JP5444023B2 - マイクロレンズアレイ素子およびその製造方法 - Google Patents
マイクロレンズアレイ素子およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5444023B2 JP5444023B2 JP2010017282A JP2010017282A JP5444023B2 JP 5444023 B2 JP5444023 B2 JP 5444023B2 JP 2010017282 A JP2010017282 A JP 2010017282A JP 2010017282 A JP2010017282 A JP 2010017282A JP 5444023 B2 JP5444023 B2 JP 5444023B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- microlens array
- glass substrate
- protective layer
- forming
- microlens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
Description
マイクロレンズアレイは、透明平行平板状の基板の片側の面に形成され、照明光はマイクロレンズアレイを透過し、上記基板を厚み方向に透過してブラックマトリックスの開口部へ集光するので、マイクロレンズアレイが形成された基板の厚さは、マイクロレンズの焦点距離に応じて薄くしなければならない。
この傾向は、マイクロレンズのレンズ面の曲率が強くなるほど「マイクロレンズアレイの凹凸を差し引いた基板厚さ」が薄くなるため特に顕著になる。
平行平板状のガラス基板は、マイクロレンズアレイ形成工程が行われる際には、研磨工程による研磨量を含む厚さを有する。
そして、保護層形成工程の際の「保護層の引っ張り応力によるガラス基板の反り」を、ガラス基板の上記厚さ(研磨工程による研磨量を含む厚さ)により抑制する。
マイクロレンズアレイを形成する所定数は、1個のマイクロレンズアレイのサイズと、ガラス基板のサイズとにより定まる。
研磨によりガラス基板は厚さを減じるので、マイクロレンズアレイを形成される段階では「十分な厚み」を有するようにする。「十分な厚み」については後述する。
「SiO2を骨格とする重縮合材料」は、その組成により「屈折率の調整」が容易であり、所望の屈折力を持った保護層を容易に得ることができる。この保護層は「マイクロレンズアレイのレンズ面上」に形成されるので、マイクロレンズのレンズ面による屈折力は「ガラス基板材料および保護層材料」の屈折率と、レンズ面の曲率とにより定まることになる。このことを利用し、保護層材料の屈折率を調整して、マイクロレンズアレイを構成する個々のマイクロレンズとともに「所定の焦点距離」を実現する焦点距離調整が可能である。
即ち、形成される保護層の厚みは、マイクロレンズアレイの形成されたガラス基板に、「保護層の引っ張り応力による反り」が、設計許容範囲を超えて生じないような大きさでなければならない。
ベースガラスは上記4層構造体に大きな「機械強度」を与える機能を持ち、この機能を発揮できるに足る厚みを持つ。
続く「研磨工程」で、ガラス基板の「マイクロレンズアレイの形成された面と逆側」の面を研磨し、ガラス基板を所定の厚さに形成する。研磨工程を行なう研磨方法は、従来から知られたガラス研磨方法の適宜のものを利用できる。
図1は、マイクロレンズアレイ素子の製造方法を説明するための図である。
図2(a)は、この状態を説明図的に示している。
ガラス基板GSは、平行平板状の円板形状であって、直径:100mmであり、その片面に11個のマイクロレンズアレイMLAが形成されている。図1は、図2(a)において破線で囲んだ部分を示している。以下に説明する各工程は、従って、図2(a)に示すガラス基板GSに対して行なわれることになる。
F=NP・r/(NG−NP)
となる。
形成された個々のマイクロレンズアレイは、直径:10μmの凸球面を正方配列で密接して配置したものであり、フォトリソグラフィとエッチングとを用いる公知の方法で形成した。各マイクロレンズの凸球面の曲率半径:rは5.0μmである。
MLA マイクロレンズアレイ
PL 保護層
BL 接着剤層
BG ベースガラス
TCL 透明電極層
BM ブラックマトリックス
Claims (2)
- 平行平板状のガラス基板の片面に所望数のマイクロレンズアレイを所望のピッチで形成するマイクロレンズアレイ形成工程と、
上記ガラス基板の上記マイクロレンズアレイを形成された面に、上記ガラス基板と異なる屈折率を持ち、SiO2を骨格とする重縮合材料の加熱処理により、厚さ:0.1μm〜20μmの保護層を形成して、上記マイクロレンズアレイを構成する個々のマイクロレンズとともに所定の焦点距離を実現する保護層形成工程と、
上記保護層の表面側に、平行平板状のベースガラスの平坦な面を接着剤により接着固定する接着工程と、
接着工程後に、上記ガラス基板のマイクロレンズアレイの形成された面と逆側の面を研磨して、上記ガラス基板を所定の厚さに形成する研磨工程と、
上記ガラス基板の研磨された面に透明電極膜とブラックマトリックスを形成する膜形成工程と、
膜形成工程後にマイクロレンズアレイごとに分離してチップ化し、マイクロレンズアレイ素子を得るチップ化工程と、
を有し、
上記平行平板状のガラス基板は、上記マイクロレンズアレイ形成工程が行われる際には、上記研磨工程による研磨量を含む厚さを有し、
上記保護層形成工程の際の、上記保護層の引っ張り応力による上記ガラス基板の反りを上記ガラス基板の上記厚さにより抑制することを特徴とする、マイクロレンズアレイ素子の製造方法。 - 請求項1記載の製造方法で製造されるマイクロレンズアレイ素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010017282A JP5444023B2 (ja) | 2010-01-28 | 2010-01-28 | マイクロレンズアレイ素子およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010017282A JP5444023B2 (ja) | 2010-01-28 | 2010-01-28 | マイクロレンズアレイ素子およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011154320A JP2011154320A (ja) | 2011-08-11 |
JP5444023B2 true JP5444023B2 (ja) | 2014-03-19 |
Family
ID=44540315
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010017282A Expired - Fee Related JP5444023B2 (ja) | 2010-01-28 | 2010-01-28 | マイクロレンズアレイ素子およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5444023B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5816107B2 (ja) * | 2012-01-31 | 2015-11-18 | リコー光学株式会社 | マイクロレンズアレイ素子 |
JP2014032226A (ja) * | 2012-08-01 | 2014-02-20 | Seiko Epson Corp | マイクロレンズ基板、マイクロレンズ基板の製造方法、及びマイクロレンズ基板を備えた電気光学装置 |
CN103413495A (zh) * | 2013-07-17 | 2013-11-27 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种显示装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3817767B2 (ja) * | 1996-01-19 | 2006-09-06 | ソニー株式会社 | マイクロプリズムを備えた貼り合わせ基板の製造方法 |
JP5221066B2 (ja) * | 2007-06-26 | 2013-06-26 | リコー光学株式会社 | 膜積層基板および液晶パネル用対向基板および液晶パネル |
-
2010
- 2010-01-28 JP JP2010017282A patent/JP5444023B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011154320A (ja) | 2011-08-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5078265B2 (ja) | 対向基板、液晶表示素子及び液晶プロジェクタ | |
US20140376097A1 (en) | Microlens array and imaging element package | |
CN107085323B (zh) | 一种显示面板及其制作方法、显示装置 | |
KR20120109467A (ko) | 웨이퍼 레벨 광학 소자를 제조하는 방법 | |
JP2000002803A (ja) | 平板型マイクロレンズアレイ | |
JP2011138089A (ja) | ウェハレベルレンズアレイ、レンズモジュール及び撮像ユニット | |
US8828174B2 (en) | Method of manufacturing a plurality of optical devices | |
JP5444023B2 (ja) | マイクロレンズアレイ素子およびその製造方法 | |
JPH11211902A (ja) | 平板型マイクロレンズアレイ | |
JP2014102311A (ja) | マイクロレンズアレイ基板、マイクロレンズアレイ基板の製造方法、電気光学装置、電子機器 | |
JP2009048078A (ja) | 液晶マイクロレンズアレイ | |
JP2980830B2 (ja) | 液晶表示装置 | |
JP5756635B2 (ja) | 液晶素子 | |
JP2007150266A (ja) | 固体撮像装置の製造方法、及び固体撮像装置 | |
KR20080019464A (ko) | 액정 패널용 상부 기판, 이를 이용하는 액정 패널 및 그제조 방법 | |
JP2013246210A (ja) | マイクロレンズの形成方法、マイクロレンズ、液晶デバイス用対向基板、および液晶デバイス | |
TW202016598A (zh) | 晶圓層級光學結構及其形成的方法 | |
JP5816107B2 (ja) | マイクロレンズアレイ素子 | |
JP5078229B2 (ja) | 光学素子、液晶デバイス、及び液晶プロジェクター | |
TW201302462A (zh) | 顯示裝置及其製造方法 | |
TWI549560B (zh) | 弧形顯示裝置及其製作方法 | |
JP6684614B2 (ja) | フィルタ部材及び光センサ | |
TWI702731B (zh) | 晶圓層級勻相接合的光學結構及其形成方法 | |
JP2005234309A (ja) | 光学部品の製造方法、光学部品 | |
JP2006234957A (ja) | 液晶表示装置および液晶表示装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120727 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130516 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130528 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130725 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131203 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131220 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5444023 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |