JP5385356B2 - レーザ加工機 - Google Patents
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Description
1…レーザ照射装置
111、121…光軸操作機構
112、122…ミラー
2…カメラセンサ
3…ビームスプリッタ
4…所定面
5…誤差較正機構
L…レーザビーム
Claims (4)
- レーザビームを被加工物に照射して加工を施すためのレーザ加工機であって、
レーザ発振器から発振されるレーザビームを被加工物が配置される所定面に向けて反射させるミラーと、
前記ミラーの方向を変化させることによりレーザビームの光軸を前記所定面における所望の目標照射位置へと位置づける光軸操作機構と、
前記ミラーに映る、前記所定面における目標照射位置及びその周辺の領域を撮像するカメラセンサと、
前記カメラセンサにより撮像した画像を参照し、前記所定面における前記光軸操作機構に指令した目標照射位置と実際のレーザビームの光軸の位置との誤差を検出する誤差較正機構とを具備し、
前記誤差に基づき、加工時にレーザビームをその目標照射位置に照射するために前記光軸操作機構に与えるべき指令の補正量を決定することができ、
前記所定面に設けられ当該所定面上の各箇所の位置座標を示唆するグリッドパターンを前記カメラセンサで撮像し、
撮像した画像に現れるグリッドパターンを基準として前記誤差較正機構が前記誤差の検出を行うレーザ加工機。 - レーザビームを被加工物に照射して加工を施すためのレーザ加工機であって、
レーザ発振器から発振されるレーザビームを被加工物が配置される所定面に向けて反射させるミラーと、
前記ミラーの方向を変化させることによりレーザビームの光軸を前記所定面における所望の目標照射位置へと位置づける光軸操作機構と、
前記所定面における目標照射位置及びその周辺の領域、並びに当該所定面に照射したレーザビームの光点を撮像するカメラセンサと、
前記カメラセンサにより撮像した画像を参照し、前記所定面における前記光軸操作機構に指令した目標照射位置と実際のレーザビームの光軸の位置との誤差を検出する誤差較正機構とを具備し、
前記誤差に基づき、加工時にレーザビームをその目標照射位置に照射するために前記光軸操作機構に与えるべき指令の補正量を決定することができ、
前記所定面に設けられ当該所定面上の各箇所の位置座標を示唆するグリッドパターンを前記カメラセンサで撮像し、
撮像した画像に現れるグリッドパターンを基準として前記誤差較正機構が前記誤差の検出を行うレーザ加工機。 - 前記レーザ発振器と前記ミラーとの間の光路上にビームスプリッタを配置し、
前記所定面における目標照射位置及びその周辺の領域を前記ミラー及び前記ビームスプリッタを介して前記カメラセンサで撮像する請求項1または2記載のレーザ加工機。 - 前記誤差較正機構が、
前記光軸操作機構に対してレーザビームの光軸を前記所定面における目標照射位置に位置づけるための指令を行う照射位置指令部と、
前記カメラセンサで撮像した画像を参照して前記所定面における目標照射位置と実際のレーザビームの光軸の位置との誤差を算出する誤差検出部と、
前記誤差検出部で算出した誤差に基づき、加工時にその目標照射位置に照射するために前記光軸操作機構に与えるべき指令の補正量を決定して記憶する補正量記憶部と
を備えている請求項1、2または3記載のレーザ加工機。
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