JP5392080B2 - 金属膜用研磨液及び研磨方法 - Google Patents
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- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims description 448
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims description 162
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims description 162
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims description 141
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 58
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 62
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 57
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 claims description 39
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 38
- 229920002125 Sokalan® Polymers 0.000 claims description 36
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 claims description 33
- 239000004584 polyacrylic acid Substances 0.000 claims description 33
- 229920003169 water-soluble polymer Polymers 0.000 claims description 32
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 31
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 31
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 20
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 20
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 19
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 16
- 239000004744 fabric Substances 0.000 claims description 15
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 15
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims description 13
- 239000002002 slurry Substances 0.000 claims description 10
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 claims description 9
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 claims description 9
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 claims description 7
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 claims description 7
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 claims description 6
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 claims description 4
- 239000010408 film Substances 0.000 description 107
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 74
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 46
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 32
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 24
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N citric acid Chemical compound OC(=O)CC(O)(C(O)=O)CC(O)=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 21
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 18
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 17
- 239000011164 primary particle Substances 0.000 description 17
- 239000011163 secondary particle Substances 0.000 description 17
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 14
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 14
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 14
- 239000012964 benzotriazole Substances 0.000 description 11
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 10
- -1 benzotriazole methyl ester Chemical class 0.000 description 10
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 10
- QRUDEWIWKLJBPS-UHFFFAOYSA-N benzotriazole Chemical compound C1=CC=C2N[N][N]C2=C1 QRUDEWIWKLJBPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 9
- MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N tantalum nitride Chemical compound [Ta]#N MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- NSPMIYGKQJPBQR-UHFFFAOYSA-N 4H-1,2,4-triazole Chemical compound C=1N=CNN=1 NSPMIYGKQJPBQR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 8
- 239000008119 colloidal silica Substances 0.000 description 8
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 8
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 description 7
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 7
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N Acetonitrile Chemical compound CC#N WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- DHMQDGOQFOQNFH-UHFFFAOYSA-N Glycine Chemical compound NCC(O)=O DHMQDGOQFOQNFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 235000005985 organic acids Nutrition 0.000 description 6
- BJEPYKJPYRNKOW-REOHCLBHSA-N (S)-malic acid Chemical compound OC(=O)[C@@H](O)CC(O)=O BJEPYKJPYRNKOW-REOHCLBHSA-N 0.000 description 5
- KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N Succinic acid Natural products OC(=O)CCC(O)=O KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- BJEPYKJPYRNKOW-UHFFFAOYSA-N alpha-hydroxysuccinic acid Natural products OC(=O)C(O)CC(O)=O BJEPYKJPYRNKOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 5
- 238000013329 compounding Methods 0.000 description 5
- 239000001630 malic acid Substances 0.000 description 5
- 235000011090 malic acid Nutrition 0.000 description 5
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 5
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 5
- QWENRTYMTSOGBR-UHFFFAOYSA-N 1H-1,2,3-Triazole Chemical compound C=1C=NNN=1 QWENRTYMTSOGBR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- KLSJWNVTNUYHDU-UHFFFAOYSA-N Amitrole Chemical compound NC1=NC=NN1 KLSJWNVTNUYHDU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 150000003863 ammonium salts Chemical class 0.000 description 4
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 description 4
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 4
- SIOXPEMLGUPBBT-UHFFFAOYSA-N picolinic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=N1 SIOXPEMLGUPBBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- ASOKPJOREAFHNY-UHFFFAOYSA-N 1-Hydroxybenzotriazole Chemical compound C1=CC=C2N(O)N=NC2=C1 ASOKPJOREAFHNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LRUDIIUSNGCQKF-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-1H-benzotriazole Chemical compound C1=C(C)C=CC2=NNN=C21 LRUDIIUSNGCQKF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Malonic acid Chemical compound OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 3
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 3
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 3
- 229960002449 glycine Drugs 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 150000007522 mineralic acids Chemical class 0.000 description 3
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 3
- YXIWHUQXZSMYRE-UHFFFAOYSA-N 1,3-benzothiazole-2-thiol Chemical compound C1=CC=C2SC(S)=NC2=C1 YXIWHUQXZSMYRE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DEPDDPLQZYCHOH-UHFFFAOYSA-N 1h-imidazol-2-amine Chemical compound NC1=NC=CN1 DEPDDPLQZYCHOH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LLPKQRMDOFYSGZ-UHFFFAOYSA-N 2,5-dimethyl-1h-imidazole Chemical compound CC1=CN=C(C)N1 LLPKQRMDOFYSGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QZHOHUNTQUNLLN-UHFFFAOYSA-N 2-methylsulfanyl-5,7-diphenyl-[1,2,4]triazolo[1,5-a]pyrimidine Chemical compound N12N=C(SC)N=C2N=C(C=2C=CC=CC=2)C=C1C1=CC=CC=C1 QZHOHUNTQUNLLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLSZMDLNRCVEIJ-UHFFFAOYSA-N 4-methylimidazole Chemical compound CC1=CNC=N1 XLSZMDLNRCVEIJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FYTLHYRDGXRYEY-UHFFFAOYSA-N 5-Methyl-3-pyrazolamine Chemical compound CC=1C=C(N)NN=1 FYTLHYRDGXRYEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LHCPRYRLDOSKHK-UHFFFAOYSA-N 7-deaza-8-aza-adenine Chemical compound NC1=NC=NC2=C1C=NN2 LHCPRYRLDOSKHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FERIUCNNQQJTOY-UHFFFAOYSA-N Butyric acid Chemical compound CCCC(O)=O FERIUCNNQQJTOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N Copper oxide Chemical compound [Cu]=O QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005751 Copper oxide Substances 0.000 description 2
- VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N Fumaric acid Chemical compound OC(=O)\C=C\C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N 0.000 description 2
- AEMRFAOFKBGASW-UHFFFAOYSA-N Glycolic acid Chemical compound OCC(O)=O AEMRFAOFKBGASW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PVNIIMVLHYAWGP-UHFFFAOYSA-N Niacin Chemical compound OC(=O)C1=CC=CN=C1 PVNIIMVLHYAWGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 2
- CZPWVGJYEJSRLH-UHFFFAOYSA-N Pyrimidine Chemical compound C1=CN=CN=C1 CZPWVGJYEJSRLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FZWLAAWBMGSTSO-UHFFFAOYSA-N Thiazole Chemical group C1=CSC=N1 FZWLAAWBMGSTSO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SRNKZYRMFBGSGE-UHFFFAOYSA-N [1,2,4]triazolo[1,5-a]pyrimidine Chemical compound N1=CC=CN2N=CN=C21 SRNKZYRMFBGSGE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000011054 acetic acid Nutrition 0.000 description 2
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 2
- WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-N adipic acid Chemical compound OC(=O)CCCCC(O)=O WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 2
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 2
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 2
- 235000011114 ammonium hydroxide Nutrition 0.000 description 2
- ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N ammonium persulfate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[O-]S(=O)(=O)OOS([O-])(=O)=O ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N benzoic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1 WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 229910000431 copper oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 2
- BNIILDVGGAEEIG-UHFFFAOYSA-L disodium hydrogen phosphate Chemical compound [Na+].[Na+].OP([O-])([O-])=O BNIILDVGGAEEIG-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 2
- 238000005227 gel permeation chromatography Methods 0.000 description 2
- YBMRDBCBODYGJE-UHFFFAOYSA-N germanium dioxide Chemical compound O=[Ge]=O YBMRDBCBODYGJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000013905 glycine and its sodium salt Nutrition 0.000 description 2
- ZRALSGWEFCBTJO-UHFFFAOYSA-N guanidine group Chemical group NC(=N)N ZRALSGWEFCBTJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004128 high performance liquid chromatography Methods 0.000 description 2
- QOSATHPSBFQAML-UHFFFAOYSA-N hydrogen peroxide;hydrate Chemical compound O.OO QOSATHPSBFQAML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000002883 imidazolyl group Chemical group 0.000 description 2
- VCJMYUPGQJHHFU-UHFFFAOYSA-N iron(3+);trinitrate Chemical compound [Fe+3].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O VCJMYUPGQJHHFU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JVTAAEKCZFNVCJ-UHFFFAOYSA-N lactic acid Chemical compound CC(O)C(O)=O JVTAAEKCZFNVCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N methanoic acid Natural products OC=O BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000006174 pH buffer Substances 0.000 description 2
- XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-N phthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1C(O)=O XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229940081066 picolinic acid Drugs 0.000 description 2
- WLJVNTCWHIRURA-UHFFFAOYSA-N pimelic acid Chemical compound OC(=O)CCCCCC(O)=O WLJVNTCWHIRURA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 2
- 125000003226 pyrazolyl group Chemical group 0.000 description 2
- 125000000714 pyrimidinyl group Chemical group 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- YGSDEFSMJLZEOE-UHFFFAOYSA-N salicylic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1O YGSDEFSMJLZEOE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007790 scraping Methods 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 239000001384 succinic acid Substances 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000003852 triazoles Chemical group 0.000 description 2
- NQPDZGIKBAWPEJ-UHFFFAOYSA-N valeric acid Chemical compound CCCCC(O)=O NQPDZGIKBAWPEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QBYIENPQHBMVBV-HFEGYEGKSA-N (2R)-2-hydroxy-2-phenylacetic acid Chemical compound O[C@@H](C(O)=O)c1ccccc1.O[C@@H](C(O)=O)c1ccccc1 QBYIENPQHBMVBV-HFEGYEGKSA-N 0.000 description 1
- MLIWQXBKMZNZNF-KUHOPJCQSA-N (2e)-2,6-bis[(4-azidophenyl)methylidene]-4-methylcyclohexan-1-one Chemical compound O=C1\C(=C\C=2C=CC(=CC=2)N=[N+]=[N-])CC(C)CC1=CC1=CC=C(N=[N+]=[N-])C=C1 MLIWQXBKMZNZNF-KUHOPJCQSA-N 0.000 description 1
- BNGXYYYYKUGPPF-UHFFFAOYSA-M (3-methylphenyl)methyl-triphenylphosphanium;chloride Chemical compound [Cl-].CC1=CC=CC(C[P+](C=2C=CC=CC=2)(C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC=CC=2)=C1 BNGXYYYYKUGPPF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- RBNPOMFGQQGHHO-UHFFFAOYSA-N -2,3-Dihydroxypropanoic acid Natural products OCC(O)C(O)=O RBNPOMFGQQGHHO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FMCUPJKTGNBGEC-UHFFFAOYSA-N 1,2,4-triazol-4-amine Chemical compound NN1C=NN=C1 FMCUPJKTGNBGEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001376 1,2,4-triazolyl group Chemical group N1N=C(N=C1)* 0.000 description 1
- FQXOOGHQVPKHPG-UHFFFAOYSA-N 1,3-diazinane-2,4,5-trione Chemical compound O=C1NCC(=O)C(=O)N1 FQXOOGHQVPKHPG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FBQJKKPQBMSWEP-UHFFFAOYSA-N 1,3-diphenyl-1,3-diazinane-2,4,6-trione Chemical compound O=C1CC(=O)N(C=2C=CC=CC=2)C(=O)N1C1=CC=CC=C1 FBQJKKPQBMSWEP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OWRCNXZUPFZXOS-UHFFFAOYSA-N 1,3-diphenylguanidine Chemical compound C=1C=CC=CC=1NC(=N)NC1=CC=CC=C1 OWRCNXZUPFZXOS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RAIPHJJURHTUIC-UHFFFAOYSA-N 1,3-thiazol-2-amine Chemical compound NC1=NC=CS1 RAIPHJJURHTUIC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VBXZSFNZVNDOPB-UHFFFAOYSA-N 1,4,5,6-tetrahydropyrimidine Chemical compound C1CNC=NC1 VBXZSFNZVNDOPB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTBFRGCFXZNCOE-UHFFFAOYSA-N 1-methylsulfonylpiperidin-4-one Chemical compound CS(=O)(=O)N1CCC(=O)CC1 RTBFRGCFXZNCOE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JTTIOYHBNXDJOD-UHFFFAOYSA-N 2,4,6-triaminopyrimidine Chemical compound NC1=CC(N)=NC(N)=N1 JTTIOYHBNXDJOD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DPVIABCMTHHTGB-UHFFFAOYSA-N 2,4,6-trichloropyrimidine Chemical compound ClC1=CC(Cl)=NC(Cl)=N1 DPVIABCMTHHTGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RJVAFLZWVUIBOU-UHFFFAOYSA-N 2,4,6-trimethoxypyrimidine Chemical compound COC1=CC(OC)=NC(OC)=N1 RJVAFLZWVUIBOU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SZKWMQWGJPCXOF-UHFFFAOYSA-N 2,4,6-triphenylpyrimidine Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC(C=2C=CC=CC=2)=NC(C=2C=CC=CC=2)=N1 SZKWMQWGJPCXOF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OBSLLHNATPQFMJ-UHFFFAOYSA-N 2,4-Dimethylthiazole Chemical compound CC1=CSC(C)=N1 OBSLLHNATPQFMJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SWELIMKTDYHAOY-UHFFFAOYSA-N 2,4-diamino-6-hydroxypyrimidine Chemical compound NC1=CC(=O)N=C(N)N1 SWELIMKTDYHAOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HMOYKDCLYCJGHG-UHFFFAOYSA-N 2-(2h-benzotriazol-4-ylmethyl)butanedioic acid Chemical compound OC(=O)CC(C(O)=O)CC1=CC=CC2=NNN=C12 HMOYKDCLYCJGHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 2-Propenoic acid Natural products OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SLLDUURXGMDOCY-UHFFFAOYSA-N 2-butyl-1h-imidazole Chemical compound CCCCC1=NC=CN1 SLLDUURXGMDOCY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PQAMFDRRWURCFQ-UHFFFAOYSA-N 2-ethyl-1h-imidazole Chemical compound CCC1=NC=CN1 PQAMFDRRWURCFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XCXKNNGWSDYMMS-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1-nitroguanidine Chemical compound CNC(N)=N[N+]([O-])=O XCXKNNGWSDYMMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LXBGSDVWAMZHDD-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1h-imidazole Chemical compound CC1=NC=CN1 LXBGSDVWAMZHDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AMOUXUIXXQFHJR-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-5,7-diphenyl-[1,2,4]triazolo[1,5-a]pyrimidine Chemical compound N12N=C(C)N=C2N=C(C=2C=CC=CC=2)C=C1C1=CC=CC=C1 AMOUXUIXXQFHJR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IREZZXZJCULSRP-UHFFFAOYSA-N 2-methylsulfanyl-5,7-diphenyl-1,7-dihydro-[1,2,4]triazolo[1,5-a]pyrimidine Chemical compound N12NC(SC)=NC2=NC(C=2C=CC=CC=2)=CC1C1=CC=CC=C1 IREZZXZJCULSRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FUOZJYASZOSONT-UHFFFAOYSA-N 2-propan-2-yl-1h-imidazole Chemical compound CC(C)C1=NC=CN1 FUOZJYASZOSONT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MKBBSFGKFMQPPC-UHFFFAOYSA-N 2-propyl-1h-imidazole Chemical compound CCCC1=NC=CN1 MKBBSFGKFMQPPC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LLEASVZEQBICSN-UHFFFAOYSA-N 2-undecyl-1h-imidazole Chemical compound CCCCCCCCCCCC1=NC=CN1 LLEASVZEQBICSN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JMTMSDXUXJISAY-UHFFFAOYSA-N 2H-benzotriazol-4-ol Chemical compound OC1=CC=CC2=C1N=NN2 JMTMSDXUXJISAY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YTZPUTADNGREHA-UHFFFAOYSA-N 2h-benzo[e]benzotriazole Chemical compound C1=CC2=CC=CC=C2C2=NNN=C21 YTZPUTADNGREHA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SDXAWLJRERMRKF-UHFFFAOYSA-N 3,5-dimethyl-1h-pyrazole Chemical compound CC=1C=C(C)NN=1 SDXAWLJRERMRKF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NHLAPJMCARJFOG-UHFFFAOYSA-N 3-methyl-1,4-dihydropyrazol-5-one Chemical compound CC1=NNC(=O)C1 NHLAPJMCARJFOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UWSONZCNXUSTKW-UHFFFAOYSA-N 4,5-Dimethylthiazole Chemical compound CC=1N=CSC=1C UWSONZCNXUSTKW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- REGFWZVTTFGQOJ-UHFFFAOYSA-N 4,5-dihydro-1,3-thiazol-2-amine Chemical compound NC1=NCCS1 REGFWZVTTFGQOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 4-(3-methoxyphenyl)aniline Chemical compound COC1=CC=CC(C=2C=CC(N)=CC=2)=C1 OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OUQMXTJYCAJLGO-UHFFFAOYSA-N 4-methyl-1,3-thiazol-2-amine Chemical compound CC1=CSC(N)=N1 OUQMXTJYCAJLGO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CMGDVUCDZOBDNL-UHFFFAOYSA-N 4-methyl-2h-benzotriazole Chemical compound CC1=CC=CC2=NNN=C12 CMGDVUCDZOBDNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VXDLXVDZTJOKAO-UHFFFAOYSA-N 4-propyl-2h-benzotriazole Chemical compound CCCC1=CC=CC2=C1N=NN2 VXDLXVDZTJOKAO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QZBGOTVBHYKUDS-UHFFFAOYSA-N 5-amino-1,2-dihydropyrazol-3-one Chemical compound NC1=CC(=O)NN1 QZBGOTVBHYKUDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GAHAURRLKFPBCQ-UHFFFAOYSA-N 5-hexyl-2h-benzotriazole Chemical compound CCCCCCC1=CC=C2NN=NC2=C1 GAHAURRLKFPBCQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002126 Acrylic acid copolymer Polymers 0.000 description 1
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O Ammonium Chemical compound [NH4+] QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N Ammonium chloride Substances [NH4+].[Cl-] NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005711 Benzoic acid Substances 0.000 description 1
- RGHNJXZEOKUKBD-UHFFFAOYSA-N D-gluconic acid Natural products OCC(O)C(O)C(O)C(O)C(O)=O RGHNJXZEOKUKBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RGHNJXZEOKUKBD-SQOUGZDYSA-N D-gluconic acid Chemical compound OC[C@@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)[C@@H](O)C(O)=O RGHNJXZEOKUKBD-SQOUGZDYSA-N 0.000 description 1
- RBNPOMFGQQGHHO-UWTATZPHSA-N D-glyceric acid Chemical compound OC[C@@H](O)C(O)=O RBNPOMFGQQGHHO-UWTATZPHSA-N 0.000 description 1
- FEWJPZIEWOKRBE-JCYAYHJZSA-N Dextrotartaric acid Chemical compound OC(=O)[C@H](O)[C@@H](O)C(O)=O FEWJPZIEWOKRBE-JCYAYHJZSA-N 0.000 description 1
- WHUUTDBJXJRKMK-UHFFFAOYSA-N Glutamic acid Natural products OC(=O)C(N)CCC(O)=O WHUUTDBJXJRKMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004471 Glycine Substances 0.000 description 1
- WHUUTDBJXJRKMK-VKHMYHEASA-N L-glutamic acid Chemical compound OC(=O)[C@@H](N)CCC(O)=O WHUUTDBJXJRKMK-VKHMYHEASA-N 0.000 description 1
- AEAAPULBRBHRTM-UHFFFAOYSA-N N1(N=NC2=C1C=CC=C2)COP(OCN2N=NC1=C2C=CC=C1)=O Chemical compound N1(N=NC2=C1C=CC=C2)COP(OCN2N=NC1=C2C=CC=C1)=O AEAAPULBRBHRTM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002845 Poly(methacrylic acid) Polymers 0.000 description 1
- IWYDHOAUDWTVEP-UHFFFAOYSA-N R-2-phenyl-2-hydroxyacetic acid Natural products OC(=O)C(O)C1=CC=CC=C1 IWYDHOAUDWTVEP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004115 Sodium Silicate Substances 0.000 description 1
- FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N Tartaric acid Natural products [H+].[H+].[O-]C(=O)C(O)C(O)C([O-])=O FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 239000001361 adipic acid Substances 0.000 description 1
- 235000011037 adipic acid Nutrition 0.000 description 1
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 229910001870 ammonium persulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- JFCQEDHGNNZCLN-UHFFFAOYSA-N anhydrous glutaric acid Natural products OC(=O)CCCC(O)=O JFCQEDHGNNZCLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 235000010233 benzoic acid Nutrition 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000007853 buffer solution Substances 0.000 description 1
- KDYFGRWQOYBRFD-NUQCWPJISA-N butanedioic acid Chemical compound O[14C](=O)CC[14C](O)=O KDYFGRWQOYBRFD-NUQCWPJISA-N 0.000 description 1
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 description 1
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 125000002843 carboxylic acid group Chemical group 0.000 description 1
- CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N ceric oxide Chemical compound O=[Ce]=O CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000422 cerium(IV) oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 238000007865 diluting Methods 0.000 description 1
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 1
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 238000000635 electron micrograph Methods 0.000 description 1
- 235000019253 formic acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000001530 fumaric acid Substances 0.000 description 1
- 229960002598 fumaric acid Drugs 0.000 description 1
- 238000007429 general method Methods 0.000 description 1
- 229950006191 gluconic acid Drugs 0.000 description 1
- 235000013922 glutamic acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000004220 glutamic acid Substances 0.000 description 1
- 150000004820 halides Chemical class 0.000 description 1
- QWPPOHNGKGFGJK-UHFFFAOYSA-N hypochlorous acid Chemical compound ClO QWPPOHNGKGFGJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 description 1
- 239000004310 lactic acid Substances 0.000 description 1
- 235000014655 lactic acid Nutrition 0.000 description 1
- 230000000670 limiting effect Effects 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 1
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 1
- 229940098895 maleic acid Drugs 0.000 description 1
- 229960002510 mandelic acid Drugs 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 229920003145 methacrylic acid copolymer Polymers 0.000 description 1
- UKKHWKNEQBGLMI-UHFFFAOYSA-N n-pyrimidin-2-ylacetamide Chemical compound CC(=O)NC1=NC=CC=N1 UKKHWKNEQBGLMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 229960003512 nicotinic acid Drugs 0.000 description 1
- 235000001968 nicotinic acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000011664 nicotinic acid Substances 0.000 description 1
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 1
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 description 1
- FJKROLUGYXJWQN-UHFFFAOYSA-N papa-hydroxy-benzoic acid Natural products OC(=O)C1=CC=C(O)C=C1 FJKROLUGYXJWQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K phosphate Chemical compound [O-]P([O-])([O-])=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-L phthalate(2-) Chemical compound [O-]C(=O)C1=CC=CC=C1C([O-])=O XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N phthalocyanine Chemical compound N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(N=C3C4=CC=CC=C4C(=N4)N3)=N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C4=N1 IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 229920002401 polyacrylamide Polymers 0.000 description 1
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- LJXQPZWIHJMPQQ-UHFFFAOYSA-N pyrimidin-2-amine Chemical compound NC1=NC=CC=N1 LJXQPZWIHJMPQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MQEFDQWUCTUJCP-UHFFFAOYSA-N pyrimidine-2,4,5,6-tetramine;sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O.NC1=NC(N)=C(N)C(N)=N1 MQEFDQWUCTUJCP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YAAWASYJIRZXSZ-UHFFFAOYSA-N pyrimidine-2,4-diamine Chemical compound NC1=CC=NC(N)=N1 YAAWASYJIRZXSZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LOAUVZALPPNFOQ-UHFFFAOYSA-N quinaldic acid Chemical compound C1=CC=CC2=NC(C(=O)O)=CC=C21 LOAUVZALPPNFOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960004889 salicylic acid Drugs 0.000 description 1
- DCKVNWZUADLDEH-UHFFFAOYSA-N sec-butyl acetate Chemical compound CCC(C)OC(C)=O DCKVNWZUADLDEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- NTHWMYGWWRZVTN-UHFFFAOYSA-N sodium silicate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-][Si]([O-])=O NTHWMYGWWRZVTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052911 sodium silicate Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 1
- 235000002906 tartaric acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000011975 tartaric acid Substances 0.000 description 1
- LFQCEHFDDXELDD-UHFFFAOYSA-N tetramethyl orthosilicate Chemical compound CO[Si](OC)(OC)OC LFQCEHFDDXELDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- POFDSYGXHVPQNX-UHFFFAOYSA-N triazolo[1,5-a]pyrimidine Chemical compound C1=CC=NC2=CN=NN21 POFDSYGXHVPQNX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940005605 valeric acid Drugs 0.000 description 1
- ROVRRJSRRSGUOL-UHFFFAOYSA-N victoria blue bo Chemical compound [Cl-].C12=CC=CC=C2C(NCC)=CC=C1C(C=1C=CC(=CC=1)N(CC)CC)=C1C=CC(=[N+](CC)CC)C=C1 ROVRRJSRRSGUOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
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Description
2 バリア層
3 配線金属
4 粒子
5 外接長方形
L 外接長方形の長径
B 外接長方形の短径
本発明の研磨液では、重量平均分子量(以下、Mwと記載することがある。)が15万以上の水溶性ポリマを用いることが重要である。重量平均分子量が15万以上であれば、後述する金属防食剤と、銅系金属との反応層を「厚くて柔らかい」ものとすることができ、低い研磨荷重下で高速研磨、平坦性、高い初期研磨速度といった特性を達成することが容易となる。別の表現では、低い研磨荷重であっても、高い研磨荷重であるときと比較して研磨速度や平坦性の変化が少ない研磨液を得ることができる。例えば、1psiの研磨荷重での研磨速度と2psiの研磨荷重における研磨速度とを比較したとき、その比が2.5以下であることが好ましく、2.0以下であることがより好ましい。研磨速度の比較はブランケットウエハの研磨速度から求めることができる。
カラム :Shodex Asahipak GF−710HQ(昭和電工株式会社製、製品名)
移動相:50mMリン酸水素二ナトリウム水溶液/アセトニトリル=90/10(V/V)混合液
流量:0.6ml/min
カラム温度:25℃
本発明で用いられる水溶性ポリマは、後述する金属防食剤との反応層を制御することができる点で、分子骨格中にカルボン酸基を有するポリカルボン酸系ポリマであることが好ましく、具体的にはポリカルボン酸、ポリカルボン酸の塩及びポリカルボン酸エステルの少なくとも1種であるのが好ましい。
本発明で用いられる金属防食剤としては、銅等の配線金属の表面に吸着し強固な保護膜を形成しうる化合物が挙げられ、具体的には例えば、トリアゾール骨格を有する化合物、ピリミジン骨格を有する化合物、イミダゾール骨格を有する化合物、グアニジン骨格を有する化合物、チアゾール骨格を有する化合物、ピラゾール骨格を有する化合物を挙げることができ、これらは単独でまたは2種類以上を混合して用いることができる。
ピラゾール骨格を有する化合物としては、3,5−ジメチルピラゾール、3−メチル−5−ピラゾロン、3−アミノ−5−メチルピラゾール、3−アミノ−5−ヒドロキシピラゾール、3−アミノ−5−メチルピラゾール等を例示することができる。
本発明で用いられる金属の酸化剤(以下、単に酸化剤ということがある。)としては、配線金属である銅系金属を酸化できるものであればよく、具体的には例えば、過酸化水素、過硫酸アンモニウム、硝酸第二鉄、硝酸、過ヨウ素酸カリウム、次亜塩素酸及びオゾン水等が挙げられ、これらの中でも理想的な反応層を形成するのを補助できる点で、過酸化水素が特に好ましい。これら金属の酸化剤は1種類を単独で、又は2種類以上を混合して用いることができる。
これまで説明してきたように、例えば1.5psi以下とか、1.0psi以下という低研磨荷重であっても良好な研磨速度が得られること、研磨終了後の被研磨面の平坦性に優れること、及び/又は、初期研磨速度が高いことといった効果を得るためには、「厚くて柔らかい」反応層を形成するような研磨液組成にすることが重要なファクターであると考えられる。この反応層は,水溶性ポリマと金属防食剤と配線金属(例えば銅系金属)との三者錯体のようなものであると推定される。
砥粒としては、例えば、シリカ、アルミナ、ジルコニア、セリア、チタニア、ゲルマニア、炭化珪素等の無機物砥粒、ポリスチレン、ポリアクリル、ポリ塩化ビニル等の有機物砥粒などが挙げられる。これらの中でも、シリカまたはアルミナが好ましく、コロイダルシリカまたはコロイダルアルミナがより好ましい。
用いる砥粒の一次粒子の平均粒径(以下、単に一次粒子径ということがある。)としては、研磨液中での分散安定性が良く、CMPにより発生する研磨傷(スクラッチ)の発生数の少ない点で、50nm以下が好ましく、40nm以下がより好ましく、30nm以下が特に好ましい。
さらに、前記砥粒は研磨特性及び取り扱い性の点で粒径がそろっていることが好ましく、具体的には、平均粒度分布の標準偏差が10nm以下であることが好ましく、5nm以下であることがより好ましい。粒度分布の測定方法としては、研磨液中の砥粒をCOULTER Electronics社製のCOULTER N4SDに投入し、粒度分布のチャートにより標準偏差の値を得ることができる。
用いる砥粒の二次粒子の平均粒径(以下、単に二次粒子径ということがある。)は、研磨傷の発生を抑えたり、研磨液の作製時に砥粒が分散しやすくなったりするという観点で、100nm以下であることが好ましく、80nm以下がより好ましく、60nm以下がさらに好ましい。なお、ここでいう二次粒子径とは、研磨液に配合する前の砥粒の二次粒子径をいうものであり、研磨液中における凝集体粒径を指すものではない。
本発明の研磨液に用いられる砥粒は、一次粒子がある程度凝集した凝集粒子であることが好ましい。本発明の研磨液により形成される「厚くて柔らかい」反応層を研磨する上では、平坦性に優れる点で、粒子の会合度が1.1以上であることが好ましく、会合度が1.2以上であることがより好ましい。会合度の上限は、使用する砥粒の一次粒子径によって異なり、二次粒子径が上記で説明した範囲に入っていればよい。通常、研磨液において粒子の凝集はあまり好まれない傾向にあるが、本発明の研磨液において、ある程度の凝集が好ましい理由は詳しくわかっていない。なお、上記の会合度は、これまで説明したようにして二次粒子径と一次粒子径を求め、その比(二次粒子径/一次粒子径)として得ることができる。
本発明の研磨液は、上記砥粒が、研磨液中においても上記二次粒子径と同等の平均粒子径及び会合度を有していることが好ましい。すなわち、研磨液中における二次粒子径の中央値(以下スラリー粒径という)としては、100nm以下であることが好ましく、80nm以下がより好ましく、60nm以下がさらに好ましい。上記スラリー粒径の測定方法としては、例えば、マルバーンインストルメンツ社製のマスターサイザ、堀場製作所製のLA−920等の、レーザ回折式粒度分布計で測定することができる。具体的には、例えば、相対屈折率:1.600の条件で、粒子含有量1%以下の液について測定し、D50として得られる値を、研磨中における二次粒子径の中央値(スラリー粒径)として求めることができる。なお、砥粒としてシリカやアルミナを使用する場合、粒子の存在状態は、原料時と研磨液に分散した後で大きく変化しないので、研磨液中の粒子径から原料の二次粒子径を推測することができる。
コロイダルシリカまたはコロイダルアルミナは、粒径、粒度分布及び会合度を制御しやすい点でも好ましく、また、これらの砥粒であれば、粒径、粒度分布及び会合度を制御したときの効果が最も得られやすい。従って、上記で説明した、一次粒子径、二次粒子径、粒度分布の標準偏差及び会合度の特性のうち、二種以上を兼ね備えるコロイダルシリカ又はコロイダルアルミナが好ましく、特性を三種以上兼ね備えることがより好ましく、全て兼ね備えることが最も好ましい。
本発明の研磨液は、金属防食剤と水溶性ポリマを併用したことによって増大した、研磨パッドと被研磨面との間の摩擦力によって研磨が進行するものであり、砥粒が実質的に含まれなくても良い。しかしながら、低い研磨荷重に対する研磨速度、研磨初期における研磨速度を得るためには、砥粒は微量含まれていることが好ましい。このような観点で、本発明の研磨液における砥粒の含有量は、金属膜用研磨液全重量を100重量%としたとき、0.01重量%以上であることが好ましく、0.05重量%以上であることが好ましく、0.1重量%以上であることがさらに好ましい。上限としては、研磨速度の観点では10重量%程度であるが、含有量が多いと研磨終了後の平坦性に劣る傾向があるため、本発明の研磨液の特性を充分に活かすためには、1.0重量%以下の範囲で砥粒を含むことが好ましい。
本発明で用いられる酸化金属溶解剤は、削り取られた配線金属の粒を溶解させることで研磨速度の促進に寄与していると推定され、このような機能を有する化合物としては,例えば、有機酸、有機酸エステル、有機酸のアンモニウム塩、無機酸、無機酸のアンモニウム塩等が挙げられ、水溶性であれば特に制限はない。
硫酸、硝酸、燐酸、酢酸、塩酸等の無機酸、これら無機酸のアンモニウム塩;
などが挙げられる。
本発明の金属膜用研磨液のpHは、2.0〜5.0の範囲にあることが好ましい。前記pHが2.0以上であれば、金属の腐食や被研磨表面の荒れ等の問題を抑制し易くなる。金属の腐食や被研磨表面の荒れ等の問題を低減するために、上記金属防食剤の配合量を増やすことも考えられるが、研磨パッドと被研磨表面の間の摩擦が大きくなりすぎることに起因する配線不良が発生する場合がある。一方、前記pHが5.0よりも大きいと、金属の腐食作用が少ないので金属防食剤の配合量を低減することができるが、充分な研磨速度が得られにくい傾向にある。従って、pHが5.0以下である方が、良好な研磨速度を得るために充分な厚さの反応層又は柔らかい反応層が得られやすいと考えられる。
本発明の金属膜用研磨液には、上述した材料のほかに、界面活性剤、ビクトリアピュアブルー等の染料、フタロシアニングリーン等の顔料等の着色剤を含有させてもよい。
本発明における研磨液は、上記各成分を複数の液に分けて準備し、研磨直前に、それぞれが所定の濃度になるように混合することもできる。成分によっては、予め混合しておくと安定性が悪くなったり、砥粒が凝集したりする可能性があるが、上記のように複数の液に分けて保存することでこれを解決できる。また、希釈によって、用途に応じて各成分の量を調整できる利点がある。具体的な分け方としては、例えば、酸化剤を含む液Aと、酸化剤以外の研磨液組成を配合した液Bに分けて準備し、研磨直前に所定に濃度になるように混合することができる。
本発明の金属膜用研磨液は、研磨開始初期、例えば研磨開始60秒後の研磨速度が高く、研磨効率を向上することができる。かかる研磨開始初期の研磨速度は、段差付きパターン基板を研磨した場合にも高い研磨速度を達成することができる。
本発明の研磨方法は、研磨定盤の研磨布上に本発明の金属膜用研磨液を供給しながら、被研磨膜を有する基板を研磨布に押圧した状態で研磨定盤と基板を相対的に動かすことによって被研磨膜を研磨する研磨方法である。
研磨液全重量に対して、重量平均分子量が18万のポリアクリル酸を0.6重量%、1次粒子径17nm、2次粒子径の平均粒径が35nmのコロイダルシリカ砥粒を0.17重量%、クエン酸を0.15重量%、1,2,4−トリアゾールを0.08重量%、濃度30重量%の過酸化水素水(試薬特級)を50重量%(過酸化水素の量として15重量%)、濃度25重量%のアンモニア水を0.08重量%および純水を加えて100重量%になるように配合し、pH3.6の研磨液(A)を作製した。
重量平均分子量が18万のポリアクリル酸に替えて重量平均分子量が22万のポリアクリル酸を用いること、クエン酸に替えてリンゴ酸を用いること以外は、実験例1と同様に操作して、pH3.6の研磨液(B)を作製した。
重量平均分子量が18万のポリアクリル酸に替えて重量平均分子量が36万のポリアクリル酸を用いること、クエン酸に替えてリンゴ酸を用いること、1,2,4−トリアゾールに替えてベンゾトリアゾールを用いること以外は、実験例1と同様に操作して、pH3.6の研磨液(C)を作製した。
重量平均分子量が18万のポリアクリル酸に替えて重量平均分子量が12万のポリアクリル酸を用いること、クエン酸に替えてコハク酸を用いること、1,2,4−トリアゾールに替えてベンゾトリアゾールを用いること以外は、実験例1と同様に操作して、pH3.6の研磨液(D)を作製した。
重量平均分子量が18万のポリアクリル酸に替えて重量平均分子量が63,000のポリアクリル酸を用いること、クエン酸に替えてリンゴ酸を用いること以外は、実験例1と同様に操作して、pH3.6の研磨液(E)を作製した。
濃度30重量%の過酸化水素水(試薬特級)を50重量%に替えて30重量%(過酸化水素の量として9重量%)にした以外は実験例1と同様に操作して、pH3.6研磨液(F)を作製した。
濃度30重量%の過酸化水素水(試薬特級)を50重量%に替えて10重量%(過酸化水素の量として3重量%)にした以外は実験例1と同様に操作して、pH3.6研磨液(G)を作製した。
1次粒子径17nm、2次粒子径の平均粒径が35nmのコロイダルシリカ砥粒に替えて1次粒子径25nm、2次粒子径の平均粒径が60nmにした以外は実験例1と同様に操作して、pH3.6研磨液(H)を得た。
重量平均分子量が18万のポリアクリル酸に替えて重量平均分子量が22万のアクリル酸とメタクリル酸の共重合体(共重合体比90:10)を用いること以外は、実験例1と同様に操作して、pH3.6研磨液(I)を得た。
重量平均分子量が18万のポリアクリル酸の配合量を0.6重量%から0.008重量%に替えたこと以外は、実験例1と同様に操作して、pH3.6研磨液(J)を得た。
重量平均分子量が18万のポリアクリル酸の配合量を0.6重量%から0.4重量%に替えたこと以外は、実験例1と同様に操作して、pH3.6研磨液(K)を得た。
重量平均分子量が18万のポリアクリル酸の配合量を0.6重量%から0.07重量%に替えたこと以外は、実験例1と同様に操作して、pH3.6研磨液(L)を得た。
基体(I):パターン無し8インチ径ブランケットシリコン基板
(膜構造:シリコン基板/二酸化珪素膜厚300nm/バリア層:窒化タンタル膜厚25nm/銅膜厚1.5μm)
基体(II):パターン付8インチ径シリコン基板(シリコン基板/深さ350nmの溝が形成された膜厚350nmの二酸化珪素/バリア層:窒化タンタル膜厚25nm/銅膜厚8.5μm)
なお、上記基体(II)は、シリコン基板に、層間絶縁膜として厚さ350nmの二酸化珪素膜をCVD法により形成した。この層間絶縁層にフォトリソ法によって、配線金属部幅100μm、層間絶縁部幅100μmが交互に並ぶように、溝深さ350nmで形成して表面に凹部(溝部分)凸部(非溝部分)を形成した。さらにこの表面にそって、スパッタ法によってバリア層として厚さ25nmの窒化タンタル膜を形成した。前記窒化タンタル膜の上にめっき法により前記溝を全て埋めるように導電性物質層として銅膜8.5μmを形成したものである。
研磨荷重:2psi(約14.0kPa)、1psi(約7.0kPa)
研磨定盤回転数:93rpm
ウエハを装着したヘッド回転数:87rpm
研磨液供給量:200ml/分
(研磨液の評価項目)
(1)研磨速度:基体(I)を上記研磨液で研磨荷重2psi又は1psiで、1分間CMP研磨した前後での銅の膜厚の差を電気抵抗値から換算して求めた。
実験例1〜12で得られた研磨液(A)〜(L)を用いて、基体(II)を下記研磨条件にて研磨荷重2psiで、銅膜の残膜厚が2000Åになるまで研磨した後、研磨荷重を1psiに下げて研磨を行い、表面全面で窒化タンタルのバリア層が露出するまでの時間を測定した。
Claims (11)
- 金属膜用研磨液であって、
前記金属膜用研磨液全体を100重量%としたとき、
(a)9.0重量%以上の金属の酸化剤と、
(b)重量平均分子量が180,000以上であり、ポリアクリル酸、ポリアクリル酸の塩及びポリアクリル酸エステルから選ばれる少なくとも1種からなる水溶性ポリマを0.1重量%以上と、
(c)酸化金属溶解剤と、
(d)金属防食剤と
(e)水とを含有してなり、
前記金属膜用研磨液は、シリコン基板上に厚み500nm以上の銅箔を積層したウエハを前記金属膜用研磨液に25℃12時間浸漬した時に反応層を形成するものであり、かつ、その反応層の厚みが110nm以上である
金属膜用研磨液。 - 金属膜用研磨液であって、
前記金属膜用研磨液全体を100重量%としたとき、
(a)9.0重量%以上の金属の酸化剤と、
(b)重量平均分子量が180,000以上であり、ポリアクリル酸、ポリアクリル酸の塩及びポリアクリル酸エステルから選ばれる少なくとも1種からなる水溶性ポリマを0.1重量%以上と、
(c)酸化金属溶解剤と、
(d)金属防食剤と
(e)水とを含有してなり、
前記金属膜用研磨液は、シリコン基板上に厚み500nm以上の銅箔を積層したウエハを前記金属膜用研磨液に25℃12時間浸漬した時に反応層を形成するものであり、かつ、その反応層は、ダイナミック微小硬度計を用いて測定することができる硬度が、1.5GPa以下である
金属膜用研磨液。 - 前記反応層の厚みが110nm以上である請求項2に記載の金属膜用研磨液。
- 前記金属用研磨液全体を100重量%としたとき0.01〜1.0重量%の砥粒を含有してなる請求項1〜3のいずれかに記載の金属用研磨液。
- 被研磨膜が、銅、銅合金、銅の酸化物、銅合金の酸化物から選ばれる少なくとも1種である請求項1〜4のいずれかに記載の金属膜用研磨液。
- 研磨定盤の研磨布と、被研磨膜を有する基板の該被研磨膜との間に、請求項1〜5のいずれかに記載の金属膜用研磨液を供給して被研磨膜を研磨する研磨方法。
- 研磨定盤の研磨布と、被研磨膜を有する基板の該被研磨膜との間に、金属膜用研磨液を供給して、13.79kPa(2.0psi)を下回る研磨荷重で被研磨膜を研磨する研磨方法であって、
前記金属膜用研磨液は、
前記金属膜用研磨液全体を100重量%としたとき、
(a)9.0重量%以上の金属の酸化剤と、
(b)重量平均分子量が180,000以上であり、ポリアクリル酸、ポリアクリル酸の塩及びポリアクリル酸エステルから選ばれる少なくとも1種からなる水溶性ポリマを0.1重量%以上と、
(c)酸化金属溶解剤と、
(d)金属防食剤と
(e)水とを含有してなり、
前記金属膜用研磨液は、シリコン基板上に厚み500nm以上の銅箔を積層したウエハを前記金属膜用研磨液に25℃12時間浸漬した時に反応層を形成するものであり、かつ、その反応層の厚みが110nm以上である
研磨方法。 - 研磨定盤の研磨布と、被研磨膜を有する基板の該被研磨膜との間に、金属膜用研磨液を供給して、13.79kPa(2.0psi)を下回る研磨荷重で被研磨膜を研磨する研磨方法であって、
前記金属膜用研磨液は、
前記金属膜用研磨液全体を100重量%としたとき、
(a)9.0重量%以上の金属の酸化剤と、
(b)重量平均分子量が180,000以上であり、ポリアクリル酸、ポリアクリル酸の塩及びポリアクリル酸エステルから選ばれる少なくとも1種からなる水溶性ポリマを0.1重量%以上と、
(c)酸化金属溶解剤と、
(d)金属防食剤と
(e)水とを含有してなり、
前記金属膜用研磨液は、シリコン基板上に厚み500nm以上の銅箔を積層したウエハを前記金属膜用研磨液に25℃12時間浸漬した時に反応層を形成するものであり、かつ、その反応層は、ダイナミック微小硬度計を用いて測定することができる硬度が、1.5GPa以下である
研磨方法。 - 前記反応層の厚みが110nm以上である請求項8に記載の研磨方法。
- 前記金属膜用研磨液全体を100重量%としたとき、0.01〜1.0重量%の砥粒を含有してなる請求項7〜9のいずれかに記載の研磨方法。
- 前記研磨荷重は、10.34kPa(1.5psi)以下である請求項7〜10のいずれかに記載の研磨方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009522652A JP5392080B2 (ja) | 2007-07-10 | 2008-07-08 | 金属膜用研磨液及び研磨方法 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007180928 | 2007-07-10 | ||
JP2007180928 | 2007-07-10 | ||
PCT/JP2008/062352 WO2009008431A1 (ja) | 2007-07-10 | 2008-07-08 | 金属膜用研磨液及び研磨方法 |
JP2009522652A JP5392080B2 (ja) | 2007-07-10 | 2008-07-08 | 金属膜用研磨液及び研磨方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2009008431A1 JPWO2009008431A1 (ja) | 2010-09-09 |
JP5392080B2 true JP5392080B2 (ja) | 2014-01-22 |
Family
ID=40228602
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009522652A Expired - Fee Related JP5392080B2 (ja) | 2007-07-10 | 2008-07-08 | 金属膜用研磨液及び研磨方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8501625B2 (ja) |
EP (1) | EP2169710A4 (ja) |
JP (1) | JP5392080B2 (ja) |
KR (1) | KR101445429B1 (ja) |
TW (2) | TWI471365B (ja) |
WO (1) | WO2009008431A1 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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EP2273537A4 (en) * | 2008-04-15 | 2012-07-25 | Hitachi Chemical Co Ltd | POLISHING SOLUTION FOR METALLIC FILMS AND METHOD OF POLISHING USING THE SAME |
CN103333662A (zh) | 2008-12-11 | 2013-10-02 | 日立化成工业株式会社 | Cmp用研磨液以及使用该研磨液的研磨方法 |
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JP3111892B2 (ja) | 1996-03-19 | 2000-11-27 | ヤマハ株式会社 | 研磨装置 |
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2008
- 2008-07-08 KR KR1020107000298A patent/KR101445429B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2008-07-08 WO PCT/JP2008/062352 patent/WO2009008431A1/ja active Application Filing
- 2008-07-08 EP EP08777961A patent/EP2169710A4/en not_active Withdrawn
- 2008-07-08 JP JP2009522652A patent/JP5392080B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2008-07-08 US US12/668,096 patent/US8501625B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2008-07-10 TW TW102119634A patent/TWI471365B/zh not_active IP Right Cessation
- 2008-07-10 TW TW97126163A patent/TWI471364B/zh not_active IP Right Cessation
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- 2013-03-18 US US13/846,289 patent/US20130217229A1/en not_active Abandoned
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2009008431A1 (ja) | 2009-01-15 |
KR101445429B1 (ko) | 2014-09-26 |
US8501625B2 (en) | 2013-08-06 |
US20100323584A1 (en) | 2010-12-23 |
TW200911893A (en) | 2009-03-16 |
US20130217229A1 (en) | 2013-08-22 |
JPWO2009008431A1 (ja) | 2010-09-09 |
EP2169710A1 (en) | 2010-03-31 |
TW201345960A (zh) | 2013-11-16 |
TWI471365B (zh) | 2015-02-01 |
TWI471364B (zh) | 2015-02-01 |
EP2169710A4 (en) | 2010-11-17 |
KR20100051610A (ko) | 2010-05-17 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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