JP5450138B2 - イオン注入角度をモニタするウェハ及びそれを用いたモニタリング方法 - Google Patents
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Description
2,21,22,23,24,25,26 トレンチ
3,5 イオン注入
4,6 イオン注入跡
91 テストパターン
d9 ライン間距離
t1,t2,t3,t4 トレンチ深さ
t′,t″,t′′′ トレンチ側壁部イオン注入領域深さ
w1,w2,w3,w4 トレンチ幅
w′,w″,w′′′ トレンチ底部イオン注入領域幅
θ1,θ2,θ3,θ4,θ5,θ6 イオン注入角度
Claims (3)
- 半導体プロセスのイオン注入工程をモニタリングするためのウェハであり、一定の深さとウェハ表面に注入される複数のイオン注入角度によって決まる幅を有するトレンチ構造を複数パターン備えているウェハに対しイオン注入を行った後、イオン注入された部分のみ選択エッチングし、前記トレンチ構造の底部および側壁部を観察することで、設定したイオン注入角度の評価を視覚的に行うことを特徴とするモニタリング方法。
- 半導体プロセスのイオン注入工程をモニタリングするためのウェハであり、一定の幅とウェハ表面に注入される複数のイオン注入角度によって決まる深さを有するトレンチ構造を複数パターン備えているウェハに対しイオン注入を行った後、イオン注入された部分のみ選択エッチングし、前記トレンチ構造の底部および側壁部を観察することで、設定したイオン注入角度の評価を視覚的に行うことを特徴とするモニタリング方法。
- 請求項1又は2に記載のモニタリング方法において、
イオン注入後、トレンチ構造の底部および側壁部を選択エッチングした際のエッチング寸法の推移・比較を更に行うことを特徴とするモニタリング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010023694A JP5450138B2 (ja) | 2010-02-05 | 2010-02-05 | イオン注入角度をモニタするウェハ及びそれを用いたモニタリング方法 |
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JP2010023694A JP5450138B2 (ja) | 2010-02-05 | 2010-02-05 | イオン注入角度をモニタするウェハ及びそれを用いたモニタリング方法 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2010023694A Active JP5450138B2 (ja) | 2010-02-05 | 2010-02-05 | イオン注入角度をモニタするウェハ及びそれを用いたモニタリング方法 |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5450138B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108109933B (zh) * | 2017-12-18 | 2020-08-28 | 李友洪 | 离子注入工艺的监控方法 |
CN110416045A (zh) * | 2019-08-07 | 2019-11-05 | 德淮半导体有限公司 | 法拉第杯组件及其离子束注入角度的测量方法、装置 |
CN113436972B (zh) * | 2020-03-23 | 2023-09-22 | 长鑫存储技术有限公司 | 半导体刻蚀方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04340741A (ja) * | 1991-05-17 | 1992-11-27 | Fujitsu Ltd | イオン注入量測定方法、イオン注入量測定用シリコン結晶の作製方法及び半導体装置の製造方法 |
JP2005347367A (ja) * | 2004-06-01 | 2005-12-15 | Toyota Motor Corp | 半導体装置とその製造方法 |
JP2007235080A (ja) * | 2006-01-31 | 2007-09-13 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2008147402A (ja) * | 2006-12-08 | 2008-06-26 | Sharp Corp | モニタリング方法 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011165722A (ja) | 2011-08-25 |
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A621 | Written request for application examination |
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