JPWO2008108301A1 - 金属用研磨液及び被研磨膜の研磨方法 - Google Patents
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- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims abstract description 182
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 121
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims abstract description 121
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 56
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 31
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical group OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 93
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 claims abstract description 28
- 229920002125 Sokalan® Polymers 0.000 claims abstract description 27
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 14
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 13
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims abstract description 13
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims abstract description 13
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 44
- 239000004744 fabric Substances 0.000 claims description 21
- 239000002002 slurry Substances 0.000 claims description 16
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 claims description 10
- 150000003863 ammonium salts Chemical class 0.000 claims description 10
- 239000004584 polyacrylic acid Substances 0.000 claims description 9
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 38
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 17
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 16
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 16
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 13
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 12
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 9
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 7
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 7
- 239000011344 liquid material Substances 0.000 description 7
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000012964 benzotriazole Substances 0.000 description 6
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N citric acid Chemical compound OC(=O)CC(O)(C(O)=O)CC(O)=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- -1 organic acid esters Chemical class 0.000 description 6
- 229920003169 water-soluble polymer Polymers 0.000 description 6
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Malonic acid Chemical compound OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 5
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 5
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O Ammonium Chemical compound [NH4+] QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 4
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229920002845 Poly(methacrylic acid) Polymers 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QRUDEWIWKLJBPS-UHFFFAOYSA-N benzotriazole Chemical compound C1=CC=C2N[N][N]C2=C1 QRUDEWIWKLJBPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- YBMRDBCBODYGJE-UHFFFAOYSA-N germanium dioxide Chemical compound O=[Ge]=O YBMRDBCBODYGJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 4
- BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N methanoic acid Natural products OC=O BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 4
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 4
- 229920005575 poly(amic acid) Polymers 0.000 description 4
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N Succinic acid Natural products OC(=O)CCC(O)=O KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 3
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 3
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 3
- 150000004820 halides Chemical class 0.000 description 3
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 description 3
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 3
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Natural products C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 159000000000 sodium salts Chemical class 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 150000003852 triazoles Chemical group 0.000 description 3
- BJEPYKJPYRNKOW-REOHCLBHSA-N (S)-malic acid Chemical compound OC(=O)[C@@H](O)CC(O)=O BJEPYKJPYRNKOW-REOHCLBHSA-N 0.000 description 2
- DEPDDPLQZYCHOH-UHFFFAOYSA-N 1h-imidazol-2-amine Chemical compound NC1=NC=CN1 DEPDDPLQZYCHOH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LLPKQRMDOFYSGZ-UHFFFAOYSA-N 2,5-dimethyl-1h-imidazole Chemical compound CC1=CN=C(C)N1 LLPKQRMDOFYSGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LXBGSDVWAMZHDD-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1h-imidazole Chemical compound CC1=NC=CN1 LXBGSDVWAMZHDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 4-(3-methoxyphenyl)aniline Chemical compound COC1=CC=CC(C=2C=CC(N)=CC=2)=C1 OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLSZMDLNRCVEIJ-UHFFFAOYSA-N 4-methylimidazole Chemical compound CC1=CNC=N1 XLSZMDLNRCVEIJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001817 Agar Polymers 0.000 description 2
- NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N Ammonia chloride Chemical compound [NH4+].[Cl-] NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FERIUCNNQQJTOY-UHFFFAOYSA-N Butyric acid Chemical compound CCCC(O)=O FERIUCNNQQJTOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N Copper oxide Chemical compound [Cu]=O QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005751 Copper oxide Substances 0.000 description 2
- FEWJPZIEWOKRBE-JCYAYHJZSA-N Dextrotartaric acid Chemical compound OC(=O)[C@H](O)[C@@H](O)C(O)=O FEWJPZIEWOKRBE-JCYAYHJZSA-N 0.000 description 2
- AEMRFAOFKBGASW-UHFFFAOYSA-N Glycolic acid Chemical compound OCC(O)=O AEMRFAOFKBGASW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002230 Pectic acid Polymers 0.000 description 2
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N Tartaric acid Natural products [H+].[H+].[O-]C(=O)C(O)C(O)C([O-])=O FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FZWLAAWBMGSTSO-UHFFFAOYSA-N Thiazole Chemical group C1=CSC=N1 FZWLAAWBMGSTSO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-N adipic acid Chemical compound OC(=O)CCCCC(O)=O WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000008272 agar Substances 0.000 description 2
- 235000010419 agar Nutrition 0.000 description 2
- BJEPYKJPYRNKOW-UHFFFAOYSA-N alpha-hydroxysuccinic acid Natural products OC(=O)C(O)CC(O)=O BJEPYKJPYRNKOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 2
- ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N ammonium persulfate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[O-]S(=O)(=O)OOS([O-])(=O)=O ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N benzoic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1 WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N ceric oxide Chemical compound O=[Ce]=O CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000422 cerium(IV) oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 235000015165 citric acid Nutrition 0.000 description 2
- 239000008119 colloidal silica Substances 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 150000004699 copper complex Chemical class 0.000 description 2
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 2
- 229910000431 copper oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-N dimethylselenoniopropionate Natural products CCC(O)=O XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 2
- 235000019253 formic acid Nutrition 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- ZRALSGWEFCBTJO-UHFFFAOYSA-N guanidine group Chemical group NC(=N)N ZRALSGWEFCBTJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MNWFXJYAOYHMED-UHFFFAOYSA-N heptanoic acid Chemical compound CCCCCCC(O)=O MNWFXJYAOYHMED-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N hexanoic acid Chemical compound CCCCCC(O)=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QOSATHPSBFQAML-UHFFFAOYSA-N hydrogen peroxide;hydrate Chemical compound O.OO QOSATHPSBFQAML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000002883 imidazolyl group Chemical group 0.000 description 2
- FGKJLKRYENPLQH-UHFFFAOYSA-N isocaproic acid Chemical compound CC(C)CCC(O)=O FGKJLKRYENPLQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000001630 malic acid Substances 0.000 description 2
- 235000011090 malic acid Nutrition 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 150000007522 mineralic acids Chemical class 0.000 description 2
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 2
- WWZKQHOCKIZLMA-UHFFFAOYSA-N octanoic acid Chemical compound CCCCCCCC(O)=O WWZKQHOCKIZLMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 2
- 235000005985 organic acids Nutrition 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- LCLHHZYHLXDRQG-ZNKJPWOQSA-N pectic acid Chemical compound O[C@@H]1[C@@H](O)[C@@H](O)O[C@H](C(O)=O)[C@@H]1OC1[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H](OC2[C@@H]([C@@H](O)[C@@H](O)[C@H](O2)C(O)=O)O)[C@@H](C(O)=O)O1 LCLHHZYHLXDRQG-ZNKJPWOQSA-N 0.000 description 2
- 235000011007 phosphoric acid Nutrition 0.000 description 2
- XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-N phthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1C(O)=O XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WLJVNTCWHIRURA-UHFFFAOYSA-N pimelic acid Chemical compound OC(=O)CCCCCC(O)=O WLJVNTCWHIRURA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 229920002401 polyacrylamide Polymers 0.000 description 2
- 239000010318 polygalacturonic acid Substances 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 2
- 229920000036 polyvinylpyrrolidone Polymers 0.000 description 2
- 239000001267 polyvinylpyrrolidone Substances 0.000 description 2
- 235000013855 polyvinylpyrrolidone Nutrition 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 125000003226 pyrazolyl group Chemical group 0.000 description 2
- YGSDEFSMJLZEOE-UHFFFAOYSA-N salicylic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1O YGSDEFSMJLZEOE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 2
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011975 tartaric acid Substances 0.000 description 2
- 235000002906 tartaric acid Nutrition 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 2
- NQPDZGIKBAWPEJ-UHFFFAOYSA-N valeric acid Chemical compound CCCCC(O)=O NQPDZGIKBAWPEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MLIWQXBKMZNZNF-KUHOPJCQSA-N (2e)-2,6-bis[(4-azidophenyl)methylidene]-4-methylcyclohexan-1-one Chemical compound O=C1\C(=C\C=2C=CC(=CC=2)N=[N+]=[N-])CC(C)CC1=CC1=CC=C(N=[N+]=[N-])C=C1 MLIWQXBKMZNZNF-KUHOPJCQSA-N 0.000 description 1
- OBETXYAYXDNJHR-SSDOTTSWSA-M (2r)-2-ethylhexanoate Chemical compound CCCC[C@@H](CC)C([O-])=O OBETXYAYXDNJHR-SSDOTTSWSA-M 0.000 description 1
- BNGXYYYYKUGPPF-UHFFFAOYSA-M (3-methylphenyl)methyl-triphenylphosphanium;chloride Chemical compound [Cl-].CC1=CC=CC(C[P+](C=2C=CC=CC=2)(C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC=CC=2)=C1 BNGXYYYYKUGPPF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- RBNPOMFGQQGHHO-UHFFFAOYSA-N -2,3-Dihydroxypropanoic acid Natural products OCC(O)C(O)=O RBNPOMFGQQGHHO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FQXOOGHQVPKHPG-UHFFFAOYSA-N 1,3-diazinane-2,4,5-trione Chemical compound O=C1NCC(=O)C(=O)N1 FQXOOGHQVPKHPG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YHMYGUUIMTVXNW-UHFFFAOYSA-N 1,3-dihydrobenzimidazole-2-thione Chemical compound C1=CC=C2NC(S)=NC2=C1 YHMYGUUIMTVXNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FBQJKKPQBMSWEP-UHFFFAOYSA-N 1,3-diphenyl-1,3-diazinane-2,4,6-trione Chemical compound O=C1CC(=O)N(C=2C=CC=CC=2)C(=O)N1C1=CC=CC=C1 FBQJKKPQBMSWEP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OWRCNXZUPFZXOS-UHFFFAOYSA-N 1,3-diphenylguanidine Chemical compound C=1C=CC=CC=1NC(=N)NC1=CC=CC=C1 OWRCNXZUPFZXOS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RAIPHJJURHTUIC-UHFFFAOYSA-N 1,3-thiazol-2-amine Chemical compound NC1=NC=CS1 RAIPHJJURHTUIC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VBXZSFNZVNDOPB-UHFFFAOYSA-N 1,4,5,6-tetrahydropyrimidine Chemical compound C1CNC=NC1 VBXZSFNZVNDOPB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ASOKPJOREAFHNY-UHFFFAOYSA-N 1-Hydroxybenzotriazole Chemical compound C1=CC=C2N(O)N=NC2=C1 ASOKPJOREAFHNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTBFRGCFXZNCOE-UHFFFAOYSA-N 1-methylsulfonylpiperidin-4-one Chemical compound CS(=O)(=O)N1CCC(=O)CC1 RTBFRGCFXZNCOE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QWENRTYMTSOGBR-UHFFFAOYSA-N 1H-1,2,3-Triazole Chemical compound C=1C=NNN=1 QWENRTYMTSOGBR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JTTIOYHBNXDJOD-UHFFFAOYSA-N 2,4,6-triaminopyrimidine Chemical compound NC1=CC(N)=NC(N)=N1 JTTIOYHBNXDJOD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DPVIABCMTHHTGB-UHFFFAOYSA-N 2,4,6-trichloropyrimidine Chemical compound ClC1=CC(Cl)=NC(Cl)=N1 DPVIABCMTHHTGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RJVAFLZWVUIBOU-UHFFFAOYSA-N 2,4,6-trimethoxypyrimidine Chemical compound COC1=CC(OC)=NC(OC)=N1 RJVAFLZWVUIBOU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SZKWMQWGJPCXOF-UHFFFAOYSA-N 2,4,6-triphenylpyrimidine Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC(C=2C=CC=CC=2)=NC(C=2C=CC=CC=2)=N1 SZKWMQWGJPCXOF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OBSLLHNATPQFMJ-UHFFFAOYSA-N 2,4-Dimethylthiazole Chemical compound CC1=CSC(C)=N1 OBSLLHNATPQFMJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SWELIMKTDYHAOY-UHFFFAOYSA-N 2,4-diamino-6-hydroxypyrimidine Chemical compound NC1=CC(=O)N=C(N)N1 SWELIMKTDYHAOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HMOYKDCLYCJGHG-UHFFFAOYSA-N 2-(2h-benzotriazol-4-ylmethyl)butanedioic acid Chemical compound OC(=O)CC(C(O)=O)CC1=CC=CC2=NNN=C12 HMOYKDCLYCJGHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PAWQVTBBRAZDMG-UHFFFAOYSA-N 2-(3-bromo-2-fluorophenyl)acetic acid Chemical compound OC(=O)CC1=CC=CC(Br)=C1F PAWQVTBBRAZDMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OXQGTIUCKGYOAA-UHFFFAOYSA-N 2-Ethylbutanoic acid Chemical compound CCC(CC)C(O)=O OXQGTIUCKGYOAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SLLDUURXGMDOCY-UHFFFAOYSA-N 2-butyl-1h-imidazole Chemical compound CCCCC1=NC=CN1 SLLDUURXGMDOCY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PQAMFDRRWURCFQ-UHFFFAOYSA-N 2-ethyl-1h-imidazole Chemical compound CCC1=NC=CN1 PQAMFDRRWURCFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XCXKNNGWSDYMMS-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1-nitroguanidine Chemical compound CNC(N)=N[N+]([O-])=O XCXKNNGWSDYMMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WLAMNBDJUVNPJU-UHFFFAOYSA-N 2-methylbutyric acid Chemical compound CCC(C)C(O)=O WLAMNBDJUVNPJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CVKMFSAVYPAZTQ-UHFFFAOYSA-N 2-methylhexanoic acid Chemical compound CCCCC(C)C(O)=O CVKMFSAVYPAZTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QZHOHUNTQUNLLN-UHFFFAOYSA-N 2-methylsulfanyl-5,7-diphenyl-[1,2,4]triazolo[1,5-a]pyrimidine Chemical compound N12N=C(SC)N=C2N=C(C=2C=CC=CC=2)C=C1C1=CC=CC=C1 QZHOHUNTQUNLLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FUOZJYASZOSONT-UHFFFAOYSA-N 2-propan-2-yl-1h-imidazole Chemical compound CC(C)C1=NC=CN1 FUOZJYASZOSONT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MKBBSFGKFMQPPC-UHFFFAOYSA-N 2-propyl-1h-imidazole Chemical compound CCCC1=NC=CN1 MKBBSFGKFMQPPC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JMTMSDXUXJISAY-UHFFFAOYSA-N 2H-benzotriazol-4-ol Chemical compound OC1=CC=CC2=C1N=NN2 JMTMSDXUXJISAY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YTZPUTADNGREHA-UHFFFAOYSA-N 2h-benzo[e]benzotriazole Chemical compound C1=CC2=CC=CC=C2C2=NNN=C21 YTZPUTADNGREHA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MLMQPDHYNJCQAO-UHFFFAOYSA-N 3,3-dimethylbutyric acid Chemical compound CC(C)(C)CC(O)=O MLMQPDHYNJCQAO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FVKFHMNJTHKMRX-UHFFFAOYSA-N 3,4,6,7,8,9-hexahydro-2H-pyrimido[1,2-a]pyrimidine Chemical compound C1CCN2CCCNC2=N1 FVKFHMNJTHKMRX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SDXAWLJRERMRKF-UHFFFAOYSA-N 3,5-dimethyl-1h-pyrazole Chemical compound CC=1C=C(C)NN=1 SDXAWLJRERMRKF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VJEFVEHNRRGNQX-UHFFFAOYSA-N 3-(benzotriazol-1-yl)propane-1,1-diol Chemical compound C1=CC=C2N(CCC(O)O)N=NC2=C1 VJEFVEHNRRGNQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NHLAPJMCARJFOG-UHFFFAOYSA-N 3-methyl-1,4-dihydropyrazol-5-one Chemical compound CC1=NNC(=O)C1 NHLAPJMCARJFOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UWSONZCNXUSTKW-UHFFFAOYSA-N 4,5-Dimethylthiazole Chemical compound CC=1N=CSC=1C UWSONZCNXUSTKW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- REGFWZVTTFGQOJ-UHFFFAOYSA-N 4,5-dihydro-1,3-thiazol-2-amine Chemical compound NC1=NCCS1 REGFWZVTTFGQOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IRQWEODKXLDORP-UHFFFAOYSA-N 4-ethenylbenzoic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=C(C=C)C=C1 IRQWEODKXLDORP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OUQMXTJYCAJLGO-UHFFFAOYSA-N 4-methyl-1,3-thiazol-2-amine Chemical compound CC1=CSC(N)=N1 OUQMXTJYCAJLGO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CMGDVUCDZOBDNL-UHFFFAOYSA-N 4-methyl-2h-benzotriazole Chemical compound CC1=CC=CC2=NNN=C12 CMGDVUCDZOBDNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NSPMIYGKQJPBQR-UHFFFAOYSA-N 4H-1,2,4-triazole Chemical compound C=1N=CNN=1 NSPMIYGKQJPBQR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FYTLHYRDGXRYEY-UHFFFAOYSA-N 5-Methyl-3-pyrazolamine Chemical compound CC=1C=C(N)NN=1 FYTLHYRDGXRYEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QZBGOTVBHYKUDS-UHFFFAOYSA-N 5-amino-1,2-dihydropyrazol-3-one Chemical compound NC1=CC(=O)NN1 QZBGOTVBHYKUDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GAHAURRLKFPBCQ-UHFFFAOYSA-N 5-hexyl-2h-benzotriazole Chemical compound CCCCCCC1=CC=C2NN=NC2=C1 GAHAURRLKFPBCQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ULKLGIFJWFIQFF-UHFFFAOYSA-N 5K8XI641G3 Chemical compound CCC1=NC=C(C)N1 ULKLGIFJWFIQFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LHCPRYRLDOSKHK-UHFFFAOYSA-N 7-deaza-8-aza-adenine Chemical compound NC1=NC=NC2=C1C=NN2 LHCPRYRLDOSKHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- KLSJWNVTNUYHDU-UHFFFAOYSA-N Amitrole Chemical compound NC1=NC=NN1 KLSJWNVTNUYHDU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005711 Benzoic acid Substances 0.000 description 1
- 229920002134 Carboxymethyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000001879 Curdlan Substances 0.000 description 1
- 229920002558 Curdlan Polymers 0.000 description 1
- RBNPOMFGQQGHHO-UWTATZPHSA-N D-glyceric acid Chemical compound OC[C@@H](O)C(O)=O RBNPOMFGQQGHHO-UWTATZPHSA-N 0.000 description 1
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AEAAPULBRBHRTM-UHFFFAOYSA-N N1(N=NC2=C1C=CC=C2)COP(OCN2N=NC1=C2C=CC=C1)=O Chemical compound N1(N=NC2=C1C=CC=C2)COP(OCN2N=NC1=C2C=CC=C1)=O AEAAPULBRBHRTM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000805 Polyaspartic acid Polymers 0.000 description 1
- 108010020346 Polyglutamic Acid Proteins 0.000 description 1
- 108010039918 Polylysine Proteins 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- 229920005830 Polyurethane Foam Polymers 0.000 description 1
- 229920001218 Pullulan Polymers 0.000 description 1
- 239000004373 Pullulan Substances 0.000 description 1
- WTKZEGDFNFYCGP-UHFFFAOYSA-N Pyrazole Chemical compound C=1C=NNC=1 WTKZEGDFNFYCGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CZPWVGJYEJSRLH-UHFFFAOYSA-N Pyrimidine Chemical compound C1=CN=CN=C1 CZPWVGJYEJSRLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004115 Sodium Silicate Substances 0.000 description 1
- 229910001362 Ta alloys Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001080 W alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- SRNKZYRMFBGSGE-UHFFFAOYSA-N [1,2,4]triazolo[1,5-a]pyrimidine Chemical compound N1=CC=CN2N=CN=C21 SRNKZYRMFBGSGE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 235000011054 acetic acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000001361 adipic acid Substances 0.000 description 1
- 235000011037 adipic acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000000783 alginic acid Substances 0.000 description 1
- 235000010443 alginic acid Nutrition 0.000 description 1
- 229920000615 alginic acid Polymers 0.000 description 1
- 229960001126 alginic acid Drugs 0.000 description 1
- 150000004781 alginic acids Chemical class 0.000 description 1
- OBETXYAYXDNJHR-UHFFFAOYSA-N alpha-ethylcaproic acid Natural products CCCCC(CC)C(O)=O OBETXYAYXDNJHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 235000019270 ammonium chloride Nutrition 0.000 description 1
- 229910001870 ammonium persulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- JFCQEDHGNNZCLN-UHFFFAOYSA-N anhydrous glutaric acid Natural products OC(=O)CCCC(O)=O JFCQEDHGNNZCLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 235000010233 benzoic acid Nutrition 0.000 description 1
- WQZGKKKJIJFFOK-VFUOTHLCSA-N beta-D-glucose Chemical compound OC[C@H]1O[C@@H](O)[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H]1O WQZGKKKJIJFFOK-VFUOTHLCSA-N 0.000 description 1
- KDYFGRWQOYBRFD-NUQCWPJISA-N butanedioic acid Chemical compound O[14C](=O)CC[14C](O)=O KDYFGRWQOYBRFD-NUQCWPJISA-N 0.000 description 1
- 239000001768 carboxy methyl cellulose Substances 0.000 description 1
- 235000010948 carboxy methyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 239000008112 carboxymethyl-cellulose Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- KRVSOGSZCMJSLX-UHFFFAOYSA-L chromic acid Substances O[Cr](O)(=O)=O KRVSOGSZCMJSLX-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 235000019316 curdlan Nutrition 0.000 description 1
- 229940078035 curdlan Drugs 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000009472 formulation Methods 0.000 description 1
- AWJWCTOOIBYHON-UHFFFAOYSA-N furo[3,4-b]pyrazine-5,7-dione Chemical compound C1=CN=C2C(=O)OC(=O)C2=N1 AWJWCTOOIBYHON-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005227 gel permeation chromatography Methods 0.000 description 1
- 238000007429 general method Methods 0.000 description 1
- QWPPOHNGKGFGJK-UHFFFAOYSA-N hypochlorous acid Chemical compound ClO QWPPOHNGKGFGJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 1
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- UKKHWKNEQBGLMI-UHFFFAOYSA-N n-pyrimidin-2-ylacetamide Chemical compound CC(=O)NC1=NC=CC=N1 UKKHWKNEQBGLMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 description 1
- FJKROLUGYXJWQN-UHFFFAOYSA-N papa-hydroxy-benzoic acid Natural products OC(=O)C1=CC=C(O)C=C1 FJKROLUGYXJWQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N phthalocyanine Chemical compound N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(N=C3C4=CC=CC=C4C(=N4)N3)=N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C4=N1 IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 1
- 108010064470 polyaspartate Proteins 0.000 description 1
- 229920002643 polyglutamic acid Polymers 0.000 description 1
- 229920000656 polylysine Polymers 0.000 description 1
- 229920001282 polysaccharide Polymers 0.000 description 1
- 239000005017 polysaccharide Substances 0.000 description 1
- 150000004804 polysaccharides Chemical class 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 239000011496 polyurethane foam Substances 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 235000019260 propionic acid Nutrition 0.000 description 1
- 235000019423 pullulan Nutrition 0.000 description 1
- LJXQPZWIHJMPQQ-UHFFFAOYSA-N pyrimidin-2-amine Chemical compound NC1=NC=CC=N1 LJXQPZWIHJMPQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MQEFDQWUCTUJCP-UHFFFAOYSA-N pyrimidine-2,4,5,6-tetramine;sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O.NC1=NC(N)=C(N)C(N)=N1 MQEFDQWUCTUJCP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YAAWASYJIRZXSZ-UHFFFAOYSA-N pyrimidine-2,4-diamine Chemical compound NC1=CC=NC(N)=N1 YAAWASYJIRZXSZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000714 pyrimidinyl group Chemical group 0.000 description 1
- IUVKMZGDUIUOCP-BTNSXGMBSA-N quinbolone Chemical compound O([C@H]1CC[C@H]2[C@H]3[C@@H]([C@]4(C=CC(=O)C=C4CC3)C)CC[C@@]21C)C1=CCCC1 IUVKMZGDUIUOCP-BTNSXGMBSA-N 0.000 description 1
- 229960004889 salicylic acid Drugs 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 238000007790 scraping Methods 0.000 description 1
- DCKVNWZUADLDEH-UHFFFAOYSA-N sec-butyl acetate Chemical compound CCC(C)OC(C)=O DCKVNWZUADLDEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- NTHWMYGWWRZVTN-UHFFFAOYSA-N sodium silicate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-][Si]([O-])=O NTHWMYGWWRZVTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052911 sodium silicate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- 239000001384 succinic acid Substances 0.000 description 1
- 235000011044 succinic acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 1
- 150000003482 tantalum compounds Chemical class 0.000 description 1
- MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N tantalum nitride Chemical compound [Ta]#N MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UAXOELSVPTZZQG-UHFFFAOYSA-N tiglic acid Natural products CC(C)=C(C)C(O)=O UAXOELSVPTZZQG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- POFDSYGXHVPQNX-UHFFFAOYSA-N triazolo[1,5-a]pyrimidine Chemical compound C1=CC=NC2=CN=NN21 POFDSYGXHVPQNX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PQDJYEQOELDLCP-UHFFFAOYSA-N trimethylsilane Chemical compound C[SiH](C)C PQDJYEQOELDLCP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003658 tungsten compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229940005605 valeric acid Drugs 0.000 description 1
- ROVRRJSRRSGUOL-UHFFFAOYSA-N victoria blue bo Chemical compound [Cl-].C12=CC=CC=C2C(NCC)=CC=C1C(C=1C=CC(=CC=1)N(CC)CC)=C1C=CC(=[N+](CC)CC)C=C1 ROVRRJSRRSGUOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
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- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
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Abstract
酸化金属溶解剤、金属防食剤、ポリアクリル酸系ポリマー、金属酸化剤及び水を含有してなる金属用研磨液であって、金属酸化剤が過酸化水素であり、該過酸化水素の含有量が金属用研磨液質量に対して12〜30質量%である金属用研磨液によって、良好な研磨速度を保ちながら被研磨面の優れた平坦性を実現できる。またこれを用いた被研磨膜の研磨方法を提供する。
Description
本発明は、金属用研磨液及び被研磨膜の研磨方法に関する。
近年、半導体集積回路(以下LSIと記す)の高集積化、高性能化に伴って新たな微細加工技術が開発されている。化学機械研磨(以下CMPと記す)法もその一つであり、LSI製造工程、特に多層配線形成工程における層間絶縁膜の平坦化、金属プラグ形成、埋め込み配線形成等において頻繁に利用される技術である。この技術は、例えば、米国特許第4944836号明細書に開示されている。
また、最近はLSIを高性能化するために、配線材料として銅合金の利用が試みられている。しかし、銅合金は従来のアルミニウム合金配線の形成で頻繁に用いられたドライエッチング法による微細加工が困難である。そこで、例えば、あらかじめ溝を形成してある絶縁膜上に銅合金薄膜を堆積して埋め込み、溝部以外の銅合金薄膜をCMPにより除去して埋め込み配線を形成する、いわゆるダマシン法が主に採用されている。この技術は、例えば、特開平2−278822号公報に開示されている。
金属のCMPの一般的な方法は、円形の研磨定盤(プラテン)上に研磨布を貼り付け、研磨布の表面を金属用研磨液で浸し、基板の金属膜を形成した面を押し付けて、その裏面から所定の圧力(以下研磨圧力と記す)を加えた状態で研磨定盤を回し、金属用研磨液と金属膜の凸部との機械的摩擦によって凸部の金属膜を除去するものである。CMPに用いられる金属用研磨液は、一般には酸化剤及び砥粒を含有し、必要に応じてさらに酸化金属溶解剤、金属防食剤等が添加される。まず酸化剤によって金属膜表面を酸化し、その酸化層を砥粒によって削り取るのが基本的なメカニズムと考えられている。凹部の金属表面の酸化層は研磨布にあまり触れず、研磨砥粒による削り取りの効果が及ばないので、CMPの進行とともに凸部の金属層が除去されて基板表面は平坦化されると考えられている。この技術は、例えば、ジャーナル・オブ・エレクトロケミカルソサエティ誌 第138巻11号(1991年発行)3460〜3464頁に開示されている。
従来の金属用研磨液を用いてCMPによる埋め込み配線形成を行う場合には、金属の酸化剤の含有量が金属用研磨液質量に対して少ない場合は、被研磨面の十分な平坦性が得らないといった問題が生じ、逆に金属の酸化剤の含有量が金属用研磨液質量に対して過剰な場合は、金属、特に銅の研磨速度が十分に得られないといった問題が生じる。本発明の課題は、良好な研磨速度を保ちながら被研磨表面の優れた平坦性を実現できる金属用研磨液、金属研磨液材料及び被研磨膜の研磨方法を提供することである。
このような従来の問題点を解決するために鋭意検討した結果、本発明者らは、金属用研磨液中の金属の酸化剤の含有量を特定の範囲に設定することにより、良好な研磨速度を保ちながら、被研磨面の優れた平坦性を実現することに成功した。
このような従来の問題点を解決するために鋭意検討した結果、本発明者らは、金属用研磨液中の金属の酸化剤の含有量を特定の範囲に設定することにより、良好な研磨速度を保ちながら、被研磨面の優れた平坦性を実現することに成功した。
本発明は、(1)酸化金属溶解剤、金属防食剤、ポリアクリル酸系ポリマー、金属酸化剤及び水を含有してなり、
前記金属酸化剤は、過酸化水素であり、
前記過酸化水素水の含有量が、金属用研磨液質量に対して12〜30質量%である金属用研磨液に関する。
前記金属酸化剤は、過酸化水素であり、
前記過酸化水素水の含有量が、金属用研磨液質量に対して12〜30質量%である金属用研磨液に関する。
また、本発明は、(2)前記酸化金属溶解剤の含有量が、金属用研磨液質量に対して0.001〜10質量%である前記(1)に記載の金属用研磨液に関する。
また、本発明は、(3)前記金属防食剤の含有量が、金属用研磨液質量に対して0.001〜10質量%である前記(1)又は(2)に記載の金属用研磨液に関する。
また、本発明は、(3)前記金属防食剤の含有量が、金属用研磨液質量に対して0.001〜10質量%である前記(1)又は(2)に記載の金属用研磨液に関する。
また、本発明は、(4)前記ポリアクリル酸系ポリマーが、ポリアクリル酸アンモニウム塩である前記(1)〜(3)のいずれか一つに記載の金属用研磨液に関する。
また、本発明は、(5)砥粒を含有する前記(1)〜(4)いずれか一つに記載の金属用研磨液に関する。
また、本発明は、(5)砥粒を含有する前記(1)〜(4)いずれか一つに記載の金属用研磨液に関する。
また、本発明は、(6)研磨定盤の研磨布上に前記(1)〜(5)記載のいずれか一つの金属用研磨液材料を供給しながら、被研磨膜を有する研磨前の基板を研磨布に押圧した状態で研磨定盤と基板を相対的に動かして被研磨膜を研磨して、基板を得ることを特徴とする被研磨膜の研磨方法に関する。
以下、本発明の金属用研磨液の好適な実施形態について詳細に説明する。
本発明の金属用研磨液は、酸化金属溶解剤、金属防食剤、ポリアクリル酸系ポリマー、金属酸化剤及び水を含有してなる金属用研磨液である。
本発明の金属用研磨液は、酸化金属溶解剤、金属防食剤、ポリアクリル酸系ポリマー、金属酸化剤及び水を含有してなる金属用研磨液である。
本発明で用いられる金属酸化剤は、過酸化水素(H2O2)が特に好ましい。酸化剤としては他にも硝酸、過ヨウ素酸カリウム、次亜塩素酸、オゾン水等が挙げられるが、本発明の具体的な態様においては、過酸化水素以外の酸を使用すると、銅等の配線金属の研磨速度が速くなりやすく、最終的に被研磨面の平坦性が失われる傾向がある。
研磨対象の基体が集積回路用素子を含むシリコン基板である場合、アルカリ金属、アルカリ土類金属、ハロゲン化物等による汚染は望ましくないので、酸化剤には不揮発成分を含まないものを使用することが好ましい。但し、研磨対象の基体が半導体素子を含まないガラス基板等である場合は不揮発成分を含む酸化剤であっても差し支えない。
本発明の一態様において、金属酸化剤である過酸化水素は、研磨液中の濃度を12〜30質量%にするように添加される。一般に過酸化水素は単体では不安定で危険であるため、過酸化水素分20〜35質量%程度の水溶液として製造販売され、最も一般的に入手できる過酸化水素水は30質量%のものである。従来、過酸化水素を添加する研磨液が知られているが、通常は、過酸化水素の添加量は過酸化水素水溶液の添加量として記載されている。本発明では、過酸化水素水の添加量ではなく、過酸化水素水中の過酸化水素量を計算して得られる値を使用し、これが12〜30質量%となるように過酸化水素水を添加する。
図1は、金属防食剤、ポリアクリル酸系ポリマー及び金属酸化剤としての過酸化水素を含み、過酸化水素の濃度だけを変えた複数の研磨液を用意し(過酸化水素濃度4質量%、11質量%及び18質量%)、これに20mmx20mmの大きさにカットした銅ウェハのチップを、10分間浸したときのエッチング速度(等方的な銅溶解速度)を示す。図1からわかるように、過酸化水素濃度が上昇すると、エッチングは抑制される。
また、同様に、金属防食剤、ポリアクリル酸系ポリマー及び金属酸化剤としての過酸化水素を含み、過酸化水素の濃度だけを変えた(7質量%及び18質量%)複数の研磨液を用意し、同一の研磨条件で銅ウェハを研磨したときのディシング量(Line&Space=100μm/100μm部、研磨の進行具合により、表面の膜種が変化)を見ると、図2に示すように、酸化剤量を増やすと、ディッシング量は低減し、研磨速度は低下することがわかる。
上記のように、ディッシング量が減る理由は、金属酸化剤である過酸化水素の添加量を増やすことによって、硬く強い反応層(たとえば銅錯体)が形成され、これが研磨工程において凹部を保護力していることによると推測する。そこで、7質量%及び17.5質量%の過酸化水素を含む、異なる研磨液を調整し、ここに銅箔を浸したときに、銅箔の表面にできる反応層を観察し、硬さ、厚みを測定した。結果を表1に示す。
表1より、金属酸化剤(過酸化水素)濃度を高くすることで、銅の表面に形成される反応層は、より硬くなることがわかる。しかし反応層の厚みは、金属酸化剤の濃度を増やすことにより、厚くなるのではなく薄くなることが判った。そこで、反応層における酸素濃度を測定したところ、表1に示すように、金属酸化剤の濃度を増やすことにより高い酸素濃度を示すことがわかった。これらの結果より、反応層は、酸化剤の濃度を増やすことにより、より酸素濃度が高く、厚みは薄く、硬さは硬いものが得られることがわかる。
上記結果から、反応層は図3に示すようなものであると推定する。図3に示すように、銅、ポリアクリル酸系ポリマー、金属防食剤が複雑に絡み合うことにより、酸素を多く含み、薄くて硬い反応層(銅錯体)ができ、凹部の膜を守り、研磨に寄与したと考えられる。過酸化水素濃度を高くすることにより、薄く硬い反応層が形成され、凸部では反応層ができても研磨により削り取られるが、凹部では反応層が蓄積し、研磨液が浸透しにくくなると考えられる。また、過酸化水素の濃度を高くすると、エッチング速度は遅くなる傾向があり、凹部では反応層の蓄積、及びエッチング速度の低下による、両方の作用でディッシングが抑えられると考えられる。
本発明の研磨液は、上記の考え方から完成されたものであり、金属の酸化剤である過酸化水素の濃度は12〜30質量%の間に設定される。ほかの研磨剤成分についても、上記の考え方のもとで最適なものを選択することができ、下記に詳細に説明する。またそれぞれの成分の効果を得るためにより有効な添加量については後述する。
本発明で用いられる酸化金属溶解剤は、水溶性のものであれば特に制限はなく、例えば、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、2−メチル酪酸、n−ヘキサン酸、3,3−ジメチル酪酸、2−エチル酪酸、4−メチルペンタン酸、n−ヘプタン酸、2−メチルヘキサン酸、n−オクタン酸、2−エチルヘキサン酸、安息香酸、グリコール酸、サリチル酸、グリセリン酸、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、マレイン酸、フタル酸、リンゴ酸、酒石酸、クエン酸等の有機酸、これらの有機酸エステル及びこれら有機酸のアンモニウム塩等が挙げられる。また塩酸、硫酸、硝酸、リン酸等の無機酸、これら無機酸のアンモニウム塩類、例えば過硫酸アンモニウム、硝酸アンモニウム、塩化アンモニウム等、クロム酸等が挙げられる。これらの中では、実用的な研磨速度を維持しつつ、エッチング速度を効果的に抑制できるという点でギ酸、マロン酸、リンゴ酸、酒石酸、クエン酸、コハク酸及びリン酸が、被研磨膜として、銅、銅合金及び銅若しくは銅合金の酸化物から選ばれた少なくとも1種の金属層を含む積層膜に対して好適である。これらは1種類単独で、若しくは2種類以上混合して用いることができる。
本発明で用いられる金属防食剤は、例えば、トリアゾール骨格を有する化合物、ピラゾール骨格を有する化合物、ピリラミジン骨格を有する化合物、イミダゾール骨格を有する化合物、グアニジン骨格を有する化合物、チアゾール骨格を有する化合物等が挙げられる。
トリアゾール骨格を有する化合物としては、例えば、1,2,3−トリアゾール、1,2,4−トリアゾール、3−アミノ−1H−1,2,4−トリアゾール、ベンゾトリアゾール、1−ヒドロキシベンゾトリアゾール、1−ジヒドロキシプロピルベンゾトリアゾール、2,3−ジカルボキシプロピルベンゾトリアゾール、4−ヒドロキシベンゾトリアゾール、4−カルボキシル(−1H−)ベンゾトリアゾール、4−カルボキシル(−1H−)ベンゾトリアゾールメチルルエステル、4−カルボキシル(−1H−)ベンゾトリアゾールブチルエステル、4−カルボキシル(−1H−)ベンゾトリアゾールオクチルエステル、5−ヘキシルベンゾトリアゾール、[1,2,3−ベンゾトリアゾリル−1−メチル][1,2,4−トリアゾリル−1−メチル][2−エチルヘキシル]アミン、トリルトリアゾール、ナフトトリアゾール、ビス[(1−ベンゾトリアゾリル)メチル]ホスホン酸等が挙げられる。
トリアゾール骨格を有する化合物としては、例えば、1,2,3−トリアゾール、1,2,4−トリアゾール、3−アミノ−1H−1,2,4−トリアゾール、ベンゾトリアゾール、1−ヒドロキシベンゾトリアゾール、1−ジヒドロキシプロピルベンゾトリアゾール、2,3−ジカルボキシプロピルベンゾトリアゾール、4−ヒドロキシベンゾトリアゾール、4−カルボキシル(−1H−)ベンゾトリアゾール、4−カルボキシル(−1H−)ベンゾトリアゾールメチルルエステル、4−カルボキシル(−1H−)ベンゾトリアゾールブチルエステル、4−カルボキシル(−1H−)ベンゾトリアゾールオクチルエステル、5−ヘキシルベンゾトリアゾール、[1,2,3−ベンゾトリアゾリル−1−メチル][1,2,4−トリアゾリル−1−メチル][2−エチルヘキシル]アミン、トリルトリアゾール、ナフトトリアゾール、ビス[(1−ベンゾトリアゾリル)メチル]ホスホン酸等が挙げられる。
ピラゾール骨格を有する化合物としては、例えば、3,5−ジメチルピラゾール、3−メチル−5−ピラゾロン、3−アミノ−5−メチルピラゾール、3−アミノ−5−ヒドロキシピラゾール、3−アミノ−5−メチルピラゾール等が挙げられる。
ピリミジン骨格を有する化合物としては、例えば、ピリミジン、1,2,4−トリアゾロ[1,5−a]ピリミジン、1,3,4,6,7,8−ヘキサヒドロ−2H−ピリミド[1,2−a]ピリミジン、1,3−ジフェニル−ピリミジン−2,4,6−トリオン、1,4,5,6−テトラヒドロピリミジン、2,4,5,6−テトラアミノピリミジンスルファート、2,4,5−トリヒドロキシピリミジン、2,4,6−トリアミノピリミジン、2,4,6−トリクロロピリミジン、2,4,6−トリメトキシピリミジン、2,4,6−トリフェニルピリミジン、2,4−ジアミノ−6−ヒドロキシルピリミジン、2,4−ジアミノピリミジン、2−アセトアミドピリミジン、2−アミノピリミジン、2−メチル−5,7−ジフェニル−(1,2,4)トリアゾロ(1,5−a)ピリミジン、2−メチルスルファニリル−5,7−ジフェニル−(1,2,4)トリアゾロ(1,5−a)ピリミジン、2−メチルスルファニリル−5,7−ジフェニル−4,7−ジヒドロ−(1,2,4)トリアゾロ(1,5−a)ピリミジン、4−アミノピラゾロ[3,4−d]ピリミジン等が挙げられる。
ピリミジン骨格を有する化合物としては、例えば、ピリミジン、1,2,4−トリアゾロ[1,5−a]ピリミジン、1,3,4,6,7,8−ヘキサヒドロ−2H−ピリミド[1,2−a]ピリミジン、1,3−ジフェニル−ピリミジン−2,4,6−トリオン、1,4,5,6−テトラヒドロピリミジン、2,4,5,6−テトラアミノピリミジンスルファート、2,4,5−トリヒドロキシピリミジン、2,4,6−トリアミノピリミジン、2,4,6−トリクロロピリミジン、2,4,6−トリメトキシピリミジン、2,4,6−トリフェニルピリミジン、2,4−ジアミノ−6−ヒドロキシルピリミジン、2,4−ジアミノピリミジン、2−アセトアミドピリミジン、2−アミノピリミジン、2−メチル−5,7−ジフェニル−(1,2,4)トリアゾロ(1,5−a)ピリミジン、2−メチルスルファニリル−5,7−ジフェニル−(1,2,4)トリアゾロ(1,5−a)ピリミジン、2−メチルスルファニリル−5,7−ジフェニル−4,7−ジヒドロ−(1,2,4)トリアゾロ(1,5−a)ピリミジン、4−アミノピラゾロ[3,4−d]ピリミジン等が挙げられる。
イミダゾール骨格を有する化合物としては、例えば、イミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−エチルイミダゾール、2−イソプロピルイミダゾール、2−プロピルイミダゾール、2−ブチルイミダゾール、4−メチルイミダゾール、2,4−ジメチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−アミノイミダゾール、メルカプトベンゾイミダゾール等が挙げられる。
グアニジン骨格を有する化合物としては、例えば、1,3−ジフェニルグアニジン、1−メチル−3−ニトログアニジン等が挙げられる。
グアニジン骨格を有する化合物としては、例えば、1,3−ジフェニルグアニジン、1−メチル−3−ニトログアニジン等が挙げられる。
チアゾール骨格を有する化合物としては、例えば、2−アミノチアゾール、4,5−ジメチルチアゾール、2−アミノ−2−チアゾリン、2,4−ジメチルチアゾール、2−アミノ−4−メチルチアゾール等が挙げられる。
これらのなかでもトリアゾール、ベンゾトリアゾール、2−メチルイミダゾールが、低いエッチング速度を得る上で好ましい。これらは1種類単独で、若しくは2種類以上混合して用いることができる。
これらのなかでもトリアゾール、ベンゾトリアゾール、2−メチルイミダゾールが、低いエッチング速度を得る上で好ましい。これらは1種類単独で、若しくは2種類以上混合して用いることができる。
本発明の金属用研磨剤には、ポリアクリル酸系ポリマーを含有させるが、それ以外の水溶性ポリマーを併用してもよい。
ポリアクリル酸系ポリマーとしては、ポリアクリル酸、ポリアクリルアミド、アミノポリアクリルアミド、ポリアクリル酸アンモニウム塩、ポリアクリル酸ナトリウム塩等が挙げられる。この中でも特にポリアクリル酸アンモニウム塩が、研磨対象の基体が半導体集積回路用シリコン基板等の場合は、上記アルカリ金属、アルカリ土類金属、ハロゲン化物等により汚染しないことから好ましい。
ポリアクリル酸系ポリマーとしては、ポリアクリル酸、ポリアクリルアミド、アミノポリアクリルアミド、ポリアクリル酸アンモニウム塩、ポリアクリル酸ナトリウム塩等が挙げられる。この中でも特にポリアクリル酸アンモニウム塩が、研磨対象の基体が半導体集積回路用シリコン基板等の場合は、上記アルカリ金属、アルカリ土類金属、ハロゲン化物等により汚染しないことから好ましい。
それ以外の水溶性ポリマーとして、例えば、アルギン酸、ペクチン酸、カルボキシメチルセルロース、寒天、カードラン及びプルラン等の多糖類;ポリアスパラギン酸、ポリグルタミン酸、ポリリシン、ポリリンゴ酸、ポリメタクリル酸、ポリメタクリル酸アンモニウム塩、ポリメタクリル酸ナトリウム塩、ポリアミド酸、ポリマーレイン酸、ポリイタコン酸、ポリフマル酸、ポリ(p−スチレンカルボン酸)、ポリアミド酸、ポリアミド酸アンモニウム塩、ポリアミド酸ナトリウム塩及びポリグリオキシル酸等のポリカルボン酸、ポリカルボン酸エステル、これらの共重合体及びそれらの塩、ポリビニルアルコ−ル、ポリビニルピロリドン及びポリアクロレイン等のビニル系ポリマー等が挙げられる。
但し、研磨対象の基体が半導体集積回路用シリコン基板等の場合は、上記アルカリ金属、アルカリ土類金属、ハロゲン化物等による汚染は望ましくないため、上記ポリアクリル酸系ポリマー及び上記水溶性ポリマーは酸若しくはそのアンモニウム塩が望ましい。研磨対象の基体がガラス基板等である場合はその限りではない。その中でもペクチン酸、寒天、ポリリンゴ酸、ポリメタクリル酸、ポリアクリル酸アンモニウム塩、ポリアクリルアミド、ポリビニルアルコール及びポリビニルピロリドン、それらのエステル及びそれらのアンモニウム塩が好ましい。これらは1種類単独で、若しくは2種類以上混合して用いることができる。
上記ポリアクリル酸系ポリマー及び水溶性ポリマーの重量平均分子量は、好ましくは500〜100万、より好ましくは1000〜50万、特に好ましくは5000〜20万、最も好ましくは1万〜15万であることが最も好ましい。但し、本発明における重量平均分子量はゲルパーミエーションクロマトグラフィーにより測定し、ポリアクリル酸換算した値を使用したものである。
本発明の金属用研磨液において、金属酸化剤としての過酸化水素の含有量を金属用研磨液質量(総量)に対して12〜30質量%とすることが重要であり、前記含有量に設定することにより、良好な研磨速度を保ちながら、被研磨面の優れた平坦性を実現できる。前記過酸化水素の含有量が10質量%であれば被研磨面の十分な平坦性が得られやすい傾向があるが、12質量%以上であればより確実に平坦性を得ることができる。30質量%以下であれば場合は、金属、特に銅の研磨速度を充分に得ることができる。前記過酸化水素の含有量は、平坦性の観点から下限を12質量%とすることが好ましく、14質量%とすることがより好ましい。また、良好な研磨速度を得る点で、上限としては、30質量%が好ましく、25質量%がより好ましく、23質量%が特に好ましい。被研磨面の平坦性と研磨速度の両立の観点から、12〜25質量%であることが好ましく、12〜23質量%であることがより好ましい。なお、本発明に於いて過酸化水素の濃度とは、研磨液中に含まれる過酸化水素そのものの量を示し、過酸化水素水の量ではない。例えば、一般的に販売されている30質量%の過酸化水素水を研磨液の30質量%添加した研磨液において、過酸化水素の量は30質量%×30質量%=9質量%と計算される。
本発明において、酸化金属溶解剤の含有量は、金属用研磨液質量(総量)に対して、好ましくは0.001〜10質量%、より好ましくは0.01〜5質量%である。前記酸化金属溶解剤の含有量を前記範囲に調整することにより良好な研磨速度を保ちながら優れた表面平坦性を実現できる。
本発明において、金属防食剤の含有量は、金属用研磨液質量(総量)に対して、好ましくは0.001〜10質量%、より好ましくは0.01〜5質量%、特に好ましくは0.02〜2.0質量%である。前記金属防食剤の含有量を前記範囲に調整することにより良好な研磨速度を保ちながら優れた表面平坦性を実現できる。
本発明において、ポリアクリル酸系ポリマーの含有量は、金属用研磨液質量(総量)に対して、好ましくは0.001〜10質量%、より好ましくは0.01〜5質量%、特に好ましくは0.02〜2.0質量%である。前記ポリアクリル酸系ポリマーの含有量を前記範囲に調整することにより良好な研磨速度を保ちながら優れた表面平坦性を実現できる。
その他の水溶性ポリマーを併用する場合は、ポリアクリル酸系ポリマーと水溶性ポリマーとの合計含有量で0.01〜5質量%とすることが好ましい。
その他の水溶性ポリマーを併用する場合は、ポリアクリル酸系ポリマーと水溶性ポリマーとの合計含有量で0.01〜5質量%とすることが好ましい。
本発明の金属用研磨液は砥粒を含有することができる。砥粒としては、例えば、シリカ、アルミナ、ジルコニア、セリア、チタニア、ゲルマニア、炭化ケイ素等の無機物研磨粒子、ポリスチレン、ポリアクリル、ポリ塩化ビニル等の有機物研磨粒子が挙げられる。これらのなかでも、シリカ、アルミナ、ジルコニア、セリア、チタニア、ゲルマニアが好ましく、特に、シリカまたはアルミナが特に好ましい。シリカまたはアルミナのなかでも、研磨液中での分散安定性が良く、CMPにより発生する研磨傷(スクラッチ)の発生数の少ない、コロイダルシリカまたはコロイダルアルミナが好ましい。これら砥粒は1種類単独で又は2種類以上混合して用いることができる。
コロイダルシリカはシリコンアルコキシドの加水分解又は珪酸ナトリウムのイオン交換による公知の製造方法により製造することができ、粒径制御性やアルカリ金属不純物の点で、テトラメトキシシラン又はテトラエトキシシラン等のシリコンアルコキシドを加水分解する方法が最も利用される。また、コロイダルアルミナは硝酸アルミニウムの加水分解による公知の製造方法により製造することができる。
本発明において、砥粒の含有量は、金属用研磨液質量(総量)に対して、好ましくは0.01〜3質量%、より好ましくは0.05〜2質量%である。前記砥粒の含有量を前記範囲に設定することにより良好な研磨速度と平坦性を両立することができる。
本発明の金属用研磨液には、上述した材料のほかに、アルコール等の有機溶媒、界面活性剤、ビクトリアピュアブルー等の染料、フタロシアニングリーン等の顔料等の着色剤を含有させてもよい。
本発明の金属用研磨液には、上述した材料のほかに、アルコール等の有機溶媒、界面活性剤、ビクトリアピュアブルー等の染料、フタロシアニングリーン等の顔料等の着色剤を含有させてもよい。
本発明の金属用研磨液は、酸化金属溶解剤、金属防食材、ポリアクリル酸系ポリマー、過酸化水素及び水を含有してなる研磨液であるが、該研磨液をそのまま保管し使用してもよい。また、酸化金属溶解剤、金属防食材及び水を含有してなる金属用研磨液材料として保管し、研磨時に該金属用研磨液材料と過酸化水素や水を適宜配合して使用してもよく、この場合、ポリアクリル酸系ポリマーはいつ添加しても構わない。つまり、研磨時の金属用研磨液が、酸化金属溶解剤、金属防食材、ポリアクリル酸系ポリマー、過酸化水素及び水を含有していれば良い。
本発明の研磨方法は、研磨定盤の研磨布上に本発明の金属用研磨液を供給しながら、被研磨膜を有する基板(研磨前)を研磨布に押圧した状態で研磨定盤と基板を相対的に動かすことによって被研磨膜を研磨してパターン配線基板を得る研磨方法である。
また、本発明の研磨方法は、研磨定盤の研磨布上に本発明の金属用研磨液材料と金属の酸化剤とを供給しながら、被研磨膜を有する基板を研磨布に押圧した状態で研磨定盤と基板を相対的に動かすことによって被研磨膜を研磨する研磨方法である。
また、本発明の研磨方法は、研磨定盤の研磨布上に本発明の金属用研磨液材料と金属の酸化剤と水とを供給しながら、被研磨膜を有する基板を研磨布に押圧した状態で研磨定盤と基板を相対的に動かすことによって被研磨膜を研磨する研磨方法である。
また、本発明の研磨方法は、本発明の金属用研磨液のうち、過酸化水素あるいは過酸化水素と水とだけ別にして、金属用研磨液材料を混合しておき、該金属用研磨液材料と過酸化水素(あるいは過酸化水素と水)とを研磨定盤の研磨布上に供給しながら、被研磨膜を有する基板を研磨布に押圧した状態で研磨定盤と基板を相対的に動かすことによって被研磨膜を研磨してもよい。
また、本発明の研磨方法は、研磨定盤の研磨布上に本発明の金属用研磨液材料と金属の酸化剤と水とを供給しながら、被研磨膜を有する基板を研磨布に押圧した状態で研磨定盤と基板を相対的に動かすことによって被研磨膜を研磨する研磨方法である。
また、本発明の研磨方法は、本発明の金属用研磨液のうち、過酸化水素あるいは過酸化水素と水とだけ別にして、金属用研磨液材料を混合しておき、該金属用研磨液材料と過酸化水素(あるいは過酸化水素と水)とを研磨定盤の研磨布上に供給しながら、被研磨膜を有する基板を研磨布に押圧した状態で研磨定盤と基板を相対的に動かすことによって被研磨膜を研磨してもよい。
本発明の研磨方法を適用する被研磨膜は、通常、金属を含み、その金属としては、例えば、銅、銅合金、銅の酸化物、銅合金の酸化物、タングステン、窒化タングステン、タングステン合金等のタングステン化合物、チタン、窒化チタン、チタン合金等のチタン化合物、タンタル、窒化タンタル、タンタル合金等のタンタル化合物等が挙げられる。これらのなかでも銅、銅合金、銅の酸化物、銅合金の酸化物等が好ましい。これら被研磨膜は公知のスパッタ法、メッキ法により成膜された金属膜を使用できる。
研磨する装置としては、研磨される基板を保持するホルダと、回転数が変更可能なモータ等に接続し、研磨布を貼り付けられる研磨定盤とを有する一般的な研磨装置が使用できる。研磨布としては、一般的な不織布、発泡ポリウレタン、多孔質フッ素樹脂等が使用でき、特に制限がない。研磨条件は特に制限がないが、研磨定盤の回転速度は基板が飛び出さないように200rpm以下の低回転が好ましい。被研磨膜を有する基板の研磨布への押し付け圧力は1〜100KPaであることが好ましく、研磨速度の被研磨面内均一性及びパターンの平坦性を満足するためには、5〜50KPaであることがより好ましい。
研磨している間、研磨布には金属用研磨液をポンプ等で連続的に供給する。この供給量に制限はないが、研磨布の表面が常に研磨液で覆われていることが好ましい。
研磨終了後の基板は、流水中でよく洗浄後、スピンドライ等を用いて基板上に付着した水滴を払い落としてから乾燥させることが好ましい。
研磨終了後の基板は、流水中でよく洗浄後、スピンドライ等を用いて基板上に付着した水滴を払い落としてから乾燥させることが好ましい。
以下、本発明の好適な実施例についてさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
(実施例1〜9、比較例1〜11)
<研磨液作製方法>
表2〜表4に示すような配合で材料を混合し、実施例1〜9及び比較例1〜11で用いる金属用研磨液を作製した。なお、表2〜表4中の%は、質量%である。この金属用研磨液を用いて下記の研磨条件で研磨を行った。
<研磨液作製方法>
表2〜表4に示すような配合で材料を混合し、実施例1〜9及び比較例1〜11で用いる金属用研磨液を作製した。なお、表2〜表4中の%は、質量%である。この金属用研磨液を用いて下記の研磨条件で研磨を行った。
<研磨条件>
ブランケット基板:厚さ1600nmの銅膜を形成したシリコン基板。
パターン基板:トリメチルシランを出発原料としてCVD法で成膜されたオルガノシリケート、または二酸化ケイ素中に公知の方法を用いて深さ0.5μmの溝を形成して、公知のスパッタ法によってバリア層として厚さ20nmのタンタル膜を形成し、同様にスパッタ法により銅膜を0.1μm及びメッキ法により銅膜を1.0μm形成した基板を公知の方法で突出した銅膜だけ研磨した基板。
研磨布:IC1000(ロデ−ル社製)
研磨圧力:2psi(13.7MPa)
基体と研磨定盤との相対速度:36m/min
研磨液の供給量:200ml/min
ブランケット基板:厚さ1600nmの銅膜を形成したシリコン基板。
パターン基板:トリメチルシランを出発原料としてCVD法で成膜されたオルガノシリケート、または二酸化ケイ素中に公知の方法を用いて深さ0.5μmの溝を形成して、公知のスパッタ法によってバリア層として厚さ20nmのタンタル膜を形成し、同様にスパッタ法により銅膜を0.1μm及びメッキ法により銅膜を1.0μm形成した基板を公知の方法で突出した銅膜だけ研磨した基板。
研磨布:IC1000(ロデ−ル社製)
研磨圧力:2psi(13.7MPa)
基体と研磨定盤との相対速度:36m/min
研磨液の供給量:200ml/min
<評価項目>
研磨速度:上記ブランケット基板を上記金属用研磨液で60秒研磨し、研磨前後の膜厚差を電気抵抗値から換算して求めた。
平坦性(ディッシング量):上記パターン基板を上記金属用研磨液で180秒間研磨を行った。パターン基板に形成された幅100μmの配線金属部幅、幅100μmの絶縁膜部が交互に並んだストライプ状パターン部の表面形状を、触針式段差計により測定し、絶縁膜部に対する配線金属部の膜減り量を求め、平坦性の指標とした。
銅残渣:上記金属用研磨液で180秒間研磨を行った後の上記パターン基板を目視又は金属顕微鏡により基板上の銅残渣の有無を観察した。
上記の方法により測定された実施例1〜9及び比較例1〜11における各種特性を表2〜表4に示した。
研磨速度:上記ブランケット基板を上記金属用研磨液で60秒研磨し、研磨前後の膜厚差を電気抵抗値から換算して求めた。
平坦性(ディッシング量):上記パターン基板を上記金属用研磨液で180秒間研磨を行った。パターン基板に形成された幅100μmの配線金属部幅、幅100μmの絶縁膜部が交互に並んだストライプ状パターン部の表面形状を、触針式段差計により測定し、絶縁膜部に対する配線金属部の膜減り量を求め、平坦性の指標とした。
銅残渣:上記金属用研磨液で180秒間研磨を行った後の上記パターン基板を目視又は金属顕微鏡により基板上の銅残渣の有無を観察した。
上記の方法により測定された実施例1〜9及び比較例1〜11における各種特性を表2〜表4に示した。
本発明の金属用研磨液は、良好な研磨速度を保ちながら被研磨面の優れた平坦性を実現できる。これに対して、過酸化水素の含有量が金属用研磨液質量に対して12質量%未満の比較例1〜8は被研磨面の平坦性が劣ることが分る。また、過酸化水素の含有量が金属用研磨液質量に対して30質量%を超える比較例9は、金属、特に銅の研磨速度が十分に得られないことが分かる。ポリアクリル酸系ポリマーを添加していない比較例10は、研磨速度が低下することがわかる。金属防食剤を展開していない比較例11は、被研磨面の平坦性が悪く、研磨速度も低下することがわかる。
本発明により、良好な研磨速度を保ちながら、被研磨面の優れた平坦性を実現できる金属用研磨液、及び被研磨膜の研磨方法を提供することが可能となる。
Claims (6)
- 酸化金属溶解剤、金属防食剤、ポリアクリル酸系ポリマー、金属酸化剤及び水を含有してなり、
前記金属酸化剤は過酸化水素であり、
前記過酸化水素の含有量が、金属用研磨液質量に対して12〜30質量%である金属用研磨液。 - 前記酸化金属溶解剤の含有量が、金属用研磨液質量に対して0.001〜10質量%である請求項1に記載の金属用研磨液。
- 前記金属防食剤の含有量が、金属用研磨液質量に対して0.001〜10質量%である請求項1又は2に記載の金属用研磨液。
- 前記ポリアクリル酸系ポリマーが、ポリアクリル酸アンモニウム塩である請求項1〜3のいずれか一項に記載の金属用研磨液。
- 砥粒を含有する請求項1〜4のいずれか一項に記載の金属用研磨液に関する。
- 研磨定盤の研磨布上に請求項1〜5のいずれか一項に記載の金属用研磨液を供給しながら、被研磨膜を有する基板を研磨布に押圧した状態で研磨定盤と研磨前の基板を相対的に動かして被研磨膜を研磨して、基板を得ることを特徴とする被研磨膜の研磨方法。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007058533 | 2007-03-08 | ||
JP2007058533 | 2007-03-08 | ||
JP2007126740 | 2007-05-11 | ||
JP2007126740 | 2007-05-11 | ||
PCT/JP2008/053672 WO2008108301A1 (ja) | 2007-03-08 | 2008-02-29 | 金属用研磨液及び被研磨膜の研磨方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2008108301A1 true JPWO2008108301A1 (ja) | 2010-06-17 |
Family
ID=39738183
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009502562A Pending JPWO2008108301A1 (ja) | 2007-03-08 | 2008-02-29 | 金属用研磨液及び被研磨膜の研磨方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPWO2008108301A1 (ja) |
KR (1) | KR20090122182A (ja) |
TW (1) | TW200914590A (ja) |
WO (1) | WO2008108301A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SG11201404531UA (en) | 2012-02-01 | 2014-09-26 | Hitachi Chemical Co Ltd | Polishing liquid for metal and polishing method |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001127019A (ja) * | 1999-10-29 | 2001-05-11 | Hitachi Chem Co Ltd | 金属用研磨液及びそれを用いた基板の研磨方法 |
JP2004319759A (ja) * | 2003-04-16 | 2004-11-11 | Hitachi Chem Co Ltd | 金属用研磨液及び研磨方法 |
JP5036955B2 (ja) * | 2003-12-19 | 2012-09-26 | ニッタ・ハース株式会社 | 金属膜研磨組成物および金属膜の研磨方法 |
-
2008
- 2008-02-29 JP JP2009502562A patent/JPWO2008108301A1/ja active Pending
- 2008-02-29 WO PCT/JP2008/053672 patent/WO2008108301A1/ja active Application Filing
- 2008-02-29 KR KR1020097014240A patent/KR20090122182A/ko not_active Application Discontinuation
- 2008-03-05 TW TW097107728A patent/TW200914590A/zh unknown
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Publication number | Publication date |
---|---|
TW200914590A (en) | 2009-04-01 |
WO2008108301A1 (ja) | 2008-09-12 |
KR20090122182A (ko) | 2009-11-26 |
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