着層４に気泡が存在して接着力の低いウエハレンズ２，３集合体が形成されてしまうのを防止することができる。従って、従来と比較して製造時の歩留まりを向上させることができる。

　また、接着幅の薄い側に向かって第１空間部４１が接着剤４０ごと移動しようとする場合であっても、当該第１空間部４１を第２空間部４２に向かって当該第１空間部４１の中心軸に対して軸対称に広げることができるため、第１空間部４１が接着剤４０ごと移動してレンズ面２３，３３に接着剤４０が付着してしまうのを防止することができる。従って、製造時の歩留まりをいっそう向上させることができる。
［第２の実施形態］
　続いて、本発明の第２の実施の形態について説明する。なお、上記第１の実施の形態と同様の構成要素には同一の符号を付し、その説明を省略する。

　図５は、本実施形態におけるウエハレンズ集合体１Ａを、図１におけるＡ－Ａ線の対応位置を断面とした場合における端面図である。

　また図６は、他のウエハレンズ集合体の例であり、図１におけるＡ－Ａ線と同様な位置を断面とした場合の端面図を示している。

　図５との違いは、ウエハレンズ２Ａのレンズ面２３が形成された側とは反対側の面に凸レンズ面２３Ｃを形成している点、ウエハレンズ３Ａのレンズ面３３が形成された側とは反対側の面に凸レンズ面３３Ｃを形成している点であるが、他は同一であるため以下は図５のウエハレンズ集合体を例に説明する。

　この図に示すように、本第２の実施の形態におけるウエハレンズ集合体１Ａは、ウエハレンズ２Ａ，３Ａの間に接着層４Ａ、スペーサ５及び接着層４Ｂをこの順に備えている。

　ウエハレンズ２Ａ，３Ａは、樹脂部２１，３１に突起部２４，３４を有していない点を除いては、上記第１の実施形態におけるウエハレンズ２，３と同様の構成となっている。

　ガラス基板３０は、本発明における第２基板であり、ガラスや透明樹脂によってガラス基板２０と同サイズの円盤状に形成されている。このスペーサ５には、厚み方向への貫通口５０がレンズ面２３，３３の対向位置、換言すると後述の第１空間部４１Ａ，４１Ｂの対応位置に形成されており、これら第１空間部４１Ａ，４１Ｂをウエハレンズ集合体１Ａの厚み方向に連通させている。なお、本実施の形態においては、貫通口５０はレンズ面よりも径の大きい円状に形成されている。

　接着層４Ａは、接着剤４０を層状に設けて形成されており、ウエハレンズ２Ａとスペーサ５とを接着している。

　より詳細には、この接着層４Ａは、ウエハレンズ２Ａにおけるレンズ面２３の平坦部である形成基準面２３Ａに対して固着するように接着部が形成されており、ウエハレンズ２Ａとスペーサ５との間に第１空間部４１Ａ、第２空間部４２Ａ及び連通部４３を形成している。

　第１空間部４１Ａは、レンズ面２３から接着剤４０の接着部を離間させて配設することでレンズ面２３との間に形成されている。より詳細には、本実施の形態における第１空間部４１Ａは、スペーサ５における貫通口５０と同径の円筒状に形成されており、ウエハレンズ２Ａの樹脂部２１とスペーサ５との間に亘ってウエハレンズ集合体１Ａの厚み方向に延在している。

　第２空間部４２Ａは、第１空間部４１Ａから所定の距離だけ離間して当該第１空間部４１Ａの外周側に形成されている。より詳細には、本実施の形態における第２空間部４２Ａは、上記第１の実施形態における第２空間部４２と同様に、各第１空間部４１Ａを仕切るように格子状に形成されており、かつ、ウエハレンズ２Ａの樹脂部２１とスペーサ５との間に亘ってウエハレンズ集合体１Ａの厚み方向に延在している。これにより、第２空間部４２Ａは、レンズ面２３の周方向に連続して環状に形成された状態となっている。なお、本実施の形態においては、第２空間部４２Ａの幅は約０．１ｍｍとなっており、ガラス基板２０，３０の周縁部にまで延在している。但し、第２空間部４２Ａの形状や配置はこれに限定されることは無く、平面視曲線状に形成されてもよいし、レンズ面２３の周方向に間隔を空けて複数形成されていてもよい。

　連通部４３は、第１空間部４１Ａと第２空間部４２Ａとを連通させている。この連通部４３は、接着層４Ａを設ける際に第１空間部４１Ａ，第２空間部４２Ａの形成領域同士を繋ぐよう、接着剤４０を塗布しない直線状の領域を設けることで形成されている。なお、本実施の形態における連通部４３は、幅０．０１ｍｍとなっている。但し、連通部４３の形状や配置はこれに限定されることは無く、曲線で形成されたり、ウエハレンズ集合体１Ａに複数設けられたりしても構わない。また、連通部４３の内部には、フィルターの役割を果たすものを配設してもよい。

　一方、接着層４Ｂは、接着剤４０を層状に設けて形成されており、ウエハレンズ３Ａとスペーサ５とを接着している。

　より詳細には、この接着層４Ｂは、ウエハレンズ３Ａにおけるレンズ面３３の形成基準面３３Ａに対して固着されており、ウエハレンズ３Ａとスペーサ５との間に第１空間部４１Ｂ及び第２空間部４２Ｂを形成している。

　第１空間部４１Ｂは、レンズ面３３から接着剤４０を離間させて配設することでレンズ面３３との間に形成されている。より詳細には、本実施の形態における第１空間部４１Ｂは、スペーサ５における貫通口５０と同径の円筒状に形成されており、ウエハレンズ３Ａの樹脂部３１とスペーサ５との間に亘ってウエハレンズ集合体１Ａの厚み方向に延在している。

　第２空間部４２Ｂは、第１空間部４１Ｂから所定の距離だけ離間して当該第１空間部４１Ｂの外周側に形成されている。より詳細には、本実施の形態における第２空間部４２Ｂは、上記第１の実施形態における第２空間部４２と同様に、各第１空間部４１Ｂを仕切るように格子状に形成されており、かつ、ウエハレンズ３Ａの樹脂部３１とスペーサ５との間に亘ってウエハレンズ集合体１Ａの厚み方向に延在している。これにより、第２空間部４２Ｂは、レンズ面３３の周方向に連続して環状に形成された状態となっている。なお、本実施の形態においては、第２空間部４２Ｂの幅は約０．１ｍｍとなっており、ガラス基板２０，３０の周縁部にまで延在している。但し、第２空間部４２Ｂの形状や配置はこれに限定されることは無く、平面視曲線状に形成されてもよいし、レンズ面３３の周方向に間隔を空けて複数形成されていてもよい。

　ここで、以上の接着層４Ａ，４Ｂにおける接着剤４０は、本実施の形態においては光硬化性樹脂製のエポキシ系接着剤となっている。また、この接着剤４０には、前述の突起部同様、樹脂部２１とスペーサ５，樹脂部３１とスペーサ５の各平坦面間の間隔を所定間隔に規定する接着剤厚みを調整するため、ビーズが含有され、これらの量や大きさを調整することで当該厚みを調整する。具体的には粒径２０μｍ程度の高分子ビーズを０．１～１質量％含有している。但し、高分子ビーズの粒径や形状、含有量は特に限定されず、例えば接着層４Ａの厚みと略同じ直径のビーズ（フィラー）をウエハレンズ２Ａ，３Ａ間のスペーサとして用いてもよい。このようなビーズとしては、例えば国際公開第２００８／０５９６９５号パンフレットに開示のものを用いることができる。

　以上のウエハレンズ集合体１Ａによれば、上記第１の実施形態におけるウエハレンズ集合体１と同様の効果を得ることができるのは勿論のこと、第１空間部４１Ａと第２空間部４２Ａとが連通部４３によって互いに連通しているので、接着時に第１空間部４１Ａの内部の気体が圧縮されるのを緩和することができる。従って、この接着時に第１空間部４１Ａが接着幅の薄い側に向かって接着剤４０ごと移動しようとするのを防止することができるため、第１空間部４１Ａが接着剤４０ごと移動してレンズ面２３，３３に接着剤４０が付着してしまうのを確実に防止することができる。従って、製造時の歩留まりをいっそう向上させることができる。

　なお、上記実施形態においてはレンズ面をガラス基板上にエネルギー硬化性樹脂、具体的に光硬化性樹脂を用いて硬化する例で説明したが、本発明はこれに限定されない。

　すなわち、基板と一体成形してレンズ面を形成するものであっても良い。

　その他、本発明は上記実施の形態に限定して解釈されるべきではなく、適宜変更・改良が可能であることはもちろんである。

　例えば、上記の実施の形態では、ウエハレンズ集合体１（１Ａ）はウエハレンズ２，３（２Ａ，３Ａ）を備えることとして説明したが、ウエハレンズ２（２Ａ）におけるレンズ面２３の側にガラス基板３０（ここでいうガラス基板３０は単体の他、ウエハレンズ３（３Ａ）に含まれるガラス基板３０の場合、つまりレンズ面が形成された樹脂部が形成されているようなガラス基板を含む）またはスペーサ５が積層される限りにおいて、ウエハレンズ２（２Ａ）と、ウエハレンズ３（３Ａ）、ガラス基板３０及びスペーサ５から１種類または複数種類を選択した少なくとも１枚の部材とを備える他の構成としてもよい。ここで、ウエハレンズ集合体１（１Ａ）においてウエハレンズ３（３Ａ）がガラス基板３０（ここでいうガラス基板３０は単体の他、ウエハレンズ３（３Ａ）に含まれるガラス基板３０の場合、つまりレンズ面が形成された樹脂部が形成されているようなガラス基板を含む）やスペーサ５に隣接して積層される場合には、これらの部材は接着層４と同じ構成の接着層で接着されることとしてもよい。

　また、ウエハレンズ２，３（２Ａ，３Ａ）は互いとの対向面、つまり内側の面にレンズ面２３，３３を有することとして説明したが、ウエハレンズ２（２Ａ）と、ウエハレンズ３（３Ａ）、ガラス基板３０及びスペーサ５から１種類または複数種類を選択した少なくとも１枚の部材との積層体における最も外側の面に対して更にレンズ面２３，３３を有することとしてもよい。同様に、ウエハレンズ２（２Ａ）におけるウエハレンズ３（３Ａ）側の面にレンズ面２３が形成されることとして説明したが、両面に形成されることとしてもよい。更に、この場合には、ウエハレンズ２（２Ａ）の両面に対してウエハレンズ３（３Ａ）、ガラス基板３０またはスペーサ５がそれぞれ積層されて、接着層４と同じ構成の接着層によって接着されることとしてもよい。

　また、ウエハレンズ集合体１（１Ａ）はガラス基板２０，３０を備えることとして説明したが、これらに代えて、透明なプラスチック基板またはセラミック基板を備えることとしてもよく、光透過性の材料から構成される基板であれば、その種類は問わない。ここで、基板に用いられる樹脂としては、熱硬化性樹脂、光硬化性樹脂、熱可塑性樹脂等を挙げることができる。

　また、絞り２２、３２を金属膜で構成されることとして説明したが、遮光性の高いレジストやシリコン膜，カーボン膜等で構成されることとしてもよい。また、絞り２０はガラス基板２０，３０と樹脂部２１，３１との間に介在することとして説明したが、配置については特に拘らず、例えば樹脂部２１，３１の表面に露出するよう配設されてもよい。

　また、第１空間部４１（４１Ａ，４１Ｂ）を円筒状として説明したが、例えば角筒状や楕円筒状など、他の形状としてもよい。

　また、上記第２の実施形態においては、第１空間部４１Ａと第２空間部４２Ａとを連通する連通部４３が接着層４Ａに形成されることとして説明したが、スペーサ５に溝を設けることで形成してもよい。また、スペーサ５に対してウエハレンズ２Ａの側のみに形成されることとして説明したが、ウエハレンズ２Ａ，３Ａそれぞれの側に形成されることとしてもよい。

　更に第２基板としては必ずしも他のウエハレンズやスペーサには限定されず、接着層で接合するための平坦面を有する基板であれば良いため、撮像センサ等をマウントした基板であっても良い。

　１，１Ａ　ウエハレンズ集合体
　２，２Ａ　ウエハレンズ
　４，４Ａ，４Ｂ　接着層
　５　スペーサ（第２基板）
　１０　レンズユニット
　２０　ガラス基板（第１基板）
　２１Ａ，３１Ａ　樹脂
　２２，３２　絞り
　２３　レンズ面
　２３Ａ　レンズ面の形成基準面
　２４ａ，３４ａ　アライメントマーク
　３０　ガラス基板（第２基板）
　３３　レンズ面
　４０　接着剤
　４１，４１Ａ，４１Ｂ　第１空間部
　４２，４２Ａ，４２Ｂ　第２空間部
　５０　貫通口

Claims

　ガラス基板の少なくとも一方の面に、硬化性樹脂で形成された樹脂部の平坦表面の一部に凹状の第１レンズ面を有する、第１レンズブロックと、
　ガラス基板の少なくとも一方の面に、硬化性樹脂で形成された樹脂部の平坦表面の一部に凹状の第２レンズ面を有する、第２レンズブロックと、
　前記第１レンズブロックの凹状の第１レンズ面が形成された樹脂部の平坦表面と前記第２レンズブロックの凹状の第２レンズ面が形成された樹脂部の平坦表面とは接着剤で所定間隔をもって接合されると共に、当該接着剤の光軸と直交する断面での光軸方向からみた形成領域が、前記第１及び第２レンズ面から間隔をもって形成されていることを特徴とするレンズユニット。
　ガラス基板の少なくとも一方の面に、硬化性樹脂で形成された樹脂部の平坦表面の一部に凹状の第１レンズ面を有する、第１レンズブロックと、
　ガラス基板の少なくとも一方の面に、硬化性樹脂で形成された樹脂部の平坦表面の一部に凹状の第２レンズ面を有する、第２レンズブロックと、
　前記第１レンズブロックの凹状の第１レンズ面が形成された樹脂部の平坦表面と前記第２レンズブロックの凹状の第２レンズ面が形成された樹脂部の平坦表面とは接着剤で所定間隔をもって接合されると共に、当該接着剤の光軸と直交する断面での光軸方向からみた形成領域が、前記第１及び第２レンズ面とユニット端部との間の空間を分けるように形成されていることを特徴とするレンズユニット。
　前記平坦表面同士の接着剤の所定間隔は、第１レンズブロックの樹脂部の平坦表面と前記第２レンズブロックの樹脂部の平坦表面の何れか少なくとも一方に形成された突起部によって調整されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のレンズユニット。
　前記平坦表面同士の接着剤の所定間隔は、前記接着剤に含有されているビーズにより調整されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のレンズユニット。
　第１基板の一方の面にエネルギー硬化性樹脂で形成された表面が平坦な樹脂部の一部に凹状のレンズ面が複数設けられたウエハレンズと、
　前記ウエハレンズの前記レンズ面が形成された側の面に積層接着された第２基板と、を備えるウエハレンズ集合体であって、前記ウエハレンズと前記第２基板とを接着する接着層は、
　前記ウエハレンズにおける平坦な樹脂部に対して固着されるとともに、前記レンズ面から接着剤を離間させて配設することで当該レンズ面との間に形成された第１空間部と、
　前記第１空間部から所定の距離だけ離間して当該第１空間部の外周側に形成された第２空間部とを有しており、
　前記第２空間部は、
　前記レンズ面の周方向に間隔を空けて複数形成されているか、或いは当該周方向に連続して環状に形成されていることを特徴とするウエハレンズ集合体。
　第１基板の一方の面に平坦面と、複数の凹状のレンズ面とを有するウエハレンズと、平坦面を有する第２基板と、を有し、前記第１基板の、前記凹状のレンズ面が複数形成された平坦部と、前記第２基板の平坦部とを接着層を介して積層接着して構成されるウエハレンズ集合体であって、
　前記ウエハレンズ集合体は、前記第１基板の前記平坦部及び／又は前記第２基板の平坦部に前記接着層を形成して得られる接着部で両者を接着する構成であり、
　前記接着部は、前記複数の凹状のレンズ面各々の周囲を取り囲むように形成される領域であって、当該領域内側に凹状のレンズ面との間で形成された第１空間部、前記接着部外側で隣接する他の凹状レンズ面の周囲を取り囲む接着部との間に形成される第２空間部が形成されていることを特徴とするウエハレンズ集合体。
　前記第２基板の前記ウエハレンズと接着される面側には、凹状のレンズ面を複数有し、前記ウエハレンズの凹状のレンズ面と互いに対向して接着されることを特徴とする請求項５又は６に記載のウエハレンズ集合体。
　前記ウエハレンズの前記第２基板と積層される側とは反対側の面には、凸状のレンズ面を複数有することを特徴とする請求項５～７の何れか一項に記載のウエハレンズ集合体。
　前記第２基板の前記ウエハレンズと接着される面と反対側の面には、凸状のレンズ面を複数有することを特徴とする請求項５～８の何れか一項に記載のウエハレンズ集合体。
　前記レンズ面はガラス基板上に光硬化性樹脂を硬化して形成されていることを特徴とする請求項５に記載のウエハレンズ集合体。
　前記レンズ面はガラス基板と一体成形して形成されていることを特徴とする請求項６に記載のウエハレンズ集合体。
　第１基板の一方の面に平坦面と、複数の凹状のレンズ面とを有するウエハレンズと、スペーサとを有し、前記第１基板の、前記凹状のレンズ面が複数形成された平坦部と、前記スペーサの一方の面とを接着層を介して積層接着して構成されるウエハレンズ集合体であって、
　前記ウエハレンズ集合体は、前記第１基板の前記平坦部と前記スペーサとを前記接着層を形成して得られる接着部で両者を接着する構成であり、
　前記接着部は、前記複数の凹状のレンズ面各々の周囲を取り囲むように形成される領域であって、当該領域内側に凹状のレンズ面との間で形成された第１空間部と、前記接着部外側で隣接する他の凹状レンズ面の周囲を取り囲む接着部との間に形成される第２空間部が形成されていることを特徴とするウエハレンズ集合体。
　前記スペーサは、厚み方向への貫通口を有することを特徴とする請求項１２に記載のウエハレンズ集合体。
　前記第１空間部と前記第２空間部とが、互いに連通していることを特徴とする請求項５に記載のウエハレンズ集合体。
　前記接着層の接着剤は、光、電子線または熱によって硬化するか、或いは硬化が促進されることを特徴とする請求項５～１４の何れか一項に記載のウエハレンズ集合体。
　前記接着層には、
　当該接着層の厚みと略同じ直径のフィラーが含有されていることを特徴とする請求項５～１５の何れか一項に記載のウエハレンズ集合体。
　前記第１基板または前記第２基板のうち、少なくとも一枚の基板には、
　前記レンズ面に対する絞りが設けられており、
　前記接着層の接着剤は、
　光、電子線または熱によって硬化するか、或いは硬化が促進されるものであり、
　前記絞りは、
　前記接着層の接着剤を硬化する際に照射される光、電子線または熱線を当該接着剤に到達させることができる領域に形成されていることを特徴とする請求項５～１６の何れか一項に記載のウエハレンズ集合体。
　前記第１基板及び前記第２基板は、それぞれ１つ以上のアライメントマークを有することを特徴とする請求項６～１０の何れか一項に記載のウエハレンズ集合体。
　請求項５～１８の何れか一項に記載のウエハレンズ集合体を、前記第２空間部の部分で厚み方向にカットして製造したことを特徴とするレンズユニット。