JP5403509B2 - イオン源および質量分析装置 - Google Patents
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Description
図2は、質量分析システム20の構成を示す概略図である。同図に示すように、質量分析システム20は、イオン源1、多重周回飛行時間型質量分析計(分離部)2および検出器(検出部)3を備える質量分析装置10および制御装置4を備えている。
図1は、イオン源1の構成を示す概略図である。同図に示すように、イオン源1は、試料18を保持するサンプルプレート(第1電極)11、引き出し電極(第2電極)12、引き込み電極(第3電極)13、静電レンズ電極14、レーザー光源15、レンズ16およびミラー17を備えている。なお、図1は、各部材の配置を概念的に示すものであり、各部材の大きさ、形状および厳密な関係を限定するものではない。
図2に示すように、制御装置4は、イオン化制御部(イオン化制御手段)41、電圧制御部(電圧制御手段)42、質量分析計制御部43、分析データ取得部44および記憶部45を備えている。
図3は、イオン源1の変更例を示す図である。図3には、引き込み電極13と静電レンズ電極14との両方の機能を有するアインツェルレンズ14aが示されている。このアインツェルレンズ14aは、3個の円板電極からなるものである。この3個の円板電極のうち、最も引き出し電極12に近い円板電極が引き込み電極13として機能する。
次に、本発明の原理について説明する。図4は、従来の遅延引き出し法および本発明の原理を説明するための図である。
次に質量分析システム20における処理の流れの一例について説明する。図5は、質量分析システム20における処理の流れの一例を示すフローチャートである。
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
2 多重周回飛行時間型質量分析計(分離部)
3 検出器
4 制御装置
10 投影型イメージング質量分析装置
11 サンプルプレート(第1電極)
12 引き出し電極(第2電極)
13 引き込み電極(第3電極)
18 試料
20 質量分析システム
31a イオン
31b イオン
31c イオン
41 イオン化制御部
42 電圧制御部
Claims (5)
- 質量分析の対象となる試料をイオン化して出射するイオン源であって、
上記試料をパルス的にイオン化するイオン化部と、
上記イオン化部によって生成されたイオンの流れにおいて、当該イオンが生成される側を上流とし、生成されたイオンが上記イオン源から出射される側を下流とした場合に、上記試料の上流に位置する第1電極と、
上記試料の下流に位置し、上記イオン化部が上記試料をイオン化した時点において、上記第1電極と自身との電位差により、上記イオン化部により生成されたイオンを上記試料の表面から引き出す第2電極と、
上記第2電極と自身との電位差により、上記第2電極によって引き出されたイオンを加速する第3電極とを備え、
上記第2電極は、イオンを通過させる孔を有する板状の電極であり、
上記第3電極は、イオンを通過させる孔を有し、当該イオンを結像させるレンズとしての機能を有する板状の電極であり、
上記第2電極は、自身と上記第3電極との電位差によってイオンが加速されている間に、当該イオンが正イオンの場合には自身の電位を所定量上げ、当該イオンが負イオンの場合には自身の電位を所定量下げることを特徴とするイオン源。 - 上記イオン化部は、上記試料の表面を均一にイオン化することを特徴とする請求項1に記載のイオン源。
- 飛行時間型の質量分析装置であって、
請求項1に記載のイオン源と、
上記イオン源から出射されたイオンを、その質量電荷比に基づく飛行時間差を利用して分離し、出射する分離部と、
上記分離部から出射されたイオンを検出する検出部とを備えることを特徴とする質量分析装置。 - 上記イオン化部は、上記試料の表面を均一にイオン化し、
上記検出部は、上記分離部から出射されたイオンの到達位置および到達時間を測定することを特徴とする請求項3に記載の質量分析装置。 - 上記第2電極と上記第3電極との間には、上記第2電極によって引き出されたイオンを減速させるための電極は設けられていないことを特徴とする請求項1または2に記載のイオン源。
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