JP5693813B2 - 外観検査装置 - Google Patents
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Description
11 リードフレーム本体
11a、11b パッド部
12 めっき層
20 外観検査装置
21 搬送装置
22 カラーセンサカメラ
22a レンズ
23a、23b、23c 白色照明装置
24 ハーフミラー
30 画像処理装置
31 画像取込部
32 成分抽出部
33 画像処理部
34 判定部
40 記憶部
50 表示部
Claims (10)
- パッド部と、パッド部上に形成され、パッド部と異なる色彩をもつめっき層とを有する被検査基材の外観検査装置において、
被検査基材に対して光を照射する照明装置と、
被検査基材を撮像してカラー画像を取得するカラーセンサカメラと、
カラーセンサカメラに接続された画像処理装置とを備え、
画像処理装置は、カラーセンサカメラからのカラー画像のうちパッド部からの反射率と、めっき層からの反射率との差が大きくなる特定波長成分を含む画像成分のみを抽出する成分抽出部と、成分抽出部からの特定波長成分を含む画像成分の画像を処理する画像処理部と、画像処理部で処理された画像においてめっき層の未着を判定する判定部とを有し、
カラーセンサカメラの下方には、ハーフミラーが設けられ、被検査基材に対して光を照射する照明装置は、当該ハーフミラーを用いることによりカラーセンサカメラのレンズの光軸に対して同軸方向に光を照射する同軸方向の照明装置と、カラーセンサカメラのレンズの光軸に対して角度をつけて光を照射する斜め方向の照明装置とを有し、
同軸方向の照明装置および斜め方向の照明装置からの光がそれぞれ被検査基材に反射し、この同軸方向の照明装置および斜め方向の照明装置からの光の反射光がハーフミラーを通過してカラーセンサカメラに入射することを特徴とする外観検査装置。 - 照明装置は、被検査基材に対して白色光を照射する白色照明装置からなることを特徴とする請求項1記載の外観検査装置。
- 照明装置は、被検査基材に対して特定波長成分の色の光を照射する照明装置からなることを特徴とする請求項1記載の外観検査装置。
- 同軸方向の照明装置および斜め方向の照明装置のうち、一方の照明装置の照度は、他方の照明装置の照度に比べて低いことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項記載の外観検査装置。
- 照度を低くしている照明装置は、特定波長成分の色の光を照射する照明装置であることを特徴とする請求項4記載の外観検査装置。
- パッド部は銅又は銅合金からなり、めっき層は銀からなり、かつ特定波長成分は青色成分からなることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項記載の外観検査装置。
- めっき層は、パッド部側から、Ni層/Ag層、Ni層/Au層、Ni層/Au層/Ag層、Ni層/Pd層/Au層、Ni層/Cu層/Ni層/Au層、Au層/Ni層/Au層、又はAu層/Pd層/Ni層/Ag層となる層構成を含むことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項記載の外観検査装置。
- めっき層は、パッド部側から、Au層/Ag層となる層構成からなり、特定波長成分は青色成分からなることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項記載の外観検査装置。
- めっき層は、パッド部側から、Ni層/Cu層、Ni層/Au層、Pd層/Au層、銅又は銅合金層/Ni層、Au層/Ni層、Au層/Pd層、又は42A層/Cu層となる層構成からなり、特定波長成分は赤色成分からなることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項記載の外観検査装置。
- 被検査基材はリードフレームであることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか一項記載の外観検査装置。
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