JP4456847B2

JP4456847B2 - 測長機および測長機の原点検出方法

Info

Publication number: JP4456847B2
Application number: JP2003365160A
Authority: JP
Inventors: 幸雄眞分; 誠一萩原; 英樹山本; 哲也神永
Original assignee: Mitutoyo Corp
Current assignee: Mitutoyo Corp
Priority date: 2003-10-24
Filing date: 2003-10-24
Publication date: 2010-04-28
Anticipated expiration: 2023-10-24
Also published as: JP2005127923A

Description

本発明は、二つの測定子で測定対象物を狭持し、寸法測定を行う測長機に関する。

相対的に移動する二つの測定子により測定対象物を狭持し、これら二つの測定子の距離から測定対象物の寸法を測定する測定機が知られている。特に、例えば下記特許文献１に記載された装置のように、移動する測定子の位置をレーザ光学系にて測定することにより、非常に高精度の測定を実現した装置が知られている。この装置は、まず移動する測定子の基準の位置（原点の位置）をレーザ光学系で測定し、そして測定対象物を狭持したときの移動する測定子の、原点からの変位を測定する。

特開２００３−２３２６１２号公報

前記公報に記載された装置においては、要求される測定精度によっては、十分満足する精度を得られない場合があった。この従来の装置においては、まず原点位置の測定が必要となるが、原点位置の測定を繰り返し行うと、そのたびに値が異なり、これが一つの原因となって寸法精度が得られないという問題があった。この原点位置の精度およびその測定精度が高められないと、測定対象物の測定においても、検出精度を高めることができない。

本発明は、原点の位置決めの精度を高めるのに有利な測長機および原点の検出方法を提供する。また、高い測定精度を得るのに有利な測長機を提供する。

本発明の測長機の原点検出方法は、原点検出過程において、測定対象物を狭持する二つの測定子のうち、測定方向に移動可能な測定子を、測定方向に略直交する方向に所定回数移動させる工程を含んでいる。前記測定方向に略直交する移動を行って、測定子同士を摺り合わせた後、原点算出を行うようにする。また、摺り合わせ前後において原点の測定を行い、前後の値の変化が所定値以下となったことを確認した後、原点を算出してもよい。さらにまた、測定子同士を摺り合わせた後、一旦測定子を離し、再度当接させて原点算出を行うようにすることもできる。

前記測定子同士の摺り合わせを行うために、移動可能な測定子が固定された移動台を静圧軸受にて支持し、この静圧軸受への流体供給を制御する手段を設けることができる。流体の供給を制御することにより測定子をわずかに移動させ、二つの測定子同士を摺り合わせることができる。

また、前記のように静圧軸受を用いた場合、軸受の、測定子の配置される側の端から漏れる流体を回収する手段を設けることができる。軸受より漏れる流体の流れによる測定への影響を抑えることができる。

以下、本発明の実施形態を、図面に従って説明する。図１は、本実施形態の光学式測長機１０の概略構成を示す図である。光学式測長機１０は、レーザ光源１２と、これから照射されたレーザ光を受け入れる導光部１４を有している。導光部１４は、共通の軸上に配置される二つのシリンダ１６，１８を含む。シリンダ１８の少なくとも一部は、シリンダ１６の内側に配置され、シリンダ１８の全体として、前記共通の軸方向に伸縮可能となっている。以下、外側に位置するシリンダ１６を移動シリンダ１６と、内側に位置するシリンダ１８を伸縮シリンダ１８と記す。

伸縮シリンダ１８は、ベース２０に対し固定された固定シリンダ２２と、伸縮自在な部材、例えばベローズ２４を含み、さらに固定シリンダ２２とベローズ２４を結合する第１結合シリンダ２６、ベローズ２４と導光部１４の端面を結合する第２結合シリンダ２８を有する。図示するように、ベローズ２４は、移動シリンダ１６の内側に位置するように配置され、固定シリンダ２２の一部も移動シリンダ１６に入り込んでいる。伸縮シリンダ１８のレーザ光源１２側の面には、レーザ光を導光部１４内に受け入れるための窓３０が設けられている。伸縮シリンダ１８は、前述した各シリンダ２２，２６，２８とベローズ２４を一連に結合し、一方の端を窓３０、他方の端を後述する反射鏡により封止していることにより、その内部が外部と遮断されている。伸縮シリンダ１８の内部空間は、ここを減圧するために、吸引管を介して真空ポンプ３１に接続されている。したがって、必要に応じて伸縮シリンダ１８の内部を、所定の低圧、例えば真空に減圧することができる。また、測定中、真空ポンプ３１を、前記所定の低圧を維持するように動作させることも、真空ポンプ３１による減圧後、伸縮シリンダ内を密閉し、測定を行うようにすることもできる。

移動シリンダ１６は、ベース２０に固定される軸受ハウジング３４に備えられる静圧軸受３２に、軸方向に移動可能に支持されている。移動シリンダ１６の図中左側の端は、導光部１４の端であり、測定時において、測定方向すなわち導光部１４の軸方向より測定対象物に接近、接触する移動測定子３６である。したがって、移動シリンダ１６は、移動測定子３６を一端に固定して搭載し、軸受により測定方向に移動可能に支持される移動台として機能する。導光部１４の左端内側には、レーザ光を反射する反射鏡３８が配置され、伸縮シリンダ１８の端である第２結合シリンダ２８の端も、ここに固定されている。移動シリンダ１６の反対側の端は、伸縮シリンダ１８の外周と接触し、内部を封止する構造となっている。また、この部分の摩擦抵抗をより低減させるために、ラビリンス構造を採ることも可能である。すなわち、移動シリンダ１６の、この端の内周面である伸縮シリンダ１８外周面に対向する部分に、いくつかのつばを軸方向に配列し、後述するピストン４２と類似の構造とすることができる。

レーザ光源１２と窓３０の間のレーザ光の光路上には、干渉計４０が配置され、この干渉計４０によって、レーザ光源１２から参照光路側を往復した光と、反射鏡３８で反射して導光部１４内を往復した光との干渉によって光路差の変化が測定される。したがって、これらの光学系および光学系の光路変化を測定する手段が測定対象物の寸法を算出する寸法算出部として機能する。

導光部１４、特に内外のシリンダ１６，１８の重なった部分の詳細な構造を図２も参照して説明する。伸縮シリンダ１８の外周には、つば状にピストン４２が固定され、その外周と移動シリンダ１６の内周との間には、わずかの隙間が形成されている。そして、このピストンによって、二つのシリンダ１６，１８の間の略円筒状の空間が、軸方向に区分される。区分された一方の空間、図中右側の空間を第１圧力室４４、左側の空間を第２圧力室４６とする。また、２つの圧力室を軸方向に区分するピストンは、伸縮シリンダ１８ではなく、移動シリンダ１６に固定することもできる。第１圧力室４４には、固定シリンダ２２の壁内に設けられた圧力導入管４８を介して圧力制御部５０より作動流体、本実施形態においては空気が供給される。同様に第２圧力室４６にも、圧力導入管５１を介して圧力制御部５０より作動流体が供給される。圧力制御部５０は、第１および第２圧力室４４，４６の圧力制御のために電空レギュレータを備えている。圧力室４４，４６の圧力は、これらの電空レギュレータに備えられている圧力センサの値を用いている。前述のように、固定シリンダ２２内に設けられた圧力導入管４８，５１を介して作動流体を供給しているので、可動部分にエアホース等を取り付けて流体を供給する場合に比べて、歪みが生じにくい。すなわち、可動部分に、エアホース等の反力が発生しないようになっている。

ピストン４２は、図示するように複数のつば状の部材より構成され、これによりラビリンスが形成され、この部分の圧力損失により、第１、第２圧力室４４，４６の圧力差が維持される。この構成によれば、ピストンの摺動抵抗を減少させることができる。また、この抵抗が問題とならない場合であれば、Ｏリングなどの一般的なシール方法を採用することもできる。

圧力制御部５０によって第１および第２圧力室４４，４６に供給される圧力の差により、移動測定子３６を測定対象物に当接させる力である測定力を発生することができる。第１、第２圧力室４４，４６の圧力差により生じる軸方向の力は、ピストン４２が軸に関して対称な形状をしているため、その作用線が軸線上となる。また、ベローズ２４の弾性力および大気圧と伸縮シリンダ１８内の圧力とにより発生する抵抗力についても、導光部１４が軸対称の形状となっているために、これらの作用線が軸線上となる。よって、導光部１４にモーメントが作用することがなく、可動部分などに発生する歪みを抑えることができ、高い精度が補償される。

また、第１および第２圧力室４４，４６に適宜作動流体を供給することにより、導光部１４をアクチュエータ、すなわち測定方向に移動測定子３６を駆動する測定方向駆動手段として機能させることができる。すなわち、第１圧力室４４に作動流体を送り込むことにより、こちらの圧力を高め、移動シリンダ１６を図中右へ移動させることができる。これにより、移動測定子３６は、測定対象物に対して退避する運動を行う。また、逆に、第２圧力室４６に流体を供給すれば、移動シリンダ１６を左へ移動させ、移動測定子３６を測定対象物に対して進出させることができる。

図１に戻って説明を続ける。静圧軸受３２には、流体供給源５２より流体が供給される。本実施形態においては、この流体は空気であり、流体供給源５２は空気ポンプである。静圧軸受３２に空気が供給されると、移動シリンダ１６は供給された空気の圧力により、軸受内で浮揚する。静圧軸受３２に供給される空気は、軸受の両端から徐々に漏れるが、これを回収するために、静圧軸受３２の移動測定子３６側の端に流体回収部５４が設けられている。流体回収部５４は、移動シリンダ１６の外周に対向するにように設けられた環状の溝５６を形成し、この溝５６は低圧源５８に連通している。低圧源５８は、静圧軸受３２の部分の圧力が十分に高ければ、大気圧でもよく、また、吸引ポンプにより大気圧以下とすることもできる。いずれにしても、静圧軸受３２の端より漏れた空気を回収し、測定に影響のない遠方に排出する。例えば、当該光学測長機１０が、ブース内に設置される場合には、そのブースの外に空気を排出する。これによって、測定の際の気流の影響を排除できる。また、ブース内や測長機１０が置かれた部屋の温度など測長機周囲の温度と、ほぼ同じ温度の空気を静圧軸受３２に送るために、流体供給源５２には、温度調整機能を有している。さらに、静圧軸受３２のもう一方の端、すなわち移動測定子３６の側とは反対側の端にも、流体回収部５４と同様の回収部を設けることができる。静圧軸受３２の両側に流体回収部を設けることにより、軸受に供給された流体の大部分を回収することができ、測長機周囲の空気の揺らぎを抑え、安定した測定を行うことができる。

移動測定子３６に対向する位置に、ベース２０に対して固定された固定測定子６０が配置される。これらの測定子３６，６０それぞれの対向する面は、中央がわずかに凸の略球面形状に加工されている。この凸形状の突出量は、本実施形態においては３０ｎｍ以下とされ、また表面の粗さは二乗平均（ｒｍｓ）で数ｎｍ以下となっている。測定子の対向する面をわずかに凸にすることで、測定子同士が当接する部分を一定にすることができ、安定した測定を行うことができる。また、一方の測定子の対向面のみ凸にすることもできる。さらに、一方を凸に、他方を凹にすることもでき、この場合は、凹面の曲率半径を大きくする。このようにすれば、双方が凸形状としたときと同様、測定子同士の当接する部分を一定にすることができる。一方を凹形状とした場合には、マスターボールなど球体の直径測定時などにおいて、マスターボールと凹形状の測定子の接点が、凹形状の底（測定子の中心）となり、安定した測定が行える。

これら二つの測定子３６，６０により測定対象物を狭持して、狭持方向の寸法が測定される。この測定においては、移動測定子３６の原点位置を決定し、その位置から実際に測定対象物を狭持した時の位置までの変位を、干渉計４０から反射鏡３８の光路長の変化として測定する。このような測定方法において、原点位置が正確に定まらなければ、そこからの変位としての測定値の精度を高めることができない。

本実施形態の光学式測長機１０においては、原点検出過程において、移動測定子３６を測定方向に直交する方向に、所定回数わずかに移動させる。具体的には、流体供給源５２から静圧軸受３２への流体の供給を増減、または供給、遮断を繰り返す。静圧軸受３２に軸受として機能するための適正な流量で空気を供給すれば、移動シリンダ１６は、静圧軸受３２の穴の中央に位置する。また、流量を減じる、または遮断して全く流さないようにすれば、移動シリンダ１６は、重力により降下する。再び空気を送れば、移動シリンダ１６は上昇する。この光学式測長機１０においては、軸受隙間が８μｍに設定されており、空気を遮断すれば、隙間分、移動シリンダ１６が降下する。この下降と上昇を、二つの測定子３６，６０を当接した状態で行えば、測定子どうしを摺り合わせることができる。流体供給源５２からの空気の供給を遮断するためにバルブを設けることができる。バルブが開いているときは、空気が供給され、閉じれば遮断される。また、流体供給源５２が空気ポンプであれば、ポンプの運転を停止することにより、流体供給を遮断することもできる。このように、静圧軸受３２が、移動測定子３６を測定方向に直交する方向に駆動する手段として機能する。

図３は、光学式測長機１０の原点検出作業の流れを示すフローチャートである。まず、第２圧力室４６に空気を供給し、圧力を制御して、移動シリンダ１６を図１中左方向に移動させる。よって、移動測定子３６も、基準測定子６０に向けて移動し、双方の測定子が当接するまで、移動させる（Ｓ１００）。移動測定子３６は、第１、第２圧力室４４，４６および伸縮シリンダ１８の内圧および断面積などの幾何学的な寸法、ベローズ２４の弾性力などにより定まる力により、基準測定子６０に押しつけられる。この状態において移動測定子３６の位置データＡを取得する（Ｓ１０２）。次に、第１圧力室４４を圧力制御部５０を制御して大気圧に開放し、移動測定子３６を基準測定子６０に押しつけている力を増加させる（Ｓ１０４）。

前記押しつけ力が増加している状態で、二つの測定子３６，６０の摺り合わせを行う（Ｓ１０６）。具体的には、静圧軸受３２に供給する空気を遮断し（Ｓ１０８）、再度空気を供給する（Ｓ１１０）。この遮断と供給を所定回数、例えば５回繰り返す。このとき、静圧軸受の軸受隙間分二つの測定子３６，６０は上下方向に相対移動し、摺り合わせが行われる。

測定子の摺り合わせが終了した後、再度移動測定子３６の位置データＢを取得する（Ｓ１１２）。ステップＳ１０４で開いた第１圧力室４４を再度閉じ、第１圧力室４４の圧力を大気圧に開放する以前の圧力に戻す（Ｓ１１４）。この状態で、移動測定３６の位置データＣを取得する（Ｓ１１６）。ステップＳ１１２で取得した位置データＢとステップＳ１１６で取得した位置データＣの差が所定範囲±α以内であるか判定し（Ｓ１１８）、範囲に入らない場合、何らかの不具合があったと判断して、測定子などの清掃を行った後（Ｓ１２０）、ステップＳ１００に戻り、再トライを行う。なお、αは、本実施形態においては１５０ｎｍに設定されている。

ステップＳ１１８にて、所定の範囲内であると判断された場合、更にステップＳ１０２で取得した位置データＡと、ステップＳ１１６で取得した位置データＣとの差が、所定の範囲±β以内であるか判定される（Ｓ１２２）。βは、本実施形態においては、２ｎｍに設定されている。範囲内となっていなければ、ステップＳ１００に戻り、最初から原点検出の作業をやり直す。

ステップＳ１１２にて、所定範囲内であると判断された場合、圧力制御部５０を制御して二つの測定子３６，６０を一旦離し、再度当接させて、このときの位置を原点に決定する（Ｓ１２４）。この原点決定時において二つの測定子を当接させる押圧力は、ステップＳ１０２およびＳ１１６で、位置データＡ，Ｃを取得した際の力と等しいことが望ましい。

以上の作業工程中、流体回収部５４により、静圧軸受３２の端より漏れる空気を回収し、測定子３６，６０に向かう気流の発生を抑制することが好ましい。これにより、気流による測定精度の低下を抑制することができる。また、軸受より漏れた空気の回収は、実際の測定対象物の測定においても実行することが好ましい。実際の測定時においても、気流による測定精度の低下を抑制することができる。

以上の原点検出方法にて原点を検出し、これに基づき寸法測定を行った結果、直径２０ｍｍのマスターボール測定において、繰り返し測定したときの標準偏差σが、摺り合わせを行わない場合の２００ｎｍから１５ｎｍに低減された。

上述した原点検出方法においては、二つの測定子の摺り合わせた前後において、データを比較し、摺り合わせ前後の変化が実質的にないことを確認しているが、要求される精度が比較的低い場合にあっては、前後の比較を行わず、摺り合わせた後、原点検出するようにしてもよい。この場合は、図３のフローチャートにおいて、ステップＳ１０２、ステップＳ１２２を飛ばした作業を行う。
また、前述の原点検出方法においては、ステップＳ１２４にて、二つの測定子３６，６０を一旦離した後、再度当接させ、原点位置を測定したが、二つの測定子を離さず、当接させた状態を保持したまま、原点位置を測定してもよい。

上述した実施形態の光学式測定装置は、静圧軸受３２を、移動測定子３６を測定方向直交方向に駆動する手段として用い、これによって、従来の装置に新たな装置を付加することを抑えて直交方向の駆動を可能としている。しかしながら、移動測定子３６を直交方向に駆動するための新たな構成を設けることもできる。例えば、わずかに偏心したカムを移動シリンダ１６に直接または間接に当接させ、カムを回転させることにより、測定子を摺り合わせるようにもできる。

また、レーザ光の干渉を用いて測定子の位置を測定する装置について述べたが、要求される精度が得られる他の測定手段により測定子の位置を求めてもよい。

本実施形態の光学式測長機の概略構成を示す図である。図１の光学式測長機の細部の構造を示す図である。原点検出作業の流れを示す図である。

符号の説明

１０光学式測長機、１２レーザ光源、１４導光部、１６移動シリンダ、１８伸縮シリンダ、３２静圧軸受、３６移動測定子、４４第１圧力室、４６第２圧力室、５０圧力制御部、５４流体回収部、６０基準測定子。

Claims

測定の基準となる基準測定子と、
前記基準測定子に対して測定方向に移動可能であり、前記基準測定子と共に測定対象物を測定方向より狭持する移動測定子と、
前記移動測定子が一端に固定された移動台と、
前記移動台との間隙に流体が供給され、この移動台を測定方向に移動可能に支持する静圧軸受と、
前記移動台を測定方向に移動させる測定方向駆動手段と、
前記移動測定子の原点に対する位置をレーザ光の光路長の変化に基づき測定し、この位置に基づき、前記狭持した測定対象物の寸法を算出する寸法算出部と、
前記移動測定子を、これが測定方向の略直交方向に移動するよう駆動する直交方向駆動手段と、
を有し、
前記直交方向駆動手段は、前記静圧軸受と、この静圧軸受への流体の供給を制御し、この制御により前記移動測定子を前記略直交方向に移動させる供給制御部と、を含む、
測長機、における原点検出方法であって、
前記移動測定子を前記測定方向駆動手段により移動させて前記基準測定子に直接当接させ、
前記直交方向駆動手段により、前記移動測定子を前記略直交方向に所定回数移動させ、
所定回数移動した後、前記移動測定子の位置を前記寸法算出部にて求め、これを原点とする、
測長機の原点検出方法。
測定の基準となる基準測定子と、
前記基準測定子に対して測定方向に移動可能であり、前記基準測定子と共に測定対象物を測定方向より狭持する移動測定子と、
前記移動測定子が一端に固定された移動台と、
前記移動台との間隙に流体が供給され、この移動台を測定方向に移動可能に支持する静圧軸受と、
前記移動台を測定方向に移動させる測定方向駆動手段と、
前記移動測定子の原点に対する位置をレーザ光の光路長の変化に基づき測定し、この位置に基づき、前記狭持した測定対象物の寸法を算出する寸法算出部と、
前記移動測定子を、これが測定方向の略直交方向に移動するよう駆動する直交方向駆動手段と、
を有し、
前記直交方向駆動手段は、前記静圧軸受と、この静圧軸受への流体の供給を制御し、この制御により前記移動測定子を前記略直交方向に移動させる供給制御部と、を含む、
測長機、における原点検出方法であって、
前記移動測定子を前記測定方向駆動手段により移動させて前記基準測定子に直接当接させ、
前記移動測定子の位置を前記寸法算出部により求め、
当接した状態で、さらに前記直交方向駆動手段により、前記移動測定子を前記略直交方向に所定回数移動させ、
所定回数移動した後の前記移動測定子の位置を再度前記寸法算出部にて算出し、
所定回数移動させた前後における前記移動測定子の位置の差が所定範囲内であれば、所定回数移動させた後における前記移動測定子の位置を前記寸法算出部にて求め、これを原点とする、
測長機の原点検出方法。
測定の基準となる基準測定子と、
前記基準測定子に対して測定方向に移動可能であり、前記基準測定子と共に測定対象物を測定方向より狭持する移動測定子と、
前記移動測定子が一端に固定された移動台と、
前記移動台との間隙に流体が供給され、この移動台を測定方向に移動可能に支持する静圧軸受と、
前記移動台を測定方向に移動させる測定方向駆動手段と、
前記移動測定子の原点に対する位置をレーザ光の光路長の変化に基づき測定し、この位置に基づき、前記狭持した測定対象物の寸法を算出する寸法算出部と、
前記移動測定子を、これが測定方向の略直交方向に移動するよう駆動する直交方向駆動手段と、
を有し、
前記直交方向駆動手段は、前記静圧軸受と、この静圧軸受への流体の供給を制御し、この制御により前記移動測定子を前記略直交方向に移動させる供給制御部と、を含む、
測長機、における原点検出方法であって、
前記移動測定子を前記測定方向駆動手段により移動させて前記基準測定子に直接当接させ、
前記直交方向駆動手段により、前記移動測定子を前記略直交方向に所定回数移動させ、
一旦、前記基準測定子より前記移動測定子を離し、再度当接させて、前記移動測定子の位置を前記寸法算出部にて求め、これを原点とする、
測長機の原点検出方法。
測定の基準となる基準測定子と、
前記基準測定子に対して測定方向に移動可能であり、前記基準測定子と共に測定対象物を測定方向より狭持する移動測定子と、
前記移動測定子が一端に固定された移動台と、
前記移動台との間隙に流体が供給され、この移動台を測定方向に移動可能に支持する静圧軸受と、
前記移動台を測定方向に移動させる測定方向駆動手段と、
前記移動測定子の原点に対する位置をレーザ光の光路長の変化に基づき測定し、この位置に基づき、前記狭持した測定対象物の寸法を算出する寸法算出部と、
前記移動測定子を、これが測定方向の略直交方向に移動するよう駆動する直交方向駆動手段と、
を有し、
前記直交方向駆動手段は、前記静圧軸受と、この静圧軸受への流体の供給を制御し、この制御により前記移動測定子を前記略直交方向に移動させる供給制御部と、を含む、
測長機、における原点検出方法であって、
前記移動測定子を前記測定方向駆動手段により移動させて前記基準測定子に直接当接させ、
前記移動測定子の位置を前記寸法算出部により求め、
当接した状態で、さらに前記直交方向駆動手段により、前記移動測定子を前記略直交方向に所定回数移動させ、
所定回数移動した後の前記移動測定子の位置を再度前記寸法算出部にて算出し、
所定回数移動させた前後における前記移動測定子の位置の差が所定範囲内であれば、一旦、前記基準測定子より前記移動測定子を離し、再度当接させて、前記移動測定子の位置を前記寸法算出部にて求め、これを原点とする、
測長機の原点検出方法。
請求項１から４のいずれか１項に記載の測長機の原点検出方法であって、
前記移動測定子を前記略直交方向に移動させる際に、加圧手段により、前記移動測定子を前記基準測定子に向けて前記寸法算出時より大きい力で押圧する、
測長機の原点検出方法。
請求項５に記載の測長機の原点検出方法であって、
原点検出中に、流体回収手段により前記軸受の移動測定子側の端より、当該軸受に供給された流体を回収する、原点検出方法。
測定の基準となる基準測定子と、
前記基準測定子に対して測定方向に移動可能であり、前記基準測定子と共に測定対象物を測定方向より狭持する移動測定子と、
前記移動測定子が一端に固定された移動台と、
前記移動台との間隙に流体が供給され、この移動台を測定方向に移動可能に支持する静圧軸受と、
前記移動台を測定方向に移動させる測定方向駆動手段と、
前記移動測定子の原点に対する位置をレーザ光の光路長の変化に基づき測定し、この位置に基づき、前記狭持した測定対象物の寸法を算出する寸法算出部と、
前記移動測定子を、前記基準測定子に直接当接させた状態で、前記移動測定子が測定方向の略直交方向に移動するよう駆動する直交方向駆動手段と、
前記静圧軸受の移動測定子側の端より当該静圧軸受に供給された流体を回収する流体回収手段と、
を有する測長機。