JP5412124B2 - 光電変換装置及び固体撮像装置 - Google Patents
光電変換装置及び固体撮像装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5412124B2 JP5412124B2 JP2009021792A JP2009021792A JP5412124B2 JP 5412124 B2 JP5412124 B2 JP 5412124B2 JP 2009021792 A JP2009021792 A JP 2009021792A JP 2009021792 A JP2009021792 A JP 2009021792A JP 5412124 B2 JP5412124 B2 JP 5412124B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- photoelectric conversion
- upper electrode
- conversion device
- color filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 title claims description 67
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 title claims description 19
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 59
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 46
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 38
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 11
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 365
- 238000000034 method Methods 0.000 description 145
- 230000008569 process Effects 0.000 description 110
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 97
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 78
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 66
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 48
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 45
- -1 acetal compounds Chemical class 0.000 description 41
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 40
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 38
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 31
- 239000010408 film Substances 0.000 description 28
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 25
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 25
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 22
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 21
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 20
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 17
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 16
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 16
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 15
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 14
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 14
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 13
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 12
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 12
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 11
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 11
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 10
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 10
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 10
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 10
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 9
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 9
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 8
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 7
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 7
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 2-Aminoethan-1-ol Chemical compound NCCO HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 5
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 5
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 5
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 5
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 5
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 5
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 5
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 5
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 5
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 description 5
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 4
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 4
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 4
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 4
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 4
- OISVCGZHLKNMSJ-UHFFFAOYSA-N 2,6-dimethylpyridine Chemical compound CC1=CC=CC(C)=N1 OISVCGZHLKNMSJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- HVCNXQOWACZAFN-UHFFFAOYSA-N 4-ethylmorpholine Chemical compound CCN1CCOCC1 HVCNXQOWACZAFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N Acrylamide Chemical compound NC(=O)C=C HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 3
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RWRDLPDLKQPQOW-UHFFFAOYSA-N Pyrrolidine Chemical compound C1CCNC1 RWRDLPDLKQPQOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N Triethanolamine Chemical compound OCCN(CCO)CCO GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 3
- 125000005042 acyloxymethyl group Chemical group 0.000 description 3
- 125000004849 alkoxymethyl group Chemical group 0.000 description 3
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 3
- 238000011161 development Methods 0.000 description 3
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 3
- ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N diethanolamine Chemical compound OCCNCCO ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 3
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 3
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Natural products C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 3
- 229910052743 krypton Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 3
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920000768 polyamine Polymers 0.000 description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 3
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 3
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 3
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 3
- WZCQRUWWHSTZEM-UHFFFAOYSA-N 1,3-phenylenediamine Chemical compound NC1=CC=CC(N)=C1 WZCQRUWWHSTZEM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AHDSRXYHVZECER-UHFFFAOYSA-N 2,4,6-tris[(dimethylamino)methyl]phenol Chemical compound CN(C)CC1=CC(CN(C)C)=C(O)C(CN(C)C)=C1 AHDSRXYHVZECER-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JYYNAJVZFGKDEQ-UHFFFAOYSA-N 2,4-Dimethylpyridine Chemical compound CC1=CC=NC(C)=C1 JYYNAJVZFGKDEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BSKHPKMHTQYZBB-UHFFFAOYSA-N 2-methylpyridine Chemical compound CC1=CC=CC=N1 BSKHPKMHTQYZBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FKNQCJSGGFJEIZ-UHFFFAOYSA-N 4-methylpyridine Chemical compound CC1=CC=NC=C1 FKNQCJSGGFJEIZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 208000005156 Dehydration Diseases 0.000 description 2
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RPNUMPOLZDHAAY-UHFFFAOYSA-N Diethylenetriamine Chemical compound NCCNCCN RPNUMPOLZDHAAY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LGRFSURHDFAFJT-UHFFFAOYSA-N Phthalic anhydride Natural products C1=CC=C2C(=O)OC(=O)C2=C1 LGRFSURHDFAFJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GLUUGHFHXGJENI-UHFFFAOYSA-N Piperazine Chemical compound C1CNCCN1 GLUUGHFHXGJENI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NQRYJNQNLNOLGT-UHFFFAOYSA-N Piperidine Chemical compound C1CCNCC1 NQRYJNQNLNOLGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 2
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Natural products OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KYQCOXFCLRTKLS-UHFFFAOYSA-N Pyrazine Chemical compound C1=CN=CC=N1 KYQCOXFCLRTKLS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical compound C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SMWDFEZZVXVKRB-UHFFFAOYSA-N Quinoline Chemical compound N1=CC=CC2=CC=CC=C21 SMWDFEZZVXVKRB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000008065 acid anhydrides Chemical class 0.000 description 2
- 229920006322 acrylamide copolymer Polymers 0.000 description 2
- 229920006243 acrylic copolymer Polymers 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 2
- AOJOEFVRHOZDFN-UHFFFAOYSA-N benzyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1=CC=CC=C1 AOJOEFVRHOZDFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 2
- JHIWVOJDXOSYLW-UHFFFAOYSA-N butyl 2,2-difluorocyclopropane-1-carboxylate Chemical compound CCCCOC(=O)C1CC1(F)F JHIWVOJDXOSYLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 2
- 239000003093 cationic surfactant Substances 0.000 description 2
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 description 2
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- JBKVHLHDHHXQEQ-UHFFFAOYSA-N epsilon-caprolactam Chemical compound O=C1CCCCCN1 JBKVHLHDHHXQEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 2
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 2
- 238000004050 hot filament vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 239000001023 inorganic pigment Substances 0.000 description 2
- AWJUIBRHMBBTKR-UHFFFAOYSA-N isoquinoline Chemical compound C1=NC=CC2=CC=CC=C21 AWJUIBRHMBBTKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012860 organic pigment Substances 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N phthalocyanine Chemical compound N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(N=C3C4=CC=CC=C4C(=N4)N3)=N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C4=N1 IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 2
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 2
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 2
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 2
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000003512 tertiary amines Chemical class 0.000 description 2
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 2
- QGKMIGUHVLGJBR-UHFFFAOYSA-M (4z)-1-(3-methylbutyl)-4-[[1-(3-methylbutyl)quinolin-1-ium-4-yl]methylidene]quinoline;iodide Chemical compound [I-].C12=CC=CC=C2N(CCC(C)C)C=CC1=CC1=CC=[N+](CCC(C)C)C2=CC=CC=C12 QGKMIGUHVLGJBR-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- FFJCNSLCJOQHKM-CLFAGFIQSA-N (z)-1-[(z)-octadec-9-enoxy]octadec-9-ene Chemical compound CCCCCCCC\C=C/CCCCCCCCOCCCCCCCC\C=C/CCCCCCCC FFJCNSLCJOQHKM-CLFAGFIQSA-N 0.000 description 1
- CYSGHNMQYZDMIA-UHFFFAOYSA-N 1,3-Dimethyl-2-imidazolidinon Chemical compound CN1CCN(C)C1=O CYSGHNMQYZDMIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HXKKHQJGJAFBHI-UHFFFAOYSA-N 1-aminopropan-2-ol Chemical compound CC(O)CN HXKKHQJGJAFBHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WJFKNYWRSNBZNX-UHFFFAOYSA-N 10H-phenothiazine Chemical compound C1=CC=C2NC3=CC=CC=C3SC2=C1 WJFKNYWRSNBZNX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LJDSTRZHPWMDPG-UHFFFAOYSA-N 2-(butylamino)ethanol Chemical compound CCCCNCCO LJDSTRZHPWMDPG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IWSZDQRGNFLMJS-UHFFFAOYSA-N 2-(dibutylamino)ethanol Chemical compound CCCCN(CCO)CCCC IWSZDQRGNFLMJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MIJDSYMOBYNHOT-UHFFFAOYSA-N 2-(ethylamino)ethanol Chemical compound CCNCCO MIJDSYMOBYNHOT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NNWUEBIEOFQMSS-UHFFFAOYSA-N 2-Methylpiperidine Chemical compound CC1CCCCN1 NNWUEBIEOFQMSS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZVUNTIMPQCQCAQ-UHFFFAOYSA-N 2-dodecanoyloxyethyl dodecanoate Chemical compound CCCCCCCCCCCC(=O)OCCOC(=O)CCCCCCCCCCC ZVUNTIMPQCQCAQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AEBNPEXFDZBTIB-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-4-phenylbut-2-enamide Chemical compound NC(=O)C(C)=CCC1=CC=CC=C1 AEBNPEXFDZBTIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XWKFPIODWVPXLX-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-5-methylpyridine Natural products CC1=CC=C(C)N=C1 XWKFPIODWVPXLX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XBNVWXKPFORCRI-UHFFFAOYSA-N 2h-naphtho[2,3-f]quinolin-1-one Chemical compound C1=CC=CC2=CC3=C4C(=O)CC=NC4=CC=C3C=C21 XBNVWXKPFORCRI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JEGMWWXJUXDNJN-UHFFFAOYSA-N 3-methylpiperidine Chemical compound CC1CCCNC1 JEGMWWXJUXDNJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ITQTTZVARXURQS-UHFFFAOYSA-N 3-methylpyridine Chemical compound CC1=CC=CN=C1 ITQTTZVARXURQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WTQZSMDDRMKJRI-UHFFFAOYSA-N 4-diazoniophenolate Chemical group [O-]C1=CC=C([N+]#N)C=C1 WTQZSMDDRMKJRI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UZOFELREXGAFOI-UHFFFAOYSA-N 4-methylpiperidine Chemical compound CC1CCNCC1 UZOFELREXGAFOI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FHQRDEDZJIFJAL-UHFFFAOYSA-N 4-phenylmorpholine Chemical compound C1COCCN1C1=CC=CC=C1 FHQRDEDZJIFJAL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GJCOSYZMQJWQCA-UHFFFAOYSA-N 9H-xanthene Chemical compound C1=CC=C2CC3=CC=CC=C3OC2=C1 GJCOSYZMQJWQCA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002126 Acrylic acid copolymer Polymers 0.000 description 1
- 229910016569 AlF 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- KYNSBQPICQTCGU-UHFFFAOYSA-N Benzopyrane Chemical compound C1=CC=C2C=CCOC2=C1 KYNSBQPICQTCGU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical compound [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GAWIXWVDTYZWAW-UHFFFAOYSA-N C[CH]O Chemical group C[CH]O GAWIXWVDTYZWAW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FPVVYTCTZKCSOJ-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol distearate Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC(=O)OCCOC(=O)CCCCCCCCCCCCCCCCC FPVVYTCTZKCSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000000177 Indigofera tinctoria Nutrition 0.000 description 1
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 1
- PCNDJXKNXGMECE-UHFFFAOYSA-N Phenazine Natural products C1=CC=CC2=NC3=CC=CC=C3N=C21 PCNDJXKNXGMECE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RVGRUAULSDPKGF-UHFFFAOYSA-N Poloxamer Chemical compound C1CO1.CC1CO1 RVGRUAULSDPKGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SLINHMUFWFWBMU-UHFFFAOYSA-N Triisopropanolamine Chemical compound CC(O)CN(CC(C)O)CC(C)O SLINHMUFWFWBMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- DHKHKXVYLBGOIT-UHFFFAOYSA-N acetaldehyde Diethyl Acetal Natural products CCOC(C)OCC DHKHKXVYLBGOIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 239000002318 adhesion promoter Substances 0.000 description 1
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 239000003945 anionic surfactant Substances 0.000 description 1
- PYKYMHQGRFAEBM-UHFFFAOYSA-N anthraquinone Natural products CCC(=O)c1c(O)c2C(=O)C3C(C=CC=C3O)C(=O)c2cc1CC(=O)OC PYKYMHQGRFAEBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004056 anthraquinones Chemical class 0.000 description 1
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 1
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 125000001797 benzyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 125000000649 benzylidene group Chemical group [H]C(=[*])C1=C([H])C([H])=C([H])C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N bromine Substances BrBr GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052794 bromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 244000309464 bull Species 0.000 description 1
- QHIWVLPBUQWDMQ-UHFFFAOYSA-N butyl prop-2-enoate;methyl 2-methylprop-2-enoate;prop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=C.COC(=O)C(C)=C.CCCCOC(=O)C=C QHIWVLPBUQWDMQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004202 carbamide Substances 0.000 description 1
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 1
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 1
- 150000001735 carboxylic acids Chemical class 0.000 description 1
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 1
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- KYKAJFCTULSVSH-UHFFFAOYSA-N chloro(fluoro)methane Chemical compound F[C]Cl KYKAJFCTULSVSH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- IPHJYJHJDIGARM-UHFFFAOYSA-M copper phthalocyaninesulfonic acid, dioctadecyldimethylammonium salt Chemical compound [Cu+2].CCCCCCCCCCCCCCCCCC[N+](C)(C)CCCCCCCCCCCCCCCCCC.C=1C(S(=O)(=O)[O-])=CC=C(C(=NC2=NC(C3=CC=CC=C32)=N2)[N-]3)C=1C3=NC([C]1C=CC=CC1=1)=NC=1N=C1[C]3C=CC=CC3=C2[N-]1 IPHJYJHJDIGARM-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- QGBSISYHAICWAH-UHFFFAOYSA-N dicyandiamide Chemical compound NC(N)=NC#N QGBSISYHAICWAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000014113 dietary fatty acids Nutrition 0.000 description 1
- LVTYICIALWPMFW-UHFFFAOYSA-N diisopropanolamine Chemical compound CC(O)CNCC(C)O LVTYICIALWPMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940043276 diisopropanolamine Drugs 0.000 description 1
- 238000007865 diluting Methods 0.000 description 1
- 238000003618 dip coating Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- JDVIRCVIXCMTPU-UHFFFAOYSA-N ethanamine;trifluoroborane Chemical compound CCN.FB(F)F JDVIRCVIXCMTPU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000000194 fatty acid Substances 0.000 description 1
- 229930195729 fatty acid Natural products 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 150000002222 fluorine compounds Chemical class 0.000 description 1
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 description 1
- NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N fluoromethane Chemical compound FC NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229940100608 glycol distearate Drugs 0.000 description 1
- 125000001046 glycoluril group Chemical group [H]C12N(*)C(=O)N(*)C1([H])N(*)C(=O)N2* 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000008282 halocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 229940097275 indigo Drugs 0.000 description 1
- COHYTHOBJLSHDF-UHFFFAOYSA-N indigo powder Natural products N1C2=CC=CC=C2C(=O)C1=C1C(=O)C2=CC=CC=C2N1 COHYTHOBJLSHDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 1
- 229910001867 inorganic solvent Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003049 inorganic solvent Substances 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- QDLAGTHXVHQKRE-UHFFFAOYSA-N lichenxanthone Natural products COC1=CC(O)=C2C(=O)C3=C(C)C=C(OC)C=C3OC2=C1 QDLAGTHXVHQKRE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 229920003145 methacrylic acid copolymer Polymers 0.000 description 1
- 229940117841 methacrylic acid copolymer Drugs 0.000 description 1
- LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N methylenebutanedioic acid Natural products OC(=O)CC(=C)C(O)=O LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 1
- QOHMWDJIBGVPIF-UHFFFAOYSA-N n',n'-diethylpropane-1,3-diamine Chemical compound CCN(CC)CCCN QOHMWDJIBGVPIF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVEIBLDXZNGPHR-UHFFFAOYSA-N naphthalene-1,4-dione;diazide Chemical class [N-]=[N+]=[N-].[N-]=[N+]=[N-].C1=CC=C2C(=O)C=CC(=O)C2=C1 QVEIBLDXZNGPHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910017464 nitrogen compound Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002830 nitrogen compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910052756 noble gas Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002835 noble gases Chemical class 0.000 description 1
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002114 octoxynol-9 Polymers 0.000 description 1
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 1
- 125000005375 organosiloxane group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 150000002989 phenols Chemical class 0.000 description 1
- 229950000688 phenothiazine Drugs 0.000 description 1
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000052 poly(p-xylylene) Polymers 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920000259 polyoxyethylene lauryl ether Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 239000005077 polysulfide Substances 0.000 description 1
- 229920001021 polysulfide Polymers 0.000 description 1
- 150000008117 polysulfides Polymers 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N pyridine Natural products COC1=CC=CN=C1 UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GZTPJDLYPMPRDF-UHFFFAOYSA-N pyrrolo[3,2-c]pyrazole Chemical compound N1=NC2=CC=NC2=C1 GZTPJDLYPMPRDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 150000005846 sugar alcohols Polymers 0.000 description 1
- 150000003464 sulfur compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- LDHQCZJRKDOVOX-UHFFFAOYSA-N trans-crotonic acid Natural products CC=CC(O)=O LDHQCZJRKDOVOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002235 transmission spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- AAAQKTZKLRYKHR-UHFFFAOYSA-N triphenylmethane Chemical compound C1=CC=CC=C1C(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 AAAQKTZKLRYKHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 230000004304 visual acuity Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14618—Containers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/1462—Coatings
- H01L27/14621—Colour filter arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/1462—Coatings
- H01L27/14623—Optical shielding
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14625—Optical elements or arrangements associated with the device
- H01L27/14627—Microlenses
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14683—Processes or apparatus peculiar to the manufacture or treatment of these devices or parts thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/10—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof for transforming different wavelengths into image signals
- H04N25/11—Arrangement of colour filter arrays [CFA]; Filter mosaics
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
Description
この製造工程30では、先ず半導体基板13に駆動回路12を形成する駆動回路形成工程31が行われる。この駆動回路形成工程31では、詳しくは図示しないが、公知の半導体集積回路製造技術によって、駆動回路が形成される。
駆動回路形成工程31の次は電極パッド形成工程32が行われる。電極パッド形成工程32では、図4に示すように、半導体基板13の上面に各種PVD法やCVD法などにより下部電極14及び上部電極パッド23を形成する。なお、下部電極14及び上部電極パッド23をより微細なパターンで形成する場合は、各種PVD法やCVD法などで半導体基板13の全面に電極層を形成した後、後述するドライエッチング法によって、下部電極14及び上部電極パッド23を残し、それ以外の領域を除去するようにパターン形成する工程を行ってもよい。なお、下部電極14及び上部電極パッド23は、半導体基板13に設けられた駆動回路と接続される。電極パッド形成工程32の次は研磨ストッパー層形成工程33を行う。
研磨ストッパー層形成工程33では、図5に示すように、半導体基板13の基準面となる上面13a、且つ有効画素領域22の外側となる領域に、各種PVD法やCVD法などによって研磨ストッパー層18を形成する。なお、研磨ストッパー層18は、この時点では後述する平坦化工程で研磨又はエッチング処理されることを考慮して、カラーフィルタの上面までの高さに必要なマージン分を足した膜厚となるように形成されている。研磨ストッパー層形成工程33の次は中間層形成工程34を行う。なお、研磨ストッパー層18としては、平坦化工程で適用するCMPやドライエッチングへの耐性がある無機材料が好ましく、研磨ストッパー層自体をパターニングする際にドライエッチングなど既存の半導体微細加工技術を容易に適用できる酸化珪素や窒化珪素、窒化酸化珪素等の絶縁材料が特に好ましい。
上部電極形成工程35では、図7に示すように、上記のメタルマスク41に代えて、メタルマスク42を研磨ストッパー層18の上面に置き、スパッタリング法で上部電極16を形成する。この上部電極形成工程35で使用するメタルマスク42は、研磨ストッパー層18を覆い隠し、中間層15及び上部電極パッド23を露呈させるように開口部42aが形成されている。これにより、中間層15及び上部電極パッド23上全面を覆うように上部電極16が形成される。すなわち、上部電極16は、各画素間を途切れることなく連続して形成される。上述したように上部電極パッド23は、駆動回路に接続されているため、上部電極パッド23に接触した上部電極16は、上部電極パッド23を介して駆動回路に接続される。上部電極形成工程35の次は、透明絶縁層形成工程36が行われる。
透明絶縁層形成工程36では、図8に示すように、上記のメタルマスク42に代えて、メタルマスク43を研磨ストッパー層18の上面におき、下記の材料・方法で透明絶縁層17を形成する。なお、透明絶縁層17は、外気に曝露すると顕著に劣化する有機EL素子や有機光電変換素子を封止できるように酸化アルミニウム、酸化珪素、窒化珪素、窒化酸化珪素等、及びこれらのうちのいずれかを積層した積層膜をスパッタリングなどのPVD法や、プラズマCVD法、触媒CVD法、原子層堆積(ALD)法で成膜することが好ましく、例えば、高周波マグネトロンスパッタリングによりArガスとO2ガスを導入した真空度1Paの雰囲気で酸化アルミニウムを透明絶縁層として上部電極の上に成膜することが好ましい。
周辺遮光層形成工程50では、図11に示すように、研磨ストッパー層18の上面、及び透明絶縁層17の上全体にスピンコータを用いて、周辺遮光層71を形成する黒着色剤を含有する組成物を塗布する。次にホットプレートを用いて、雰囲気温度が200℃〜250℃、5〜10分間加熱処理し、塗布膜を硬化させて周辺遮光層71(黒着色層)を形成する。この加熱処理は組成物塗布後の乾燥と同時であってもよく、また塗布乾燥後に別途熱硬化の工程を設けてもよい。周辺遮光層71は、チタンブラック、もしくはカーボンブラック材のいずれかを分散させた黒着色剤組成物からなることが好ましい。
周辺遮光層形成工程50の次は、以下のように、第1〜第3色カラーフィルタ形成工程51〜53を順次行ってカラーフィルタを形成する。
第1色カラーフィルタ形成工程51では、先ず、図12に示すように、周辺遮光層71上にポジ型のフォトレジスト(例えば、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ製FHi622BC)を、スピンコータを用いて塗布する。ホットプレートで、80〜100℃の範囲で、60秒プリベークを実施して、フォトレジスト層72を形成する。続いて、フォトレジスト層72の上方からフォトマスクを用いて、カラーフィルタ19R,19B,19Gが配列される有効画素領域22に合わせた領域を露光する。露光に用いる光源としては、例えば、i線(波長365nm)を発する露光ステッパを用いる。次に、ホットプレートで、100〜120℃の範囲で、90秒露光後加熱(PEB)処理を行なう。その後、現像液でパドル現像処理を行い、更にホットプレートでポストベーク処理を実施し、有効画素領域のフォトレジストを除去し、有効画素領域の周辺領域を残す(パターニング工程55)。図13は、有効画素領域のフォトレジストを除去した状態で、符号73は、フォトレジストを除去した開口部を示す。
次に、フォトレジスト層72をマスクとして周辺遮光層71にドライエッチングするエッチング工程56について説明する。ドライエッチング装置としては、例えば、反応性イオンエッチング(RIE)装置を用いる。RIE装置は、平行平板型や容量結合型、電子サイクロトロン共鳴型などの公知な構造で、高周波放電を用いてドライエッチングを行うことができる。このRIE装置を用いて、フォトレジスト層72をマスクとして周辺遮光層71にドライエッチング工程56を行う。これにより、第1〜第3の着色層75,79,83が配列される有効画素領域の周辺遮光層71を除去する。なお、図14は、エッチング工程56によって周辺遮光層71がエッチングされた状態を示し、符号74は、エッチング工程56によって除去された周辺遮光層71の開口部である。
開口部形成ドライエッチング処理を行う場合、周辺遮光層71を矩形に加工する観点から、弗素系ガスの少なくとも1種とO2ガスとを少なくとも含む混合ガスを第1のエッチングガスとして用いることが好ましい。そして、開口部形成ドライエッチング処理では、平面電極(陰極)上に半導体基板13を設置したチャンバの内部へ、第1のエッチングガスを導入する。そしてこのエッチングガスが導入された状態で、平面電極と対向電極との間に高周波電圧が印加されると、陰極効果により周辺遮光層71を矩形に加工するエッチングが施される。この開口部形成ドライエッチング処理に用いる弗素系ガスとしては、下記式(I)で表される弗素系化合物のガスが好ましい。
CnHmFl ・・・式(I)
〔式中、nは1〜6を表し、mは0〜13を表し、lは1〜14を表す。〕
開口部形成ドライエッチング処理においては、下記手法により事前にエッチング処理時間を求めておくことが好ましい。
(1)開口部形成ドライエッチング処理における周辺遮光層71のエッチングレートを算出する。
(2)上記(1)で算出されたエッチングレートより、開口部形成ドライエッチング処理にて所望の厚さをエッチングするのに要する処理時間を算出する。
本発明におけるエッチング処理時間としては、10分以内でエッチング処理を行なうことが好ましく、7分以内で処理することがより好ましい。
残渣除去ドライエッチング処理では、O2ガスを含む第2のエッチングガスを用いてドライエッチング処理を行うことで、周辺遮光層71の矩形性を維持したまま、フォトレジスト層に形成された表面変質層と周辺遮光層71が除去された領域の残渣を除去することができる。
エッチング工程56の次はフォトレジスト除去工程57を行う。先ず、溶剤もしくはフォトレジスト剥離液を使用して、フォトレジスト剥離処理を実施し、周辺遮光層71上に残存するフォトレジスト層72の除去を行なう。もしくは、上述した残渣除去エッチング処理の時間を延長してフォトレジスト層72を除去する。この残渣除去エッチング処理の時間を延長する手法では、アッシングにより周辺遮光層71の最表層がプラズマダメージの影響を受けるが、減膜することはなくフォトレジストを除去することができる。
フォトレジスト除去工程57の後、続いて第1の着色層形成工程58を行う。第1の着色層形成工程58では、図16に示すように、周辺遮光層71上全体を覆うと共に、開口部74に埋込むようにして、第1の着色層75(第1色目;例えば赤(R))を形成する。周辺遮光層71の形成方法と同様に、スピンコータを用いて、着色層組成物を塗布する。次に、ホットプレートを用いてポストベーク処理し、第1の着色層75が形成される。なお、この第1の着色層形成工程58では、この後の工程で研磨などの平坦化をすることを考慮し、第1の着色層75の上面が研磨ストッパー層18の上面よりも上方に位置するように膜厚を形成しておく。第1の着色層形成工程58の次は、第2色カラーフィルタ形成工程51を行う。
第2色カラーフィルタ形成工程51では、先ず、第1の着色層75上全体にポジ型フォトレジストをスピンコータを用いて塗布し、プリベークを実施してフォトレジスト層76(図17参照)を形成する。次に、i線露光ステッパを用いて、第2の着色層79(第2色目;例えば青(B);図21参照)を形成しようとする領域を、パターニングしてフォトレジストを除去する(パターニング工程59)。図18は、このパターニング工程59を行った状態を示し、符号77は、パターニングで形成されたフォトレジスト層76の開口部である。なお、フォトレジストのパターンを形成する処理などは上記パターニング工程55と同様である。
エッチング工程60の開口部形成ドライエッチング処理では、下記手法により事前にエッチング処理時間を求めておくことが好ましい。1)第1の着色層75をエッチングする際のエッチングレートを算出する。2)上記で算出したエッチングレートから、エッチング工程60にて所望の厚さをエッチングするのに要する処理時間を算出する。前記エッチングレートは、例えば、エッチング時間と残膜との相関によって、算出することができる。本発明におけるエッチング処理時間としては、10分以内でエッチング処理を行うことが好ましく、7分以内で処理することがより好ましい。
エッチング工程60の次は、フォトレジスト層76の除去工程(フォトレジスト除去工程61)を行う。図20(A)は、フォトレジスト層76が除去された状態を示す。フォトレジスト除去の処理方法、条件、溶剤又は剥離剤などは、上記のフォトレジスト除去工程57と同様である。フォトレジスト除去工程61の次は、平坦化工程62を行う。
平坦化工程62では、CMP装置を用いて、研磨ストッパー層18が露出するまで第1の着色層75及び周辺遮光層71を研磨して平坦化する(図20(B)に示す状態)。これにより、第1の着色層75よりも耐研磨性の高い研磨ストッパー層18が露出すると、第1の着色層75及び周辺遮光層71を研磨する速度が遅くなるので、研磨処理の終点、すなわち研磨ストッパー層18の上面に第1の着色層75の上面を合わせやすくなる。平坦化工程62後、続いて第2の着色層形成工程63を行う。
研磨剤には、シリカ微粒子を分散したスラリを使用し、研磨装置には、スラリ流量:100〜250cm3・min−1、ウエハ圧:0.2〜5.0psi、リテーナリング圧:1.0〜2.5psi、研磨布からなる装置を使用することができる。ウエハ、研磨布の回転数は30rpm〜100rpm程度の回転数により、マイクロスクラッチの少ないカラーフィルタを形成することができる。研磨終了後、純水でクリーニングする。その後、ポストベーク処理を実施して含有水分を除去する。
第2の着色層形成工程63では、図21に示すように、研磨ストッパー層18、周辺遮光層71及び第1の着色層75上全体を覆うと共に、開口部78に埋込むように、第2の着色層(第2色目;例えば青(B))79を形成する。第1の着色層75の形成方法と同様に、スピンコータを用いて、カラーフィルタ組成物を塗布する。カラーフィルタ組成物の塗布後、ホットプレートを用いてポストベーク処理し、第2の着色層79が形成される。第2の着色層形成工程63の次は、第3色カラーフィルタ形成工程53を行う。
第3色カラーフィルタ形成工程53では、先ず、第2の着色層79上全体にポジ型フォトレジストをスピンコータで塗布し、プリベークを実施してフォトレジスト層80を形成する。次に、i線露光ステッパを用いて、第3の着色層83(第3色目;例えば緑(G);図24参照)を形成しようとする領域を、パターニングしてフォトレジストを除去する(パターニング工程64)。図22(A)は、このパターニング工程64を行った状態を示し、符号81は、パターニングで形成された開口部である。なお、フォトレジストのパターンを形成する処理としては上記パターニング工程55と同様である。
平坦化工程67では、図23に示すように、CMP装置を用いて、研磨処理を実施し、研磨ストッパー層18及び周辺遮光層71及び第1の着色層75が露出するまで第2の着色層79の全面を平坦化する(図23(B)に示す状態)。なお、平坦化工程67では、平坦化工程62同様の処理で第2の着色層79を研磨処理する。これにより、第2の着色層79よりも耐研磨性の高い研磨ストッパー層18が露出するまで研磨すると、予め形成した研磨ストッパー層18の上面、すなわち研磨処理の終点に、第2の着色層79の上面の位置を合わせやすくなる。平坦化工程67の後、続いて第3の着色層形成工程68を行う。
カラーフィルタ層を形成する着色組成物について以下に説明する。着色組成物は、ドライエッチングでパターン形成することで光硬化性成分を除くことができる。光硬化性成分を少なくあるいは好ましくは除いた着色組成物では、着色剤の濃度を高めることができる。したがって、困難とされていた従来以上に薄膜化されたカラーフィルタ層を、透過分光を維持しながら形成することが可能になる。よって、光硬化性成分を含まない非感光性の硬化性組成物が好ましく、より好ましくは熱硬化性組成物である。
着色剤としては、特に限定されず、従来公知の種々の染料や顔料を1種又は2種以上混合して用いることができる。
C.I.ピグメント・オレンジ36,71;
C.I.ピグメント・レッド122,150,171,175,177,209,224,242,254,255,264;
C.I.ピグメント・バイオレット19,23,32;
C.I.ピグメント・ブル15:1,15:3,15:6,16,22,60,66;
C.I.ピグメント・グリーン7,36,58;
本発明における着色熱硬化性組成物の全固形分中の着色剤含有率は特に限定されるものではないが、好ましくは30〜60質量%である。30質量%以上とすることでカラーフィルタとして適度な色度を得ることができる。また、60質量%以下とすることで光硬化を充分に進めることができ、膜としての強度低下を抑制することができる。
本発明に使用可能な熱硬化性化合物としては、加熱により膜硬化を行えるものであれば特に限定はなく、例えば、熱硬化性官能基を有する化合物を用いることができる。前記熱硬化性化合物としては、例えば、エポキシ基、メチロール基、アルコキシメチル基およびアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも1つの基を有するものが好ましい。
本発明における着色熱硬化性組成物には、本発明の効果を損なわない範囲で、必要に応じて、各種添加物、例えば、バインダ、硬化剤、硬化触媒、溶剤、充填剤、前記以外の高分子化合物、界面活性剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤、分散剤、等を配合することができる。
前記バインダは、顔料分散液調製時に添加する場合が多く、アルカリ可溶性を必要とせず、有機溶剤に可溶であればよい。
本発明において、熱硬化性化合物として、エポキシ樹脂を使用する場合、硬化剤を添加することが好ましい。エポキシ樹脂の硬化剤は種類が非常に多く、性質、樹脂と硬化剤の混合物との可使時間、粘度、硬化温度、硬化時間、発熱などが使用する硬化剤の種類によって非常に異なるため、硬化剤の使用目的、使用条件、作業条件などによって適当な硬化剤を選ばねばならない。前記硬化剤に関しては垣内弘編「エポキシ樹脂」(昇晃堂)第5章に詳しく解説されている。前記硬化剤の例を挙げると以下のようになる。
触媒的に作用するものとしては、第三アミン類、三弗化硼素−アミン複合体、エポキシ樹脂の官能基と化学量論的に反応するものとして、ポリアミン、酸無水物等;また、常温硬化のものとして、ジエチレントリアミン、ポリアミド樹脂、中温硬化のものの例としてジエチルアミノプロピルアミン、トリス(ジメチルアミノメチル)フェノール;高温硬化の例として、無水フタル酸、メタフェニレンジアミン等がある。また化学構造別に見るとアミン類では、脂肪族ポリアミンとしてはジエチレントリアミン;芳香族ポリアミンとしてはメタフェニレンジアミン;第三アミンとしてはトリス(ジメチルアミノメチル)フェノール;酸無水物としては無水フタル酸、ポリアミド樹脂、ポリスルフィド樹脂、三弗化硼素−モノエチルアミン複合体;合成樹脂初期縮合物としてはフェノール樹脂、その他ジシアンジアミド等が挙げられる。
本発明において高い着色剤濃度を実現するためには、前記硬化剤との反応による硬化の他、主としてエポキシ基同士の反応による硬化が有効である。このため、硬化剤は用いず、硬化触媒を使用することもできる。前記硬化触媒の添加量としてはエポキシ当量が150〜200程度のエポキシ樹脂に対して、質量基準で10分の1〜1000分の1程度、好ましくは20分の1〜500分の1程度さらに好ましくは30分の1〜250分の1程度のわずかな量で硬化させることが可能である。
本発明における着色熱硬化性組成物は各種溶剤に溶解された溶液として用いることができる。本発明における着色熱硬化性組成物に用いられるそれぞれの溶剤は、各成分の溶解性や着色熱硬化性組成物の塗布性を満足すれば基本的に特に限定されない
又、前記分散剤は顔料の分散性を向上させるために添加することができる。前記分散剤としては、公知のものを適宜選定して用いることができ、例えば、カチオン系界面活性剤、弗素系界面活性剤、高分子分散剤等が挙げられる。
これらの分散剤としては、多くの種類の化合物が用いられるが、例えば、フタロシアニン誘導体(エフカ製EFKA−745や日本ルーブリゾール製ソルスパース5000);オルガノシロキサンポリマ(例えば、信越化学工業製KP341);(メタ)アクリル酸系(共)重合体(例えば、共栄社油脂化学工業製ポリフローNo.75、No.90、No.95);W001(裕商製)等のカチオン系界面活性剤;ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル等のノニオン系界面活性剤;W004、W005、W017(以上裕商製)等のアニオン系界面活性剤;EFKA−46、EFKA−47、EFKA−47EA、EFKAポリマー100、EFKAポリマー400、EFKAポリマー401、EFKAポリマー450(以上森下産業製)、ディスパースエイド6、ディスパースエイド8、ディスパースエイド15、ディスパースエイド9100(以上サンノプコ製)等の高分子分散剤;ソルスパース3000、5000、9000、12000、13240、13940、17000、24000、26000、28000(以上日本ルーブリゾール製)などの各種ソルスパース分散剤;アデカプルロニックL31、F38、L42、L44、L61、L64、F68、L72、P95、F77、P84、F87、P94、L101、P103、F108、L121、P−123(以上旭電化製)及びイソネットS−20(三洋化成製)が挙げられる
本発明における非感光性の着色硬化性組成物には、必要に応じて各種添加剤を更に添加することができる。各種添加物の具体例としては、上記の着色光硬化性組成物において説明した各種添加剤を挙げることができる。
前述のとおり、ドライエッチング法により第1〜第3の着色層を形成する場合には、フォトレジストを用いてレジストパターンを形成する。また、除去工程においても、フォトレジストを用いてレジストパターンを形成することが好ましい。
非感光性の着色硬化性組成物には、必要に応じて各種添加剤を更に添加することができる。各種添加物の具体例としては、上記の着色光硬化性組成物において説明した各種添加剤を挙げることができる。
11 光電変換装置
12 駆動回路
13 半導体基板
14 下部電極
15 中間層
16 上部電極
17 透明絶縁層
18 研磨ストッパー層
19R,19G、19B カラーフィルタ
Claims (11)
- 基準面を有する基板と、前記基板の基準面上に設けられた下部電極と、前記下部電極上を覆うように設けられ、有機光電変換材料が含まれる中間層と、前記中間層上に設けられた上部電極と、前記上部電極の上方に位置するカラーフィルタとを備え、前記下部電極、前記中間層、前記上部電極及び前記カラーフィルタが重なる画素が複数配列された有効画素領域を有する光電変換装置であって、
前記基板の基準面上、且つ前記有効画素領域の外周の少なくとも一部に形成され、上面が、前記カラーフィルタの上面と同一面となる構造物を設け、
前記構造物は、導電性材料を含み、前記上部電極と接続されていることを特徴とする光電変換装置。 - 前記構造物は、半導体基板に対して垂直な方向から、上から下へ向かって、徐々に前記有効画素領域に近接する側へ傾斜する傾斜面を有していることを特徴とする請求項1記載の光電変換装置。
- 前記中間層は、複数の前記画素間で途切れることなく連続して設けられていることを特徴とする請求項1または2記載の光電変換装置。
- 前記上部電極は、複数の前記画素間で途切れることなく連続して設けられていることを特徴とする請求項1または2記載の光電変換装置。
- 前記上部電極及びカラーフィルタの間に、複数の前記画素間で途切れることなく連続して設けられた透明絶縁層を有することを特徴とする請求項1または2記載の光電変換装置。
- 前記構造物は、2種類以上の材料を積層して形成されることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項記載の光電変換装置。
- 前記構造物は、前記透明絶縁層と同一材料を含む2種類以上の材料を積層してなることを特徴とする請求項5記載の光電変換装置。
- 前記構造物は、前記上部電極と接続される導電性材料を含む2種類以上の材料を積層してなることを特徴とする請求項1ないし7のいずれか1項記載の光電変換装置。
- 前記半導体基板は、前記下部電極より下方の位置に、前記下部電極に接続された駆動回路を有することを特徴とする請求項1ないし8のいずれか1項記載の光電変換装置。
- 請求項9記載の前記光電変換装置を備え、前記駆動回路が、前記光電変換材料で発生した電荷を読出すことを特徴とする固体撮像装置。
- 前記駆動回路は、CCD型またはCMOS型の信号読出回路を含むことを特徴とする請求項10記載の固体撮像装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009021792A JP5412124B2 (ja) | 2009-02-02 | 2009-02-02 | 光電変換装置及び固体撮像装置 |
US12/697,899 US20100194941A1 (en) | 2009-02-02 | 2010-02-01 | Light/electric power converter and solid state imaging device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009021792A JP5412124B2 (ja) | 2009-02-02 | 2009-02-02 | 光電変換装置及び固体撮像装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010177632A JP2010177632A (ja) | 2010-08-12 |
JP5412124B2 true JP5412124B2 (ja) | 2014-02-12 |
Family
ID=42397384
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009021792A Active JP5412124B2 (ja) | 2009-02-02 | 2009-02-02 | 光電変換装置及び固体撮像装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20100194941A1 (ja) |
JP (1) | JP5412124B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5681597B2 (ja) * | 2011-09-20 | 2015-03-11 | 富士フイルム株式会社 | 固体撮像素子の製造方法 |
JP5780402B2 (ja) * | 2011-12-27 | 2015-09-16 | ソニー株式会社 | 半導体素子、半導体素子の製造方法、固体撮像装置および電子機器 |
JP5946132B2 (ja) * | 2012-09-25 | 2016-07-05 | 富士フイルム株式会社 | 固体撮像素子の製造方法 |
US10147906B2 (en) * | 2014-02-06 | 2018-12-04 | Emagin Corporation | High efficacy seal for organic light emitting diode displays |
US20190214427A1 (en) * | 2018-01-10 | 2019-07-11 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Image sensor including pixel electrodes, control electrode, photoelectric conversion film, transparent electrode, and connector |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61292960A (ja) * | 1985-06-21 | 1986-12-23 | Toshiba Corp | 固体撮像装置 |
US5677202A (en) * | 1995-11-20 | 1997-10-14 | Eastman Kodak Company | Method for making planar color filter array for image sensors with embedded color filter arrays |
US6552488B1 (en) * | 1999-08-24 | 2003-04-22 | Agilent Technologies, Inc. | Organic electroluminescent device |
US6936131B2 (en) * | 2002-01-31 | 2005-08-30 | 3M Innovative Properties Company | Encapsulation of organic electronic devices using adsorbent loaded adhesives |
US20050195318A1 (en) * | 2003-02-07 | 2005-09-08 | Takahiro Komatsu | Organic information reading unit and information reading device using the same |
US7502058B2 (en) * | 2003-06-09 | 2009-03-10 | Micron Technology, Inc. | Imager with tuned color filter |
JP2005101443A (ja) * | 2003-09-26 | 2005-04-14 | Seiko Epson Corp | 撮像装置の製造方法及び撮像装置 |
JP2007115976A (ja) * | 2005-10-21 | 2007-05-10 | Canon Inc | 固体撮像素子及びその製造方法 |
US7594839B2 (en) * | 2006-02-24 | 2009-09-29 | Eastman Kodak Company | OLED device having improved light output |
US20080017945A1 (en) * | 2006-07-24 | 2008-01-24 | Yi-Tyng Wu | Method for fabricating color filters |
US20080054386A1 (en) * | 2006-08-31 | 2008-03-06 | Micron Technology, Inc. | Recessed color filter array and method of forming the same |
US20090090850A1 (en) * | 2006-08-31 | 2009-04-09 | Aptina Imaging Corporation | Deep Recess Color Filter Array and Process of Forming the Same |
KR100823031B1 (ko) * | 2006-12-21 | 2008-04-17 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 이미지 센서 제조방법 |
JP4637196B2 (ja) * | 2007-03-16 | 2011-02-23 | 富士フイルム株式会社 | 固体撮像素子 |
JP5235348B2 (ja) * | 2007-07-26 | 2013-07-10 | 富士フイルム株式会社 | 放射線撮像素子 |
-
2009
- 2009-02-02 JP JP2009021792A patent/JP5412124B2/ja active Active
-
2010
- 2010-02-01 US US12/697,899 patent/US20100194941A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010177632A (ja) | 2010-08-12 |
US20100194941A1 (en) | 2010-08-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI687489B (zh) | 近紅外線吸收性色素多聚體、組成物、膜、光學濾波器、圖案形成方法及裝置 | |
JP5064426B2 (ja) | カラーフィルタの製造方法及び固体撮像素子 | |
JP4444371B1 (ja) | 撮像素子及び撮像装置 | |
JP2009111225A (ja) | 固体撮像素子及びその製造方法 | |
TWI746450B (zh) | 材料、組成物、硬化性組成物、硬化膜、光學濾波器、固體攝像元件、紅外線感測器、照相機模組及材料的製造方法 | |
KR101548560B1 (ko) | 패턴 형성 방법, 컬러필터의 제조 방법, 및 그것에 의해 제조되는 컬러필터 | |
US7537868B2 (en) | Method of manufacturing color filters | |
JP5412124B2 (ja) | 光電変換装置及び固体撮像装置 | |
WO2009104339A1 (ja) | カラーフィルタ及びその製造方法並びに固体撮像素子 | |
TW200844497A (en) | Color filter and method of manufacturing the same, and solid-state image pickup element | |
JP2010134352A (ja) | カラーフィルタの製造方法及び固体撮像素子 | |
JP2011032366A (ja) | 着色硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法 | |
JP2009103746A (ja) | カラーフィルタ及びその製造方法並びに固体撮像装置 | |
JP2010085756A (ja) | カラーフィルタの製造方法及び固体撮像装置 | |
JP2010085701A (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
JP2008176184A (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
JP2010085755A (ja) | カラーフィルタの製造方法及び固体撮像装置 | |
JP2010085754A (ja) | カラーフィルタの製造方法及び固体撮像装置 | |
JP5403897B2 (ja) | 固体撮像素子用カラーフィルタの製造方法 | |
JP2009244710A (ja) | カラーフィルタアレイ及びその製造方法並びに固体撮像素子 | |
JP2023029378A (ja) | 構造体、固体撮像素子および画像表示装置 | |
JP2010080687A (ja) | 遮光膜の形成方法及び固体撮像素子の製造方法 | |
JP2010078680A (ja) | カラーフィルタ及び固体撮像素子 | |
JP2010085700A (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
KR20160034345A (ko) | 이미지 센서 및 그 제조 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110701 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130208 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130220 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130419 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131016 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131111 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5412124 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |