JP5435533B2 - 形状記憶合金アクチュエータ - Google Patents
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Description
これらアクチュエータは、その応答性を如何に高速にするかが重要なテーマであるとともに、通電電力の削減によるエネルギー効率の向上は、マイクロマシンなどの消費電力に制限のあるものへの適用には欠かせない問題であった。
一方、通電用の電気回路設計の関係上、その作動部分以外の箇所にも形状記憶合金が存在するが、その一つとして、電気導線の接続端子部分がある。
当該箇所への外部からの電力供給のため、他の電気機器では、導線をロー付け、半田付けするのが通常であるが、上記形状記憶合金アクチュエータでは、形状記憶合金の主成分であるTiやNiはロー合金や半田と合金化しないために導線を接続する簡単な方法がなかった。そのため、導線の接続は、通常、ネジによる取り付けや圧着による機械的な取り付けを行っている。これらの方法では、端子部の形状が大きくなったり、重くなったりするためにアクチュエータの小型化や軽量化が困難であった。
本発明は、例えば図1、図3に示すように、フイルム状基材(P)と、当該フイルム状基材の表面に設けられた膜状の温度依存型形状記憶合金(M)と、当該合金よりも電気抵抗が小さい半田付け可能な金属材料からなる低電気抵抗体(B)とからなり、通電加熱にてアクチュエータ部が変形するコの字型の形状記憶合金アクチュエータであって、
前記アクチュエータ部をコの字型における2つの脚部(A)で構成し、
前記2つの脚部の各端部を通電端子部分(B1)とするとともに、
前記通電端子部分と、前記2つの脚部をつなぐ部分(B2)との両部分については、前記低電気抵抗体を前記合金と一体化してその電気抵抗を前記アクチュエータ部の電気抵抗と比較して小さくすることによって、非変形部分とすることを特徴とする。
温度依存型形状記憶合金によりこれの形状全体若しくはその主要部分が構成されているものであれば本発明の範疇にある。
温度依存型形状記憶合金としては、TiNiCu、TiNi、若しくはTiNiPd等が一般に知られているが、いずれの組成であっても、通電による加熱により所定の箇所が変形し、通電を止めれば、冷却して、変形前の形状に戻ることができる合金であれば良い。
また、低電気抵抗体は、形状記憶機能を有する必要がないので、前記形状記憶合金と同様な元素成分でその電気抵抗を形状記憶合金よりも少なくするように比率を変更し、あるいは、他の電気抵抗低減元素を混入するなどして、物理的並びに電気的に前記形状記憶合金に付着しやすいものとすることも容易である。
さらに、実施例では、スパッタリングなどの蒸着技術を用いて、低電気抵抗体を形状記憶合金に固定したが、溶剤分散した低電気抵抗体粉末を塗布して乾燥して一体化する、あるいは、低電気抵抗体の板材をプレス加工にて形状記憶合金表面に圧着するなど、従来より知られた各種積層技術を、アクチュエータの形状や大きさにより適宜適用することに何らの困難はない。
電気抵抗層が厚すぎると、形状記憶合金との一体化や層自体の一体性に問題が生じやすくなり、作動中に剥落などの問題を生じる恐れがある。
低電気抵抗層を構成する材料やその製造方法にもよるが、10μm単位で薄くすることによりこれらの一体性は向上する。
また、形状記憶薄膜などでは、その本来有する柔軟性を阻害せずに用いれるという観点から、5μm以下にするのが好ましく、このような薄い膜厚とするにはスパッタリング等の蒸着による成膜が最適である。
スパッタリングで成膜する場合には、密着性の向上を目的として成膜前に逆スパッタリングによる形状記憶合金薄膜の表面クリーニングを行っても良く、そのことは従来周知の蒸着技術より類推可能な事項である。
また、コーティングの方法としては、スパッタリングのような乾式めっきだけでなく通常の電気めっきなども利用可能である。
変形部分に低電気抵抗体を存在させないようにする方法としては、以下のような方法が考えられる。
1) 下記実施例のように、形状記憶合金や基材(必要に応じ)を溶解しない溶媒に対して溶解する材質のテープや塗料などのマスク材で変形部分を予め覆い、その後に低電気抵抗体をコーティングし、最期に前記溶媒にて、マスク材を溶解除去する方法。
なお、最終的に基材を不要とする形状記憶合金アクチュエータでは、溶媒に対する性質が前記マスク材と同様な材質の基材を用いることで、マスクとともに溶解除去することもできる。
2) 非変形部分に該当する透孔を有した型板を用いて、上記のようなコーティングを行うことで、非変形部分のみに低電気抵抗層を形成する方法。
3)形状記憶合金の非変形部分にマスキングテープなどを貼って、上記のようなコーティングを行った後にテープを剥がして、非変形部分のみに低電気抵抗層を形成する方法。
次に得られた抵抗値を基に省電力の効果を考察する。形状記憶合金薄膜を作動させるのに必要な電力は、電流×(図3のアクチュエータ部(A)の抵抗)2で表されることを考えると、両者で形状記憶合金のアクチュエータ部(A)の大きさが同じであれば作動させるために必要な電流値も同じはずである。同じ電流が流れた場合、上記の抵抗値の比較から、本発明に基づいて作製した形状記憶合金薄膜アクチュエータは、Cuの電流バイパス層のないアクチュエータに比べて必要な電力が0.28/0.65=0.43倍になることを意味しており、省電力化ができることがわかった。
(M)形状記憶合金膜
(P)ポリイミドフィルム
(B)低電気抵抗膜(Cu)
(B1)通電端子部分
(B2)非変形部分
(C)耐酸膜(ポリイミドフィルム)
(ET)酸エッチングによる導電体膜(B)の除去
(H)半田接続部
(L)リード線
Claims (1)
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フイルム状基材と、当該フイルム状基材の表面に設けられた膜状の温度依存型形状記憶合金と、当該合金よりも電気抵抗が小さい半田付け可能な金属材料からなる低電気抵抗体とからなり、通電加熱にてアクチュエータ部が変形するコの字型の形状記憶合金アクチュエータであって、
前記アクチュエータ部をコの字型における2つの脚部で構成し、
前記2つの脚部の各端部を通電端子部分とするとともに、
前記通電端子部分と、前記2つの脚部をつなぐ部分との両部分については、前記低電気抵抗体を前記合金と一体化してその電気抵抗を前記アクチュエータ部の電気抵抗と比較して小さくすることによって、非変形部分とすることを特徴とする形状記憶合金アクチュエータ。
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