JP5438665B2 - 硬質皮膜被覆部材、および、冶工具、並びに、ターゲット - Google Patents
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Description
従来の技術においては、所定元素を所定量添加することで、硬質皮膜の耐酸化性を向上させ、耐摩耗性の向上を図っている。
しかしながら、近年においては、切削工具等による切削速度が高速化してきているため、この高速化による摺動発熱の増大によって、使用する冶工具類が摩耗し易いという問題がある。そのため、このような切削速度の高速化に対応するために、さらに高い耐酸化性、すなわち、耐摩耗性が求められている。
このような構成によれば、前記の部材を有することによって、冶工具の耐摩耗性が向上する。
このような構成によれば、ターゲットが前記部材における皮膜の組成を有することで、アークイオンプレーティング蒸着法によって、前記組成の皮膜が容易かつ簡便に形成される。
≪硬質皮膜被覆部材≫
<第1実施形態>
図1に示すように、本発明に係る硬質皮膜被覆部材(部材)1(1a)は、基材2上に硬質皮膜(皮膜)3(3a)を備えたものである。
以下、具体的に説明する。
基材2としては、超硬合金、金属炭化物を有する鉄基合金、サーメット、高速度工具鋼等が挙げられる。しかし、基材2としては、これらに限定されるものではなく、チップ、ドリル、エンドミル等の切削工具や、プレス、鍛造金型、成型用金型、打ち抜きパンチ、トリム等の金型である冶工具等の部材に適用できるものであれば、どのようなものでもよい。
皮膜3aは、組成が(TiaCrbAlcSidYeRf)(CyNz)からなり、前記RがHo、Sm、Dy、Laから選ばれる1種以上の元素であり、前記a、b、c、d、e、f、y、zが原子比であるときに、
0.05≦a≦0.3
0.05≦b≦0.3
0.4≦c≦0.65
0≦d≦0.05
0≦e≦0.05
0.005≦f≦0.05
a+b+c+d+e+f=1
0≦y≦0.3
0.7≦z≦1
y+z=1
を満足する。
(a)は、Tiの原子比である。Tiは皮膜硬さを向上させるため、0.05以上添加する必要がある。しかし、0.3を超えて添加すると耐酸化性が低下することから、上限を0.3とする。より好ましくは0.1以上0.3以下である。
(b)は、Crの原子比である。Crは皮膜3aの結晶構造を立方晶に保ち、耐酸化性を増加させるために必要であり、0.05以上が必要である。しかし、0.3を超えて添加すると皮膜3a全体の硬さが低下する傾向にあることから、上限を0.3とする。より好ましくは0.1以上0.3以下である。
(c)は、Alの原子比である。AlNは、本来は六方晶の結晶構造で安定な化合物であるが、立方晶で安定なTiN,CrN中に固溶することで準安定な立方晶AlNとなり、皮膜硬さが向上する。従って、Alに関しては、添加することにより、最表面にAlリッチの酸化物を形成して耐酸化性を向上させることから、0.4以上は必要である。しかし、0.65を超えて添加すると皮膜3aの結晶構造が六方晶に変化し、皮膜硬さが低下することから、0.65を上限とする。より好ましくは0.45以上0.55以下である。
[Y:e(0≦e≦0.05,a+b+c+d+e+f=1)]
(d)は、Siの原子比、(e)は、Yの原子比である。Si,Yは、両方とも添加しなくてもよいが、Si,Yのいずれかを添加することで、さらに耐酸化性を向上させる効果がある。具体的には、「d+e>0.01」であることが好ましい。また、Si,Yの両方を添加すること(具体的には、d>0.01、かつ、e>0.01)がさらに好ましい。また、Si、Y共に、0.05以下の添加で効果を示す。これを超えて添加すると皮膜3aの結晶構造が変化し、皮膜硬さが低下することから、Si、Y共に、0.05を上限とする。より好ましくは、Si、Y共に0.03以下である。
(f)は、Rの原子比である。耐酸化性を向上させるのに必要なR(Ho、Sm、Dy、Laから選ばれる1種以上)は、0.005以上添加する必要がある。しかし、0.05を超えて添加すると却って耐酸化性が劣化する結果となることから、0.05を上限とする。より好ましくは0.01以上0.03以下である。なお、前記の元素の中でも、特にHo、Laは耐酸化性を向上させる効果が大きく、添加元素として好ましい。
(y)は、Cの原子比である。本発明の化合物は窒化物としての形態だけではなく、成膜時にCを含むガスを導入し、炭窒化物とすることも可能である。その場合、Cを0.3を超えて添加すると、耐酸化性、皮膜硬さが低下することから、0.3を上限とする。より好ましくは0.2以下である。
(z)は、Nの原子比である。Nは、皮膜3aを高硬度化して耐摩耗性を向上させるために必須の元素であり、0.7以上添加する必要がある。
図1に示すように、本発明に係る硬質皮膜被覆部材(部材)1(1b)は、基材2上に硬質皮膜(皮膜)3(3b)を備えたものである。
以下、具体的に説明する。なお、基材2については、第1実施形態における基材2と同様であるため、ここでは説明を省略する。
皮膜3bは、組成が(TiaCrbAlcSidYeRfHfg)(CyNz)からなり、前記RがHo、Sm、Dy、Laから選ばれる1種以上の元素であり、前記a、b、c、d、e、f、g、y、zが原子比であるときに、
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0.05≦b≦0.3
0.4≦c≦0.6
0≦d≦0.05
0≦e≦0.05
0.005≦f≦0.05
0<g≦0.35
a+b+c+d+e+f+g=1
0≦y≦0.3
0.7≦z≦1
y+z=1
を満足する。
[Al:c(0.4≦c≦0.6,a+b+c+d+e+f+g=1)]
(g)は、Hfの原子比である。皮膜3b中に、より格子定数の大きいHf(HfN 0.452nm)を添加することで、より高硬度の皮膜3bとなる。このような効果を期待する場合には、0.01以上の添加が好ましいが、0.35を超えて添加すると皮膜3bの結晶構造が六方晶に変化しやすくなり、皮膜硬さが低下する。より好ましくは0.2以下、さらに好ましくは0.15以下である。
また、Hfを添加した場合には、結晶構造が六方晶に変化しやすくなることから、Al量の上限を0.6にする必要がある。
≪冶工具≫
冶工具は、図示しないが、前記硬質皮膜被覆部材1(1a,1b)を有するものである。冶工具は、部材1を有するため、耐摩耗性に優れ、切削工具や金型等の成形用冶工具として好適に用いることができ、それらの耐久性が向上する。切削工具としては、一例として、チップ、ドリル、エンドミル等を挙げることができ、金型としては、一例として、プレス金型、鍛造金型、成型用金型等の塑性加工型、打ち抜きパンチ、トリム等のせん断型あるいはダイカスト型等を挙げることができる。
≪ターゲット≫
ターゲットは、図示しないが、硬質皮膜、ここでは前記した硬質皮膜3(3a,3b)をアークイオンプレーティングプロセスによって形成するためのものである。そして、このターゲットは、前記皮膜3(3a,3b)に含まれる金属元素(半金属元素であるSiを含む)および希土類元素を、皮膜3(3a,3b)中の組成比で含有している。すなわち、前記第1実施形態の皮膜3aに含まれる金属元素(Ti,Cr,Al,Si)および希土類元素(Y,Ho,Sm,Dy、La)を、皮膜3a中の組成比で含有しているか、あるいは、前記第2実施形態の皮膜3bに含まれる金属元素(Ti,Cr,Al,Si,Hf)および希土類元素(Y,Ho,Sm,Dy、La)を、皮膜3b中の組成比で含有している。
成膜後の組成については、超硬合金基板における皮膜中の金属元素の成分組成を、EDX分析により測定した。
皮膜の硬度については、超硬合金基板における皮膜のビッカース硬度(室温、荷重0.25N、保持時間15秒)を測定した。
酸化開始温度については、熱天秤を使用して、白金箔上に皮膜を形成した各サンプルを乾燥空気中で加熱し(昇温速度4℃/分)、酸化増量(酸化質量増加)を測定することにより、各皮膜の酸化開始温度を決定した。なお、急激に酸化質量増加が観察された温度を酸化開始温度と定義した。
耐摩耗性は、皮膜を形成した超硬合金製エンドミルを用い、以下の条件で切削試験を行って刃先逃げ面の摩耗量(摩耗幅)を測定することで評価した。摩耗量が100μm以下のものを合格とした。
被削材:SKD11(HRC60)
切削速度:150m/分
刃送り:0.05mm/刃
軸切り込み:5mm
径方向切り込み:0.1mm
切削長:100m
その他:ダウンカット、ドライカット、エアブローのみ
2 基材
3(3a,3b) 硬質皮膜(皮膜)
Claims (4)
- 基材上に硬質皮膜を備えた硬質皮膜被覆部材であって、
前記硬質皮膜は、組成が(TiaCrbAlcSidYeRf)(CyNz)からなり、前記RがHo、Sm、Dyから選ばれる1種以上の元素であるか、あるいは、前記RがLaと、Ho、Sm、Dyから選ばれる1種以上の元素とからなるものであり、前記a、b、c、d、e、f、y、zが原子比であるときに、
0.05≦a≦0.3
0.05≦b≦0.3
0.4≦c≦0.65
0≦d≦0.05
0≦e≦0.05
0.005≦f≦0.05
a+b+c+d+e+f=1
0≦y≦0.3
0.7≦z≦1
y+z=1
を満足することを特徴とする硬質皮膜被覆部材。 - 基材上に硬質皮膜を備えた硬質皮膜被覆部材であって、
前記硬質皮膜は、組成が(TiaCrbAlcSidYeRfHfg)(CyNz)からなり、前記RがHo、Sm、Dyから選ばれる1種以上の元素であるか、あるいは、前記RがLaと、Ho、Sm、Dyから選ばれる1種以上の元素とからなるものであり、前記a、b、c、d、e、f、g、y、zが原子比であるときに、
0.05≦a≦0.3
0.05≦b≦0.3
0.4≦c≦0.6
0≦d≦0.05
0≦e≦0.05
0.005≦f≦0.05
0<g≦0.35
a+b+c+d+e+f+g=1
0≦y≦0.3
0.7≦z≦1
y+z=1
を満足することを特徴とする硬質皮膜被覆部材。 - 請求項1または請求項2に記載の硬質皮膜被覆部材を有することを特徴とする冶工具。
- 硬質皮膜をアークイオンプレーティングプロセスによって形成するためのターゲットであって、
請求項1または請求項2に記載の硬質皮膜に含まれる金属元素および希土類元素を、前記硬質皮膜中の組成比で含有していることを特徴とするターゲット。
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