JP5368006B2 - 走査型電子顕微鏡及び試料観察方法 - Google Patents
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図1は、本実施形態に係る走査型電子顕微鏡の構成図である。
試料7の上方に試料7の全体を覆うガード電極11を設けることにより、試料7の表面の電位を一定にする原理について以下に示す。
式(1)より、試料7の表面の電位Vsの初期値をVs0とすれば、ガード電極11にVg=Vs0×(C0+Cg)/Cg−Q/Cgの電圧を印加することにより、試料7の表面の電位Vsの変動をなくすことができる。特に、試料7の表面の電位Vsの初期値が0(ゼロ)であれば、Vg=−Q/Cgの電圧をガード電極11に印加することによって、試料7の表面の電位をゼロで一定にすることが可能となる。
次に、本実施形態の走査型電子顕微鏡100において、試料7上に形成されたパターンの測長をする試料観察方法について図8のフローチャートを用いて説明する。図8は、試料の表面電位を一定にして試料上に形成されたパターンの測長を行う処理フローの一例を示している。なお、本処理では、試料7が移動ステージ5に搭載されたものとして説明する。
Claims (7)
- 試料の表面に照射される電子ビームを放出する電子銃と、
前記試料と対物レンズの間に配置され、前記電子ビームの光軸を中心とした所定の範囲の開口を有し、前記試料の表面上の全体を覆うガード電極と、
前記ガード電極と前記電子ビームの光軸との間に設けられ前記ガード電極を前記光軸方向に貫く静電シールドと、
前記ガード電極に電圧を供給するガード電極電源と、
前記試料の表面の電位を測定する表面電位計と、
前記試料の表面の電位と予め決定された基準電位との差分が所定の範囲を超えたときに前記差分を前記所定の範囲内にする電圧を前記ガード電極に印加して前記試料の表面の電位調整をする制御部と、を有することを特徴とする走査型電子顕微鏡。 - 前記ガード電極の前記開口は、前記電子ビーム及び前記電子ビームの照射により前記試料から発生する二次電子が通過するために十分な面積を確保していることを特徴とする請求項1に記載の走査型電子顕微鏡。
- 前記制御部は、表面が導体層で覆われている前記試料に対して前記電位調整を行うことを特徴とする請求項2に記載の走査型電子顕微鏡。
- 前記制御部は、予め設定された測定点数毎に、前記電位調整を行うことを特徴とする請求項2に記載の走査型電子顕微鏡。
- 前記制御部は、前記電位調整を行った後、前記試料上に形成されたパターンの測長を行うことを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の走査型電子顕微鏡。
- 試料の表面に照射される電子ビームを放出する電子銃と、前記試料と対物レンズの間に配置され、前記電子ビームの光軸を中心とした所定の範囲の開口を有し、前記試料の表面上の全体を覆うガード電極と、前記ガード電極と前記電子ビームの光軸との間に設けられ前記ガード電極を前記光軸方向に貫く静電シールドと、前記ガード電極に電圧を供給するガード電極電源と、前記試料の表面の電位を測定する表面電位計と、を有する走査型電子顕微鏡において行う試料観察方法であって、
試料の表面の電位を測定するステップと、
前記表面の電位と予め設定された基準電位との差分を算出するステップと、
前記差分が予め設定された許容値の範囲内にないとき、前記ガード電極に印加する電圧を調整して前記差分を前記許容値の範囲内にするように前記表面電位を調整するステップと、
前記試料の表面電位が調整された後、前記試料に形成されたパターンの測長を行うステップと、
を有することを特徴とする試料観察方法。 - 前記試料の表面を測定するステップから前記表面電位を調整するステップは、予め設定された測定点数毎に行うことを特徴とする請求項6に記載の試料観察方法。
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