JP5442344B2 - ワイヤグリッド偏光板 - Google Patents
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Description
基材1は、特定方向に延在する格子状凹凸形状を有する基材であって、目的とする波長領域において実質的に透明であればよい。ここで、格子状凹凸形状は、図1の紙面手前側−奥側方向に延在している。また、特定方向に延在するとは、格子状凹凸形状が実質的に延在していればよく、格子状凹凸形状が厳密に平行に延在している必要はない。基材1としては、例えば、ガラスなどの無機材料や樹脂材料を用いることができるが、中でも樹脂材料を用いた基板が、ロールプロセスが可能になる、ワイヤグリッド偏光板にフレキシブル性(屈曲性)を持たすことができる、等のメリットがあるため好ましい。基材1に用いることができる樹脂としては、例えば、ポリメタクリル酸メチル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリスチレン樹脂、シクロオレフィン樹脂(COP)、架橋ポリエチレン樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリアクリレート樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂、変性ポリフェニレンエーテル樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリエーテルサルフォン樹脂、ポリサルフォン樹脂、ポリエーテルケトン樹脂などの非晶性熱可塑性樹脂や、ポリエチレンテレフタレート(PET)樹脂、ポリエチレンナフタレート樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリブチレンテレフタレート樹脂、芳香族ポリエステル樹脂、ポリアセタール樹脂、ポリアミド樹脂などの結晶性熱可塑性樹脂や、アクリル系、エポキシ系、ウレタン系などの紫外線(UV)硬化性樹脂や熱硬化性樹脂が挙げられる。また、紫外線硬化性樹脂や熱硬化性樹脂と、ガラスなどの無機基板、上記熱可塑性樹脂、トリアセテート樹脂とを組み合わせたり、単独で用いて基材を構成させることもできる。
前記のように基材1の格子状凹凸形状の延在方向に対して垂直な面内における凹部断面形状は、放物線のようになだらかに曲率が変わる曲線ではなく、比較的に平らな凹部低部と小さな曲率の角部から構成される略矩形形状であることが好ましい。凹部断面形状が、略矩形形状であることから、格子状凸部も側面が比較的垂直に近い略矩形形状になる。また、格子状凸部の凸部高さ/凸部の半値幅の値は、1.0〜10程度であることが好ましく、得られる光学性能と、凸部形状の作りやすさ、転写のしやすさを考慮すると1.5〜5であることがより好ましい。
本発明において基材1を構成する材料と金属ワイヤ2との密着性向上のため、両者の間に両者と密着性が高い誘電体材料を好適に用いることができる。例えば、珪素(Si)の酸化物、窒化物、ハロゲン化物、炭化物の単体またはその複合物(誘電体単体に他の元素、単体または化合物が混じった誘電体)や、アルミニウム(Al)、クロム(Cr)、イットリウム(Y)、ジルコニア(Zr)、タンタル(Ta)、チタン(Ti)、バリウム(Ba)、インジウム(In)、錫(Sn)、亜鉛(Zn)、マグネシウム(Mg)、カルシウム(Ca)、セリウム(Ce)、銅(Cu)などの金属の酸化物、窒化物、ハロゲン化物、炭化物の単体またはそれらの複合物を用いることができる。誘電体材料は、透過偏光性能を得ようとする波長領域において実質的に透明であればよい。
金属としてアルミニウムや銀の他、対象とする光の波長領域に応じて、銅、白金、金またはこれらの各金属を主成分とする合金を使用することもできる。
金属ワイヤ2は、格子状凹凸形状を有する基材の凸部の一方向側の側面に接し、上部が基材の凸部頂部より上方に伸びるよう設けられた構造を有している。金属ワイヤ2を、格子状凹凸形状を有する凸部頂部より上方に伸びるよう設けることで、偏光特性が向上し、光の損失を減らすことができる。中でも、基材1の格子状凹凸形状の延在方向に対して垂直な面内における凹部底部から凸部頂部までの高さのうち、頂部から90%までの任意の高さにおいて、金属ワイヤ2の幅をa、格子状凸部の幅をbとしたときに、0.3≦a/bであることが光学対称性、偏光透過率などの光学性能、ワイヤグリッドの構造強度の観点から好ましく、さらに、0.4≦a/b≦3.0であることがより好ましい。ここで、金属ワイヤ2の幅a、格子状凸部の幅bの値は、平均的な数字であり、実際には基材1の格子状凹凸形状の延在方向に対して垂直な面内で断面形状をSEMやTEMで観察し、任意の一断面のとなりあう3本の平均値から求める。基材1の格子状凹凸形状の延在方向に対して、ある厚みの平均的な形状を観察できるTEMは観察方法として好ましい。
光学特性の観点から、必要に応じ凹凸格子の凹部底部に積層する金属を、エッチングにより除去する。エッチング方法は、基材や誘電体層に悪影響を及ぼさず、必要量の金属が除去できる方法であれば特に限定は無いが、生産性や装置コストの観点から酸やアルカリの水溶液に浸漬させる方法が好ましい。
格子状凹凸形状の延在方向に垂直な面内において、基材1の法線に対して、それぞれ左右対称方向から入射する光に関し、光線透過率の差の許容値は、使用する製品によって異なるが、画像表示装置に用いた場合、対象とする同一波長で3%以下であれば差の認識は難しく、十分といえる。格子状凹凸形状の延在方向に垂直な面内における基材面の垂直方向に対し、それぞれ左右の対称方向から入射する光の光線透過率の差が、可視光領域における同一波長で3%以下であることが好ましく、これを達成するには、金属ワイヤ2の基材1接触部分から基材1上部にかけて、金属ワイヤ2そのものが略左右対称構造となっていることが重要である。また、金属ワイヤ2の一方向側の側面にのみ基材が存在することも重要である。
(格子状凹凸形状を有する樹脂基材の作製)
・紫外線硬化樹脂を用いた格子状凹凸形状転写フィルムの作製
格子状凹凸形状転写フィルムの作製には、3種類のNi製金型(以下、金型A、金型B、金型Cという)を用いた。金型A、金型Bは格子状凹凸形状のピッチが130nmで、特定方向(格子の延在する方向)に垂直な断面における凹部形状が略矩形であり、金型Cは格子状凹凸形状のピッチが145nmで、格子の延在する方向に垂直な断面における凹部形状が大きな曲率をもったU字形である。厚み80μmのトリアセチルセルロース樹脂(以下、TACと略す)フィルムに特開2009−19174の実施例2に示す光硬化性樹脂を約3μm塗布し、塗布面を下にし、金型とTACフィルム間に空気が入らないように乗せた。TACフィルム側から中心波長365nmの紫外線ランプを用いて紫外線を1000mJ/cm2照射し、金型A、金型B、金型Cについて格子状凹凸形状を転写した。TACフィルムを金型から剥離し、縦300mm、横200mmの格子状凹凸形状を転写したフィルムを作製した(以下、金型A、B、Cの3種から転写したフィルムを、それぞれ転写フィルムA、転写フィルムB、転写フィルムCという)。
・スパッタリング法を用いた誘電体層の形成
次に転写フィルムA、B、Cの格子状凹凸形状転写表面に、スパッタリング法により誘電体層として二酸化珪素を成膜した。スパッタリング装置条件は、Arガス圧力0.2Pa、スパッタリングパワー770W/cm2、被覆速度0.1nm/sとし、転写フィルム上の誘電体平均厚みが3nmとなるように成膜した。ここでは、誘電体の厚みを測定するため表面が平滑なガラス基板を転写フィルムと同時に装置に挿入し、平滑ガラス基板上の誘電体厚みを誘電体平均厚みとした。
次に誘電体層を成膜した転写フィルムA、転写フィルムB、転写フィルムCの格子状凹凸形状転写表面に、真空蒸着によりアルミニウム(Al)を成膜した。Alの蒸着条件は、常温下、真空度2.0×10−3Pa、蒸着速度40nm/sとした。Alの厚みを測定するため表面が平滑なガラス基板を転写フィルムと同時に装置に挿入し、平滑ガラス基板上のAl厚みをAl平均厚みとし、格子の長手方向と垂直に交わる平面内において基材面の法線と蒸着源のなす角度を蒸着角θとした。転写フィルムAは蒸着角θを20°、Al平均厚みを100nmとし、転写フィルムBは蒸着角θを15°、Al平均厚みを100nm、転写フィルムCは蒸着角θを25°、Al平均厚みを120nmとした。
次にAlを蒸着した転写フィルムA、転写フィルムB、転写フィルムCをアルカリ水溶液に浸漬し不要なAlを除去した。不要Alの除去としては、Al蒸着した転写フィルムを室温下で、0.1重量%水酸化ナトリウム水溶液に所定時間浸漬することで行った。
偏光度=[(Imax−Imin)/(Imax+Imin)]×100 %
光線透過率(T(θ))=[(Imax+Imin)/2]×100 %
次に、偏光板A、偏光板B、偏光板Cについて光線透過率の入射角依存性を測定した。入射角はAlワイヤの延在方向に垂直な面内で基材法線となす角度とし、Alワイヤが形成された凸部側面側からの入光には入射角に「+」を、反対側からの入光には入射角に「−」を付記した。偏光板A、偏光板Bの入射光角度0°、±30°、±45°、±60°における光線透過率T(θ)をそれぞれ図3、図4に示す。測定波長域は450nm〜780nmである。偏光板Aについては入射角0°〜±45°で透過率が40%以上となった。また、入射角0°〜±60°で、透過率が38%以上であった。
図3の断面形状観察結果をもとに、偏光板A、偏光板B、偏光板Cについて、分光シミュレーションにより光線透過率を計算した。シミュレーションソフトとしては、Grating Solver Development Company製のGSOLVER V4.20cを用いた。結果を図6、図7、図8に示すが、可視域(450nm〜780nm)の光に対しては、偏光板A、偏光板B、偏光板Cのいずれについても実施例とほぼ同等の光線透過率を示し、分光シミュレーション解析手法が妥当であることがわかった。偏光板A、偏光板Bについては、可視域だけでなく赤外領域(〜2000nm)においても、0〜±60°方向の入射光に対して光線透過率が36%以上で、±同角度における光線透過率差は偏光板Aについては0.4%以下、偏光板Bに関しては2.5%以下となった。
2 金属ワイヤ
Claims (6)
- 特定方向に延在する格子状凹凸形状を有する基材と、前記格子状凹凸形状を有する基材凸部の一方向側の側面に接し基材凸部頂部より上方に伸びるよう設けられた金属ワイヤと、を具備するワイヤグリッド偏光板であって、前記格子状凹凸形状の延在方向に垂直な面内における基材凹部断面形状が略矩形形状であり、基材凹部底部から前記基材凸部頂部までの高さのうち、前記基材凸部頂部から90%までの任意の高さにおいて、前記金属ワイヤの幅をa、格子状凸部の幅をbとしたときに、0.4≦a/b≦3.0であり、前記基材の特定方向に垂直な面内における前記基材凹部底部よりも上方の基材凸部断面積をS、同じ面内での金属ワイヤ断面積をLとしたとき、L/Sが1.5〜6であることを特徴とするワイヤグリッド偏光板。
- 前記基材凹部の底部位置の水平方向において、前記金属ワイヤの幅a、前記格子状凸部の幅bが、0.2≦a/b≦1.0であることを特徴とする請求項1に記載のワイヤグリッド偏光板。
- 前記延在方向に垂直な面内における基材面の垂直方向に対し、それぞれ左右の対称方向から0°〜60°の入射角で入射する光の光線透過率の差が、可視光領域における同一波長で3%以下であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のワイヤグリッド偏光板。
- 前記基材面の垂直方向から入射する可視光に対して偏光度が98%以上のワイヤグリッド偏光板であることを特徴とする請求項3に記載のワイヤグリッド偏光板。
- 前記基材面の垂直方向に対して、それぞれ左右対称方向から0°〜60°の入射角で入射する光の光線透過率が可視光領域でともに35%以上であることを特徴とする請求項3または請求項4に記載のワイヤグリッド偏光板。
- 前記基材面の垂直方向に対して、入射角が0°〜45°までの左右方向から入射する可視光領域の光線透過率がともに35%以上であることを特徴する請求項3から請求項5のいずれかに記載のワイヤグリッド偏光板。
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