JP5433278B2 - 液体容器へのレジスト液充填方法 - Google Patents

Description

本発明は液体容器へのレジスト液充填方法に関し、更に詳しくは、注出入口の付いた包装袋が外装容器の内部に収容して使用される液体容器にレジスト液を充填する方法に関する。

従来、工業薬品分野、医薬品や化粧品原料分野等で、保管や輸送にアルミニウム、スチール、ステンレス、段ボール等で作られた外装容器の内部に液体を収容する注出入口の付いた包装袋を収容した二重の液体容器が使用されている。

このような容器は、使用済みの包装袋を外装容器から取り出し、新たな包装袋を外装容器内にセットするだけで再使用することができる。このため、例えば、包装袋を使用せずに直にスチール等の外装容器に液体を充填する場合に比べて、洗浄する手間等が省けるなどの利点があり、工業薬品、食品、医薬品や化粧品原料の容器として広く使用されている（例えば、特許文献１参照）。

包装袋は、通常フィルム状の薄いフレキシブル素材である軟包装材料で構成される。ここで、包装袋は、そのフレキシブル性のために、外装容器の内部で折れ曲がったり、重なり合うフィル同士が密着したりするため充填率が低下し、充填したい内容物を所定量充填できない場合がある。

特許文献１には、外装容器の内部に収容される包装袋が開示されている。この包装袋は、２枚のシート状フィルムを重ね、このフィルムの外縁を接合することにより袋状に形成される。フィルムの一方の面には、注出入口が配置され、この注出入口が表側になるように折り畳んで外装容器に収納される。そして、注出入口が表側になるように折り畳まれているとともに、外装容器の底面に包装袋の底面が密着している。このため、包装袋を外装容器に装着してレジスト液を充填したときに、包装袋に充填される内容物が容易に包装袋の底側へ移動することでフィルム同士のブロッキングを防止する。これにより充填率を向上できる。

これらの包装袋は、図８に示すように、例えば外周エッジ周りをヒートシールしてヒートシール部５０１が形成され、内袋（あるいは包装袋）５００の中心から外れた、一方の短辺側の袋の面の一部に穴を開けて、その穴に出し入れ口（あるいは取付部材）５０２を挿入し、出し入れ口（あるいは取付部材）５０２の底部に設けられた底部装着リング５０３においてヒートシールされて取り付けられているものである。

特開２０００−３３５６４０号公報

一方、同じ二重容器であっても、例えば、外装容器が開口部を有する金属等の剛性容器で再使用可能な通い容器の場合であって、包装袋を開口部から外装容器内に折り畳んで挿入して注出入口を開口部に係合又は嵌合させた場合には状況が異なる。

この場合、包装袋は、外装容器内で、開口部から宙吊りの状態になる。この宙吊りの状態では、包装袋は、そのフレキシブル性のために、外装容器の内部で折れ曲がったり、両面のフィルム同士が密着したりするため、充填したい内容物を所定量充填できないケースが頻発する。また、両面のフィルム同士が密着した状態で、包装袋を開口部から外装容器内に折り畳んで狭い開口部に挿入することも折れ曲がりや密着を増長させ充填率を下げる原因となる。この問題を回避するためには、レジスト液の注入前に事前に窒素等の気体を封入して充分に空間を形成することが効果的であるが、気体封入工程なしで充分な充填量を確保するは困難であった。

本発明は、液体容器にレジスト液を充填する際に、気体封入工程なしでも、所定量の内容物を確実に包装袋に充填できる液体容器を提供することを目的とする。

本発明者らは、上記の問題を解決すべく鋭意検討した結果、包装袋の注出入口付近の上辺にヒートシールによるリブ部を形成することにより、上記の問題点を解決することができることを見出し、本発明を完成するに至った。

すなわち、本発明は、内部が中空の外装容器と、該外装容器の内側に収容された包装袋と、を備える液体容器へのレジスト液充填方法であって、前記包装袋は袋部と注出入口とを備え、前記外装容器は、前記注出入口が係合可能な開口部を上方に備え、前記包装袋の袋部は、前記収容前の初期状態において略平面形状であり、少なくとも２枚以上のフィルムの外周辺の一部又は全部にヒートシール部を形成して袋体とすると共に、前記袋部の上辺の略中央部において前記ヒートシール部のシール面間に前記注出入口が接合されており、前記外装容器内に前記包装袋を装着した状態で、前記包装袋内にあらかじめ気体を導入することなくレジスト液を充填する液体容器へのレジスト液充填方法である。

本発明によれば、内袋となる注出入口付包装袋が、上辺の略中央部のシール面間に注出入口を備えている。これにより、上辺のヒートシール部がリブの役割をして形状を維持し、外装容器に挿入した際に注出入口の首部から袋部が垂れ下がるのを防止できる。したがって、気体封入工程がなくても充分な充填量が確保できる。

本発明によれば、液体容器にレジスト液を充填する際に、気体封入工程なしでも、所定量のレジスト液を確実に包装袋に充填できる。

本発明の一実施形態に係る液体容器を示す図であり、図１（ａ）はレジスト液注入後の平面図、図１（ｂ）は側断面図である。 包装袋が折り曲げられる前の状態（初期状態）を示す平面図である。 包装袋の舌片部の形状を説明する部分断面斜視図である。 包装袋に舌片部が形成された後の状態を示す平面図である。 更に包装袋を蛇腹折した後に略中央部にて半折した状態を示す斜視図である。 図５の包装袋の外装容器への挿入過程を示す斜視図であり、図６（ａ）は挿入状態を示す図であり、図６（ｂ）は挿入後の状態を示す図である。 外装容器内に収容された後の包装袋の舌片部の形状変化を説明する部分断面斜視図である。 従来の包装袋の一例を示す斜視図である。 従来の液体容器におけるレジスト液注入後の側断面図である。

＜全体構成＞
以下、本発明の一例である実施形態について図面を参照しながら説明する。図１（ａ）は本実施形態に係る液体容器１のレジスト液注入後の平面図であり、図１（ｂ）は側断面図である。

液体容器１は、略円筒形状で内部が中空の外装容器２０に、内容物を注出入する注出入口１１が設けられた包装袋１０が収容されたものである。外装容器２０は、その上方に開口部２４を有し、上方には開口部側の面としての天板２３が形成され、天板２３によって開口部２４を除いて閉じられている。包装袋１０は、外装容器２０に設けられた開口部２４から挿入され、包装袋１０の注出入口１１を開口部２４に嵌合して、外装容器２０に装着される。包装袋１０は、レジスト液を注出入可能に開口する注出入口１１と、流動性の内容物を収容する袋部１２とを有している。袋部１２の周縁が接合されており、上辺１５の中央部付近では注出入口１１を介して接合一体化されている。外装容器２０の開口部２４には、例えば、継手ブラケットを介して包装袋１０の内部に通じる液出しチューブが装着可能であり、ここからレジスト液の注出入が可能である。輸送時には、開口部２４は蓋５０により密閉可能となる。包装袋１０は着脱が可能であり、本発明に係る液体容器１は、外装容器２０が繰り返し使用される複式格納型の容器となっている。

＜外装容器＞
外装容器２０は、図１に示すように、底面２１と、側壁２２と、中央が隆起した天板２３とで構成され、天板２３の略中央部分に開口部２４が形成されたスチール製容器が好ましく用いられる。後述する包装袋１０の注出入口１１の開口側にフランジ部１１２が形成され、一方、開口部２４の内壁には図示しない段差が設けられており、このフランジ部１１２が段差に係止することにより、注出入口１１が開口部２４に支持されている。包装袋１０を外装容器２０に収納し、包装袋１０に接合された注出入口１１を外装容器２０の開口部２４で支持した後に、包装袋１０は好ましくはレジスト液などの内容物の注出入を行なうことができる。

開口部２４の外周面には雄ねじ２４ａ（図６参照）が形成されており、蓋５０により密封可能となり、輸送に供することができる。なお、側壁２２の天板２３より上方位置に一対のハンド部２５（図６参照）を設けることにより運搬を容易にしてもよい。外装容器２０としては、例えば、金属製、合成樹脂製、段ボール等の紙製の剛性容器が例示されるが、特にこれらに限定されるものではない。

外装容器２０の大きさはレジスト液の充填容量に応じて適宜設定可能であり特に限定されないが、一例を挙げれば、容量１８Ｌから２００Ｌ程度までの外装容器の場合で、開口部２４から底面２１までの高さが３００ｍｍから１０００ｍｍまでの範囲を適宜選定できる。また、外装容器２０の形状も略円柱形状には限定されない。

＜包装袋＞

図２は、包装袋１０が折り曲げられる前の状態（初期状態）の平面図である。包装袋１０の袋部１２は、上辺１５及び下辺１７（この方向を短手方向という）及び両側辺１６（この方向を長手方向という）で構成される矩形形状である。第一の面１３又は第二の面１４は、それぞれ２枚のフィルム１２１ａ／１２１ｂとで構成され、周縁は計４枚をヒートシールして形成されている。フィルム１２１は、最外層が耐熱層である外側フィルム１２１ａとヒートシール性の内側フィルム１２１ｂとを有する二枚重ねの二重フィルムである。

包装袋１０は、内側フィルム１２１ｂ同士が対向するようにして四辺をヒートシールしてヒートシール部１２２を形成した袋部１２と、この袋部１２の上辺１５側に設けられるヒートシール部１２２の前記内側フィルム１２１ｂ間に予め熱融着され、射出成形された注出入口１１とを備えている。注出入口１１は、注出口取付部１１ａと、該注出口取付部１１ａの一方に連接する注出口係合部１１ｂとからなり、注出口取付部１１ａは断面形状が凸レンズ状で中央部に貫通穴を有する柱体である。この注出口取付部１１ａが内側フィルム１２１ｂ間に熱融着されている。注出入口１１は上辺１５の略中央部に配置されており、その結果、注出入口１１から上辺１５に沿って両側に延びるヒートシール部１２２がリブの役目をなし、袋部１２の上辺１５付近の形状を維持する。

フィルム１２１は接合可能であればよく層構成や枚数は特に限定されない。袋部１２の上辺１５以外の辺は必ずしもヒートシールには限定されず、接着剤接合や折り返しによって辺が形成されていてもよい。注出入口１１も同様に特に限定されず、接着剤接合によって袋部１２と接合されていてもよい。

袋部１２の初期状態の形状は略矩形形状（略長方形）には限定されず、角部等の一部にラウンド部が形成されていてもよく、全体にラウンド部が形成されていてもよい。また、袋部１２の大きさはレジスト液の充填容量に応じて適宜設定可能であり特に限定されないが、一例を挙げれば、容量１８Ｌの場合に、短手方向の長さである上辺１５と下辺１７が３３０から４３０ｍｍであり、長手方向の長さである側辺１６が６７０から７７０ｍｍである。また、容量４０Ｌの場合に上辺１５と下辺１７が５２０から６２０ｍｍであり、側辺１６が８８０から１０８０ｍｍである。また、容量２００Ｌの場合に上辺１５と下辺１７が９４０から１０４０ｍｍであり、側辺１６が１２７０から１３７０ｍｍである。

＜舌片部の形成＞
次に、袋部１２の折り込みによって生じる舌片部の形成につき、図３から図５を用いて説明する。図３は、本実施形態に係る包装袋１０の、舌片部１３ｂ、１４ｂの形状を説明する部分断面斜視図であり、図４は包装袋１０に舌片部１３ｂ、１４ｂが形成された後の状態を示す平面図であり、図５は、更に包装袋を蛇腹折した後に略中央部にて半折した状態を示す斜視図である。

包装袋１０は、フィルム１２１の第一の面１３と、このフィルム１２１に重ねられたフィルム１２１の第二の面１４と（以下、単にそれぞれ面１３、１４ともいう）、面１３、１４との間に挟まれる注出入口１１と、を備える。包装袋１０に前記内容物が注入されていない初期状態では、包装袋１０は、面１３、１４のそれぞれから舌片部１３ｂ、１４ｂを延出し、これを下辺１７側に折り返す。本発明における下辺側とは、上辺と対向する側を意味し、必ずしも特定の直線を意味しない。

具体的には、図３に示すように、まず上辺１５から所定の長さ離間した位置で、上辺１５に略平行な基線１３ａ、１４ａを決定する。所定の長さは上辺１５のヒートシール部１２２に近いほうが好ましく、ヒートシール部１２２の下縁から５０ｍｍ以内とすることが好ましい。また、基線１３ａ、１４ａの位置は基線１３ａと１４ａとで略同位置（略同じ所定の長さ、すなわち面対称な位置）であることが好ましいがこれに限定されるものではない。

次に、この基線１３ａ、１４ａから距離Ｌの舌片部１３ｂ、１４ｂを延出して、舌片頂部１３ｃ、１４ｃを有する舌片部１３ｂ、１４ｂを立設して形成する。そしてそれぞれの舌片部を下辺１７側に折り返す。この結果、図３、４に示すような舌片部１３ｂ、１４ｂが形成される。

距離Ｌの２倍である前記舌片部の総延出長さ（２Ｌ）は、前記袋部の前記上辺の長さに対して１％以上７０％以下であることが好ましい。より具体的には２０ｍｍ以上（Ｌ＝１０ｍｍ以上）が好ましく、袋部１２の舌片部形成後の長手方向の縦幅Ｔ（図４参照、上辺と下辺との距離）においてＬが１／３Ｔ以下であること好ましい。例えばＴ＝６００ｍｍであれば、Ｌは２００ｍｍ以下が好ましい（図４参照）。なお、本発明において折り返し方向は上辺側には限定されず、下方側に折り返してもよい。

＜蛇腹折りの態様＞
図５は本発明の好ましい態様であり、包装袋１０に舌片部１３ｂ、１４ｂが形成された図３、４の状態から更に、包装袋１０を、側辺１６と平行でかつ所定の間隔Ｗで形成される複数の蛇腹折線１６ａ、１６ｂ、１６ｃ、１６ｄ・・・に沿って山折りと谷折りを交互に行なった状態である。これにより、袋部１２が更にコンパクトに折り畳まれ、結果として包装袋１０は幅Ｗの短冊状に折り畳まれる。この幅Ｗは外装容器の開口部２４の口径に近く、好ましくは口径の６０％以上３００％以下である。これにより、開口部２４への挿入をスムースに行なうことができる。なお、図５に示すように長手方向の略中央部Ｃにて半折してもよい。これにより、更に開口部２４への挿入をスムースに行なうことができる。

＜包装袋の挿入方法＞
図６（ａ）、（ｂ）は、包装袋１０を外装容器２０に収容する過程を説明する斜視図である。本発明の液体容器１は、図６（ａ）に示すように、外装容器２０の開口部２４から外装容器２０の内部に挿入する。具体的には、上記の蛇腹折りの状態、好ましくは更に半折した図５の状態で挿入する。すなわち、蛇腹折りのみの状態であれば、幅Ｗのまま下辺１７側から外装容器２０の開口部２４から挿入し、略中央部Ｃにて半折した状態であれば、幅Ｗのまま略中央部Ｃから外装容器２０の開口部２４から挿入する。

その後、図６（ｂ）に示すように、注出入口１１が外装容器２０の開口部２４に装着される。この際、図４のフランジ部１１２が、開口部２４の内側面に形成された段差（図示せず）の上周端に当接することにより、包装袋１０が外装容器２０内で支持される。この状態で、所定の方法で内容物であるレジスト液を注出入口１１から充填する。

このとき、外装容器２０の内部では図７のような状態になる。すなわち、舌片部１３ｂ、１４ｂは単なる折り線で形成されたものであるため、挿入後には外装容器２０内で自然に解消して基線１３ａ、１４ａが復元しようとする。この結果、面１３、１４間が広がって水平方向に第一領域１３０及び第二領域１４０が形成され、それぞれの下に空間Ｐが形成される。これによって、面１３、１４のブロッキングを防止し、特に包装袋１０の上辺１５付近におけるレジスト液充填性を格段に向上できる。

また、包装袋１０は、上述の通り、フィルム１２１を重ね合わせ、その間に注出入口１１を挟んでヒートシールした構造となっている。このため、包装袋１０が外装容器２０に挿入され、開口部２４に嵌合されても、包装袋１０の上辺１５は下垂しないことが充填率の向上に寄与する。すなわち、包装袋１０の上辺１５にリブのような役割を果たす強度が得られるので、包装袋１０を外装容器２０に装着した状態で内容物を充填しても、袋部１２と注出入口１１との間に荷重がかかって包装袋１０が破損する恐れがない。

また、包装袋１０が外装容器２０に収容されて開口部２４に保持された状態で、包装袋１０の上辺１５から、この上辺１５に対向する下辺（底縁）１７までの長手方向の長さは、外装容器２０の開口部２４の下端部から、この外装容器の底面２１までの長さよりも長い。このため、包装袋１０は外装容器２０の内部で、底縁が底面２１に着いた状態で折れ曲がっている。

包装袋１０の長手方向の長さが、外装容器２０の開口部２４の下端部からの底面２１までの長さよりも短いと、挿入時に包装袋１０が完全に宙吊りになる。すると、面１３、１４の密着性が向上して充填時の充填率が低下する。また、あまりに長すぎると、包装袋１０の挿入後に外装容器１０内での袋部１０の移動が阻害されるのでやはり充填率が低下する。このため、その上辺から下辺までの長さは、外装容器の開口部からその底面までの長さに対して１１０％以上１９０％以下である。なお、ここでいう開口部からとは、開口部２４の下端部からの意味である。

なお、本発明においては、包装袋１０の外装容器２０への収容方法は上記の舌片部の形成や蛇腹折りには限定されず、他の収容方法でもよい。

＜レジスト液の注入工程＞
図１に戻り、上記の液体容器１にレジスト液を充填する工程を説明する。好ましくは上記のような挿入方法で包装袋１０を外装容器２０内に装着し、この状態で、所定の方法、例えば継手などを介してレジスト液を注出入口１１から実質的に密封状態で導入する。本発明においては、このとき事前に例えば窒素や空気などの気体封入を行なう必要がない。

レジスト液を導入すると、第一の面１３を折り曲げて形成されていた第一領域１３０と、第一領域１３０以外の部分との境目は、包装袋１０が膨らむにしたがって消え、第一の面１３の上辺１５側は、外装容器２０の内壁面の内周一杯まで膨らむ。同様に、第二の面１４を折り曲げて形成されていた第二領域１４０と、第二領域１４０以外の部分との境目は、包装袋１０が膨らむにしたがって消え、第二の面１４の上辺１５側は、外装容器の内周一杯まで膨らむ。また、第一の面１３と第二の面１４との距離は、包装袋１０が膨らむにしたがって広がり、内容物が下辺１７側に移動する。包装袋１０の下辺（底縁）１７側では、内容物の圧力で包装袋が開かれていき、包装袋１０に皴がよらずに内容物が充填される。

この際、包装袋１０から舌片部を延出するように折ってから挿入したために、フィルム１２１同士がくっついて充填が阻害されることがないので、包装袋１０に窒素などの気体を導入してあらかじめ包装袋１０を膨らますことなく、直接レジスト液である内容物を充填することができる。また、外装容器の開口部からその底面までの長さに対して１１０％以上１９０％以下としたために、理想的に袋部１２が膨らんで、外装容器２０の内壁にほぼ沿って膨らみ、内容物の圧力のみで内壁にフィットした形状となり充填率が向上する。

これに対して、図８の従来例のような包装袋５００を外装容器２０の開口部２４に挿入した場合、図９に示すような充填状態になり、注出入口５０４の周囲の袋部が下垂れし、レジスト液の充填が不十分となるため、事前の気体封入工程が不可欠となる。

本発明におけるレジスト液の充填率は、この液体容器１においてあらかじめ気体封入工程を用いた場合の充填量を１００％とした場合に比べて８０％から１１０％の充填率であり、一方、図８のような包装袋５００を用いた場合には３０％から６０％程度の充填率であるから、本発明により優れた充填率の向上効果が得られる。

なお、必要に応じて、充填後のヘッドスペースに窒素等の気体封入工程を行なってもよい。これにより、さらに袋部１２が広がり、外装容器２０の内壁と密着することで形状が安定し、包装袋１０の輸送振動などにより破損を防止することができる。

また、本発明においては、この液体容器１が、レジスト液を注出した後の注出後液体容器であり、レジスト液の充填が使用済レジスト液の回収工程であってもよい。すなわち、レジスト液を注出口１１から液出しチューブなどを通じて汲み出した後の袋部１２は縮んだ状態になっているが、本発明における包装袋１０であれば、回収時にも充分な量を回収できる。回収時の充填率は上記のような袋部１２の折込みを行なった場合に比べると低下するものの、上記のあらかじめ気体封入工程を用いた場合の充填量を１００％とした場合に比べて８０％から１００％の充填率が得られる。この回収時の充填率は、レジスト塗布によって回収量が供給量より少なくなることを考慮すれば充分な充填率であり、同一容器での供給と回収を可能とするものである。

次に、本発明について、以下に実施例を挙げてさらに詳しく説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。

下記する実施例、比較例に用いる包装袋の構成としては、外側フィルム１２１ａとして、ＯＮ（二軸延伸ポリアミド）フィルム２５μｍ／ウレタン系接着剤３μｍ／ＬＬＤＰＥフィルム４０μｍからなる２層積層体を用い、内側フィルムとして、ＬＬＤＰＥ層２５μｍ／接着層１０μｍ／ナイロン層１５μｍ／接着層１０μｍ／ＬＬＤＰＥ層２０μｍからなる５層共押出しフィルムを用いた。尚、外層フィルムのＬＬＤＰＥフィルムとしては、メタロセン触媒を用いて重合された直鎖状低密度ポリエチレンフィルム（ＤＮＰテクノフィルム社製の「ＳＲ−ＵＥＮ」）を用いた。また、内層フィルムのＬＬＤＰＥ層としては、メタロセン触媒を用いて重合された直鎖状低密度ポリエチレン樹脂（宇部興産株式会社製のＵＢＥスーパーポリエチレン「ユメリット」）を用いた。袋部１２の短手方向長さ×長手方向長さは５７６ｍｍ×９２３ｍｍとした。

［実施例１］
図２に示すように、上記のフィルムを用いた包装袋１０の第一の面１３と、第一の面１３と略同一の形状の第二の面１４との間に、上辺１５の略中央部に注出入口１１（高密度ポリエチレン）を挟んで上辺１５は幅２５ｍｍでヒートシールにより接合し、他の辺は幅６ｍｍでヒートシールにより接合して四方シール袋を得た。次に、図３、４に示すように第一の面１３を上辺１５から３０ｍｍ（ヒートシール部１２２の下縁から５ｍｍ）離間した位置を基線１３ａ、として、長さＬ＝１００ｍｍの舌片部を形成して下辺側に折り曲げた。

この状態で更に、図５に示すように所定の幅Ｗが５５ｍｍ程度になるように９回の蛇腹折線で連続して山谷交互に折り返して１０枚重ねとして短冊状に折った後、更に、長手方向の側辺１６を二分するように折り畳んで、この折り畳み部から外装容器２０の開口部４３から挿入した。なお、外装容器として、直径が４３０ｍｍ、高さが６５５ｍｍの略円筒形状の底面を有し、天板の中央部に内径が５０ｍｍ、突出長さが２０ｍｍの筒状開口部を有する透明な樹脂性の容器を用いた。

［実施例２］
舌片部を形成せず、蛇腹折りのみ行なって折り畳んだ以外は実施例１と同様に外装容器に挿入した。

［比較例１］
図８に示すような包装袋５００を用い、高密度ポリエチレンからなる注出入口を、一方の面の略中央から辺５０１寄りに開けた穴に通して底部装着リングの部分でヒートシールすることにより取り付けた以外は実施例１と同様の材質、構成で比較例１の包装袋を得た。この包装袋を、実施例１と同様に折って外装容器に挿入した。

［試験例１］
実施例１の包装袋に、９ｐｓｉの圧力を５０秒の条件で窒素充填を行なった。その後、レジスト液を充填し、許容充填量（純水を容器口部の高さまで（溢れる寸前）充填し、その時の充填量を重量計で測定）を測定した。その結果、許容充填量は４６ｋｇであった。次に、同じく実施例１の包装袋に、窒素充填を行なわずに直接レジスト液の充填を行った。その結果、許容充填量は４０ｋｇであり、窒素充填工程を行なった場合（１００％）に比べて８７％の充填率が得られた。この結果から、窒素充填工程なしでも充分な充填率が得られることがわかる。

［試験例２］
実施例２の包装袋に、９ｐｓｉの圧力を５０秒の条件で窒素充填を行なった。その後、レジスト液を充填し、許容充填量を測定した。その結果、許容充填量は４４ｋｇであった。次に、同じく実施例２の包装袋に、窒素充填を行なわずに直接レジスト液の充填を行った。その結果、許容充填量は３５ｋｇであり、窒素充填工程を行なった場合（１００％）に比べて８０％の充填率が得られた。この結果から、窒素充填工程なしでも充分な充填率が得られることがわかる。

［試験例３］
比較例１の包装袋に、９ｐｓｉの圧力を５０秒の条件で窒素充填を行なった。その後、レジスト液を充填し、許容充填量を測定した。その結果、許容充填量は４３ｋｇであった。次に、同じく比較例１の包装袋に、窒素充填を行なわずに直接レジスト液の充填を行った。その結果、許容充填量は２０ｋｇであり、窒素充填工程を行なった場合（１００％）に比べて４７％の充填率が得られた。この結果から、事前の窒素充填工程なしでは充分な充填率が得られず、レジスト液の直接充填が困難であることがわかる。

［試験例４］
実施例１の充填後の液体容器からレジスト液を汲み出しチューブで抜き取り、この状態で窒素充填を行なわずに直接レジスト液の再充填を行った。その結果、許容充填量は４０ｋｇであり、レジスト回収容器としても充分使用できることがわかる。これに対して、比較例１で同様の試験を行なったところ、許容充填量は１８ｋｇと少なく、レジスト回収容器として使用するには回収可能量が不足であった。

１ 液体容器
１０ 包装袋
１１ 注出入口
１２ 袋部
１３ 第一の面
１４ 第二の面
１３ａ、１４ａ 基線
１３ｂ、１４ｂ 舌片部
１３ｃ、１４ｃ 舌片頂部
１３０ 第一領域
１４０ 第二領域
１５ 上辺
１６ 側辺
１６ａ、１６ｂ、１６ｃ、１６ｄ 蛇腹折線
１７ 下辺
２０ 外装容器
２４ 開口部

Claims (3)

1. 内部が中空の外装容器と、該外装容器の内側に収容された包装袋と、を備える液体容器へのレジスト液充填方法であって、
   前記包装袋は袋部と注出入口とを備え、
   前記外装容器は、前記注出入口が係合可能な開口部を上方に備え、
   前記包装袋の袋部は、前記収容前の初期状態において略平面形状であり、少なくとも２枚以上のフィルムの外周辺の一部又は全部にヒートシール部を形成して袋体とすると共に、前記袋部の上辺の略中央部において前記ヒートシール部のシール面間に前記注出入口が接合されており、
   前記初期状態から、前記袋部のそれぞれの面を、前記上辺近傍の前記上辺と平行な線を基線として、所定の長さを弛ませて舌片部を延出した後に、前記基線から前記舌片部を下辺側又は上辺側に折り返し、この折り返し状態を維持したまま、前記袋部を、前記開口部を介して前記外装容器の内側へ収容し、
   前記外装容器内に前記包装袋を装着した状態で、前記包装袋内にあらかじめ気体を導入することなくレジスト液を充填する液体容器へのレジスト液充填方法。
2. 前記レジスト液の充填後に、残余のヘッドスペースに気体を充填する請求項１記載の液体容器へのレジスト液供給方法。
3. 前記液体容器が、レジスト液を注出した後の注出後液体容器であり、前記レジスト液の充填が使用済レジスト液の回収である請求項１又は２に記載の液体容器へのレジスト液充填方法。

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