JP5376837B2 - 光電変換素子の製造方法 - Google Patents
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Description
(2) 電極
(3) 対極
(4) 光触媒膜
(5) 電解質層
(11) 透明基板
(12) 透明導電膜
(13) 集電電極
(14) ターゲット材
(17) 透明導電膜素材
Claims (3)
- 透明な電極と、これに対向する対極と、両極間に配される電解質層および光触媒膜とを有する光電変換素子を製造する方法であって、電極を作成する工程は、常圧中で透明基板上に透明導電膜素材を形成する工程と、透明導電膜素材を酸化させる工程と含んでおり、透明導電膜素材を酸化させる工程は、電解液が満たされた電解液槽に透明導電膜素材を浸漬して、透明導電膜素材自身を正極とし、別途設けた補助電極を負極として、両極間に直流電圧を印加することで行われることを特徴とする、光電変換素子の製造方法。
- 透明導電膜素材を形成する工程は、透明基板と対向して設けられたターゲット材を常圧中でエネルギービームを照射して透明導電膜素材を透明基板上に蒸着するものかまたは常圧中でのスパッタリング法により行うものである、請求項1の光電変換素子の製造方法。
- 電極を作成する工程は、透明基板上に透明導電膜素材を形成する前に集電電極を形成する工程をさらに含んでおり、透明導電膜素材を形成する工程において、集電電極の電解質接触部を保護するように透明導電膜素材を形成することを特徴とする、請求項1または2の光電変換素子の製造方法。
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