JP2016515192A5 - - Google Patents

Claims (11)

1. 工作機械上のアーティファクトを検査する方法であって、前記工作機械上に取り付けられたプローブを検査対象の前記アーティファクトの表面に沿って走査することを含む方法において、
   該走査中に、流体の流れを少なくとも前記プローブと前記アーティファクトの間の相互作用点に供給することを含むことを特徴とする方法。
2. 前記走査中に、少なくとも１つの流体流動装置によって前記流体が前記プローブと前記アーティファクトの間の前記相互作用点に向けて方向付けられる、請求項１に記載の方法。
3. 前記プローブと前記アーティファクトの間の実際の相互作用点とは別個の点でありながら、少なくとも前記プローブと前記アーティファクトの間の前記相互作用点において前記走査中に流体の流れを生じさせるほど十分に近接している点へ、前記流体が前記走査中に前記少なくとも１つの流体流動装置によって方向付けられる、請求項２に記載の方法。
4. 前記流体流動装置は前記プローブとは独立である、請求項２に記載の方法。
5. 少なくとも前記流体流動装置は、前記プローブの動きに少なくとも前記走査中は追従する少なくとも１つの出口を含む、請求項４に記載の方法。
6. 前記少なくとも１つの出口は、前記プローブの動きと伴に移動する、前記工作機械の部分に取り付けられている、請求項５に記載の方法。
7. 前記工作機械は冷却剤を供給して機械加工作業中に工作機械ビットを冷却するための冷却システムを備えており、該冷却システムが前記走査中に前記流体の流れを供給することを含む、請求項１に記載の方法。
8. 前記流体は液体である、請求項１に記載の方法。
9. 前記プローブは、ワークピースとの接触のための撓み可能なスタイラスを備え、および、前記スタイラスの撓みの程度の測定値を出力するように構成されている、請求項１に記載の方法。
10. アーティファクトを検査する装置において、
    工作機械と、
    前記工作機械上に取り付けられたプローブと、
    流体流動装置と
    を備え、
    前記プローブがワークピースの表面に沿って前記工作機械において走査される測定動作中に、前記流体流動装置が動作して流体の流れを少なくとも前記プローブと前記アーティファクトの間の相互作用点に生じさせるように構成されていることを特徴とする装置。
11. 工作機械上のアーティファクトを検査する方法であって、前記工作機械上に取り付けられたプローブを検査対象の前記アーティファクトの表面に沿って走査することを含む方法において、
    該走査中に検査される前記アーティファクトの少なくとも部分が液体内に沈められることを特徴とする方法。