JP5383180B2 - 位置決め装置 - Google Patents
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Description
また、本発明の位置決め装置は、第1のガイド面を有する固定部と、前記第1のガイド面に沿って移動する第1の移動体と、前記第1の移動体に設けられた第2のガイド面に沿って移動する第2の移動体と、前記固定部に対する前記第1の移動体の位置を測定する第1のレーザ測長器と、前記第1の移動体に対する前記第2の移動体の位置を測定する第2のレーザ測長器と、前記第1の移動体に配置された、前記第1のガイド面に対向する開口を有する第1の凹空間部と、前記第2の移動体に配置された、前記第2のガイド面に対向する開口を有する第2の凹空間部と、前記第1の移動体に配置された、前記第1の凹空間部とは独立であり、かつ前記第1のガイド面に対向する開口を有する第3の凹空間部と、前記第3の凹空間部に配置された前記第1のレーザ測長器と、前記第2の凹空間部に配置された前記第2のレーザ測長器と、を有し、前記第1の凹空間部及び前記第2の凹空間部は連通し、前記第1の凹空間部及び前記第2の凹空間部は排気口と連通し、前記排気口から前記第1の凹空間部、前記第2の凹空間部、及び前記第3の凹空間部が減圧されることを特徴とする。
2 Yガイド面
3 Yスライダ
4 Xガイド面
5 Xスライダ
6、6a、6b Y凹空間部
7、10 シール部
9 X凹空間部
12 X排気口
13 X−Y連通流路
14、31 Y排気口
15、16 排気ホース
25a、25b 干渉計
26a、26b レーザ光源
27a、27b、27c、27d ミラー
34 Zスライダ
35 工具
36 被加工物
Claims (13)
- 第1のガイド面を有する固定部と、
前記第1のガイド面に沿って移動する第1の移動体と、
前記第1の移動体に設けられた第2のガイド面に沿って移動する第2の移動体と、
前記固定部に対する前記第1の移動体の位置を測定する第1のレーザ測長器と、
前記第1の移動体に対する前記第2の移動体の位置を測定する第2のレーザ測長器と、
前記第1の移動体に配置された、前記第1のガイド面に対向する開口を有する第1の凹空間部と、
前記第2の移動体に配置された、前記第2のガイド面に対向する開口を有する第2の凹空間部と、
前記第1の凹空間部に配置された前記第1のレーザ測長器と、
前記第2の凹空間部に配置された前記第2のレーザ測長器と、を有し、
前記第1の凹空間部及び前記第2の凹空間部は連通し、前記第1の凹空間部は排気口と連通し、前記排気口から前記第1の凹空間部及び前記第2の凹空間部が減圧されることを特徴とする位置決め装置。 - 前記第1及び第2の凹空間部の開口の周囲に配置された第1及び第2のシール部を有し、
前記第1及び第2のシール部は、前記第1及び第2のガイド面との間に1μm以上10μm以下の隙間が形成され、前記隙間によって前記第1及び第2の凹空間部への空気の流入を抑制することを特徴とする請求項1に記載の位置決め装置。 - 前記第1及び第2の凹空間部の開口の周囲に配置された第1及び第2のシール部を有し、
前記第1及び第2のシール部は、接触型シールを前記第1及び第2の凹空間部の外周部に配置することによって、前記第1及び第2の凹空間部への空気の流入を抑制することを特徴とする請求項1に記載の位置決め装置。 - 前記第1及び第2のシール部の外側には、非接触軸受が配置されていることを特徴とする請求項2又は3に記載の位置決め装置。
- 前記第1及び第2のシール部の前記第1及び第2のガイド面に対向する面と、前記非接触軸受の前記第1及び第2のガイド面に対向する面とは、同一平面上に配置されていることを特徴とする請求項4に記載の位置決め装置。
- 前記第1及び第2のレーザ測長器は、前記第1及び第2の凹空間部の対向する2箇所に設置された複数のミラーを用いて差動計測することを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の位置決め装置。
- 第1のガイド面を有する固定部と、
前記第1のガイド面に沿って移動する第1の移動体と、
前記第1の移動体に設けられた第2のガイド面に沿って移動する第2の移動体と、
前記固定部に対する前記第1の移動体の位置を測定する第1のレーザ測長器と、
前記第1の移動体に対する前記第2の移動体の位置を測定する第2のレーザ測長器と、
前記第1の移動体に配置された、前記第1のガイド面に対向する開口を有する第1の凹空間部と、
前記第2の移動体に配置された、前記第2のガイド面に対向する開口を有する第2の凹空間部と、
前記第1の移動体に配置された、前記第1の凹空間部とは独立であり、かつ前記第1のガイド面に対向する開口を有する第3の凹空間部と、
前記第3の凹空間部に配置された前記第1のレーザ測長器と、
前記第2の凹空間部に配置された前記第2のレーザ測長器と、を有し、
前記第1の凹空間部及び前記第2の凹空間部は連通し、前記第1の凹空間部及び前記第3の凹空間部は排気口と連通し、前記排気口から前記第1の凹空間部、前記第2の凹空間部、及び前記第3の凹空間部が減圧されることを特徴とする位置決め装置。 - 前記第1及び第3の凹空間部の開口の周囲に配置された第1のシール部と、前記第2の凹空間部の開口の周囲に配置された第2のシール部と、を有し、
前記第1及び第2のシール部は、前記第1及び第2のガイド面との間に1μm以上10μm以下の隙間が形成され、前記隙間によって前記第1、第2、及び第3の凹空間部への空気の流入を抑制することを特徴とする請求項7に記載の位置決め装置。 - 前記第1及び第3の凹空間部の開口の周囲に配置された第1のシール部と、前記第2の凹空間部の開口の周囲に配置された第2のシール部と、を有し、
前記第1及び第2のシール部は、接触型シールを前記第1、第2、及び第3の凹空間部の外周部に配置することによって、前記第1、第2、第3の凹空間部への空気の流入を抑制することを特徴とする請求項7に記載の位置決め装置。 - 前記第1及び第2のシール部の外側には、非接触軸受が配置されていることを特徴とする請求項8又は9に記載の位置決め装置。
- 前記第1及び第2のシール部の前記第1及び第2のガイド面に対向する面と、前記非接触軸受の前記第1及び第2のガイド面に対向する面とは、同一平面上に配置されていることを特徴とする請求項10に記載の位置決め装置。
- 前記第1及び第2のレーザ測長器は、前記第3及び第2の凹空間部の対向する2箇所に設置された複数のミラーを用いて差動計測することを特徴とする請求項7ないし11のいずれかに記載の位置決め装置。
- 請求項1ないし12のいずれかに記載の位置決め装置と、
工具と、
前記工具によって加工される被加工物を保持する保持具と、を有し、
前記工具と前記保持具の少なくとも一方を前記位置決め装置によって位置決めすることを特徴とする加工装置。
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