JP5393465B2 - イオン注入装置のためのセンサ - Google Patents
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Description
Claims (19)
- イオンビームを導いて被加工製品に当てることによって、被加工製品を処理するための真空領域を有する半導体の処理ツールに使用するために、
注入ステーションにおける1つ以上の被加工製品上に衝突するイオンビームにおける各イオンの移動経路を規定する、イオン源、ビーム輸送構造、および被加工製品支持体と、
センサとを有しており、
上記センサは、導電性基板、および、上記イオンビームにおけるビーム横断面での各領域にイオンを分割するためのマスクを備え、
上記マスクは、上記センサに達した各イオンが反射して上記処理ツールにおける上記真空領域の中に入ることを妨げるための、上記基板に向かって延伸する各壁を含み、
上記マスクが、前面から上記マスクを介して上記基板における略平面の受板に延伸する、径より深さが大きい各貫通経路のアレイを含み、
上記各貫通経路の配向角が、上記センサの幅方向に対する交差角において互いに異なる、装置。 - 上記センサが、注入チャンバにおける可動式の被加工製品支持体に対して固定されている、請求項1に記載の装置。
- さらに、上記センサに衝突する各荷電イオンの電荷を測定するための上記センサに結合された制御部を有している、請求項1に記載の装置。
- 上記マスクにおける上記各壁が、上記基板と電気接続されている単一センササブアセンブリからなる、請求項1に記載の装置。
- 上記各貫通経路が、略円筒形である、請求項1に記載の装置。
- 上記円筒形の各貫通経路が、上記マスクにおける前表面に対して2つ以上の異なる角度を形成する、請求項5に記載の装置。
- 上記円筒形の各貫通経路の一部分が、第二部分における上記円筒形の各貫通経路の軸に対して30度および35度の間の角度で形成される軸を有する、請求項6に記載の装置。
- 上記注入ステーションが、回転のために搭載されたチャンバを含み、
上記センサが、上記チャンバに搭載されており、
上記チャンバが回転するときに上記イオンビームと上記マスクとの間の入射角が変わるようなっている、請求項1に記載の装置。 - 上記基板および上記マスクがグラファイトからなる、請求項4に記載の装置。
- 上記マスクが、上記マスクにおける周辺領域に対する比率が約14%である前表面を有する、請求項4に記載の装置。
- 上記基板が、上記センサ内部において、上記マスクを定位置に支持するカップを形成している、請求項4に記載の装置。
- さらに、上記基板における上記領域から上記注入ステーションの中への各電子の逆流を防ぐために、各イオンが上記マスクまたは基板に当たる位置の前位置に、上記移動経路を境界付ける複数の各磁石を有している、請求項1に記載の装置。
- 半導体の処理アセンブリにおいて、
真空領域において処理するとともに、各イオンのビームを用いて、ビーム移動経路を規定する真空領域を介してイオン源から被加工製品に上記各イオンを加速させることによって、上記被加工製品に制御可能に衝突させるために、被加工製品を搭載する工程と、
イオンビーム電流データを集めるために、感知面を配置するか、または、上記ビーム移動経路においてセンサを配置する工程と、
上記ビーム移動経路における上記感知面から上流側に、上記センサに到達する上記イオンを分割する各境界壁を有する、分割用の複数の各チャネルのマスクを挿入する工程と、を有し、
上記マスクは、グラファイト材料からなり、上記グラファイトの中に機械加工される各貫通経路における2つの異なる各領域を有しており、注入チャンバの回転が、上記イオンビームによる異なる各経路領域への入射をもたらし、
上記各境界壁は、上記感知面に各イオンが衝突した後で上記感知面から離脱した材料が逆流するのを防止して、上記処理アセンブリの内部のコンタミネーションを低減および制御するための方法。 - 上記感知面および上記マスクの両方は、導電性であり、互いに電気的に接続されて搭載されている、請求項13に記載の方法。
- 上記マスクは、複数の各チャネルを形成するように、グラファイトの1片から機械加工されている、請求項13に記載の方法。
- 上記感知面は、上記イオンビームと上記被加工製品との間の衝突の角度を変更するための軸を中心として回転する注入チャンバの内部に搭載されている、請求項13に記載の方法。
- 上記感知面および上記マスクは、上記イオンビームのイオンが上記マスクに接触する角度を上記注入チャンバの回転によって変えることができるように、上記注入チャンバに搭載されている、請求項16に記載の方法。
- a)導電性の受板であって、上記受板に当たる各イオンを測定するためであるとともに、上記導電性の受板に当たるイオンビーム電流の表示を得るための回路に結合された導電性の受板と、
b)上記受板に導かれた上記各イオンを、上記導電性の受板に当たる各イオンの逆流を防止するための各側壁を有する各チャネルに分割するためのマスクと、を備え、
上記マスクが、導電性であるとともに、径より深さが大きい各チャネルまたは各貫通経路が通るように伸びる厚さを有しており、
上記各チャネルまたは各貫通経路によって、上記マスクにおける領域に到達するイオンビームにおける各イオンが、上記マスクを通過して上記受板に接触することができ、
上記マスクが、2つ以上の各領域を有しており、一領域の各貫通経路が、上記各領域のうちの異なる他の領域における各貫通経路に対して傾斜されている、イオンビーム電流センサ。 - 上記マスクおよび上記導電性の受板は、互いに隣接している、請求項18に記載の電流センサ。
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US7518130B2 (en) * | 2007-04-30 | 2009-04-14 | United Microelectronics Corp. | Ion beam blocking component and ion beam blocking device having the same |
KR101696941B1 (ko) * | 2008-11-07 | 2017-01-16 | 마퍼 리쏘그라피 아이피 비.브이. | 리소그래피 시스템에서의 비임의 동시 측정 |
CN103185893A (zh) * | 2011-12-31 | 2013-07-03 | 北京中科信电子装备有限公司 | 一种检测法拉第工作状态的方法 |
CN103792566B (zh) * | 2013-07-18 | 2016-12-28 | 北京中科信电子装备有限公司 | 一种测量束流的法拉第装置 |
US20170005013A1 (en) | 2015-06-30 | 2017-01-05 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Workpiece Processing Technique |
WO2017196863A1 (en) * | 2016-05-10 | 2017-11-16 | Scientech Engineering Usa Corp. | Device for detecting charged particles and an apparatus for mass spectrometry incorporating the same |
US10325752B1 (en) * | 2018-03-27 | 2019-06-18 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Performance extraction set |
Family Cites Families (40)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS5457862A (en) * | 1977-10-17 | 1979-05-10 | Hitachi Ltd | Ion-beam irradiation device |
JPS59184443A (ja) * | 1983-04-01 | 1984-10-19 | Hitachi Ltd | イオン打込装置 |
US4751393A (en) * | 1986-05-16 | 1988-06-14 | Varian Associates, Inc. | Dose measurement and uniformity monitoring system for ion implantation |
JPH0517910U (ja) * | 1991-08-20 | 1993-03-05 | 日新電機株式会社 | フアラデーケージ |
US5583427A (en) * | 1992-12-28 | 1996-12-10 | Regents Of The University Of California | Tomographic determination of the power distribution in electron beams |
JPH06223769A (ja) * | 1993-01-27 | 1994-08-12 | Nippon Steel Corp | イオン注入装置 |
JPH0718342U (ja) * | 1993-09-02 | 1995-03-31 | 日新電機株式会社 | イオン注入装置 |
KR100219411B1 (ko) * | 1995-11-24 | 1999-09-01 | 윤종용 | 반도체 이온주입설비의 패러데이컵 어셈블리 |
US6180942B1 (en) * | 1996-04-12 | 2001-01-30 | Perkinelmer Instruments Llc | Ion detector, detector array and instrument using same |
JPH1021866A (ja) * | 1996-07-03 | 1998-01-23 | Hitachi Ltd | イオン打込方法および装置 |
JP3341590B2 (ja) * | 1996-07-26 | 2002-11-05 | 日新電機株式会社 | イオン注入装置 |
JPH1186775A (ja) * | 1997-09-12 | 1999-03-30 | Sony Corp | イオン注入装置及びイオン注入方法 |
US5998798A (en) * | 1998-06-11 | 1999-12-07 | Eaton Corporation | Ion dosage measurement apparatus for an ion beam implanter and method |
JP4009013B2 (ja) * | 1998-06-18 | 2007-11-14 | 株式会社アルバック | イオン電流検出装置、及びイオン注入装置 |
US6541780B1 (en) * | 1998-07-28 | 2003-04-01 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Particle beam current monitoring technique |
US6300643B1 (en) * | 1998-08-03 | 2001-10-09 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Dose monitor for plasma doping system |
US6723998B2 (en) * | 2000-09-15 | 2004-04-20 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Faraday system for ion implanters |
US6690022B2 (en) * | 2001-01-17 | 2004-02-10 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Ion beam incidence angle and beam divergence monitor |
JP2002250774A (ja) * | 2001-02-26 | 2002-09-06 | Mitsubishi Electric Corp | 電子検出器 |
JP3713683B2 (ja) * | 2002-03-05 | 2005-11-09 | 住友イートンノバ株式会社 | イオンビームの質量分離フィルタとその質量分離方法及びこれを使用するイオン源 |
US20040149926A1 (en) * | 2002-12-11 | 2004-08-05 | Purser Kenneth H. | Emittance measuring device for ion beams |
US6828572B2 (en) * | 2003-04-01 | 2004-12-07 | Axcelis Technologies, Inc. | Ion beam incident angle detector for ion implant systems |
US6677598B1 (en) * | 2003-04-29 | 2004-01-13 | Axcelis Technologies, Inc. | Beam uniformity and angular distribution measurement system |
DE10329388B4 (de) * | 2003-06-30 | 2006-12-28 | Advanced Micro Devices, Inc., Sunnyvale | Faraday-Anordnung als Ionenstrahlmessvorrichtung für eine Ionenimplantationsanlage und Verfahren zu deren Betrieb |
JP2005285518A (ja) * | 2004-03-29 | 2005-10-13 | Toshiba Corp | イオン注入装置およびイオン注入方法 |
KR100594272B1 (ko) * | 2004-05-07 | 2006-06-30 | 삼성전자주식회사 | 이동형 이온 빔 경사각 측정장치 및 그 장치를 이용한이온 빔 경사각 측정방법 |
US6872953B1 (en) * | 2004-05-20 | 2005-03-29 | Axcelis Technologies, Inc. | Two dimensional stationary beam profile and angular mapping |
US6989545B1 (en) * | 2004-07-07 | 2006-01-24 | Axcelis Technologies, Inc. | Device and method for measurement of beam angle and divergence |
US7109499B2 (en) * | 2004-11-05 | 2006-09-19 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Apparatus and methods for two-dimensional ion beam profiling |
US7417242B2 (en) * | 2005-04-01 | 2008-08-26 | Axcelis Technologies, Inc. | Method of measuring ion beam position |
US7394073B2 (en) * | 2005-04-05 | 2008-07-01 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Methods and apparatus for ion beam angle measurement in two dimensions |
JP5429448B2 (ja) * | 2005-06-03 | 2014-02-26 | アクセリス テクノロジーズ インコーポレーテッド | ビームストップ及びビーム調整方法 |
US7385208B2 (en) * | 2005-07-07 | 2008-06-10 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Systems and methods for implant dosage control |
US7199383B2 (en) * | 2005-08-25 | 2007-04-03 | United Microelectronics Corp. | Method for reducing particles during ion implantation |
KR100679263B1 (ko) * | 2005-09-22 | 2007-02-05 | 삼성전자주식회사 | 페러데이 시스템 및 그를 이용한 이온주입설비 |
US7361914B2 (en) * | 2005-11-30 | 2008-04-22 | Axcelis Technologies, Inc. | Means to establish orientation of ion beam to wafer and correct angle errors |
US7435977B2 (en) * | 2005-12-12 | 2008-10-14 | Axcelis Technologies, Inc. | Ion beam angle measurement systems and methods for ion implantation systems |
US7476876B2 (en) * | 2005-12-21 | 2009-01-13 | Axcelis Technologies, Inc. | Ion beam angle measurement systems and methods employing varied angle slot arrays for ion implantation systems |
US20080017811A1 (en) * | 2006-07-18 | 2008-01-24 | Collart Erik J H | Beam stop for an ion implanter |
US7518130B2 (en) * | 2007-04-30 | 2009-04-14 | United Microelectronics Corp. | Ion beam blocking component and ion beam blocking device having the same |
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