JP5427377B2 - 力覚センサ - Google Patents
力覚センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP5427377B2 JP5427377B2 JP2008187039A JP2008187039A JP5427377B2 JP 5427377 B2 JP5427377 B2 JP 5427377B2 JP 2008187039 A JP2008187039 A JP 2008187039A JP 2008187039 A JP2008187039 A JP 2008187039A JP 5427377 B2 JP5427377 B2 JP 5427377B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- force
- force sensor
- diameter side
- sensor chip
- external force
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
Description
緩衝装置の減衰機構部は、軸形状の入力部と、円筒状の力覚センサチップのセンサ固定部との間を結ぶ円盤状の部分であって、この円盤状の部分には入力部の周囲に、環状に配置された複数の弧状穴を設け、この複数の弧状穴の大きさ、形状、個数を調整することで、耐荷重の調整、各軸力に対する感度調整等を行い、力覚センサの設計の自由度を確保している(特許文献2の図19参照)。
このように構成することで、入力部の軸回り(環状溝に沿う方向)のモーメントについては、回り方向の違いによる特性の偏りはなく、入力部の軸方向の力については、圧縮方向、引張方向のどちらであっても、複数の貫通孔では特性の偏りはなく、環状溝では溝の底壁部分が軸方向に沿う二つの力に対し、偏りなく伝達部を介して力覚センサチップに作用させることができる。
また、複数の貫通孔と環状溝が形成された面に沿う方向、つまり入力部の倒れ方向の力については、この力が作用する方向が、内径側の複数の貫通孔では貫通孔形成位置である場合と、隣接する貫通孔間である場合とでは伝達部に伝達される力に偏りが生ずるが、外径側に設けた環状溝により方向に依存しないで入力部の倒れ方向の力を偏りなく伝達部を介して力覚センサチップに作用させることができる。
更に、複数の貫通孔と環状溝が形成された面に沿う方向を軸とした軸回りのモーメントについては、複数の貫通孔では部位により力のバラツキが生ずるが、環状溝において偏りなく伝達部を介してモーメントを力覚センサチップに作用させることができる。
このように構成することで、入力部の軸回り(複数の貫通孔の形成方向)のモーメントについては、回り方向の違いによる特性の偏りはなく、入力部の軸方向の力については、圧縮方向、引張方向のどちらであっても、複数の貫通孔の何れも特性に偏りはなく、伝達部を介して力覚センサチップに作用させることができる。
また、内径側と外径側の複数の貫通孔が形成された面に沿う方向、つまり入力部の倒れ方向の力については、この力が作用する方向が、内径側の複数の貫通孔の貫通孔形成位置である場合と、隣接する貫通孔間である場合とでは伝達部に伝達される力に偏りが生ずるが、この力が作用する方向が内径側で隣接する貫通孔間に位置する場合には、外径側では貫通孔の形成位置となるため、内径側での力の偏りを外径側で緩和して偏りなく伝達部を介して力覚センサチップに作用させることができる。
更に、内径側と外径側の複数の貫通孔が形成された面に沿う方向を軸とした軸回りのモーメントについては、この軸が内径側の複数の貫通孔の貫通孔形成位置である場合と、隣接する貫通孔間である場合とでは伝達部に伝達される力に偏りが生ずるが、このモーメントが作用する方向が内径側で隣接する貫通孔間に位置する場合には、外径側では貫通孔の形成位置となるため、内径側でのモーメントの偏りを外径側で緩和して偏りなく伝達部を介して力覚センサチップに作用させることができる。
とりわけ、貫通孔の直径を変化させることにより、力覚センサチップに伝達される力を調整することができる。
このように構成することで、入力部の軸回り(複数の弧状貫通孔の形成方向)のモーメントについては、回り方向の違いによる特性の偏りはなく、入力部の軸方向の力については、圧縮方向、引張方向のどちらであっても、複数の弧状貫通孔の何れも特性に偏りはなく、伝達部を介して力覚センサチップに作用させることができる。
また、内径側と外径側の複数の弧状貫通孔が形成された面に沿う方向、つまり入力部の倒れ方向の力については、この力が作用する方向が、内径側の複数の弧状貫通孔の貫通孔形成位置である場合と、隣接する弧状貫通孔の端部間である場合とでは伝達部に伝達される力に偏りが生ずるが、この力が作用する方向が内径側で隣接する弧状貫通孔の端部間に位置することになり、外径側では弧状貫通孔の形成位置となるため、内径側での力の偏りを外径側で緩和して偏りなく伝達部を介して力覚センサチップに作用させることができる。
更に、内径側と外径側の複数の弧状貫通孔が形成された面に沿う方向を軸とした軸回りのモーメントについては、この軸が内径側の複数の弧状貫通孔の弧状貫通孔形成位置である場合と、隣接する弧状貫通孔の端部間である場合とでは伝達部に伝達される力に偏りが生ずるが、このモーメントが作用する方向が内径側で隣接する弧状貫通孔間に位置することになり、外径側では弧状貫通孔の形成位置となるため、内径側でのモーメントの偏りを外径側で緩和して偏りなく伝達部を介して力覚センサチップに作用させることができる。
とりわけ、この弧状貫通孔の弧の長さを調節することにより、力覚センサチップに伝達される力を調整することができる。
よって、検出感度の差を考慮して力覚センサチップの出力データを補正処理する必要がなくなり処理に負担がかかることはない。
よって、検出部の出力データを、例えば、力の方向に対応する出力に演算処理する際、計算誤差を著しく低減させることができる。
そして、入力部の軸回りのモーメント、入力部の軸方向の力、入力部の倒れ方向の力、複数の貫通孔と環状溝が形成された面に沿う方向を軸とした軸回りのモーメントの何れであっても、検出感度の差を確実に無くして偏りなく伝達部を介して力覚センサチップに伝達することができる効果がある。
請求項2に記載した発明によれば、入力部の軸回りのモーメント、入力部の軸方向の力、入力部の倒れ方向の力、内径側と外径側の複数の貫通孔が形成された面に沿う方向を軸とした軸回りのモーメントの何れであっても、検出感度の差を確実に無くして偏りなく伝達部を介して力覚センサチップに伝達することができる効果がある。
請求項3に記載した発明によれば、入力部の軸回りのモーメント、入力部の軸方向の力、入力部の倒れ方向の力、内径側と外径側の複数の弧状貫通孔が形成された面に沿う方向を軸とした軸回りのモーメントの何れであっても、検出感度の差を確実に無くして偏りなく伝達部を介して力覚センサチップに伝達することができる効果がある。
図1に示すのは、この発明の実施形態の力覚センサ1である。この力覚センサ1は、外力、例えば荷重や軸力を検出する力覚センサチップ2と、この外力を減衰させて力覚センサチップ2に付与する減衰機構部3を備えた緩衝装置4を有している。
つまり、力覚センサチップ2は、このような3つの力Fx,Fy,Fzと3つのモーメントMx,My,Mzを受けた場合に、作用部6が支持部5に対して相対的に変位しこれによって歪みを受ける歪み抵抗素子8からの出力によって外力を検出する。
入力部10の周囲には円柱状のセンサ固定部13が形成されている。センサ固定部13は表面の中央部に入力部10を突出して備え、裏面の外側部位には表面側に落とし込まれた段差部14が設けられている。段差部14の内側には突条15が全周に渡って環状に形成され、突条15の内側は平坦に形成され中央部の中心にガラス材からなる伝達部11が設けられている。減衰機構部3、入力部10、伝達部11及びセンサ固定部13が緩衝装置4を構成している。
ここで、伝達部11は力覚センサチップ2の作用部6に当接し、入力部10の下端に位置していて、先端にゆくほど断面積が小さくなる先細り形状に形成されている。
環状の突条15の下側に向く頂面にはガラス材からなる支持プレート16の周囲が装着され、支持プレート16には中央部に開口部17が設けられ、開口部17の周縁が力覚センサチップ2の支持部5を支持すると共に開口部17が伝達部11を受容して、伝達部11による力覚センサチップ2への外力印加を許容している。
ここで、下壁部20の裏面(上面)の中央部は力覚センサチップ2の姿勢変化を許容する凹部23が形成されている。また、下部固定部18の側壁部19には、長孔24が4箇所形成されている。
具体的には、減衰機構部3は入力部10を中心として入力部10の近傍の周囲にセンサ固定部13の表面側から環状に配列された内径側の複数の貫通孔25と、この複数の貫通孔25の外側に形成された外径側の環状溝26とで構成されている。貫通孔25は外側に幅の広い部分を向けた扇形状に形成され、センサ固定部13の表面側から裏面側まで貫通している。貫通孔25はセンサ固定部13の突条15の内側位置で開口している。また、環状溝26は径方向で突条15の内側位置に形成され、センサ固定部13の表面側から段差部14の底部近傍に至る深さに形成されている。
緩衝機構4’は第1の筐体K1と第2の筐体K2とを備えている。第1の筐体K1は扁平な円筒状の部材であって、ほぼ平坦な上壁30と周壁31を有している。上壁30の周縁には段差部32が環状に形成され、上壁30の中央部は外力を入力する外力入力部33として構成されている。この外力入力部33の周囲には周壁31の表面側から裏面側に貫くようにして減衰機構部3’として機能する複数の扇形状の貫通孔34,34…が外側に幅の広い部分を向けて環状に配列されている。外力入力部33に外力が作用した場合にこの外力を環状に配列された複数の貫通孔34の部分において減衰した状態で力覚センサ1に伝達できるようになっている。
上壁30の裏面側の中央部には周壁31の内側部分に温度補償用の力覚センサ1’を収容する収納部35が形成されている。収納部35は収納部周壁36と収納部底壁37とで形成され、収納部底壁37には取付開口部38が設けられている。ここで、収納部底壁37の下面は第1の筐体K1の周壁31の下面近傍まで延びている。
第2の筐体K2には周壁40と底壁41との付け根部分から底壁41の上方で底壁41に平行に中央部に向かう板状の固定ブラケット42が設けられている。この固定ブラケット42は中央部に取付開口43を備え、取付開口43の周縁部44は下側が厚肉に形成され、この取付開口43に外力検出用の力覚センサ1が取り付けられている。この固定ブラケット42は外力検出用の力覚センサ1に作用する力を減衰する減衰機構部3’’として機能するような弾性を有する。尚、底壁41には外部構造体Gに固定されるブラケット45が形成されている。
また、温度補償用の力覚センサ1’と外力検出用の力覚センサ1とは同様のものを使用しているが、温度補償用の力覚センサ1’については下部固定部18を取り外して用いているため、両者の熱容量は異なる。しかしながら、両力覚センサ1,1’は第1の筐体K1と第2の筐体K2に取り付けられた状態では、対向配置されたセンサ固定部13,13の間に外力検出用の力覚センサ1の下部固定部18の固定ボス21が位置することになる。したがって、外力検出用の力覚センサ1は下部固定部18を備えている点を除けば、力覚センサチップ2に対して熱容量の点で影響を与える共通したセンサ固定部13を対向させてその間に外力検出用の力覚センサ1は下部固定部18が配置してある配置構成となるため、両者の熱容量決定を支配する因子は同等と言える。すなわち、両力覚センサ1,1’は各力覚センサチップ2の配置を全体の位置関係から見ると同等の熱容量を備えていると言える。
つまり、モーメントMzについては、回り方向の違いによる特性の偏りはなく、力Fxについては、圧縮方向、引張方向のどちらであっても、複数の貫通孔25では特性の偏りはなく、環状溝26では環状溝26の底壁部分がZ軸方向に沿う二つの力に対し、偏りなく伝達部11を介して力覚センサチップ2の作用部6に力を印加することができる。
つまり、貫通孔25と環状溝26とを複数列設けたことで、力Fx、力Fyを特性に偏りのない貫通孔25の外側の環状溝26の部分で減衰でき、この力Fx、力Fyが貫通孔25を横断する位置であるか否かにかかわらず全体としての偏りを少なくすることができるのである。
よって、入力部10に作用する外力を方向の偏りに起因する検出感度の差を生じさせないで伝達部11から力覚センサチップ2に作用させ、バラツキ無く力覚センサチップ2で検出できる。
これにより、歪み抵抗素子8の出力データを、6軸力出力に演算処理する際、計算誤差を著しく低減させることができる。
また、センサ固定部13に作用した外力の一部は減衰機構部3を構成する複数の貫通孔25及び環状溝26により減衰されて力覚センサチップ2の作用部6へ外力を印加する伝達部11に伝達される。よって、力覚センサチップ2は支持部5に対して相対的に変位する伝達部11により作用部6へ外力を印加することで、外力を減衰させた状態で力覚センサチップ2により検出できる。
よって、温度補償用の力覚センサ1’により温度変化による検出値の変化分を外力検出用の力覚センサ1の出力値から除外することにより、温度変化に依存しない外力の値が検出できる。
20°C 温度補償用の力覚センサ1’の出力値
よって、温度補償を行った検出値から、作用した外力を正確に検出することができるセンサユニットUを得ることができる。
また、力Fx(Fyも同様)については、X軸方向が、内径側の複数の貫通丸孔55の貫通孔形成位置である場合と、隣接する貫通丸孔55間である場合とでは伝達部11に伝達される力に偏りが生ずるが、X軸方向が貫通丸孔55間に位置する場合には、外径側では貫通丸孔56の形成位置となるため、内径側での力の偏りを外径側で緩和して偏りなく伝達部11を介して力覚センサチップ2に作用させることができる。
また、貫通丸孔55,56の両者の直径を変化させたり、内径側の貫通丸孔55の配列位置と、外径側の貫通丸孔56の配列位置との距離を変化させることにより、力覚センサチップ2に伝達される力を調整することができる。
よって、第2実施形態においても、入力部10に作用する外力を方向の偏りに起因する検出感度の差を確実に無くして伝達部11から力覚センサチップ2に作用させバラツキ無く力覚センサチップ2で検出できる。
また、力Fx(Fyも同様)については、X軸方向が、内径側の複数の弧状貫通孔65の貫通孔形成位置である場合と、隣接する弧状貫通孔65の端部間である場合とでは伝達部11に伝達される力に偏りが生ずるが、X軸方向が弧状貫通孔65の端部間に位置する場合には、外径側では弧状貫通孔66の形成位置となるため、内径側での力の偏りを外径側で緩和して偏りなく伝達部11を介して力覚センサチップ2に作用させることができる。
また、弧状貫通孔65,66の両者の弧の長さを変化させることにより、力覚センサチップ2に伝達される力を調整することができる。
よって、第3実施形態においても、入力部10に作用する外力を方向の偏りに起因する検出感度の差を確実に無くして、伝達部11から力覚センサチップ2に作用させバラツキ無く力覚センサチップ2で検出できる。
図9に示す例では、表5に示されるとおり、Fx、Fz、My、Mzいずれにも同じ大きさ(絶対値)の力(例えば30N)を加えた場合であっても、各軸のひずみ量(絶対値)にはバラツキが生じている。特に、MyとMzとのひずみ量(絶対値)の差が大きいことがわかる。
3 減衰機構部
4 緩衝装置
5 支持部
6 作用部
8 歪み抵抗素子(検出部)
10 入力部
11 伝達部
13 センサ固定部
25 貫通孔
26 環状溝(溝)
55 貫通丸孔(貫通孔)
56 貫通丸孔(貫通孔)
65 弧状貫通孔(貫通孔)
66 弧状貫通孔(貫通孔)
Claims (3)
- 力を受け支持部に対して変位する作用部の変位を検出部により検出する力覚センサチップと、外力を減衰させて前記力覚センサチップに印加する緩衝装置とを備えた力覚センサであって、
前記緩衝装置は、
前記外力を入力する入力部と、
前記力覚センサチップの前記支持部を固定するセンサ固定部と、
前記外力を減衰させる減衰機構部と、
前記外力を減衰した力を前記力覚センサチップの前記作用部に伝達する伝達部とを備え、
前記減衰機構部は、前記入力部を中心として環状に配列された内径側の複数の貫通孔と、外径側の環状溝であることを特徴とする力覚センサ。 - 力を受け支持部に対して変位する作用部の変位を検出部により検出する力覚センサチップと、外力を減衰させて前記力覚センサチップに印加する緩衝装置とを備えた力覚センサであって、
前記緩衝装置は、
前記外力を入力する入力部と、
前記力覚センサチップの前記支持部を固定するセンサ固定部と、
前記外力を減衰させる減衰機構部と、
前記外力を減衰した力を前記力覚センサチップの前記作用部に伝達する伝達部とを備え、
前記減衰機構部は、前記入力部を中心として全周に渡り環状に配列された内径側と外径側の複数の貫通孔であり、内径側の各貫通孔が周方向で外径側の隣接する貫通孔の間に位置することを特徴とする力覚センサ。 - 前記貫通孔は弧状貫通孔であることを特徴とする請求項2記載の力覚センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008187039A JP5427377B2 (ja) | 2008-07-18 | 2008-07-18 | 力覚センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008187039A JP5427377B2 (ja) | 2008-07-18 | 2008-07-18 | 力覚センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010025736A JP2010025736A (ja) | 2010-02-04 |
JP5427377B2 true JP5427377B2 (ja) | 2014-02-26 |
Family
ID=41731712
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008187039A Expired - Fee Related JP5427377B2 (ja) | 2008-07-18 | 2008-07-18 | 力覚センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5427377B2 (ja) |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01131425A (ja) * | 1987-11-17 | 1989-05-24 | Ricoh Co Ltd | 力検出装置 |
JPH0320635A (ja) * | 1989-06-17 | 1991-01-29 | Wako:Kk | 力検出装置 |
JPH0676933B2 (ja) * | 1989-08-22 | 1994-09-28 | 株式会社昭和測器 | 多分力・力検出器 |
JPH04249727A (ja) * | 1990-12-31 | 1992-09-04 | Wako:Kk | 力および加速度の検出装置 |
JP2587646Y2 (ja) * | 1992-09-10 | 1998-12-24 | 株式会社エンプラス | 3次元半導体力覚センサー |
JP4303091B2 (ja) * | 2003-11-10 | 2009-07-29 | ニッタ株式会社 | 歪みゲージ型センサおよびこれを利用した歪みゲージ型センサユニット |
JP4203051B2 (ja) * | 2005-06-28 | 2008-12-24 | 本田技研工業株式会社 | 力覚センサ |
-
2008
- 2008-07-18 JP JP2008187039A patent/JP5427377B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010025736A (ja) | 2010-02-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5604035B2 (ja) | 力覚センサユニット | |
JP4909104B2 (ja) | 力覚センサ | |
JP4203051B2 (ja) | 力覚センサ | |
JP5303101B2 (ja) | 力覚センサ用チップ | |
US7707899B2 (en) | Force sensor chip | |
JPH10318872A (ja) | 力/トルクセンサ校正方法及び装置 | |
JP5427377B2 (ja) | 力覚センサ | |
WO2018055865A1 (ja) | 力覚センサ | |
JP4929257B2 (ja) | 力覚センサ | |
JP2013002942A (ja) | 力覚センサチップ | |
JP5765648B1 (ja) | 力覚センサ | |
EP3713721B1 (en) | Monolithic flexure based, triaxial dynamometer using photointerrupters | |
JP6878668B2 (ja) | 力覚センサ | |
JP4929256B2 (ja) | 力覚センサ | |
CN113043071A (zh) | 可感测低频力与高频力的力感测装置 | |
JP2019133299A (ja) | 入力装置、力覚センサ装置 | |
JP2020190464A (ja) | 加速度センサコアユニット、加速度センサを載置する基板のたわみを防止する方法 | |
WO2023047482A1 (ja) | オブジェクト | |
JP7091177B2 (ja) | トルクセンサ | |
US20230047168A1 (en) | 3-axis tunable metal isolator | |
JP2024013723A (ja) | トルクセンサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101126 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121207 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121211 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130207 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131105 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131202 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5427377 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |