JP4691712B2 - 飛行時間質量分析計 - Google Patents
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Description
2 押し出し電極
2a 内面
2b 前端部
2c 中空円盤状電極
3 引き出し電極
4 メッシュ構造
5 導入路
6 加速開始位置
7 電源
8 等電位面
9 中性粒子もしくはイオンの導入
11 導入される中性粒子またはイオン
12 押し出し電極
13 中間電極
14 グランド電極
15 レンズ系
16 検出器
17 引き出し電極
18 リフレクタ
19,20 イオン
21 導入エネルギー0eVをもつイオンの軌道曲線
22 導入エネルギー10eVをもつイオンの軌道曲線
23 導入エネルギー20eVをもつイオンの軌道曲線
24 導入エネルギー30eVをもつイオンの軌道曲線
25 導入エネルギー40eVをもつイオンの軌道曲線
26 導入エネルギー50eVをもつイオンの軌道曲線
27 導入エネルギー100eVをもつイオンの軌道曲線
28 導入エネルギー150eVをもつイオンの軌道曲線
29 導入エネルギー200eVをもつイオンの軌道曲線
31 二段式四重極レンズ
Claims (17)
- 加速部が押し出し電極と、穴の開いた引き出し電極とからなり、該加速部によって、z軸上の加速開始位置に導入されたイオンをz軸方向に加速して検出器に到達させてなる飛行時間質量分析計において、
前記押し出し電極の引き出し電極側の内面が曲面形状であって、
前記加速部は、イオンの加速開始位置のずれに伴う飛行時間の分布を収束させてスペースフォーカス位置に配置した検出器に加速開始位置の異なるイオンを同時に到達させるとともに、イオンが前記加速開始位置に導入されたときのイオンのz軸と直交する方向の導入エネルギーの分布を補正して、前記内面の曲面形状を反映した電場の勾配と方向の分布により軌道を修正して引き出し電極以降の軌道がz軸に平行となるように軌道制御を行うことを特徴とする飛行時間質量分析計。 - 前記押し出し電極の曲面形状は、略放物面形状であることを特徴とする請求項1記載の飛行時間質量分析計。
- 前記押し出し電極の曲面形状は、略二葉双曲面形状であることを特徴とする請求項1記載の飛行時間質量分析計。
- 前記押し出し電極の曲面形状は、略半球面形状であることを特徴とする請求項1記載の飛行時間質量分析計。
- 加速部が押し出し電極と、穴の開いた引き出し電極とからなり、該加速部によって、z軸上の加速開始位置に導入されたイオンをz軸方向に加速して検出器に到達させてなる飛行時間質量分析計において、
前記押し出し電極が複数の電極で構成され、該押し出し電極近傍での等電位面が曲面形状であって、
前記加速部は、イオンの加速開始位置のずれに伴う飛行時間の分布を収束させてスペースフォーカス位置に配置した検出器に加速開始位置の異なるイオンを同時に到達させるとともに、イオンが前記加速開始位置に導入されたときのイオンのz軸と直交する方向の導入エネルギーの分布を補正して、前記等電位面の曲面形状を反映した電場の勾配と方向の分布により軌道を修正して引き出し電極以降の軌道がz軸に平行となるように軌道制御を行うことを特徴とする飛行時間質量分析計。 - 前記押し出し電極の曲面形状は、略放物面形状であることを特徴とする請求項5記載の飛行時間質量分析計。
- 前記押し出し電極の曲面形状は、略二葉双曲面形状であることを特徴とする請求項5記載の飛行時間質量分析計。
- 前記押し出し電極の曲面形状は、略半球面形状であることを特徴とする請求項5記載の飛行時間質量分析計。
- 前記穴の開いた引き出し電極は、中心に円形の穴の開いた平板であることを特徴とする請求項1〜8のいずれか一つに記載の飛行時間質量分析計。
- 前記穴の開いた引き出し電極は、中心に楕円形或いは長円形の穴の開いた平板であることを特徴とする請求項1記載の飛行時間質量分析計。
- 前記穴の開いた引き出し電極は、中心に多角形の穴の開いた平板であることを特徴とする請求項1〜8のいずれか一つに記載の飛行時間質量分析計。
- 前記多角形の穴は長方形であることを特徴とする請求項11記載の飛行時間質量分析計。
- 前記穴の開いた引き出し電極は、メッシュ構造であることを特徴とする請求項1〜8のいずれか一つに記載の飛行時間質量分析計。
- 前記引き出し電極を複数設けることを特徴とする請求項1〜13のいずれか一つに記載の飛行時間質量分析計。
- 前記押し出し電極における引き出し電極配置側と反対側の中心部に開口を形成するとともに、該開口に対向して試料保持基板を配置し、
前記試料保持基板に保持した粒子をレーザー照射、原子線照射、イオン照射などによりイオン化して放出することを特徴とする請求項1〜14のいずれか一つに記載の飛行時間質量分析計。 - 前記引き出し電極から放出されるイオンを、リフレクタにより反射して検出器へ導くこと特徴とする請求項1〜15のいずれか一つに記載の飛行時間質量分析計。
- 前記複数の電極で構成される押し出し電極に導入する粒子またはイオンは、分離された電極間の間隙から該押し出し電極に導入することを特徴とする請求項5記載の飛行時間質量分析計。
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WO2019030473A1 (en) * | 2017-08-06 | 2019-02-14 | Anatoly Verenchikov | FIELDS FOR SMART REFLECTIVE TOF SM |
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GB201807605D0 (en) | 2018-05-10 | 2018-06-27 | Micromass Ltd | Multi-reflecting time of flight mass analyser |
GB201808530D0 (en) | 2018-05-24 | 2018-07-11 | Verenchikov Anatoly | TOF MS detection system with improved dynamic range |
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GB201901411D0 (en) | 2019-02-01 | 2019-03-20 | Micromass Ltd | Electrode assembly for mass spectrometer |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0831370A (ja) * | 1993-07-02 | 1996-02-02 | Thorald Bergmann | 飛行時間型質量分析装置のガス相イオン源 |
JPH08329882A (ja) * | 1995-05-19 | 1996-12-13 | Varian Assoc Inc | 平行イオンビーム形成装置及び方法 |
JPH1050249A (ja) * | 1996-07-31 | 1998-02-20 | Shimadzu Corp | 質量分析装置 |
JP2001256916A (ja) * | 2000-03-13 | 2001-09-21 | Japan Science & Technology Corp | 高感度飛行時間型質量分析装置 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL6813748A (ja) * | 1968-09-26 | 1970-04-01 | ||
US5017780A (en) * | 1989-09-20 | 1991-05-21 | Roland Kutscher | Ion reflector |
FR2657724A1 (fr) * | 1990-01-26 | 1991-08-02 | Nermag Ste Nouvelle | Source ionique pour spectrometre de masse quadripolaire. |
US5614711A (en) * | 1995-05-04 | 1997-03-25 | Indiana University Foundation | Time-of-flight mass spectrometer |
JP2000036282A (ja) * | 1998-07-17 | 2000-02-02 | Horiba Ltd | ガス分析用の質量分析計 |
DE10156604A1 (de) * | 2001-11-17 | 2003-05-28 | Bruker Daltonik Gmbh | Raumwinkelfokussierender Reflektor für Flugzeitmassenspektrometer |
JP4176532B2 (ja) * | 2002-09-10 | 2008-11-05 | キヤノンアネルバ株式会社 | 反射型イオン付着質量分析装置 |
JP2004311316A (ja) * | 2003-04-10 | 2004-11-04 | Shimadzu Corp | 質量分析装置 |
JP2005025946A (ja) * | 2003-06-30 | 2005-01-27 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 飛行時間型質量分析装置 |
-
2006
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0831370A (ja) * | 1993-07-02 | 1996-02-02 | Thorald Bergmann | 飛行時間型質量分析装置のガス相イオン源 |
JPH08329882A (ja) * | 1995-05-19 | 1996-12-13 | Varian Assoc Inc | 平行イオンビーム形成装置及び方法 |
JPH1050249A (ja) * | 1996-07-31 | 1998-02-20 | Shimadzu Corp | 質量分析装置 |
JP2001256916A (ja) * | 2000-03-13 | 2001-09-21 | Japan Science & Technology Corp | 高感度飛行時間型質量分析装置 |
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