JP5387484B2 - チップ部品の製造方法 - Google Patents
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Description
内部電極が形成された素子本体を用意する工程と、
前記素子本体の表面に絶縁膜を形成する工程と、
前記絶縁膜が形成された前記素子本体の端面に端子電極を形成する工程とを有するチップ型電子部品の製造方法であって、
前記絶縁膜を形成する際に、低圧力容器内に配置されたバレルに前記素子本体を投入し、前記バレルの回転軸を中心に前記バレルを回転させながら、前記バレルを揺動させることを特徴とする。
以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。まず、本発明の一実施形態に係る方法により製造されるチップ部品としての図1に示す積層チップバリスタ2について説明する。図1に示すように、積層チップバリスタ2は、内部電極層4,6と抵抗体層8とが交互に積層してある素子本体10を有する。
まず、図2(A)に示すように、素子本体10を製造する。素子本体10を製造するために、印刷工法またはシート工法等により、内部電極層4,6が互い違いに両端部に露出するように、抵抗体層8(バリスタ層)と内部電極層4,6をZ軸方向に交互に積層し、積層体を形成する。
本実施形態の方法は、以下に示す以外は、上述した第1実施形態と同様であり、重複する説明を省略する。
本実施形態の方法では、図6に示すように、インナーバレル38dが円筒形をしている。さらに、頂部38fを有する撹拌突起38eが、インナーバレル38dの内壁面38bに、周方向に沿って等間隔に6個配置されている。
実施例1
スパッタ装置20の真空チャンバ22を揺動させず、バレル39のみ回転させた以外は、上述した実施例1と同様の条件で、積層チップバリスタ2bを製造した。素子本体10の側面の中央部におけるSiO2層の膜厚を測定した結果を、図7および表1に示す。
図7および表1に示す実験結果から、比較例1よりも、実施例1の方が、絶縁膜の平均膜厚が薄く、膜厚のバラツキも小さいことが判明した。
スパッタリングを行わず、素子本体の表面にSiO2層を形成しなかった以外は、上述した実施例1と同様の条件で、積層チップバリスタ2cを製造した。素子本体10cの側面の観察結果を図8(B)に示す。
図8(A)に示す実験結果から、実施例1では素子本体10の表面にめっき伸びが発生していないが、比較例2では、端子電極15a,15bを形成する際に、図8(B)に示すように、めっき伸びが発生してしまうことが判明した。
図3に示すスパッタ装置20のインナーバレル38の内壁面38bの表面粗さRa=4.7μmとした以外は、上述した実施例1と同様の条件で、積層チップバリスタ2dを製造した。素子本体10dの断面観察を行った結果を図9(B)に示す。
図9(A)に示す観察結果から、実施例1では、薄膜で均一の絶縁膜16が形成されているのに対し、参考例1では、図9(B)に示すように、素子本体10dに成膜した絶縁膜16dの表面に、粉状の絶縁成分が形成されてしまうことが判明した。
4,6…内部電極層
10…素子本体
15a,15b…端子電極
16…絶縁膜
22…真空チャンバ
39…バレル
37…アウターバレル
38…インナーバレル
Claims (5)
- 内部電極が形成された素子本体を用意する工程と、
前記素子本体の表面にスパッタリング法による絶縁膜を形成する工程と、
前記絶縁膜が形成された前記素子本体の端面に端子電極を形成する工程とを有するチップ型電子部品の製造方法であって、
前記絶縁膜を形成する際に、低圧力容器内に配置されたバレルに前記素子本体を投入し、前記バレルの回転軸を中心に前記バレルを回転させながら、前記バレルを、前記バレルの回転軸の軸芯が支点を中心に揺れるように揺動させ、
前記スパッタリング法に用いられるターゲット面は、前記バレルの回転により前記バレルの内壁面に沿ってばらけた前記素子本体群と略平行になるように調整されることを特徴とするチップ部品の製造方法。 - 前記素子本体は、半導体セラミックで構成されることを特徴とする請求項1に記載のチップ部品の製造方法。
- 前記バレルの内面の表面粗さをRaと表した場合に、前記表面粗さRaは、5≦Ra≦1000nmの範囲であることを特徴とする請求項1または2に記載のチップ部品の製造方法。
- 前記チップ部品のサイズは、縦寸法が1.0mm以下で、横寸法が0.5mm以下であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のチップ部品の製造方法。
- 前記絶縁膜の厚みは、0.01〜0.2μmであることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のチップ部品の製造方法。
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