JP5383864B2 - フィルタ洗浄機能を有する切削液濾過装置 - Google Patents
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Description
本発明は、工作機械において切削液に混入した切粉やスラッジを除去するために使用される切削液濾過装置に関する。
工作機械においては、加工中に発生した切粉やスラッジなどの不純物が切削液中に混入して、機械の性能及び信頼性に悪影響を及ぼすことから、これらを除去するためのフィルタが使用される。このフィルタについては浄化性能の維持と寿命の延長を目的としてフィルタを洗浄する事が行われている。その洗浄方法として通常使用する際の切削液の流れ方向とは逆の方向に切削液を流し、フィルタに付着した切粉やスラッジをフィルタから取り除く逆洗動作を行う場合が有る。上記逆洗動作の方法としては、特許文献１や特許文献２や特許文献３などに開示されるものがある。なお、逆洗とは逆洗浄の略標記である。
ここで、前記先行技術文献に開示される逆洗動作の概要を説明する。まず、逆洗を行うフィル入りフィルタ容器の流入側及び流出側の管路を閉じて、フィルタ及びフィルタ容器の内に残っている切削液が移動できないようにする。続いて、フィルタ内に通常時の切削液の流れ方向とは逆の方向に圧縮空気を供給すると共にフィルタ容器に管路されている排出管路の排出バルブを開く事により、圧縮空気によって加圧された切削液がフィルタを通過した後開かれた排出管路に流れる様にし、この切削液の流れによりフィルタに付着した切粉やスラッジなどの不純物を除去する。
図１０は従来の従来の工作機械の切削液濾過装置を説明する図である。符号１０はタンク、符号１１はダーティーポンプ、符号１２は流入側バルブ、符号１３はフィルタ入りフィルタ容器、符号１４は差圧スイッチ、符号１５は排出バルブ、符号１６はエア源、符号１７はエア供給バルブ、符号１８は流出側バルブ、符号１９は切粉を含んだ切削液、符号２０，２１，２２，２３は管路である。符号７０は工作機械本体である。
図示しない制御装置によって制御される切削液濾過装置１を動作させダーティーポンプ１１を駆動し管路２０を介して切粉を含んだ切削液１９を汲み上げ、フィルタ容器１３を介して、工作機械本体７０にフィルタで濾過した切削液を供給する。フィルタ容器１３内には切粉を含んだ切削液から切粉を濾過するためのフィルタ（図示せず）が取り付けられている。
タンク１０内に貯留された切粉を含んだ切削液１９の浄化を続けていくと、フィルタ容器１３内のフィルタに付着する切粉の量が徐々に増加していく。そのため、管路２１と管路２２の差圧が増加していく。管路２１と管路２２の差圧が予め設定された差圧以上になると差圧スイッチ１４が作動し、逆洗動作が開始する。
逆洗動作はまず、ダーティーポンプ１１の駆動を停止しタンク１０に貯留された切粉を含んだ切削液１９の汲み上げを中断し、フィルタ容器１３の流入側の管路２１及び流出側の管路２２をそれぞれ弁（流入側バルブ１２，流出側バルブ１８）によって閉じる。これにより、フィルタ容器１３の内に残っている切削液はタンク１０内および工作機械本体７０に流出できない。
逆洗動作はまず、ダーティーポンプ１１の駆動を停止しタンク１０に貯留された切粉を含んだ切削液１９の汲み上げを中断し、フィルタ容器１３の流入側の管路２１及び流出側の管路２２をそれぞれ弁（流入側バルブ１２，流出側バルブ１８）によって閉じる。これにより、フィルタ容器１３の内に残っている切削液はタンク１０内および工作機械本体７０に流出できない。
続いて、エア源１６に接続された弁（エア供給バルブ１７）を開き、フィルタ容器１３内に通常時の切削液の流れ方向とは逆の方向に圧縮空気を供給する。エア源１６に接続された弁（エア供給バルブ１７）を閉じると共にフィルタ容器１３に接続されている排出弁（排出バルブ１５）を開く事により、圧縮空気によって加圧された切削液が通常時の切削液の流れ方向とは逆の方向にフィルタ容器１３内のフィルタを通過した後、管路２３に設けられた排出バルブ１５を通過してタンク１０に戻る。この切削液の流れによりフィルタに付着した切粉やスラッジを除去する。
背景技術で説明した先行技術においては、切粉を除去するフィルタに取り付けられた差圧スイッチ１４を所定の差圧が発生した時に作動するように設定しておき、差圧スイッチの信号を元に逆洗動作を行うシステム構成となっている。又、差圧スイッチ１４を使用する以外に圧力センサーを使用することも記載されている。
これらの先行技術においては、差圧スイッチ１４あるいは圧力センサーによって得られる測定値を元に、逆洗動作を行うかどうかの判断を行っているが、これら機器は高額であるため、コストの点において改善する余地が有る。よって簡単な方法もしくは安価な機器を使用して、逆洗動作を行うかどうかの判断が可能である事が望ましい。
これらの先行技術においては、差圧スイッチ１４あるいは圧力センサーによって得られる測定値を元に、逆洗動作を行うかどうかの判断を行っているが、これら機器は高額であるため、コストの点において改善する余地が有る。よって簡単な方法もしくは安価な機器を使用して、逆洗動作を行うかどうかの判断が可能である事が望ましい。
又、先行技術において逆洗を実施する間隔時間を変更する為には、差圧スイッチ１４が動作する圧力を変更するか、逆洗を行う差圧の設定値を変更するか、逆洗間隔時間を決めているタイマーの値を変更する必要が有り、フィルタの目詰まりの程度に応じて自動的に逆洗の間隔を変更する事はできない。さらに、逆洗中に圧縮空気を供給する時間をフィルタの目詰まりの程度によって変更する事は述べられているが、逆洗を行う間隔時間を変更する事については述べられていない。
多岐に渡る加工内容に対し、自動的に逆洗間隔時間を変更して必要かつ十分な頻度で逆洗を行い、加工に必要な切削液を確保しつつフィルタの寿命を延ばす事ができれば、機械の保守や維持にかかる時間と費用を低減し、保守で機械を停止する時間を短縮する事ができる。
そこで本発明は、工作機械の切削液を濾過する濾過装置において、圧力検出手段を用いずに切削液から不純物を除去するために使用されるフィルタを洗浄するタイミングを自動的に調整することが可能な切削液濾過装置を提供することを課題とする。
そこで本発明は、工作機械の切削液を濾過する濾過装置において、圧力検出手段を用いずに切削液から不純物を除去するために使用されるフィルタを洗浄するタイミングを自動的に調整することが可能な切削液濾過装置を提供することを課題とする。
本願の請求項１に係る発明は、工作機械を用いてワークを加工する際に使用した切削液を貯留するダーティー槽と、前記切削液に含まれる不純物を濾過するフィルタと、前記フィルタに前記切削液を供給するポンプと、前記フィルタで濾過した切削液を貯留するクリーン槽と、前記フィルタに捕捉された不純物を洗浄するフィルタ洗浄機能を備えた切削液濾過装置において、
前記クリーン槽に貯留した切削液の液面の下限位置と上限位置を検出する２つの液面検出器と、
前記２つの液面検出器により前記切削液の液面が下限位置を下回ると前記ポンプを駆動して前記切削液をフィルタに供給し、上限位置にあることを検出すると前記ポンプを停止するポンプ制御部と、
前記ポンプの動作時間を積算するポンプ動作時間積算部と、
前記ポンプ動作時間積算部で積算された積算時間と予め設定された前記フィルタの洗浄動作間隔時間とを比較し、該積算時間が該洗浄動作間隔時間以上となった場合に前記フィルタの洗浄を指令する洗浄指令部と、
前記フィルタの洗浄が終了してから次の洗浄を行うまでの間に前記ポンプが動作した積算時間を記憶する積算時間記憶部と、
前記フィルタを洗浄後、前記ポンプ動作時間積算部で積算された前記ポンプの動作時間を新たに積算した積算時間と、前回のフィルタ洗浄前に前記ポンプの動作時間を積算して前記積算時間記憶部に記憶された積算時間とを比較し、新たに積算した積算時間が前回のフィルタ洗浄前の積算時間より長い場合には前記洗浄動作間隔時間を短くし、短い場合には前記洗浄動作間隔時間を長くするように調整する洗浄動作間隔時間調整部と、
を有することを特徴とする切削液濾過装置である。
請求項２に係る発明は、工作機械を用いてワークを加工する際に使用した切削液を貯留するダーティー槽と、前記切削液に含まれる不純物を濾過するフィルタと、前記フィルタに前記切削液を供給するポンプと、前記フィルタで濾過した切削液を貯留するクリーン槽と、前記フィルタに捕捉された不純物を洗浄するフィルタ洗浄機能を備えた切削液濾過装置において、前記クリーン槽に貯留した切削液の液面の下限位置と上限位置を検出する２つの液面検出器と、前記２つの液面検出器により前記切削液の液面が下限位置を下回ると前記ポンプを駆動して前記切削液をフィルタに供給し、上限位置にあることを検出すると前記ポンプを停止するポンプ制御部と、前記ポンプの動作時間を積算するポンプ動作時間積算部と、前記ポンプ動作時間積算部で積算された積算時間と予め設定された前記フィルタの洗浄動作間隔時間とを比較し、該積算時間が該洗浄動作間隔時間以上となった場合に前記フィルタの洗浄を指令する洗浄指令部と、前記フィルタの洗浄が終了してから次の洗浄を行うまでの間に前記ポンプが動作した積算時間を記憶する積算時間記憶部と、新たに積算した積算時間と過去の平均積算時間とを比較し、新たに積算した積算時間が平均積算時間より長い場合には前記洗浄動作間隔時間を短くし、短い場合には前記洗浄動作間隔時間を長くするように調整する洗浄動作間隔時間調整部と、を有することを特徴とする記載の切削液濾過装置である。
前記クリーン槽に貯留した切削液の液面の下限位置と上限位置を検出する２つの液面検出器と、
前記２つの液面検出器により前記切削液の液面が下限位置を下回ると前記ポンプを駆動して前記切削液をフィルタに供給し、上限位置にあることを検出すると前記ポンプを停止するポンプ制御部と、
前記ポンプの動作時間を積算するポンプ動作時間積算部と、
前記ポンプ動作時間積算部で積算された積算時間と予め設定された前記フィルタの洗浄動作間隔時間とを比較し、該積算時間が該洗浄動作間隔時間以上となった場合に前記フィルタの洗浄を指令する洗浄指令部と、
前記フィルタの洗浄が終了してから次の洗浄を行うまでの間に前記ポンプが動作した積算時間を記憶する積算時間記憶部と、
前記フィルタを洗浄後、前記ポンプ動作時間積算部で積算された前記ポンプの動作時間を新たに積算した積算時間と、前回のフィルタ洗浄前に前記ポンプの動作時間を積算して前記積算時間記憶部に記憶された積算時間とを比較し、新たに積算した積算時間が前回のフィルタ洗浄前の積算時間より長い場合には前記洗浄動作間隔時間を短くし、短い場合には前記洗浄動作間隔時間を長くするように調整する洗浄動作間隔時間調整部と、
を有することを特徴とする切削液濾過装置である。
請求項２に係る発明は、工作機械を用いてワークを加工する際に使用した切削液を貯留するダーティー槽と、前記切削液に含まれる不純物を濾過するフィルタと、前記フィルタに前記切削液を供給するポンプと、前記フィルタで濾過した切削液を貯留するクリーン槽と、前記フィルタに捕捉された不純物を洗浄するフィルタ洗浄機能を備えた切削液濾過装置において、前記クリーン槽に貯留した切削液の液面の下限位置と上限位置を検出する２つの液面検出器と、前記２つの液面検出器により前記切削液の液面が下限位置を下回ると前記ポンプを駆動して前記切削液をフィルタに供給し、上限位置にあることを検出すると前記ポンプを停止するポンプ制御部と、前記ポンプの動作時間を積算するポンプ動作時間積算部と、前記ポンプ動作時間積算部で積算された積算時間と予め設定された前記フィルタの洗浄動作間隔時間とを比較し、該積算時間が該洗浄動作間隔時間以上となった場合に前記フィルタの洗浄を指令する洗浄指令部と、前記フィルタの洗浄が終了してから次の洗浄を行うまでの間に前記ポンプが動作した積算時間を記憶する積算時間記憶部と、新たに積算した積算時間と過去の平均積算時間とを比較し、新たに積算した積算時間が平均積算時間より長い場合には前記洗浄動作間隔時間を短くし、短い場合には前記洗浄動作間隔時間を長くするように調整する洗浄動作間隔時間調整部と、を有することを特徴とする記載の切削液濾過装置である。
請求項３に係る発明は、前記液面検出器により検出される液面が所定の高さ以下になっている時間が一定時間以上になった場合に、前記フィルタの洗浄を実施することを特徴とする請求項１または２のいずれか１つに記載の切削液濾過装置である。
請求項４に係る発明は、前記液面検出器により検出される液面が所定の高さ以下になっている時間が一定時間以上になった場合に、前記工作機械を停止することを特徴とする請求項１または２のいずれか１つに記載の切削液濾過装置である。
請求項４に係る発明は、前記液面検出器により検出される液面が所定の高さ以下になっている時間が一定時間以上になった場合に、前記工作機械を停止することを特徴とする請求項１または２のいずれか１つに記載の切削液濾過装置である。
本発明により、工作機械の切削液を濾過する濾過装置において、圧力検出手段を用いずに切削液から不純物を除去するために使用されるフィルタを洗浄するタイミングを自動的に調整することが可能な切削液濾過装置を提供できる。
以下、本発明の実施形態を図面と共に説明する。図１は本発明の実施形態である切削液濾過装置を説明する図である。符号３は切削液濾過装置、符号３０はタンク、符号３１はダーティー槽、符号３２は切粉を含んだ切削液、符号３３はクリーン槽、３４は浄化された切削液、符号３５は管路、符号３６はダーティーポンプ、符号３７は管路、符号３８はチェックバルブ、符号３９は不純物を含んだ切削液から不純物を除去するフィルタ（図示せず）を内部に装着するフィルタ容器、符号４０はエア源、符号４１は管路、符号４２はチェックバルブ、符号４３はエア供給バルブ、符号４４は管路、符号４５は流出側バルブ、符号４６は管路、符号４７は排出バルブ、符号４８は管路、符号４９はポンプ、符号５０は管路、符号５１はセンサー支持部材、符号５２は上限検出用近接センサー、符号５３下限検出用近接センサー、符号５４は浮き玉、符号５５は液面検知棒、符号５６は管路、符号６０は切削液濾過装置３を全体的に制御する制御装置、符号７０は工作機械本体である。なお、制御装置６０の機能を、工作機械本体７０を制御する図示しない数値制御装置に組み込んでもよい。
図示しない工作機械用の制御装置によって制御される工作機械本体７０は図示しないワークを加工する。工作機械本体７０を制御する図示しない制御装置に制御されるポンプ４９は、タンク３０のクリーン槽３３に貯留された濾過された切削液３４を工作機械本体７０に管路５０を介して供給する。そして工作機械本体７０から排出される使用された切削液は管路５６を介してタンク３０のダーティー槽３１に回収される。
制御装置６０は切削液濾過装置３の制御装置である。制御装置６０はダーティーポンプ３６やエア源４０の駆動制御、エア供給バルブ４３、流出側バルブ４５、排出バルブ４７の開閉制御、上限検出用近接センサー５２，下限検出用近接センサー５３から出力される検出信号を入力し、クリーン槽３３に貯留される濾過された切削液の液面高さに関する情報を取得する。
まず、切削液濾過装置３による不純物を含んだ切削液の濾過について説明する。
タンク３０はクリーン槽３３とダーティー槽３１の完全に独立した槽から構成される。ダーティー槽３１には工作機械本体７０から回収された切削液が貯留される。工作機械本体７０から回収された切削液には切粉やスラッジなどの不純物が混入している。ダーティーポンプ３６はダーティー槽３１に貯留された不純物を含んだ切削液３２を管路３５を介して汲み上げ、管路３７を介してフィルタ容器３９に供給する。フィルタ容器３９には、切削液中に混入した不純物（切粉やスラッジ）を除去するためのフィルタが内部に取り付けられている。
タンク３０はクリーン槽３３とダーティー槽３１の完全に独立した槽から構成される。ダーティー槽３１には工作機械本体７０から回収された切削液が貯留される。工作機械本体７０から回収された切削液には切粉やスラッジなどの不純物が混入している。ダーティーポンプ３６はダーティー槽３１に貯留された不純物を含んだ切削液３２を管路３５を介して汲み上げ、管路３７を介してフィルタ容器３９に供給する。フィルタ容器３９には、切削液中に混入した不純物（切粉やスラッジ）を除去するためのフィルタが内部に取り付けられている。
フィルタ容器３９は、ダーティーポンプ３６から供給される不純物を含んだ切削液３２が流入する流入口、フィルタで濾過された切削液をクリーン槽３３に流出するための流出口、切削液をダーティー槽３１に排出するための排出バルブ４７を備えている。不純物を含んだ切削液を濾過するときには、流出側バルブ４５は開状態，排出バルブ４７は閉状態に制御される。ダーティーポンプ３６とフィルタ容器３９を接続する管路３７の途中にチェックバルブ３８が配設されている。チェックバルブ３８は、フィルタ容器３９側からの切削液および後述する圧縮エアがダーティーポンプ３６側に逆流することを防止するためのバルブである。
フィルタ容器３９の流出口に接続された管路４４の途中に流出側バルブ４５が設けられる。また、管路４４のフィルタ容器３９の流出口と流出側バルブ４５の間に、エア源４０が管路４１によって接続されている。管路４１には、チェックバルブ４２、エア供給バルブ４３が設けられている。チェックバルブ４２は、圧縮エアや切削液の逆流を防止するためのバルブである。エア供給バルブ４３は切削液のエア源４０側への流入を防止するバルブである。なお、ダーティーポンプ３６を駆動し不純物を含んだ切削液を濾過するときにはエア供給バルブ４３を閉状態にしておく。
ダーティー槽３１に配置したダーティーポンプ３６で、切粉やスラッジなどの不純物を含んだ切削液をフィルタ容器３９内のフィルタに供給し、不純物を除去した後クリーン槽３３に排出する。クリーン槽３３には切削液の液面の高さを検出する近接センサーが２個設置され（上限検出用近接センサー５２，下限検出用近接センサー５３）、それぞれ上限と下限の液面を検出している。上限検出用近接センサー５２と下限検出用近接センサー５３はクリーン槽３３の所定位置にセンサー支持部材５１に取り付けられている。クリーン槽３３内の濾過された切削液３４に液面検知棒５５を取り付けた浮き玉が配設されている。近接センサーとしては、光学式、磁気式、電気式など公知のセンサーを用いることができる。
クリーン槽３３の濾過された切削液３４の液面が低下して下限検出用近接センサー５３が反応すると、ダーティーポンプ３６が動作してクリーン槽３３に濾過された切削液の排出を開始し、上限検出用近接センサー５２が反応するまで継続する。上限検出用近接センサー５２が反応した後、ダーティーポンプ３６は停止する。
工作機械本体７０に供給される切削液を濾過する切削液濾過装置３は、前述したように、切削液中に混入した不純物（切粉やスラッジ）を除去するためのフィルタを使用する。又、このフィルタについては性能の維持及び寿命の延長を目的として、洗浄動作を行い、フィルタに付着した切粉やスラッジをフィルタから取り除く。フィルタの洗浄動作としては、一例として逆洗動作がある。
逆洗動作の方法としては、洗浄を行うフィルタが装着されたフィルタ容器３９の流入側及び流出側の管路をそれぞれ弁によって閉じ、フィルタ容器３９の内に残っている切削液が移動できないようにする。続いてエア源４０に接続された弁（エア供給バルブ４３）を開き、フィルタ容器３９内に通常時の切削液の流れ方向とは逆の方向に圧縮空気を供給する。エア源４０に接続された弁（エア供給バルブ４３）を閉じると共にフィルタ容器３９に接続されている管路の途中に取り付けられている排出弁（排出バルブ４７）を開く事により、圧縮空気によって加圧された切削液が通常時の切削液の流れ方向とは逆の方向にフィルタ容器３９内を通過した後、排出弁（排出バルブ４７）を通過してダーティー槽３１に戻る。この切削液の流れにより、フィルタに付着した切粉やスラッジなどの不純物を除去することができる。
図２は本発明の実施形態である切削液濾過装置の動作を説明するタイミングチャートの一例である。図１において、下限の近接センサー（下限検出用近接センサー５３）が反応してから上限の近接センサー（上限検出用近接センサー５２）が反応するまでの時間をtｎとすると、tｎはダーティーポンプ３６が動作した時間と同一となる。
フィルタの逆洗が終わり次のフィルタの逆洗が行われるまでの間に、ダーティーポンプ３６が動作した時間を積算した積算時間ｔは、ｔ＝ｔ０＋ｔ１＋ｔ２・・・・＋ｔｎ で表される。制御装置６０はこの積分時間ｔ及び各駆動時間ｔ０，ｔ１，ｔ２，・・・，ｔｎについて、現在及び過去に遡って一定個数記憶することができる。
ここで、フィルタ容器３９内のフィルタの洗浄が終わり次の洗浄が行われるまでの洗浄動作間隔時間をαとし、αをあらかじめ制御装置６０に設定しておく。まず簡単にフィルタの洗浄動作を行うかどうかを判断する方法として、制御装置６０は前出のｔの値とこのαの値を常に比較して、ｔがα以上又は大きくなった時に洗浄を行う方法がある。図２に示される例では、ｔ＝ｔ０＋ｔ１＋ｔ２＋ｔ３で、フィルタの洗浄を行うために予め設定された洗浄動作間隔時間α以上となるので、フィルタの洗浄動作が実行されることを示している。
図２において、上限検出用近接センサー５２がオンの状態はクリーン槽３３内に貯留された濾過された切削液３４の液面が上限の位置以上の高さであり、オフの状態は上限の位置より低いことを示している。また、下限検出用近接センサー５３がオンの状態はクリーン槽３３内に貯留された濾過された切削液３４が下限の位置以上の高さであり、オフの状態は下限の位置より低いことを示している。図１に示される切削液濾過装置３において、ダーティーポンプ３６は、濾過された切削液３４の液面が下限位置以上，上限位置以下で駆動され、ダーティー槽３１に貯留された不純物を含んだ切削液の濾過が実行される。
この方法ではフィルタ容器３９の流入側と流出側の管路に圧力スイッチ等の圧力検出手段である機器を必要とせず、ダーティーポンプ３６が動作した積算時間によりフィルタの逆洗浄を行うかどうかを判断し、実行する事ができる。なお、洗浄は工作機械の起動中にのみ行うようにする事も、それと違う条件で行う事もできる。
次に洗浄間隔時間を自動的に変更する方法を以下に述べる。
制御装置６０は、積算時間の内、今回のダーティーポンプ３６の駆動時間を積算した積算時間Ｔｂと、制御装置６０に記憶している過去の積算時間Ｔａの値を用いて、新たな洗浄動作間隔時間α’として（Ｔａ／Ｔｂ）＊α＝α’を算出し、任意の時点から適用する。よって今回の積算時間Ｔｂが前回の積算時間Ｔａよりも長い場合には、α’はαよりも小さくなる。これによって、洗浄動作間隔時間が短くなる。ＴｂがＴａよりも短い場合には、α’はαよりも大きくなり洗浄動作間隔時間は長くなる。以上より、洗浄動作間隔時間をダーティーポンプ３６が動作した積算時間ｔに応じて自動的に調整する事ができる。
制御装置６０は、積算時間の内、今回のダーティーポンプ３６の駆動時間を積算した積算時間Ｔｂと、制御装置６０に記憶している過去の積算時間Ｔａの値を用いて、新たな洗浄動作間隔時間α’として（Ｔａ／Ｔｂ）＊α＝α’を算出し、任意の時点から適用する。よって今回の積算時間Ｔｂが前回の積算時間Ｔａよりも長い場合には、α’はαよりも小さくなる。これによって、洗浄動作間隔時間が短くなる。ＴｂがＴａよりも短い場合には、α’はαよりも大きくなり洗浄動作間隔時間は長くなる。以上より、洗浄動作間隔時間をダーティーポンプ３６が動作した積算時間ｔに応じて自動的に調整する事ができる。
この場合もフィルタの洗浄は工作機械の起動中にのみ行う事も、それと違う条件で行う事もできる。又、洗浄動作間隔時間αを元に算出する新たな洗浄動作間隔時間α’の値を一定の範囲内に抑えること、洗浄動作間隔時間αを一定にする事、ダーティーポンプ３６の動作した積算時間ｔを過去の複数のデータから平均化して決定することも可能とする。
この他の洗浄に関する制御として、下限検出用近接センサー５３が反応してダーティーポンプ３６が動作し始めてからパラメータで設定した時間経過しても上限検出用近接センサー５２が反応しない場合には強制的に洗浄する様にしても良い。又、この後で再度ダーティーポンプ３６を動作してパラメータで設定した時間待って、下限もしくは上限の近接センサーが反応しない場合は機械を停止することもできる。
また、近接センサーを下限の１個とし、クリーン槽３３の液面が低下して下限検出用近接センサー５３が反応すると、ダーティーポンプ３６が動作してダーティー槽３１からクリーン槽３３に濾過された切削液３４の供給を開始し、下限検出用近接センサー５３が反応するまでもしくは反応してから一定時間経過した後、ダーティーポンプ３６を停止する様にしても良い。
上述した本発明の実施形態は、不純物の含んだ切削液の濾過を行うフィルタだけを備えた場合、及び、濾過を行うフィルタと濾過を行わないラインフィルタを組み合わせた場合のどちらでも適用可能である。
以下、本発明に係るフィルタの洗浄を行う逆洗動作を実行するフローを説明する。なお、第１の例は請求項１に係る発明に対応し、第２の例は請求項２に係る発明に対応し、第３の例は請求項３に係る発明に対応し、第４の例は請求項４に係る発明に対応し、第５の例は請求項５に係る発明に対応し、第６の例は請求項６に係る発明に対応し、第７の例は請求項７に係る発明に対応する。
＜第１の例＞
図３は、本発明の実施形態である切削液濾過装置における逆洗動作の処理を説明するフロチャートの第１の例である。以下、各ステップに従って説明する。なお、このフローでは、切削液濾過装置３においてクリーン槽３３の濾過された切削液の液面の高さは１個の近接センサーを用いて検出される。
●［ステップＳＡ０１］予め設定されたフィルタの洗浄動作間隔時間αを読み込む。
●［ステップＳＡ０２］ダーティーポンプが駆動時間を積算した積算時間ｔの初期値を０とする。
●［ステップＳＡ０３］クリーン槽内の濾過された切削液の液面の高さは所定の高さを下回ったか否かを判断し、下回った場合（ＹＥＳ）にはステップＳＡ０４へ移行し、下回っていない場合（ＮＯ）にはステップＳＡ０８へ移行する。
●［ステップＳＡ０４］ダーティーポンプは起動中か否か判断し、起動中の場合（ＹＥＳ）にはステップＳＡ０３へ戻り、起動中ではない場合（ＮＯ）にはステップＳＡ０５へ移行する。
●［ステップＳＡ０５］ダーティーポンプを起動する。
●［ステップＳＡ０６］タイマーをリセットする。なお、タイマーはダーティーポンプの駆動時間を計時するタイマーである。
●［ステップＳＡ０７］タイマーをオンし、ステップＳＡ０３へ戻る。
●［ステップＳＡ０８］ステップＳＡ０３において濾過された切削液の液面の高さが所定の高さを上回ったと判断しれたので、ダーティーポンプを停止する。
●［ステップＳＡ０９］タイマーをオフする。
●［ステップＳＡ１０］ダーティーポンプを駆動した時間の積算時間ｔをｔ＋Δｔにより積算する。Δｔはクリーン槽の濾過された切削液の液面の高さが所定の高さを下回ったときからダーティーポンプを駆動し、液面の高さが所定の高さに達するまでの時間である。
●［ステップＳＡ１１］ステップＳＡ１０で積算されたダーティーポンプの駆動時間の積算時間ｔが予め設定されたフィルタの洗浄動作間隔時間αより長いか否か判断し、長い場合（等しい場合も含む）（ＹＥＳ）にはステップＳＡ１２へ移行し、短い場合（ＮＯ）にはステップＳＡ０３に戻る。
●［ステップＳＡ１２］フィルタ洗浄を開始する。
●［ステップＳＡ１３］フィルタ洗浄終了か否か判断し、フィルタの洗浄の終了を待ってステップＳＡ０２に戻る。
図３は、本発明の実施形態である切削液濾過装置における逆洗動作の処理を説明するフロチャートの第１の例である。以下、各ステップに従って説明する。なお、このフローでは、切削液濾過装置３においてクリーン槽３３の濾過された切削液の液面の高さは１個の近接センサーを用いて検出される。
●［ステップＳＡ０１］予め設定されたフィルタの洗浄動作間隔時間αを読み込む。
●［ステップＳＡ０２］ダーティーポンプが駆動時間を積算した積算時間ｔの初期値を０とする。
●［ステップＳＡ０３］クリーン槽内の濾過された切削液の液面の高さは所定の高さを下回ったか否かを判断し、下回った場合（ＹＥＳ）にはステップＳＡ０４へ移行し、下回っていない場合（ＮＯ）にはステップＳＡ０８へ移行する。
●［ステップＳＡ０４］ダーティーポンプは起動中か否か判断し、起動中の場合（ＹＥＳ）にはステップＳＡ０３へ戻り、起動中ではない場合（ＮＯ）にはステップＳＡ０５へ移行する。
●［ステップＳＡ０５］ダーティーポンプを起動する。
●［ステップＳＡ０６］タイマーをリセットする。なお、タイマーはダーティーポンプの駆動時間を計時するタイマーである。
●［ステップＳＡ０７］タイマーをオンし、ステップＳＡ０３へ戻る。
●［ステップＳＡ０８］ステップＳＡ０３において濾過された切削液の液面の高さが所定の高さを上回ったと判断しれたので、ダーティーポンプを停止する。
●［ステップＳＡ０９］タイマーをオフする。
●［ステップＳＡ１０］ダーティーポンプを駆動した時間の積算時間ｔをｔ＋Δｔにより積算する。Δｔはクリーン槽の濾過された切削液の液面の高さが所定の高さを下回ったときからダーティーポンプを駆動し、液面の高さが所定の高さに達するまでの時間である。
●［ステップＳＡ１１］ステップＳＡ１０で積算されたダーティーポンプの駆動時間の積算時間ｔが予め設定されたフィルタの洗浄動作間隔時間αより長いか否か判断し、長い場合（等しい場合も含む）（ＹＥＳ）にはステップＳＡ１２へ移行し、短い場合（ＮＯ）にはステップＳＡ０３に戻る。
●［ステップＳＡ１２］フィルタ洗浄を開始する。
●［ステップＳＡ１３］フィルタ洗浄終了か否か判断し、フィルタの洗浄の終了を待ってステップＳＡ０２に戻る。
＜第２の例＞
図４は、本発明の実施形態である切削液濾過装置における逆洗動作の処理を説明するフロチャートの第２の例である。以下、各ステップに従って説明する。なお、このフローでは、切削液濾過装置３においてクリーン槽３３の濾過された切削液の液面の高さは２個の近接センサーを用いて検出される。上限検出用近接センサー５２で上限の液面高さを検出し、下限検出用近接センサー５３で下限の液面高さを検出する。上限検出用近接センサー５２は上スイッチ、下限検出用近接センサー５３は上スイッチに対応する。
●［ステップＳＢ０１］予め設定されたフィルタの洗浄動作間隔時間αを読み込む。
●［ステップＳＢ０２］ダーティーポンプが駆動時間を積算した積算時間ｔの初期値を０とする。
●［ステップＳＢ０３］クリーン槽内の濾過された切削液の液面の高さによって、下スイッチがオンの場合（ＹＥＳ）ステップＳＢ０４へ移行し、オフの場合（ＮＯ）ステップＳＢ０５へ移行する。
●［ステップＳＢ０４］ダーティーポンプは起動中か否か判断し、起動中の場合（ＹＥＳ）にはステップＳＢ０８へ移行し、起動中ではない場合（ＮＯ）にはステップＳＢ０３に戻る。
●［ステップＳＢ０５］ダーティーポンプを起動する。
●［ステップＳＢ０６］タイマーをリセットする。なお、タイマーはダーティーポンプの駆動時間を計時するタイマーである。
●［ステップＳＢ０７］タイマーをオンし、ステップＳＢ０８へ移行する。
●［ステップＳＢ０８］クリーン槽内の濾過された切削液の液面の高さによって、上スイッチがオンの場合（ＹＥＳ）ステップＳＢ０９へ移行し、オフの場合（ＮＯ）上スイッチがオンになるまで待つ。
●［ステップＳＢ０９］ダーティーポンプを停止する。
●［ステップＳＢ１０］タイマーをオフする。
●［ステップＳＢ１１］ダーティーポンプを駆動した時間の積算時間ｔをｔ＋Δｔにより積算する。Δｔは、クリーン槽の濾過された切削液の液面の高さが下スイッチで検出される高さから上スイッチで検出される高さとなるまでの、ダーティーポンプを駆動する時間である。
●［ステップＳＢ１２］ステップＳＢ１１で積算されたダーティーポンプの駆動時間の積算時間ｔが予め設定されたフィルタの洗浄動作間隔時間αより長いか否か判断し、長い場合（等しい場合も含む）（ＹＥＳ）にはステップＳＢ１３へ移行し、短い場合（ＮＯ）にはステップＳＢ０３に戻る。
●［ステップＳＢ１３］フィルタ洗浄を開始する。
●［ステップＳＢ１４］フィルタ洗浄終了か否か判断し、フィルタの洗浄の終了を待ってステップＳＢ０２に戻る。
図４は、本発明の実施形態である切削液濾過装置における逆洗動作の処理を説明するフロチャートの第２の例である。以下、各ステップに従って説明する。なお、このフローでは、切削液濾過装置３においてクリーン槽３３の濾過された切削液の液面の高さは２個の近接センサーを用いて検出される。上限検出用近接センサー５２で上限の液面高さを検出し、下限検出用近接センサー５３で下限の液面高さを検出する。上限検出用近接センサー５２は上スイッチ、下限検出用近接センサー５３は上スイッチに対応する。
●［ステップＳＢ０１］予め設定されたフィルタの洗浄動作間隔時間αを読み込む。
●［ステップＳＢ０２］ダーティーポンプが駆動時間を積算した積算時間ｔの初期値を０とする。
●［ステップＳＢ０３］クリーン槽内の濾過された切削液の液面の高さによって、下スイッチがオンの場合（ＹＥＳ）ステップＳＢ０４へ移行し、オフの場合（ＮＯ）ステップＳＢ０５へ移行する。
●［ステップＳＢ０４］ダーティーポンプは起動中か否か判断し、起動中の場合（ＹＥＳ）にはステップＳＢ０８へ移行し、起動中ではない場合（ＮＯ）にはステップＳＢ０３に戻る。
●［ステップＳＢ０５］ダーティーポンプを起動する。
●［ステップＳＢ０６］タイマーをリセットする。なお、タイマーはダーティーポンプの駆動時間を計時するタイマーである。
●［ステップＳＢ０７］タイマーをオンし、ステップＳＢ０８へ移行する。
●［ステップＳＢ０８］クリーン槽内の濾過された切削液の液面の高さによって、上スイッチがオンの場合（ＹＥＳ）ステップＳＢ０９へ移行し、オフの場合（ＮＯ）上スイッチがオンになるまで待つ。
●［ステップＳＢ０９］ダーティーポンプを停止する。
●［ステップＳＢ１０］タイマーをオフする。
●［ステップＳＢ１１］ダーティーポンプを駆動した時間の積算時間ｔをｔ＋Δｔにより積算する。Δｔは、クリーン槽の濾過された切削液の液面の高さが下スイッチで検出される高さから上スイッチで検出される高さとなるまでの、ダーティーポンプを駆動する時間である。
●［ステップＳＢ１２］ステップＳＢ１１で積算されたダーティーポンプの駆動時間の積算時間ｔが予め設定されたフィルタの洗浄動作間隔時間αより長いか否か判断し、長い場合（等しい場合も含む）（ＹＥＳ）にはステップＳＢ１３へ移行し、短い場合（ＮＯ）にはステップＳＢ０３に戻る。
●［ステップＳＢ１３］フィルタ洗浄を開始する。
●［ステップＳＢ１４］フィルタ洗浄終了か否か判断し、フィルタの洗浄の終了を待ってステップＳＢ０２に戻る。
上記フロチャートについて補足して説明する。ステップＳＢ０５においてダーティーポンプの起動によりモータ起動フラグをオンにし、ステップＳＢ０９においてモータ起動フラグをオフにする。ステップＳＢ０４においてダーティーポンプ起動中か否かの判断は、モータ起動フラグの状態に基づいて判断できる。これによって、クリーン槽３３内の濾過された切削液３４の液面位置が上限位置を超えた状態、あるいは、下限位置と上限位置の間にある状態から、切削液濾過装置３が動作開始しても問題が生じない。モータ起動フラグを用いることは他のフロチャートも同様である。なお、モータ起動フラグは初期設定でオフとされている。
＜第３の例＞
図５−１，図５−２は、本発明の実施形態である切削液濾過装置における逆洗動作の処理を説明するフロチャートの第３の例である。この例では、ステップＳＣ１１で演算して求められる各フィルタ洗浄の間のダーティーポンの駆動時間の積分時間ｔに変動が生じることに対応して、フィルタの洗浄動作間隔時間αを変動させる。第３の例では、前回と今回のダーティーポンプの駆動時間の積分時間を比較することによってフィルタの洗浄動作間隔時間αを変動させる。
図５−１，図５−２は、本発明の実施形態である切削液濾過装置における逆洗動作の処理を説明するフロチャートの第３の例である。この例では、ステップＳＣ１１で演算して求められる各フィルタ洗浄の間のダーティーポンの駆動時間の積分時間ｔに変動が生じることに対応して、フィルタの洗浄動作間隔時間αを変動させる。第３の例では、前回と今回のダーティーポンプの駆動時間の積分時間を比較することによってフィルタの洗浄動作間隔時間αを変動させる。
以下、各ステップに従って説明する。なお、このフローでは、切削液濾過装置３においてクリーン槽３３の濾過された切削液の液面の高さは２個の近接センサーを用いて検出される。上限検出用近接センサー５２で上限の液面高さを検出し、下限検出用近接センサー５３で下限の液面高さを検出する。上限検出用近接センサー５２は上スイッチ、下限検出用近接センサー５３は上スイッチに対応する。
●［ステップＳＣ０１］予め設定されたフィルタの洗浄動作間隔時間αを読み込む。
●［ステップＳＣ０２］Ｔ２の初期値をαとする。Ｔ２は今回のダーティーポンプの駆動時間の積分時間を表す。
●［ステップＳＣ０３］ダーティーポンプが駆動時間を積算した積算時間ｔの初期値を０とする。
●［ステップＳＣ０４］クリーン槽内の濾過された切削液の液面の高さによって、下スイッチがオンの場合（ＹＥＳ）ステップＳＣ０５へ移行し、オフの場合（ＮＯ）ステップＳＣ０６へ移行する。
●［ステップＣ０５］ダーティーポンプは起動中か否か判断し、起動中の場合（ＹＥＳ）にはステップＳＣ０９へ移行し、起動中ではない場合（ＮＯ）にはステップＳＣ０４に戻る。
●［ステップＳＣ０６］ダーティーポンプを起動する。
●［ステップＳＣ０７］タイマーをリセットする。なお、タイマーはダーティーポンプの駆動時間を計時するタイマーである。
●［ステップＳＣ０８］タイマーをオンし、ステップＳＣ０９へ移行する。
●［ステップＳＣ０９］クリーン槽内の濾過された切削液の液面の高さによって、上スイッチがオンの場合（ＹＥＳ）ステップＳＣ１０へ移行し、オフの場合（ＮＯ）上スイッチがオンになるまで待つ。
●［ステップＳＣ１０］ダーティーポンプを停止する。
●［ステップＳＣ１１］タイマーをオフする。
●［ステップＳＣ１２］ダーティーポンプを駆動した時間の積算時間ｔをｔ＋Δｔにより積算する。Δｔは、クリーン槽の濾過された切削液の液面の高さが下スイッチで検出される高さから上スイッチで検出される高さとなるまでの、ダーティーポンプを駆動する時間である。
●［ステップＳＣ１３］ステップＳＣ１２で積算されたダーティーポンプの駆動時間の積算時間ｔが予め設定されたフィルタの洗浄動作間隔時間αより長いか否か判断し、長い場合（等しい場合も含む）（ＹＥＳ）にはステップＳＣ１４へ移行し、短い場合（ＮＯ）にはステップＳＣ０４に戻る。
●［ステップＳＣ１４］フィルタ洗浄を開始する。
●［ステップＳＣ１５］フィルタ洗浄終了か否か判断し、フィルタの洗浄の終了を待ってステップＳＣ１６に移行する。
●［ステップＳＣ１６］Ｔ１の値をＴ２の値とする。Ｔ１は前回のダーティーポンプの駆動時間の積分時間を表す。
●［ステップＳＣ１７］Ｔ２の値をステップＳＣ１１で演算して得られた積算時間ｔとする。
●［ステップＳＣ１８］（Ｔ１／Ｔ２）＊αで計算した結果の値を新たに洗浄動作間隔時間αとし、ステップＳＣ０３へ戻る。
●［ステップＳＣ０１］予め設定されたフィルタの洗浄動作間隔時間αを読み込む。
●［ステップＳＣ０２］Ｔ２の初期値をαとする。Ｔ２は今回のダーティーポンプの駆動時間の積分時間を表す。
●［ステップＳＣ０３］ダーティーポンプが駆動時間を積算した積算時間ｔの初期値を０とする。
●［ステップＳＣ０４］クリーン槽内の濾過された切削液の液面の高さによって、下スイッチがオンの場合（ＹＥＳ）ステップＳＣ０５へ移行し、オフの場合（ＮＯ）ステップＳＣ０６へ移行する。
●［ステップＣ０５］ダーティーポンプは起動中か否か判断し、起動中の場合（ＹＥＳ）にはステップＳＣ０９へ移行し、起動中ではない場合（ＮＯ）にはステップＳＣ０４に戻る。
●［ステップＳＣ０６］ダーティーポンプを起動する。
●［ステップＳＣ０７］タイマーをリセットする。なお、タイマーはダーティーポンプの駆動時間を計時するタイマーである。
●［ステップＳＣ０８］タイマーをオンし、ステップＳＣ０９へ移行する。
●［ステップＳＣ０９］クリーン槽内の濾過された切削液の液面の高さによって、上スイッチがオンの場合（ＹＥＳ）ステップＳＣ１０へ移行し、オフの場合（ＮＯ）上スイッチがオンになるまで待つ。
●［ステップＳＣ１０］ダーティーポンプを停止する。
●［ステップＳＣ１１］タイマーをオフする。
●［ステップＳＣ１２］ダーティーポンプを駆動した時間の積算時間ｔをｔ＋Δｔにより積算する。Δｔは、クリーン槽の濾過された切削液の液面の高さが下スイッチで検出される高さから上スイッチで検出される高さとなるまでの、ダーティーポンプを駆動する時間である。
●［ステップＳＣ１３］ステップＳＣ１２で積算されたダーティーポンプの駆動時間の積算時間ｔが予め設定されたフィルタの洗浄動作間隔時間αより長いか否か判断し、長い場合（等しい場合も含む）（ＹＥＳ）にはステップＳＣ１４へ移行し、短い場合（ＮＯ）にはステップＳＣ０４に戻る。
●［ステップＳＣ１４］フィルタ洗浄を開始する。
●［ステップＳＣ１５］フィルタ洗浄終了か否か判断し、フィルタの洗浄の終了を待ってステップＳＣ１６に移行する。
●［ステップＳＣ１６］Ｔ１の値をＴ２の値とする。Ｔ１は前回のダーティーポンプの駆動時間の積分時間を表す。
●［ステップＳＣ１７］Ｔ２の値をステップＳＣ１１で演算して得られた積算時間ｔとする。
●［ステップＳＣ１８］（Ｔ１／Ｔ２）＊αで計算した結果の値を新たに洗浄動作間隔時間αとし、ステップＳＣ０３へ戻る。
＜第４の例＞
図６−１，図６−２は、本発明の実施形態である切削液濾過装置における逆洗動作の処理を説明するフロチャートの第４の例である。
この例では、ステップＳＤ１２で演算して求められる各フィルタ洗浄の間のダーティーポンの駆動時間の積分時間ｔに変動が生じることに対応して、フィルタの洗浄動作間隔時間αを変動させる。第４の例では、ダーティーポンプの駆動時間の過去の積算時間の平均積算時間と今回の積算時間とを比較することによってフィルタの洗浄動作間隔時間αを変動させる。
図６−１，図６−２は、本発明の実施形態である切削液濾過装置における逆洗動作の処理を説明するフロチャートの第４の例である。
この例では、ステップＳＤ１２で演算して求められる各フィルタ洗浄の間のダーティーポンの駆動時間の積分時間ｔに変動が生じることに対応して、フィルタの洗浄動作間隔時間αを変動させる。第４の例では、ダーティーポンプの駆動時間の過去の積算時間の平均積算時間と今回の積算時間とを比較することによってフィルタの洗浄動作間隔時間αを変動させる。
以下、各ステップに従って説明する。なお、このフローでは、切削液濾過装置３においてクリーン槽３３の濾過された切削液の液面の高さは２個の近接センサーを用いて検出される。上限検出用近接センサー５２で上限の液面高さを検出し、下限検出用近接センサー５３で下限の液面高さを検出する。上限検出用センサー５２は上スイッチ、下限検出用近接センサー５３は上スイッチに対応する。
●［ステップＳＤ０１］予め設定されたフィルタの洗浄動作間隔時間αを読み込む。
●［ステップＳＤ０２］Ｔ０の初期値０、Ｋの初期値を１とする。Ｔ０はダーティーポンプの駆動時間の過去の積算時間の総和の時間を表す。なお、総和するダーティーポンプの駆動時間の過去の積算時間の数を所定数にしてもよい。指標Ｋはフィルタの洗浄を行う回数を表す。
●［ステップＳＤ０３］ダーティーポンプが駆動時間を積算した積算時間ｔの初期値を０とする。
●［ステップＳＤ０４］クリーン槽内の濾過された切削液の液面の高さによって、下スイッチがオンの場合（ＹＥＳ）ステップＳＤ０５へ移行し、オフの場合（ＮＯ）ステップＳＤ０６へ移行する。
●［ステップＳＤ０５］ダーティーポンプが起動中の場合（ＹＥＳ）にはステップＳＤ０９へ移行し、起動中ではない場合（ＮＯ）にはステップＳＤ０４へ戻る。
●［ステップＳＤ０６］ダーティーポンプを起動する。
●［ステップＳＤ０７］タイマーをリセットする。なお、タイマーはダーティーポンプの駆動時間を計時するタイマーである。
●［ステップＳＤ０８］タイマーをオンし、ステップＳＤ０９へ移行する。
●［ステップＳＤ０９］クリーン槽内の濾過された切削液の液面の高さによって、上スイッチがオンの場合（ＹＥＳ）ステップＳＤ１０へ移行し、オフの場合（ＮＯ）上スイッチがオンになるまで待つ。
●［ステップＳＤ１０］ダーティーポンプを停止する。
●［ステップＳＤ１１］タイマーをオフする。
●［ステップＳＤ１２］ダーティーポンプを駆動した時間の積算時間ｔをｔ＋Δｔにより積算する。Δｔは、クリーン槽の濾過された切削液の液面の高さが下スイッチで検出される高さから上スイッチで検出される高さとなるまでの、ダーティーポンプを駆動する時間である。
●［ステップＳＤ１３］ステップＳＤ１２で積算されたダーティーポンプの駆動時間の積算時間ｔが予め設定されたフィルタの洗浄動作間隔時間αより長いか否か判断し、長い場合（等しい場合も含む）（ＹＥＳ）にはステップＳＤ１４へ移行し、短い場合（ＮＯ）にはステップＳＤ０４に戻る。
●［ステップＳＤ１４］フィルタ洗浄を開始する。
●［ステップＳＤ１５］フィルタ洗浄終了か否か判断し、フィルタの洗浄の終了を待ってステップＳＤ１６に移行する。
●［ステップＳＤ１６］Ｔ０の値にステップＳＤ１１で演算して得られた積算時間ｔを加算した値を新たにＴ０の値とする。
●［ステップＳＤ１７］Ｔ０の値をフィルタの洗浄回数Ｋで除算した値を平均積算時間Ｔ１とする。
●［ステップＳＤ１８］今回のダーティーポンプの駆動時間の積算時間Ｔ２をステップＳＤ１１で演算して得られた積算時間ｔとする。
●［ステップＳＤ１９］（Ｔ１／Ｔ２）＊αで計算した結果の値を新たに洗浄動作間隔時間αとする。
●［ステップＳＤ２０］Ｋに１加算した値を新たにフィルタの洗浄回数Ｋとし、ステップＳＤ０３へ戻る。
●［ステップＳＤ０１］予め設定されたフィルタの洗浄動作間隔時間αを読み込む。
●［ステップＳＤ０２］Ｔ０の初期値０、Ｋの初期値を１とする。Ｔ０はダーティーポンプの駆動時間の過去の積算時間の総和の時間を表す。なお、総和するダーティーポンプの駆動時間の過去の積算時間の数を所定数にしてもよい。指標Ｋはフィルタの洗浄を行う回数を表す。
●［ステップＳＤ０３］ダーティーポンプが駆動時間を積算した積算時間ｔの初期値を０とする。
●［ステップＳＤ０４］クリーン槽内の濾過された切削液の液面の高さによって、下スイッチがオンの場合（ＹＥＳ）ステップＳＤ０５へ移行し、オフの場合（ＮＯ）ステップＳＤ０６へ移行する。
●［ステップＳＤ０５］ダーティーポンプが起動中の場合（ＹＥＳ）にはステップＳＤ０９へ移行し、起動中ではない場合（ＮＯ）にはステップＳＤ０４へ戻る。
●［ステップＳＤ０６］ダーティーポンプを起動する。
●［ステップＳＤ０７］タイマーをリセットする。なお、タイマーはダーティーポンプの駆動時間を計時するタイマーである。
●［ステップＳＤ０８］タイマーをオンし、ステップＳＤ０９へ移行する。
●［ステップＳＤ０９］クリーン槽内の濾過された切削液の液面の高さによって、上スイッチがオンの場合（ＹＥＳ）ステップＳＤ１０へ移行し、オフの場合（ＮＯ）上スイッチがオンになるまで待つ。
●［ステップＳＤ１０］ダーティーポンプを停止する。
●［ステップＳＤ１１］タイマーをオフする。
●［ステップＳＤ１２］ダーティーポンプを駆動した時間の積算時間ｔをｔ＋Δｔにより積算する。Δｔは、クリーン槽の濾過された切削液の液面の高さが下スイッチで検出される高さから上スイッチで検出される高さとなるまでの、ダーティーポンプを駆動する時間である。
●［ステップＳＤ１３］ステップＳＤ１２で積算されたダーティーポンプの駆動時間の積算時間ｔが予め設定されたフィルタの洗浄動作間隔時間αより長いか否か判断し、長い場合（等しい場合も含む）（ＹＥＳ）にはステップＳＤ１４へ移行し、短い場合（ＮＯ）にはステップＳＤ０４に戻る。
●［ステップＳＤ１４］フィルタ洗浄を開始する。
●［ステップＳＤ１５］フィルタ洗浄終了か否か判断し、フィルタの洗浄の終了を待ってステップＳＤ１６に移行する。
●［ステップＳＤ１６］Ｔ０の値にステップＳＤ１１で演算して得られた積算時間ｔを加算した値を新たにＴ０の値とする。
●［ステップＳＤ１７］Ｔ０の値をフィルタの洗浄回数Ｋで除算した値を平均積算時間Ｔ１とする。
●［ステップＳＤ１８］今回のダーティーポンプの駆動時間の積算時間Ｔ２をステップＳＤ１１で演算して得られた積算時間ｔとする。
●［ステップＳＤ１９］（Ｔ１／Ｔ２）＊αで計算した結果の値を新たに洗浄動作間隔時間αとする。
●［ステップＳＤ２０］Ｋに１加算した値を新たにフィルタの洗浄回数Ｋとし、ステップＳＤ０３へ戻る。
＜第５の例＞
図７は、本発明の実施形態である切削液濾過装置における逆洗動作の処理を説明するフロチャートの第５の例である。第５の例は、クリーン槽内の濾過された切削液の液面の高さが下限位置を下回るとダーティーポンプが駆動し、所定時間，駆動した後、ダーティーポンプを停止する形態である。以下、各ステップに従って説明する。
●［ステップＳＥ０１］予め設定されたフィルタの洗浄動作間隔時間α、ダーティーポンプを駆動する所定時間βを読み込む。
●［ステップＳＥ０２］ダーティーポンプが駆動時間を積算した積算時間ｔの初期値を０とする。
●［ステップＳＥ０３］クリーン槽内の濾過された切削液の液面の高さが下限位置を下回ったか否かを検出する下限位置検出スイッチはオンか否か判断し、オンの場合（ＹＥＳ）ステップＳＥ０７へ移行し、オフの場合（ＮＯ）ステップＳＥ０４へ移行する。
●［ステップＳＥ０４］ダーティーポンプを起動する。
●［ステップＳＥ０５］タイマーをリセットする。なお、タイマーはダーティーポンプの駆動時間を計時するタイマーである。
●［ステップＳＥ０６］タイマーをオンし、ステップＳＥ０７へ移行する。
●［ステップＳＥ０７］ダーティーポンプが起動中か否か判断し、起動中の場合（ＹＥＳ）ステップＳＥ０８へ移行し、起動中でない場合（ＮＯ）ステップＳＥ０３に戻る。
●［ステップＳＥ０８］ダーティーポンプを駆動した駆動時間Δｔは所定時間を超えたか否か判断し、超えた場合（等しい場合も含む）（ＹＥＳ）ステップＳＥ０９へ移行し、超えていない場合（ＮＯ），駆動時間が超えるのを待ってステップＳＥ０９へ移行する。
●［ステップＳＥ０９］ダーティーポンプを停止する。
●［ステップＳＥ１０］タイマーをオフする。
●［ステップＳＥ１１］ダーティーポンプを駆動した時間の積算時間ｔをｔ＋Δｔにより積算する。Δｔはクリーン槽の濾過された切削液の液面の高さが所定の高さを下回ったときからダーティーポンプを駆動し、液面の高さが所定の高さに達するまでの時間である。
●［ステップＳＥ１２］ステップＳＥ１１で積算されたダーティーポンプの駆動時間の積算時間ｔが予め設定されたフィルタの洗浄動作間隔時間αより長いか否か判断し、長い場合（等しい場合も含む）（ＹＥＳ）にはステップＳＥ１３へ移行し、短い場合（ＮＯ）にはステップＳＥ０３に戻る。
●［ステップＳＥ１３］フィルタ洗浄を開始する。
●［ステップＳＥ１４］フィルタ洗浄終了か否か判断し、フィルタの洗浄の終了を待ってステップＳＥ０２に戻る。
図７は、本発明の実施形態である切削液濾過装置における逆洗動作の処理を説明するフロチャートの第５の例である。第５の例は、クリーン槽内の濾過された切削液の液面の高さが下限位置を下回るとダーティーポンプが駆動し、所定時間，駆動した後、ダーティーポンプを停止する形態である。以下、各ステップに従って説明する。
●［ステップＳＥ０１］予め設定されたフィルタの洗浄動作間隔時間α、ダーティーポンプを駆動する所定時間βを読み込む。
●［ステップＳＥ０２］ダーティーポンプが駆動時間を積算した積算時間ｔの初期値を０とする。
●［ステップＳＥ０３］クリーン槽内の濾過された切削液の液面の高さが下限位置を下回ったか否かを検出する下限位置検出スイッチはオンか否か判断し、オンの場合（ＹＥＳ）ステップＳＥ０７へ移行し、オフの場合（ＮＯ）ステップＳＥ０４へ移行する。
●［ステップＳＥ０４］ダーティーポンプを起動する。
●［ステップＳＥ０５］タイマーをリセットする。なお、タイマーはダーティーポンプの駆動時間を計時するタイマーである。
●［ステップＳＥ０６］タイマーをオンし、ステップＳＥ０７へ移行する。
●［ステップＳＥ０７］ダーティーポンプが起動中か否か判断し、起動中の場合（ＹＥＳ）ステップＳＥ０８へ移行し、起動中でない場合（ＮＯ）ステップＳＥ０３に戻る。
●［ステップＳＥ０８］ダーティーポンプを駆動した駆動時間Δｔは所定時間を超えたか否か判断し、超えた場合（等しい場合も含む）（ＹＥＳ）ステップＳＥ０９へ移行し、超えていない場合（ＮＯ），駆動時間が超えるのを待ってステップＳＥ０９へ移行する。
●［ステップＳＥ０９］ダーティーポンプを停止する。
●［ステップＳＥ１０］タイマーをオフする。
●［ステップＳＥ１１］ダーティーポンプを駆動した時間の積算時間ｔをｔ＋Δｔにより積算する。Δｔはクリーン槽の濾過された切削液の液面の高さが所定の高さを下回ったときからダーティーポンプを駆動し、液面の高さが所定の高さに達するまでの時間である。
●［ステップＳＥ１２］ステップＳＥ１１で積算されたダーティーポンプの駆動時間の積算時間ｔが予め設定されたフィルタの洗浄動作間隔時間αより長いか否か判断し、長い場合（等しい場合も含む）（ＹＥＳ）にはステップＳＥ１３へ移行し、短い場合（ＮＯ）にはステップＳＥ０３に戻る。
●［ステップＳＥ１３］フィルタ洗浄を開始する。
●［ステップＳＥ１４］フィルタ洗浄終了か否か判断し、フィルタの洗浄の終了を待ってステップＳＥ０２に戻る。
＜第６の例＞
図８−１，図８−２は、本発明の実施形態である切削液濾過装置における逆洗動作の処理を説明するフロチャートの第６の例である。第６の例は、クリーン槽内の濾過された切削液の液面の高さが所定の高さ以下になっている時間が一定時間以上になった場合、フィルタの洗浄を実行する形態である。以下、各ステップに従って説明する。
●［ステップＳＦ０１］予め設定されたフィルタの洗浄動作間隔時間α、ダーティーポンプを駆動する第１の一定時間γを読み込む。
●［ステップＳＦ０２］ダーティーポンプが駆動時間を積算した積算時間ｔの初期値を０とする。
●［ステップＳＦ０３］クリーン槽内の濾過された切削液の液面の高さが所定の高さ以下か判断し、所定の高さ以下の場合（ＹＥＳ）ステップＳＦ０４へ移行し、所定の高さ以下ではない場合（ＮＯ）ステップＳＦ０９へ移行する。クリーン槽内の濾過された切削液の液面の高さは液面位置検出センサーからの検出信号を用いて検出することができる。
●［ステップＳＦ０４］ダーティーポンプは起動中か否か判断し、起動中である場合（ＹＥＳ）ステップＳＦ０８へ移行し、起動中でない場合（ＮＯ）ステップＳＦ０５へ移行する。
●［ステップＳＦ０５］ダーティーポンプを起動する。
●［ステップＳＦ０６］タイマーをリセットする。なお、タイマーはダーティーポンプの駆動時間を計時するタイマーである。
●［ステップＳＦ０７］タイマーをオンする。
●［ステップＳＦ０８］ダーティーポンプの駆動時間Δｔは第１の一定時間γ以上か否か判断し、ＹＥＳの場合にはステップＳＦ１６へ移行し、ＮＯの場合にはステップＳＦ０３へ移行する。ここで、ＹＥＳの場合は、例えば、フィルタに切粉などの不純物の付着が急激に増大し、不純物を含んだ切削液の濾過する能力が急激に低下した場合の対策である。これにより、クリーン槽内の濾過された切削液が不足することを防止することができる。
●［ステップＳＦ０９］ダーティーポンプが起動中か否か判断し、起動中の場合（ＹＥＳ）ステップＳＦ１０へ移行し、起動中でない場合（ＮＯ）ステップＳＦ０３へ戻る。
●［ステップＳＦ１０］ステップＳＦ０３でクリーン槽内の濾過された切削液の液面が所定の高さより高いと判断されたことから、ダーティーポンプを停止する。
●［ステップＳＦ１１］タイマーをオフする。
●［ステップＳＦ１２］ダーティーポンプを駆動した時間の積算時間ｔをｔ＋Δｔにより積算する。Δｔはクリーン槽の濾過された切削液の液面の高さが所定の高さを下回ったときからダーティーポンプを駆動し、液面の高さが所定の高さに達するまでの時間である。
●［ステップＳＦ１３］ステップＳＦ１２で積算されたダーティーポンプの駆動時間の積算時間ｔが予め設定されたフィルタの洗浄動作間隔時間αより長いか否か判断し、長い場合（等しい場合も含む）（ＹＥＳ）にはステップＳＦ１４へ移行し、短い場合（ＮＯ）にはステップＳＦ０３に戻る。
●［ステップＳＦ１４］フィルタ洗浄を開始する。
●［ステップＳＦ１５］フィルタ洗浄終了か否か判断し、フィルタの洗浄の終了を待ってステップＳＦ０２に戻る。
●［ステップＳＦ１６］ステップＳＦ０８でダーティーポンプが第１の一定時間γ以上駆動し続けているので、ダーティーポンプを停止する。
●［ステップＳＦ１７］タイマーをオフし、ステップＳＦ１４へ移行する。
図８−１，図８−２は、本発明の実施形態である切削液濾過装置における逆洗動作の処理を説明するフロチャートの第６の例である。第６の例は、クリーン槽内の濾過された切削液の液面の高さが所定の高さ以下になっている時間が一定時間以上になった場合、フィルタの洗浄を実行する形態である。以下、各ステップに従って説明する。
●［ステップＳＦ０１］予め設定されたフィルタの洗浄動作間隔時間α、ダーティーポンプを駆動する第１の一定時間γを読み込む。
●［ステップＳＦ０２］ダーティーポンプが駆動時間を積算した積算時間ｔの初期値を０とする。
●［ステップＳＦ０３］クリーン槽内の濾過された切削液の液面の高さが所定の高さ以下か判断し、所定の高さ以下の場合（ＹＥＳ）ステップＳＦ０４へ移行し、所定の高さ以下ではない場合（ＮＯ）ステップＳＦ０９へ移行する。クリーン槽内の濾過された切削液の液面の高さは液面位置検出センサーからの検出信号を用いて検出することができる。
●［ステップＳＦ０４］ダーティーポンプは起動中か否か判断し、起動中である場合（ＹＥＳ）ステップＳＦ０８へ移行し、起動中でない場合（ＮＯ）ステップＳＦ０５へ移行する。
●［ステップＳＦ０５］ダーティーポンプを起動する。
●［ステップＳＦ０６］タイマーをリセットする。なお、タイマーはダーティーポンプの駆動時間を計時するタイマーである。
●［ステップＳＦ０７］タイマーをオンする。
●［ステップＳＦ０８］ダーティーポンプの駆動時間Δｔは第１の一定時間γ以上か否か判断し、ＹＥＳの場合にはステップＳＦ１６へ移行し、ＮＯの場合にはステップＳＦ０３へ移行する。ここで、ＹＥＳの場合は、例えば、フィルタに切粉などの不純物の付着が急激に増大し、不純物を含んだ切削液の濾過する能力が急激に低下した場合の対策である。これにより、クリーン槽内の濾過された切削液が不足することを防止することができる。
●［ステップＳＦ０９］ダーティーポンプが起動中か否か判断し、起動中の場合（ＹＥＳ）ステップＳＦ１０へ移行し、起動中でない場合（ＮＯ）ステップＳＦ０３へ戻る。
●［ステップＳＦ１０］ステップＳＦ０３でクリーン槽内の濾過された切削液の液面が所定の高さより高いと判断されたことから、ダーティーポンプを停止する。
●［ステップＳＦ１１］タイマーをオフする。
●［ステップＳＦ１２］ダーティーポンプを駆動した時間の積算時間ｔをｔ＋Δｔにより積算する。Δｔはクリーン槽の濾過された切削液の液面の高さが所定の高さを下回ったときからダーティーポンプを駆動し、液面の高さが所定の高さに達するまでの時間である。
●［ステップＳＦ１３］ステップＳＦ１２で積算されたダーティーポンプの駆動時間の積算時間ｔが予め設定されたフィルタの洗浄動作間隔時間αより長いか否か判断し、長い場合（等しい場合も含む）（ＹＥＳ）にはステップＳＦ１４へ移行し、短い場合（ＮＯ）にはステップＳＦ０３に戻る。
●［ステップＳＦ１４］フィルタ洗浄を開始する。
●［ステップＳＦ１５］フィルタ洗浄終了か否か判断し、フィルタの洗浄の終了を待ってステップＳＦ０２に戻る。
●［ステップＳＦ１６］ステップＳＦ０８でダーティーポンプが第１の一定時間γ以上駆動し続けているので、ダーティーポンプを停止する。
●［ステップＳＦ１７］タイマーをオフし、ステップＳＦ１４へ移行する。
＜第７の例＞
図９−１，図９−２は、本発明の実施形態である切削液濾過装置における逆洗動作の処理を説明するフロチャートの第７の例である。第７の例は、クリーン槽内の濾過された切削液の液面の高さが所定の高さ以下になっている時間が一定時間以上になった場合、工作機械を停止する形態である。以下、各ステップに従って説明する。
●［ステップＳＧ０１］予め設定されたフィルタの洗浄動作間隔時間α、ダーティーポンプを駆動する第１の一定時間εを読み込む。
●［ステップＳＧ０２］ダーティーポンプが駆動時間を積算した積算時間ｔの初期値を０とする。
●［ステップＳＧ０３］クリーン槽内の濾過された切削液の液面の高さが所定の高さ以下か判断し、所定の高さ以下の場合（ＹＥＳ）ステップＳＧ０４へ移行し、所定の高さ以下ではない場合（ＮＯ）ステップＳＧ０９へ移行する。クリーン槽内の濾過された切削液の液面の高さは液面位置検出センサーからの検出信号を用いて検出することができる。
●［ステップＳＧ０４］ダーティーポンプは起動中か否か判断し、起動中である場合（ＹＥＳ）ステップＳＧ０８へ移行し、起動中でない場合（ＮＯ）ステップＳＧ０５へ移行する。
●［ステップＳＧ０５］ダーティーポンプを起動する。
●［ステップＳＧ０６］タイマーをリセットする。なお、タイマーはダーティーポンプの駆動時間を計時するタイマーである。
●［ステップＳＧ０７］タイマーをオンする。
●［ステップＳＧ０８］ダーティーポンプの駆動時間Δｔは第１の一定時間ε以上か否か判断し、ＹＥＳの場合にはステップＳＧ１６へ移行し、ＮＯの場合にはステップＳＧ０３へ移行する。ここで、ＹＥＳの場合は、例えば、フィルタに切粉などの不純物の付着が急激に増大し、不純物を含んだ切削液の濾過する能力が急激に低下した場合の対策である。これにより、クリーン槽内の濾過された切削液が不足し、濾過された切削液を工作機械に供給することができなくなった場合、工作機械に悪影響を及ぼすことを防止することができる。
●［ステップＳＧ０９］ダーティーポンプが起動中か否か判断し、起動中の場合（ＹＥＳ）ステップＳＧ１０へ移行し、起動中でない場合（ＮＯ）ステップＳＧ０３へ戻る。
●［ステップＳＧ１０］ステップＳＧ０３でクリーン槽内の濾過された切削液の液面が所定の高さより高いと判断されたことから、ダーティーポンプを停止する。
●［ステップＳＧ１１］タイマーをオフする。
●［ステップＳＧ１２］ダーティーポンプを駆動した時間の積算時間ｔをｔ＋Δｔにより積算する。Δｔはクリーン槽の濾過された切削液の液面の高さが所定の高さを下回ったときからダーティーポンプを駆動し、液面の高さが所定の高さに達するまでの時間である。
●［ステップＳＧ１３］ステップＳＧ１２で積算されたダーティーポンプの駆動時間の積算時間ｔが予め設定されたフィルタの洗浄動作間隔時間αより長いか否か判断し、長い場合（等しい場合も含む）（ＹＥＳ）にはステップＳＧ１４へ移行し、短い場合（ＮＯ）にはステップＳＧ０３に戻る。
●［ステップＳＧ１４］フィルタ洗浄を開始する。
●［ステップＳＧ１５］フィルタ洗浄終了か否か判断し、フィルタの洗浄の終了を待ってステップＳＧ０２に戻る。
●［ステップＳＧ１６］ステップＳＧ０８でダーティーポンプが第１の一定時間ε以上駆動し続けているので、ダーティーポンプを停止する。
●［ステップＳＧ１７］タイマーをオフする。
●［ステップＳＧ１８］工作機械を停止し、終了する。工作機械の停止は切削液濾過装置３の制御装置６０から工作機械本体７０を制御する図示しない数値制御装置に停止指令を送信することによって行う。
図９−１，図９−２は、本発明の実施形態である切削液濾過装置における逆洗動作の処理を説明するフロチャートの第７の例である。第７の例は、クリーン槽内の濾過された切削液の液面の高さが所定の高さ以下になっている時間が一定時間以上になった場合、工作機械を停止する形態である。以下、各ステップに従って説明する。
●［ステップＳＧ０１］予め設定されたフィルタの洗浄動作間隔時間α、ダーティーポンプを駆動する第１の一定時間εを読み込む。
●［ステップＳＧ０２］ダーティーポンプが駆動時間を積算した積算時間ｔの初期値を０とする。
●［ステップＳＧ０３］クリーン槽内の濾過された切削液の液面の高さが所定の高さ以下か判断し、所定の高さ以下の場合（ＹＥＳ）ステップＳＧ０４へ移行し、所定の高さ以下ではない場合（ＮＯ）ステップＳＧ０９へ移行する。クリーン槽内の濾過された切削液の液面の高さは液面位置検出センサーからの検出信号を用いて検出することができる。
●［ステップＳＧ０４］ダーティーポンプは起動中か否か判断し、起動中である場合（ＹＥＳ）ステップＳＧ０８へ移行し、起動中でない場合（ＮＯ）ステップＳＧ０５へ移行する。
●［ステップＳＧ０５］ダーティーポンプを起動する。
●［ステップＳＧ０６］タイマーをリセットする。なお、タイマーはダーティーポンプの駆動時間を計時するタイマーである。
●［ステップＳＧ０７］タイマーをオンする。
●［ステップＳＧ０８］ダーティーポンプの駆動時間Δｔは第１の一定時間ε以上か否か判断し、ＹＥＳの場合にはステップＳＧ１６へ移行し、ＮＯの場合にはステップＳＧ０３へ移行する。ここで、ＹＥＳの場合は、例えば、フィルタに切粉などの不純物の付着が急激に増大し、不純物を含んだ切削液の濾過する能力が急激に低下した場合の対策である。これにより、クリーン槽内の濾過された切削液が不足し、濾過された切削液を工作機械に供給することができなくなった場合、工作機械に悪影響を及ぼすことを防止することができる。
●［ステップＳＧ０９］ダーティーポンプが起動中か否か判断し、起動中の場合（ＹＥＳ）ステップＳＧ１０へ移行し、起動中でない場合（ＮＯ）ステップＳＧ０３へ戻る。
●［ステップＳＧ１０］ステップＳＧ０３でクリーン槽内の濾過された切削液の液面が所定の高さより高いと判断されたことから、ダーティーポンプを停止する。
●［ステップＳＧ１１］タイマーをオフする。
●［ステップＳＧ１２］ダーティーポンプを駆動した時間の積算時間ｔをｔ＋Δｔにより積算する。Δｔはクリーン槽の濾過された切削液の液面の高さが所定の高さを下回ったときからダーティーポンプを駆動し、液面の高さが所定の高さに達するまでの時間である。
●［ステップＳＧ１３］ステップＳＧ１２で積算されたダーティーポンプの駆動時間の積算時間ｔが予め設定されたフィルタの洗浄動作間隔時間αより長いか否か判断し、長い場合（等しい場合も含む）（ＹＥＳ）にはステップＳＧ１４へ移行し、短い場合（ＮＯ）にはステップＳＧ０３に戻る。
●［ステップＳＧ１４］フィルタ洗浄を開始する。
●［ステップＳＧ１５］フィルタ洗浄終了か否か判断し、フィルタの洗浄の終了を待ってステップＳＧ０２に戻る。
●［ステップＳＧ１６］ステップＳＧ０８でダーティーポンプが第１の一定時間ε以上駆動し続けているので、ダーティーポンプを停止する。
●［ステップＳＧ１７］タイマーをオフする。
●［ステップＳＧ１８］工作機械を停止し、終了する。工作機械の停止は切削液濾過装置３の制御装置６０から工作機械本体７０を制御する図示しない数値制御装置に停止指令を送信することによって行う。
１ 切削液濾過装置
１０ タンク
１１ ポンプ
１２ 流入側バルブ
１３ フィルタ容器
１４ 差圧スイッチ
１５ 排出バルブ
１６ エア源
１７ エア供給バルブ
１８ 流出側バルブ
１９ 切粉を含んだ切削液
２０ 管路
２１ 管路
２２ 管路
２３ 管路
３ 切削液濾過装置
３０ タンク
３１ ダーティー槽
３２ 不純物を含んだ切削液
３３ クリーン槽
３４ 濾過された切削液
３５ 管路
３６ ダーティーポンプ
３７ 管路
３８ チェックバルブ
３９ フィルタ容器
４０ エア源
４１ 管路
４２ チェックバルブ
４３ エア供給バルブ
４４ 管路
４５ 流出側バルブ
４６ 管路
４７ 排出バルブ
４８ 管路
４９ ポンプ
５０ 管路
５１ センサー支持部材
５２ 上限検出用近接センサー
５３ 下限検出用近接センサー
５４ 浮き玉
５５ 液面検知棒
５６ 管路
６０ 制御装置
７０ 工作機械本体
１０ タンク
１１ ポンプ
１２ 流入側バルブ
１３ フィルタ容器
１４ 差圧スイッチ
１５ 排出バルブ
１６ エア源
１７ エア供給バルブ
１８ 流出側バルブ
１９ 切粉を含んだ切削液
２０ 管路
２１ 管路
２２ 管路
２３ 管路
３ 切削液濾過装置
３０ タンク
３１ ダーティー槽
３２ 不純物を含んだ切削液
３３ クリーン槽
３４ 濾過された切削液
３５ 管路
３６ ダーティーポンプ
３７ 管路
３８ チェックバルブ
３９ フィルタ容器
４０ エア源
４１ 管路
４２ チェックバルブ
４３ エア供給バルブ
４４ 管路
４５ 流出側バルブ
４６ 管路
４７ 排出バルブ
４８ 管路
４９ ポンプ
５０ 管路
５１ センサー支持部材
５２ 上限検出用近接センサー
５３ 下限検出用近接センサー
５４ 浮き玉
５５ 液面検知棒
５６ 管路
６０ 制御装置
７０ 工作機械本体
Claims (4)
- 工作機械を用いてワークを加工する際に使用した切削液を貯留するダーティー槽と、前記切削液に含まれる不純物を濾過するフィルタと、前記フィルタに前記切削液を供給するポンプと、前記フィルタで濾過した切削液を貯留するクリーン槽と、前記フィルタに捕捉された不純物を洗浄するフィルタ洗浄機能を備えた切削液濾過装置において、
前記クリーン槽に貯留した切削液の液面の下限位置と上限位置を検出する２つの液面検出器と、
前記２つの液面検出器により前記切削液の液面が下限位置を下回ると前記ポンプを駆動して前記切削液をフィルタに供給し、上限位置にあることを検出すると前記ポンプを停止するポンプ制御部と、
前記ポンプの動作時間を積算するポンプ動作時間積算部と、
前記ポンプ動作時間積算部で積算された積算時間と予め設定された前記フィルタの洗浄動作間隔時間とを比較し、該積算時間が該洗浄動作間隔時間以上となった場合に前記フィルタの洗浄を指令する洗浄指令部と、
前記フィルタの洗浄が終了してから次の洗浄を行うまでの間に前記ポンプが動作した積算時間を記憶する積算時間記憶部と、
前記フィルタを洗浄後、前記ポンプ動作時間積算部で積算された前記ポンプの動作時間を新たに積算した積算時間と、前回のフィルタ洗浄前に前記ポンプの動作時間を積算して前記積算時間記憶部に記憶された積算時間とを比較し、新たに積算した積算時間が前回のフィルタ洗浄前の積算時間より長い場合には前記洗浄動作間隔時間を短くし、短い場合には前記洗浄動作間隔時間を長くするように調整する洗浄動作間隔時間調整部と、
を有することを特徴とする切削液濾過装置。 - 工作機械を用いてワークを加工する際に使用した切削液を貯留するダーティー槽と、前記切削液に含まれる不純物を濾過するフィルタと、前記フィルタに前記切削液を供給するポンプと、前記フィルタで濾過した切削液を貯留するクリーン槽と、前記フィルタに捕捉された不純物を洗浄するフィルタ洗浄機能を備えた切削液濾過装置において、
前記クリーン槽に貯留した切削液の液面の下限位置と上限位置を検出する２つの液面検出器と、
前記２つの液面検出器により前記切削液の液面が下限位置を下回ると前記ポンプを駆動して前記切削液をフィルタに供給し、上限位置にあることを検出すると前記ポンプを停止するポンプ制御部と、
前記ポンプの動作時間を積算するポンプ動作時間積算部と、
前記ポンプ動作時間積算部で積算された積算時間と予め設定された前記フィルタの洗浄動作間隔時間とを比較し、該積算時間が該洗浄動作間隔時間以上となった場合に前記フィルタの洗浄を指令する洗浄指令部と、
前記フィルタの洗浄が終了してから次の洗浄を行うまでの間に前記ポンプが動作した積算時間を記憶する積算時間記憶部と、
新たに積算した積算時間と過去の平均積算時間とを比較し、新たに積算した積算時間が平均積算時間より長い場合には前記洗浄動作間隔時間を短くし、短い場合には前記洗浄動作間隔時間を長くするように調整する洗浄動作間隔時間調整部と、
を有することを特徴とする切削液濾過装置。 - 前記液面検出器により検出される液面が所定の高さ以下になっている時間が一定時間以上になった場合に、前記フィルタの洗浄を実施することを特徴とする請求項１または２のいずれか１つに記載の切削液濾過装置。
- 前記液面検出器により検出される液面が所定の高さ以下になっている時間が一定時間以上になった場合に、前記工作機械を停止することを特徴とする請求項１または２のいずれか１つに記載の切削液濾過装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012124725A JP5383864B2 (ja) | 2012-05-31 | 2012-05-31 | フィルタ洗浄機能を有する切削液濾過装置 |
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