JP5389794B2

JP5389794B2 - 薄く脆い部品の包装方法

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Publication number: JP5389794B2
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Inventors: クリストファーコラド
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Description

（関連出願の相互参照）
本出願は、２００７年７月５日出願の米国仮特許出願第６０／９５８，３９４号の優先権を、米国特許法第１１９条（ｅ）に基づいて請求し、該出願の開示は引用することによりここに組み込まれるものとする。
本発明は、取り扱い又は出荷の際に脆い、薄い部品あるいは製品の包装分野に関する。

従来、薄くかつ／又は脆い部品を出荷するための包装には様々なものがあるが、そのような包装体を簡単かつ安全に出荷でき、かつ出荷後に包装から該部品を簡単に取り出せるような非常に薄く脆い部品を包装することの必要性に対処した包装方法は、本技術分野においてなお必要とされている。

従来の方法は、包装された部品を保護するために必要とされる十分な構造的安全性及び／又は適切な強度を提供するものではない。また、包装された部品を傷めることなく出荷後に包装から取り出すのも困難である。更に、汚染が問題となる産業界において使用される部品に関して、従来の包装では満足な状態である「クリーンルーム」などの高純度規格を今日まで達成していない。

薄くかつ／又は脆い部品を出荷する産業界では、出荷、取り扱い、又は使用のために取り出された部品の損傷の約７５％以上が部品の包装、出荷、取り扱いの際に起こっている。本発明は、半導体製造工程に使用される薄い部品を含む、薄くかつ／又は脆い部品及び構成品を傷つけることなく保管、出荷、取り出す方法を提供することによって、この問題を解決しようとするものである。

本発明は、部品をラミネートする方法を提供し、該方法は、（ａ）ラミネート可能な集合体を、（ｉ）第１の表面、第２の表面及び周辺端部を有するラミネート可能な材料の第１のシートを用意し、（ｉｉ）ラミネート可能な材料の第１のシートの第２の表面を非接着層の第１の表面に接触させ、（ｉｉｉ）包装する部品を該部品の第１の表面が非接着層の第２の表面に接触するように、非接着層の第１の表面の反対側の該第１の非接着層の第２の表面上に置き、（ｉｖ）該部品の第１の表面の反対側の該部品の第２の表面を第２の非接着層の第１の表面と接触させ、（ｖ）第１の表面、第２の表面及び周辺端部を有するラミネート可能な材料の第２のシートを、ラミネート可能な材料の第１のシートの周辺端部とラミネート可能な材料の第２のシートの周辺端部とが概して揃うように配置して、ラミネート可能な材料の第１のシートと第２のシートとをその外部表面として有するラミネート可能な集合体を形成して作製し、（ｂ）ラミネート可能な材料の第１及び第２のシートの少なくとも周辺端部をラミネートして該部品を包み込んだラミネート包装体を形成することを有する。

本発明は更にラミネート包装された部品を提供し、該ラミネート包装された部品は、（ａ）少なくとも周辺端部の周りを密封したラミネート材料の第１及び第２のシートであって、それぞれ第１の表面と第２の表面を有し、ラミネート材料の第１のシートの第１の表面とラミネート材料の第２のシートの第２の表面とが包装された部品の外部表面を形成しているラミネート材料の第１及び第２のシート、（ｂ）第１の表面と第２の表面を有する第１の非接着層であって、該第１の非接着層の第１の表面はラミネート材料の第１のシートの第２の表面に接触している第１の非接着層、（ｃ）第１の表面と第２の表面を有する第２の非接着層であって、該第２の非接着層の第２の表面はラミネート材料の第２のシートの第１の表面に接触している第２の非接着層、（ｄ）第１の表面と第２の表面を有する部品であって、該部品の第１の表面は第１の非接着層の第２の表面と接触し、該部品の第２の表面は第２の非接着層の第１の表面に接触している部品、を有する。

更に、ここで、薄く脆い部品の損傷を最小限に抑えて輸送する方法を説明する。該方法は、（ａ）第１の場所で薄い部品の周りをラミネート包装し、（ｂ）第２の場所へラミネート包装体を輸送することを有する。好ましい実施形態では、該方法の工程（ａ）は更に（ｉ）第１の表面、第２の表面及び周辺端部を有するラミネート可能な材料の第１のシートを用意し、ラミネート可能な材料の第１のシートの第２の表面を非接着層の第１の表面に接触させ、包装する部品の第１の表面が非接着層の第２の表面に接触するように非接着層の第１の表面の反対側の第１の非接着層の第２の表面に該部品を置き、該部品の第１の表面の反対側である該部品の第２の表面を第２の非接着層の第１の表面に接触させ、第１の表面、第２の表面及び周辺端部を有するラミネート可能な材料の第２のシートを、ラミネート可能な材料の第１のシートの周辺端部とラミネート可能な材料の第２のシートの周辺端部とが揃うように配置して、ラミネート可能な材料の第１のシートと第２のシートとをその外部表面として有するラミネート可能な集合体を形成し、（ｉｉ）ラミネート可能な材料の第１及び第２のシートの少なくとも周辺端部をラミネートして該部品を包み込んだラミネート包装体を形成することを有する。

前述の概要は、以下に示す発明の実施形態の詳細な説明と同様に、添付の図面と併せて読むことによって一層よく理解される。しかし、当然のことながら、本発明は図面に示されているその配置及び手段に限定されない。

薄く脆い部品を従来の方法で出荷した後の損傷部品の上面正面写真図である。薄く脆い部品を従来の方法で出荷した後の第２の損傷部品の上面正面写真図である。本発明による薄く脆い部品を包装する実施形態に従って出荷用に包装された数個の薄く脆い部品の上面正面写真図である。本発明による包装方法の実施形態における第１段階に従ってラミネートのために部品を受け取るために準備されたラミネート層及びシリコーンシートの上面正面写真図である。本発明による包装方法の実施形態における第２段階に従ってラミネート前にシリコーンシート上に置かれた部品の上面正面写真図である。本発明による包装方法の実施形態における第３段階に従って、図４において配置された部品上に更に配置されたシリコーンシートの上面正面写真図である。本発明による包装方法の実施形態における第４段階に従って、図５において更に配置されたシリコーンシートを覆うように配置されたラミネートシートの上面正面写真図である。本発明による包装方法の実施形態における第５段階に従って熱ラミネートされた図６の集合体と、該ラミネートされた部品の隣に置かれた本発明に従って包装できる別の部品の上面正面写真図である。線７ａ−７ａに沿って取られた包装集合体１０の断面図である。本発明に従って包装できる別の部品の上面正面写真図である。可撓性の保護包装体を示して説明される方法に従って包装された部品の透視写真図である。薄い包装の特質を示す包装された部品の可撓性を示す他の透視図である。

様々な大きさの非常に薄く脆い部品を包装できることは、出荷後の損傷により使用できなくなった部品の廃棄率が大きくなることによる製造コストの著しい増加のように、製品そのものの成否を左右する。本明細書で説明される方法は、薄くかつ／又は平らな部品及び／又は脆い部品を成功裏に包装できる。ここで、薄いとは、例えば、成功裏に包装されるべき部品を横切るように測定された厚さが約０．００２５〜０．０７６ｃｍ（約０．００１インチ〜約０．０３０インチ）程度の薄さである。しかし、当然のことながら、それ以外の厚さであったり構成に変更があったりしても、大きさや構成に基づいて適応可能であれば、該方法は他のタイプの脆い部品にも使用できる。しかし、本実施例に説明される好ましい実施形態によれば、平らでかつ／あるいは薄い部品は特にへこみ、しわ、汚れ及び変形に影響を受けやすいことが知られている。不良な包装により損傷を受けた先行技術による部品を図１及び１Ａに示す。本発明によれば、そのような部品を損傷させることなく、通常の取り扱い、出荷及び保管ができるように包装できる。

本明細書で説明する包装方法は、簡単に開くことができ、かつ部品を容易に取り出すことができる多様な剛性（すなわち、剛体又は半剛体）のケースを提供する。図９及び１０に示されるように、本明細書で説明される方法に従って包装され、集合体１０のような集合体内に包含された部品は、全体として薄い包装構成を有する薄い部品のための可撓性の保護包装体を提供する。本明細書で説明される方法に従って形成される、通常、集合包装体１０として示される完成した包装体を図２に示す。該方法は、ポリマーを含浸できる薄膜もしくはパーチメントを使用する。その場合、シリコーン系又はＰＴＦＥ系ポリマーを含浸させることが好ましい。好ましくは、該方法は、部品を容易に取り出せるように、非接着方法により部品を包装することが可能な、シリコーン又は類似の保護物質を使用する。

本明細書で説明する部品のラミネート方法は、まずラミネート可能な集合体を準備することを有する。図２に示され、かつ本明細書では通常１０として参照される集合体は、まず、図３、４及び７ａに示されるように、第１の表面１５、第２の表面１４及び周辺端部１６を有するラミネート可能な材料の第１のシート１２を供給して作製される。次いで、第１のラミネート可能なシート１２の第２の表面１４を、第１の非接着層１８の第１の表面１７と接触させる。部品２３の第１の表面が非接着層１８の第２の表面２０に接触するように部品２２を第１の非接着層１８の第２の表面２０（非接着層の第１の表面の反対側）上に置く。部品２２の第２の表面２４（部品の第１の表面の反対側）を、図５に示されるように、第２の非接着層２６の第１の表面２５と接触させる。

次に、第１の表面３０（図３参照）及び第２の表面３２（図６参照）を有するラミネート可能な材料の第２のシート２８を、第２のシート２８の周辺端部３４を概して、好ましくは実質的に、更に好ましくは完全に第１のシート１２の周辺端部１６に揃えるように配置し、ラミネート可能な材料の第１及び第２のシート１２、２８が外部表面を形成するようにラミネート可能な集合体１０を形成する。第１及び第２のシート１２、２８を外側周辺端部１６、３４に沿ってラミネートし、部品を包み込むようにラミネート包装体１０を形成する。

図示されるように、ラミネート可能な材料の第１及び第２のシート１２、２８は、２枚の独立したシートであっても、又はラミネート可能な集合体を形成する前に図２に示されるようにその少なくとも一端に沿って接合し、簡単に折り重ねることもできるものであってもよい。

ここで言及したように準備した後、ラミネート包装された部品１０はラミネート材料の第１及び第２のシート１２、２８の周辺端部１６、３４の周りを密封して形成される。ラミネート材料の第１及び第２のシートは、前述したようにそれぞれ第１の表面と第２の表面を有し、ラミネート材料の第１のシートの第１の表面とラミネート材料の第２のシートの第２の表面が包装された部品１０の外部表面となる。本明細書の他の部分で言及したように、第１の表面及び第２の表面を有する第１及び第２の非接着層１８、２６は、第１の非接着層１８の第１の表面がラミネート材料の第１のシート１２の第２の表面に接触し、第２の非接着層２６の第２の表面がラミネート材料の第２のシート２８の第１の表面に接触する構造を構成する。第１の表面と第２の表面２４を有する部品２２は非接着層１８、２６の間に置かれる。

該方法では、まず、図３に示すようなシート形のラミネート可能な高分子材料、例えば、オレフィン（ポリオレフィン、ポリプロピレン、ポリエチレン、それらの共ポリマー又は混合物）又はその他の同様のラミネート可能なプラスチック材料を準備する。その他の適切なラミネート材料としては、オレフィン系材料に加え、ポリエステル、ポリ塩化ビニル、ポリアミド、フッ素ポリマー（例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、ＴＦＥ／ヘキサフルオロプロピレン、ＴＦＥ／ペルフルオロアルキルビニルエーテル及びフッ素エラストマー材料を形成することができるそれらの硬化型ポリマーなどの溶融加工可能な共ポリマーを形成するテトラフルオロエチレン（ＴＦＥ）と他のモノマーとのポリマーを挙げることができる。これらのラミネート可能な材料は、直接熱接合、接着接合、（中間熱可塑性溶接を使用する）熱溶接、又は同様の方法により周辺端部を熱接着密封又は圧着によりラミネートしてよい。接着剤がラミネート可能な材料に含まれ、及び／又は少なくとも周辺端部に置かれた場合、接着剤はラミネート可能な材料に適合して該材料を接着することができる限り、いかなる公知の温度及び／又は圧力感受性接着剤であってもよい。シート全面に既に接着剤が付されたラミネート材料も利用できるが、シート全面が接着される必要はなく、少なくともシートの周辺端部の周りを最小限に接着するだけでよい。しかし、当然のことながら、標準的ラミネート技術に従ってシート全面を接着することもできるが、本明細書の他の箇所で説明したように、ラミネート可能な集合体の非接着部の介在により部品自身に何かが接着することを避けることができる。そのように、使用者が出荷の完全性及び／又は取り扱い及び取り出しの容易さにとって、周辺端部に沿ってのみ接着するラミネートにするか、シートの全領域と周辺端部に沿って接着するラミネートにするかを決めることができる。

上記したラミネート可能な材料に加えて、ラミネート可能な材料の表面上の装飾図案及び／又は部品の標識化及び／又は出所表示、特許番号表示なども本発明の範囲である。そのような修飾図案は、修飾フィルムラミネートシートあるいは収縮包装などを作製するような技術分野において公知又は開発されたいずれの修飾図案技術に従って盛り込まれてもよい。標識化は圧力及び／又は温度感受性接着剤により十分に又は簡単に接着されたラミネートに組み込むことができる。

ラミネート可能なシート材料は、完成したラミネート材料の前面及び背面として働くことができる単一の要素であることが好ましい。好ましくは、ラミネート可能な材料は剛体又は半剛体の部品として出荷するのに必要な構造的完全性を提供できるだけの十分な厚さを有するが、コストがかからない出荷とラミネートを通して部品の状態の可視性を提供できるだけの薄さをも有する。好ましくは、ラミネート可能なシート材料の横断シート厚さは、約０．００２５ｃｍ（約０．００１インチ）から約０．０２５ｃｍ（約０．０１０インチ）程度である。更に、ラミネート可能なシートはラミネートを通して部品が見えるように透明又は半透明であることが更に好ましい。このように、図３に示すように折り重ねることができる単一シートを使用することができ、又はラミネート可能なシート材料の別々の２枚又は別々の２つのロールを使用してもよい。

ラミネート可能なポリマー材料を準備したら、ポリマー含浸非接着膜もしくはパーチメントを、ラミネート用の縁を残してラミネート可能なシート材上に、好ましくは図３に示されるように仕上がった部品の前面及び／又は背面となるシートのほぼ中心部分に位置するように配置する。ポリマー含浸非接着膜もしくはパーチメント又は他の類似の非接着材料は好ましくは薄いシート又は膜の形状を有し、最も好ましくはシリコーン含浸パーチメント紙である。パーチメントはその一方の面をラミネート可能なシート材に他方の面を包装される部品に接するように構成される。また、パーチメント材は少なくとも部品の状態がなお確かめられるように半透明であることが好ましいが、必須の特質ではない。

次いで、部品を図４に示すようにパーチメント材上に置く。当然のことながら、該部品は図示されるような薄いガスケット材であってもよいが、保護包装体を必要とするいかなる同様の部品又は脆い、及び／又は薄い、及び／又は平らな部品であってもよい。部品は、部品と接触する（すなわち、ラミネート可能なシートに接触している側の反対側）パーチメントの面のほぼ中央に置くことが好ましい。次いで、部品の反対側にもう一枚のパーチメントを、図５に示すように少なくとも２枚のパーチメントの間に部品が位置するような層構造が形成されるように載せる。パーチメントと部品の層は、ラミネート可能なシート材の縁がむき出しになって残るように置かれる。本明細書に示した構造では、単一の部品を個々に包装する好ましい実施形態により本発明を説明しているが、複数枚のパーチメント間に複数個の部品（すなわち、少なくとも第２の部品と少なくとも３枚のパーチメント）をラミネート可能なシート／パーチメント／部品／パーチメント／部品／パーチメント／ラミネート可能なシートのような単一のラミネート内に含むもの、及び／又はラミネート可能なシート／パーチメント／部品／パーチメント／ラミネート可能なシート／パーチメント／部品／パーチメント／ラミネート可能なシートなどのように多重のラミネート（すなわち、少なくとも前述したような第２の集合体を形成し、第１の集合体にラミネートする）が多重層の単一の多重ラミネート包装にラミネート可能なシートで内部密封されたものも本発明の範囲内である。そのように集合体１０を準備した後、図７及び８に示すように他の部品を本明細書で言及したように別の集合体を用いて更にラミネートしてもよい。

好ましい実施形態では、２枚のパーチメント内に部品を封入した後、もう一枚のラミネート可能なシート材の第２の層を集合構造体の反対側になるように第２のパーチメント層上に配置してラミネートの反対側の面を形成する。図６に示すように、第２のラミネート可能なシート材は、全体の集合構造体がパーチメント層と部品をラミネート可能なシートのほぼ中央に有するように、第１のラミネート可能なシート材に揃えて置かれることが好ましい。

集合構造体全体を本技術分野で公知の熱接着又は他のラミネート加工機内に置き、構造体をラミネートして一体包装とする。ラミネート加工機は、使用されるラミネート可能なシート材のタイプによって温度を変えることができるが、好ましくは約１０７℃〜約１３５℃（約２２５°Ｆ〜約２７５°Ｆ）に設定される。

包装が完了すれば、部品を傷めることなく出荷及び取り扱いが可能である。目的地への到着又は他の理由で包装から部品を取り出す必要がある場合には、使用者は単にラミネートの端を開いてパーチメント紙の端を露出させるだけでよい。そうすれば集合体は簡単に開けることができ、非接着性の環境であるラミネート内から簡単に部品を取り出すことができる。更に、本技術分野で公知又は開発される方法に従うミシン目、イージーオープン蓋又は他のラミネート開口方法も本発明の範囲内である。

本発明は、部品の目的又は機能を損なうようなへこみ、ねじれ、曲がり、しわ、汚れや指紋がつきやすい表面又はその他の表面の損傷を受けやすい非常に薄い、簡単に損傷され、傷つきやすい部品に対して非常に有用である。部品の好適な例の一つは、約０．００２５〜約０．０１２７ｃｍ（約０．００１〜約０．００５インチ）の厚さ及び約０．００１２７〜０．００７６ｃｍ（約０．０００５〜０．００３インチ）のグラファイトの塗膜を有し、ホイルの両側に適用されるアルミニウム箔であるＱＰａｄ２材製のガスケットである。得られるガスケット材は約０．００５〜約０．０２５ｃｍ（約０．００２〜約０．０１０インチ）の厚みを有し、グラファイト塗膜のために非常に汚れやすい。更に、内部のアルミニウム箔のために、容易にねじれやしわが起こり易い。このような損傷は用途上の該材料の性能に影響する。これらのガスケットはプラズマ化学蒸着反応器などの半導体処理装置に使用することができる。

清浄さが重要な半導体及びその他の産業界における本発明の顕著な利点の一つは、内容物を無汚染（及び／又はクリーンルーム対応及び／又は殺菌された）状態に保つ密封状態の包装である。本発明は部品を「クリーンルーム」対応にすることを包含する。ついで、部品の無汚染状態を保ちかつ損傷を避けながら、部品を第１の場所から第２の場所に輸送できる。

従来の輸送方法において使用される包装は、保護機能が不十分なだけでなく、通常、クリーンルーム標準とはなっていない。本明細書に記載の包装は無菌環境下である第１の場所で用意することが可能である。本明細書で使用される「無汚染」とは、標準的な製造条件より清浄度が高い環境を指す。好ましい実施形態では、環境は実質的に無汚染（破片や汚染があったとしてもごく僅かであることを意味する）であり、最も好ましくは、環境は少なくとも本技術分野において公知である「クリーンルーム」標準程度である。そのように、本包装は、包装内の密封状態がそのような標準状態であるように無汚染で、殺菌度が高く及び／又はクリーンルーム環境内での部品の包装の組み立てに適用することができる。

手渡し、郵送、飛行機、トラック、船、鉄道あるいは製品を輸送する他のいずれかの方法で第２の場所に輸送した後、包装の内側は包装体内に密封されており、簡単かつ容易に除くことができるので、包装体は水及び／又は穏やかな石鹸又は溶剤で簡単に拭いて破片や汚染を除去することができ、無汚染、実質的に無汚染、又は殺菌環境下又はクリーンルーム環境下に開封することができる。そのような利点は、薬学、医学、航空宇宙学やその他の環境学など、清浄であることが重要である分野における、一般に輸送中に損傷しやすい薄くかつ／又は脆い部品の輸送用の包装としても有意義である。また、嵩張る包装体をより小さくすることになり、脆い複数の部品を１つの包装で輸送でき、経済的に輸送することが可能である。高い殺菌度が要求される場合には、何らかのガス及び／又は熱による殺菌方法により殺菌できるように包装体を融点が十分に高いラミネート可能な材料及び内容物で形成し、同様な環境下に投入する前に包装体を殺菌してもよい。

薄くかつ簡単に損傷されるが、厳密な用途のため正確な形状寸法が要求され、本明細書に記載の方法が役立つ他の材料としては、これらに限定されるわけではないが、ポリマー、金属、エラストマー及びファブリック(fabric)が挙げられる。

本発明により形成されたあらゆる包装体も本発明の範囲に包含される。そのような包装体は本発明に記載されたような部品を上述のように包み込んだラミネート構造を包含することができる。

上述の実施形態は、その広義の発明概念から逸脱することなく変更できることは当業者には明らかである。従って、当然のことながら、本発明は開示された特定の実施形態に制限されず、添付の請求項によって限定される本発明の精神と範囲内における変更を包含する。

Claims

部品をラミネートする方法であって、
（ａ）ラミネート可能な集合体を調製する工程であって、以下の工程、
（ｉ）第１の表面、第２の表面及び周辺端部を有するラミネート可能な材料の第１のシートを用意する工程、
（ｉｉ）ラミネート可能な材料の第１のシートの第２の表面を非接着層の第１の表面に接触させる工程、
（ｉｉｉ）包装する部品を該部品の第１の表面が非接着層の第２の表面に接触するように、非接着層の第１の表面の反対側の該第１の非接着層の第２の表面上に置く工程、
（ｉｖ）該部品の第１の表面の反対側の該部品の第２の表面を第２の非接着層の第１の表面と接触させる工程、及び
（ｖ）第１の表面、第２の表面及び周辺端部を有するラミネート可能な材料の第２のシートを、ラミネート可能な材料の第１のシートの周辺端部とラミネート可能な材料の第２のシートの周辺端部とが概して揃うように配置して、ラミネート可能な材料の第１のシートと第２のシートとをその外部表面として有するラミネート可能な集合体を形成する工程、
を有する工程、及び
（ｂ）ラミネート可能な材料の第１及び第２のシートの少なくとも周辺端部をラミネートして該部品を包み込んだラミネート包装体を形成する工程、
を有し、
該部品は、使用時に該ラミネート包装体の端を開いてそこから取り出されるものであることを特徴とする方法。
該ラミネート可能な材料の第１及び第２のシートが、ポリエステル、ポリ塩化ビニル、フッ素ポリマー系材料、オレフィン系材料又はこれらの組み合わせ若しくは共ポリマーからなる、請求項１に記載の方法。
該第１及び第２の非接着層が、ポリマー含浸材料である、請求項１に記載の方法。
該ポリマー含浸材料が、シリコーン含浸パーチメントである、請求項３に記載の方法。
該部品が、ガスケットである、請求項１に記載の方法。
該ガスケットが、金属ホイルガスケットである、請求項５に記載の方法。
該金属ホイルガスケットが、グラファイトで被覆されている、請求項６に記載の方法。
該ガスケットの厚さが、約０．００２〜約０．０１０である、請求項６に記載の方法。
工程（ａ）が工程（ａ）（ｉｖ）の後に
第２の部品を該第２の部品の第１の表面が第２の非接着層の第２の表面に接触するように配置し、第３の非接着層を該第３の非接着層の第１の表面が第２の部品の第１の表面の反対側である第２の部品の第２の表面に接触するように配置することを更に有する、請求項１に記載の方法。
第２のラミネート可能な集合体を形成するために工程（ａ）を繰り返し、工程（ｂ）が第１及び第２のラミネート可能な集合体それぞれの第１及び第２のラミネート可能なシートの外側の周辺端部をラミネートすることを更に有する、請求項１に記載の方法。
工程（ｂ）が、第１及び第２のラミネート可能なシートの表面全体に沿ってラミネートすることを更に有する、請求項１に記載の方法。
工程（ｂ）を約１０７〜１３５℃（約２２５°Ｆ〜約２７５°Ｆ）で周辺端部をラミネートできるだけ十分な時間行う、請求項１に記載の方法。
ラミネート包装された部品であって、
（ａ）少なくとも周辺端部の周りを密封したラミネート材料の第１及び第２のシートであって、それぞれ第１の表面と第２の表面を有し、ラミネート材料の第１のシートの第１の表面とラミネート材料の第２のシートの第２の表面とが包装された部品の外部表面を形成しているラミネート材料の第１及び第２のシート、
（ｂ）第１の表面と第２の表面を有する第１の非接着層であって、該第１の非接着層の第１の表面はラミネート材料の第１のシートの第２の表面に接触している第１の非接着層、（ｃ）第１の表面と第２の表面を有する第２の非接着層であって、該第２の非接着層の第２の表面はラミネート材料の第２のシートの第１の表面に接触している第２の非接着層、（ｄ）第１の表面と第２の表面を有する部品であって、該部品の第１の表面は第１の非接着層の第２の表面と接触し、該部品の第２の表面は第２の非接着層の第１の表面に接触している部品、
を有し、
該部品は、使用時に該ラミネート包装体の端を開いてそこから取り出されるものであることを特徴とする、ラミネート包装された部品。
該ラミネート材料が、ポリエステル、ポリ塩化ビニル、フッ素ポリマー系材料、オレフィン系材料又はこれらの組み合わせもしくは共ポリマーである、請求項１３に記載のラミネート包装された部品。
該部品が、金属ホイルである、請求項１３に記載のラミネート包装された部品。
該部品が、グラファイトで被覆されたアルミニウム箔を有するガスケットである、請求項１５に記載のラミネート包装された部品。
該ガスケットの厚さが、約０．００２〜約０．０１０である、請求項１６に記載のラミネート包装された部品。
ラミネートシート材料の横断方向で測定された厚さが、約０．００２５〜０．０２５ｃｍ（約０．００１インチ〜約０．０１０インチ）である、請求項１５に記載のラミネート包装された部品。
薄く、脆い部品の損傷を最小限に抑えて輸送する方法であって、
（ａ）第１の場所で薄い部品の周りにラミネート包装体を作製する工程、
（ｂ）該ラミネート包装体を第２の場所に輸送する工程、
を有し、
該工程（ａ）は、更に、
（ｉ）ラミネート可能な集合体を形成する工程であって、以下の工程、
第１の表面、第２の表面及び周辺端部を有するラミネート可能な材料の第１のシートを準備する工程、
ラミネート可能な材料の第１のシートの第２の表面を非接着層の第１の表面に接触させる工程、
包装する部品の第１の表面が非接着層の第２の表面に接触するように、非接着層の第１の表面の反対側の第１の非接着層の第２の表面に該部品を置く工程、
該部品の第１の表面の反対側である該部品の第２の表面を第２の非接着層の第１の表面に接触させる工程、
第１の表面、第２の表面及び周辺端部を有するラミネート可能な材料の第２のシートを、ラミネート可能な材料の第１のシートの周辺端部とラミネート可能な材料の第２のシートの周辺端部とが概して揃うように配置して、ラミネート可能な材料の第１のシートと第２のシートをその外部表面として有するラミネート可能な集合体を形成する工程、
を有する工程、及び
（ｉｉ）ラミネート可能な材料の第１及び第２のシートの少なくとも周辺端部をラミネートして該部品を包み込むラミネート包装体を形成する工程、
を有し、
該部品は、使用時に該ラミネート包装体の端を開いてそこから取り出されるものであることを特徴とする、輸送方法。
該部品を運送により移動させることを更に有する、請求項１９に記載の方法。
第１の場所が、実質的に清浄な環境を有する、請求項１９に記載の方法。
第２の場所が、クリーンルームである、請求項２１に記載の方法。
該部品が、ポリマー、金属、エラストマー及びファブリックからなる群から選択される物質を有する、請求項２２に記載の方法。
該部品が、半導体処理装置用のグラファイトで塗装されているアルミニウム箔ガスケットである、請求項２３に記載の方法。