JP5446245B2 - 外観検査装置 - Google Patents
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Description
照明装置は、当該ハーフミラーを用いることによりモノクロカメラのレンズの光軸に対して同軸方向に光を照射する同軸方向の照明装置と、モノクロカメラのレンズの光軸に対して角度をつけて光を照射する斜め方向の照明装置とを有し、
同軸方向の照明装置および斜め方向の照明装置からの光がそれぞれ被検査基材に反射し、この同軸方向の照明装置および斜め方向の照明装置からの光の反射光がハーフミラーを通過してモノクロカメラに入射することを特徴とする外観検査装置である。
11 リードフレーム本体
11a、11b パッド部
12 めっき層
20 外観検査装置
21 搬送装置
22 モノクロカメラ
22a レンズ
23a、23b、23c 青色照明装置
23d 光源
23e フィルタ
23f 光ファイバ
24 ハーフミラー
30 画像処理装置
31 画像取込部
33 二値化処理部
34 判定部
40 記憶部
50 表示部
Claims (7)
- パッド部と、パッド部上に形成され、パッド部と異なる色彩をもつめっき層とを有する被検査基材の外観検査装置において、
被検査基材に対して、パッド部からの反射率と、めっき層からの反射率との差が大きくなる特定波長成分を含む光を照射する照明装置と、
被検査基材を撮像してグレー画像を取得するモノクロカメラと、
モノクロカメラに接続された画像処理装置とを備え、
画像処理装置は、モノクロカメラからのグレー画像に基づいて白黒画像を生成する二値化処理部と、二値化処理部からの白黒画像に基づいてめっき層の未着を判定する判定部とを有し、
パッド部は銅又は銅合金からなり、めっき層は銀からなり、かつ特定波長成分は青色成分からなり、
モノクロカメラの下方には、ハーフミラーが設けられ、
照明装置は、当該ハーフミラーを用いることによりモノクロカメラのレンズの光軸に対して同軸方向に光を照射する同軸方向の照明装置と、モノクロカメラのレンズの光軸に対して角度をつけて光を照射する斜め方向の照明装置とを有し、
同軸方向の照明装置および斜め方向の照明装置からの光がそれぞれ被検査基材に反射し、この同軸方向の照明装置および斜め方向の照明装置からの光の反射光がハーフミラーを通過してモノクロカメラに入射することを特徴とする外観検査装置。 - めっき層は、パッド部側から、Ni層/Ag層、Ni層/Au層/Ag層、又はAu層/Pd層/Ni層/Ag層となる層構成を含むことを特徴とする請求項1記載の外観検査装置。
- 同軸方向の照明装置および斜め方向の照明装置のうち、一方の照明装置の照度は、他方の照明装置の照度に比べて低いことを特徴とする請求項1または2記載の外観検査装置。
- 照明装置は、被検査基材に対して青色光を照射する青色照明装置からなることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項記載の外観検査装置。
- 被検査基材はリードフレームであることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項記載の外観検査装置
- 照明装置は、光源と、光源からの光のうち特定波長成分の光のみを透過させるフィルタとを有することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項記載の外観検査装置。
- 照明装置は、LED照明装置からなることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項記載の外観検査装置。
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