CN103185893A - 一种检测法拉第工作状态的方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种检测法拉第工作状态的方法，该方法是在离子注入机测束法拉第上面安装状态检测装置，然后通过设定自检电路进行检测。此检测装置包括：一绝缘块盖板(1)，一绝缘块(2)，一传感铜片(3)，一绝缘块支架(4)，和一法拉第自检电路(5)。本发明能够检测法拉第是否处于正常工作状态，确保法拉第测量束流的准确性，提高了离子注入机的可靠性。本发明涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。

Description

一种检测法拉第工作状态的方法
技术领域
本发明涉及一种检测法拉第工作状态的方法，特别地涉及一种用于离子注入机中对法拉第工作状态的判断，属于半导体设备领域。
技术背景
离子注入机属于粒子加速器的一种，是半导体工艺中离子掺杂的典型设备，由离子源产生需要掺杂的离子束由无数粒子形成。要测量离子束流大小就要用到测束法拉第，法拉第装置在离子注入机上普遍存在，但一般都不对法拉第本身进行检测，无法知道法拉第的状态，对测量束流的准确度无法判断。随着半导体集成电路制造工艺越来越微细化，对半导体制造设备的性能要求也就越来越高，本设计是将检测装置安装到法拉第上，以此来判断法拉第是否处于正常工作状态，从而避免在设备工作时产生的测束误差。
发明内容
本发明专利即是针对上述现有设备中的缺点而提出在法拉第上增加一检测装置，检测法拉第的工作状态，提高法拉第测束流的可靠性，提高注入机整体的可靠性。
本发明采用如下技术方案来实现：
在离子注入机的法拉第上安装，包括：一绝缘块盖板1，一绝缘块2，一传感铜片3，一绝缘块支架4(图1)，和一法拉第自检电路5(图2)。当法拉第测量束流时，离子束打入法拉第底部石墨板，经导线将电流引出经过电路测量出大小。随着法拉第的工作时间变长，其底部石墨板的厚度逐渐变薄，甚至击穿，此时离子束流就直接打到传感器铜片3上，这就造成了测量值出现很大的偏差，所以在法拉第测量束流之前就要对其自身进行状态判断。使用法拉第自检电路判断法拉第是否处于正常状态，如果电路测量电流值小于设定值则可以进行使用，判断电流值大于设定值则需更换法拉第。这样就保证测量束流的准确性和有效性，提高注入机的整体的可靠性，对注入机有着很重要的意义。
本发明具有如下显著优点：
1.在法拉第测量束流之前，就对法拉第自身进行检测，首先排除因法拉第损坏等自身问题而造成束流值不准的问题。
2.显著提高了离子束流的可靠性，提高了离子注入机的可靠性和稳定度。
附图说明
图1为法拉第的检测部分示意图
图2为检测电路的电路图，由电阻、放大器和恒流源组成
具体实施方式
在离子注入机的法拉第上安装，包括：一绝缘块盖板1，一绝缘块2，一传感铜片3，一绝缘块支架4(图1)，并设计一法拉第自检电路5(图2)。当法拉第测量束流时，离子束打入法拉第底部石墨板，经导线将电流引出经过电路测量出大小。随着法拉第的工作时间变长，其底部石墨板的厚度逐渐变薄，甚至击穿，此时离子束流就直接打到一传感器铜片3上，如果此时读取数据，会造成了测量值出现很大的偏差。因此在法拉第测量束流之前就要对其自身进行状态检查判断。这时通过使用法拉第自检电路判断法拉第是否处于正常状态，由恒流源提供恒定电流，通过电路流经检测装置，然后到工控机读取数据。如果测量电流值小于设定值则可以进行使用，如果测量电流值大于设定值则需更换法拉第。
本发明的特定实施例已对本发明的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。

Claims (1)

1.一种检测法拉第工作状态的方法，该方法利用检测装置安装在离子注入机的测束法拉第上，对法拉第的状态进行检测，以确保法拉第能正常进行测束工作。其特征在于：利用检测装置和电路，在法拉第测量束流前预先检测其本身状态，自检正常则可以正常测量束流，如自检为非正常状态，则法拉第已经损坏，不能正常测束或测量不准，须立即更换。避免在法拉第损坏状态下导致束流测量不准，或设备损坏等问题。
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PB01 Publication
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Addressee: Zhongkexin Electronic Equipment Co., Ltd., Beijing

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