JP2010149245A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. 第１のガイド面を有する固定部と、
   前記第１のガイド面に沿って移動する第１の移動体と、
   前記第１の移動体に設けられた第２のガイド面に沿って移動する第２の移動体と、
   前記固定部に対する前記第１の移動体の位置を測定する第１のレーザ測長器と、
   前記第１の移動体に対する前記第２の移動体の位置を測定する第２のレーザ測長器と、
   前記第１の移動体に配置された、前記第１のガイド面に対向する開口を有する第１の凹空間部と、
   前記第２の移動体に配置された、前記第２のガイド面に対向する開口を有する第２の凹空間部と、
   前記第１の凹空間部及び前記第２の凹空間部をそれぞれ減圧するための減圧手段と、を有し、
   前記第１の凹空間部に前記第１のレーザ測長器を配置し、前記第２の凹空間部に前記第２のレーザ測長器を配置したことを特徴とする位置決め装置。
2. 前記減圧手段は、前記第１の凹空間部を介して前記第２の凹空間部を減圧する手段を有することを特徴とする請求項１に記載の位置決め装置。
3. 前記第１の移動体に配置された、前記第１の凹空間部とは独立であり、かつ前記第１のガイド面に対向する開口を有する第３の凹空間部と、を有し、
   前記減圧手段は、前記第１の凹空間部を減圧し、前記第３の凹空間部を介して前記第２の凹空間部を減圧する手段を有することを特徴とする請求項１に記載の位置決め装置。
4. 各凹空間部の開口の周囲に配置されたシール部を有し、
   前記シール部は、前記ガイド面との間に１μｍ以上１０μｍ以下の隙間を形成し、前記隙間によって前記凹空間部への空気の流入を抑制することを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の位置決め装置。
5. 各凹空間部の開口の周囲に配置されたシール部を有し、
   前記シール部は、接触型シールを前記凹空間部の外周部に配置することによって、前記凹空間部への空気の流入を抑制することを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の位置決め装置。
6. 各シール部の近傍には、非接触軸受を配置したことを特徴とする請求項４又は５に記載の位置決め装置。
7. 各シール部の前記ガイド面に対向する面と、前記非接触軸受の前記ガイド面に対向する面とは、同一平面上に配置されていることを特徴とする請求項６に記載の位置決め装置。
8. 各レーザ測長器は、前記凹空間部の対向する２箇所に設置された複数のミラーを用いて差動計測することを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の位置決め装置。
9. 請求項１ないし８のいずれかに記載の位置決め装置と、
   工具と、
   前記工具によって加工される被加工物を保持する保持具と、を有し、
   前記工具と前記保持具の少なくとも一方を前記位置決め装置によって位置決めすることを特徴とする加工装置。
10. 請求項９記載の加工装置によって切削加工されたレンズ成形用金型。