JP5449423B2 - 断続的コンベヤシステムを有するコータ - Google Patents
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Claims (23)
- シート状基板上に薄膜を塗布するためのコータであって、
前記コータを通って前記基板を搬送するよう適合させた、ポケットを画定するコンベヤループを有する基板移送システムと、
前記基板移送システムのコンベヤループによって画定される前記ポケット内に少なくとも部分的に配置されたコーティング材料源とを含むコータ。 - 前記基板移送システムが、前記コータを通って延びる基板走行路を画定し、当該コーティング材料源が、前記基板走行路の下方にある請求項1に記載のコータ。
- 当該ポケットが、前記基板走行路に向かって上方向に開口しており、当該コーティング材料源が、前記基板が前記移送システム上の所望の位置にある時、コーティング材料を、前記基板の底主面上に、上方向に供給するよう適合させられている請求項1または2に記載のコータ。
- 前記基板が幅を有し、前記ポケットが、前記基板の幅と少なくとも同じ位の大きさである長さを有する請求項1〜3のいずれかに記載のコータ。
- 当該コーティング材料源が、前記基板の幅と少なくとも同じ位の大きさである長さを有するコーティング材料の流束を供給するよう適合させられ、それにより、当該コーティング材料源が、前記基板の底主面の全面コーティングに適合させられている請求項4に記載のコータ。
- 当該コーティング材料源が、前記基板の幅の少なくとも70%の大きさである長さを有するスパッタリングターゲットである請求項4または5に記載のコータ。
- 前記基板が長さを有し、前記ポケットが幅を有し、前記ポケットの幅が、前記基板の長さの2分の1未満である請求項1〜6のいずれかに記載のコータ。
- 前記コータが、内部キャビティを画定する堆積チャンバを含み、前記基板移送システムが、前記堆積チャンバを通って延びる基板進行路を画定し、当該コーティング材料源が、前記堆積チャンバ内に少なくとも部分的に配置される請求項1〜7のいずれかに記載のコータ。
- 前記堆積チャンバが、少なくとも1つの真空堆積工程を実施するよう適合させた真空堆積チャンバである請求項8に記載のコータ。
- 前記真空堆積チャンバが、0.1トル未満の当該内部キャビティのガス圧を確立し、かつ維持するよう適当させられている請求項9に記載のコータ。
- 当該コーティング材料源が、スパッタ堆積装置、イオンアシスト堆積装置、化学気相蒸着装置、および真空蒸着装置からなる群から選択される薄膜堆積装置を含む請求項1〜10のいずれかに記載のコータ。
- 当該コーティング材料源が、スパッタリングターゲットを含むスパッタ堆積装置を含む請求項11に記載のコータ。
- 前記スパッタリングターゲットが、前記基板移送システムのコンベヤループによって画定される前記ポケット内に少なくとも部分的に配置される請求項12に記載のコータ。
- 前記基板移送システムのコンベヤループによって画定される前記ポケット内に配置されたガス供給出口を更に含む請求項13に記載のコータ。
- 前記ガス供給出口に通じるガス供給ラインと結合された、および/または結合するよう適合させたガス供給源を更に含む請求項14に記載のコータ。
- 前記基板移送システムのコンベヤループによって画定される前記ポケット内に少なくとも部分的に配置されたアノードを更に含む請求項13または14に記載のコータ。
- 前記スパッタリングターゲットと前記アノードとの間に電圧差をもたらすための電源を更に含む請求項16に記載のコータ。
- 前記ポケットが、前記コンベヤループの概ね水平な部分と前記コンベヤループの2つの概ね垂直な対峙する部分とによって境界付けられている請求項1〜17のいずれかに記載のコータ。
- シート状基板上に薄膜を塗布する方法であって、
コータを通って前記基板を搬送するよう適合させられ、ポケットを画定するコンベヤループを有する基板移送システムを有し、当該ポケット内に少なくとも部分的に配置されたコーティング材料源を更に含む前記コータを準備することと、
前記基板を前記コンベヤループ上に位置させることと、
前記基板を前記コータを通って搬送するよう前記移送システムを操作することと、
前記コーティング材料源からのコーティング材料を、前記基板の所望の主面上に、当該ポケットから外方向に供給するよう前記コータを操作することとを含む方法。 - 前記所望の主面上に供給されたコーティング材料が、その主面を全面的に被覆する請求項19に記載の方法。
- シート状基板上に薄膜を塗布する方法であって、
コータを通って延びる基板走行路に沿って前記基板を搬送するよう適合させられ、前記基板走行路に向かって上方向に開口するポケットを画定するコンベヤループを有する基板移送システムを有し、前記基板走行路の下方に、当該ポケット内に少なくとも部分的に配置されたコーティング材料源を有するコータを準備することと、
前記基板を前記コンベヤループ上に位置させることと、
前記基板が前記コーティング材料源の上方を移動するように、前記基板を、前記基板走行路に沿って搬送するよう前記移送システムを操作することと、
前記コーティング材料源からのコーティング材料を、前記基板の底主面上に、当該ポケットから上方向に供給するよう前記コータを操作することとを含む方法。 - 前記底主面上に供給されたコーティング材料が、その主面を全面的に被覆する請求項21に記載の方法。
- 前記基板がガラス板であり、前記コータが真空コータであり、前記コーティング材料源が、スパッタ堆積装置、イオンアシスト堆積装置、化学気相蒸着装置、および真空蒸着装置からなる群から選択される薄膜堆積装置を含む請求項21または22に記載の方法。
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