JP5365063B2 - シリコンウェーハの製造方法 - Google Patents
シリコンウェーハの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5365063B2 JP5365063B2 JP2008121602A JP2008121602A JP5365063B2 JP 5365063 B2 JP5365063 B2 JP 5365063B2 JP 2008121602 A JP2008121602 A JP 2008121602A JP 2008121602 A JP2008121602 A JP 2008121602A JP 5365063 B2 JP5365063 B2 JP 5365063B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- laser beam
- laser
- silicon wafer
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/26—Bombardment with radiation
- H01L21/263—Bombardment with radiation with high-energy radiation
- H01L21/268—Bombardment with radiation with high-energy radiation using electromagnetic radiation, e.g. laser radiation
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
- B23K26/083—Devices involving movement of the workpiece in at least one axial direction
- B23K26/0853—Devices involving movement of the workpiece in at least in two axial directions, e.g. in a plane
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/03—Observing, e.g. monitoring, the workpiece
- B23K26/032—Observing, e.g. monitoring, the workpiece using optical means
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/0604—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by a combination of beams
- B23K26/0613—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by a combination of beams having a common axis
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/062—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by direct control of the laser beam
- B23K26/0622—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by direct control of the laser beam by shaping pulses
- B23K26/0624—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by direct control of the laser beam by shaping pulses using ultrashort pulses, i.e. pulses of 1ns or less
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
- B23K26/40—Removing material taking account of the properties of the material involved
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/50—Working by transmitting the laser beam through or within the workpiece
- B23K26/53—Working by transmitting the laser beam through or within the workpiece for modifying or reforming the material inside the workpiece, e.g. for producing break initiation cracks
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/322—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to modify their internal properties, e.g. to produce internal imperfections
- H01L21/3221—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to modify their internal properties, e.g. to produce internal imperfections of silicon bodies, e.g. for gettering
- H01L21/3225—Thermally inducing defects using oxygen present in the silicon body for intrinsic gettering
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K2101/00—Articles made by soldering, welding or cutting
- B23K2101/36—Electric or electronic devices
- B23K2101/40—Semiconductor devices
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K2103/00—Materials to be soldered, welded or cut
- B23K2103/50—Inorganic material, e.g. metals, not provided for in B23K2103/02 – B23K2103/26
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K2103/00—Materials to be soldered, welded or cut
- B23K2103/50—Inorganic material, e.g. metals, not provided for in B23K2103/02 – B23K2103/26
- B23K2103/56—Inorganic material, e.g. metals, not provided for in B23K2103/02 – B23K2103/26 semiconducting
Description
1.シリコンウェーハの両面のいずれか一方の面から、該シリコンウェーハの所定深さ位置に焦点位置を合わせて、ビーム波長1000〜1200nm、ビーム径0.5〜1.0μm、繰返し周波数1〜100MHz、パルス幅1.0×10 -15 〜1.0×10 -9 秒、出力1〜100mJ/パルスの条件で超短パルスレーザからレーザビームを照射し、前記所定深さ位置にあるシリコンウェーハの特定部分のみに多光子吸収過程を生じさせて、密度が1.0×10 5 〜1.0×10 6 個/cm 2 の酸素析出部を含みゲッタリングシンクとして作用する改質部分を形成することを特徴とするシリコンウェーハの製造方法。
図1は、半導体ウェーハにレーザビームの照射を開始した直後におけるレーザビームの焦点位置近傍を説明するための断面拡大図である。
レーザビーム10は、集光用レンズ11を用いて、半導体ウェーハ20の所定深さ位置21にレーザビーム10の焦点位置を合わせて、半導体ウェーハ20の両面のうち、いずれか一方から照射され、所定深さ位置21にレーサビーム10が集光されることにより多光子吸収過程を生じさせ、これによって改質部分22が形成される。
この際、レーザビーム10の通り道となる表面層23において、表面層を改質することなく、レーザビームが確実に透過する条件でレーザ照射することが重要である。表1に、一例として、半導体材料全般とSi半導体に対し好適なレーザ照射条件を示す。
レーザ照射条件は、半導体材料の基礎物性値である禁制帯(エネルギーバンドギャップ)により決定される。例えば、Si半導体の禁制帯は、1.1eVであることから入射波長が1000nm以上の場合、透過性が顕著となる。このようにしてレーザの波長は、半導体材料の禁制帯を考慮して決定することができる。
なお、半導体ウェーハのゲッタリングシンクとしては、所定深さ位置21は0.5μm程度、幅24は100μm程度が好適である。
尚、半導体ウェーハ20の中に示した矢印は、レーザビームの走査方向を示しており、各矢印の間隔、すなわち走査のピッチは任意に設定することができ、レーザビームを半導体ウェーハの内部に、部分的または全面にわたって照射することができる。
図4は、本発明の半導体ウェーハの製造方法で使用するレーザ光学系の一例を示す模式図である。
レーザ光学系100は、レーザビーム10bが照射される半導体ウェーハ20と、レーザビーム10aをパルス発振するレーザ発生装置15と、レーザビームのパルス等を制御するパルス制御回路(Qスイッチ)16と、レーザビーム10aを反射してレーザビーム10aの進行方向を90°変換するように配置されたビームスプリッタ(ハーフミラー)17aと、ビームスプリッタ(ハーフミラー)17aで反射されたレーザビーム10bを集光する集光用レンズ11と、集光されたレーザビーム10bを半導体ウェーハの任意の位置で焦点を合わせるために鉛直方向および水平方向に移動可能なステージ40と、ステージ40の移動を制御するステージ制御回路45とを備える。
例えば、表面から2μmの位置に改質部分を形成する場合には、レーザビームの波長を1080nmに設定し、透過率が60%の集光用レンズ(倍率50倍)を用いて表面から2μmの位置にレーザビームを結像し多光子吸収過程を生じさせることにより改質部分を形成することができる。
ウェーハ径が300mm、厚さが0.725mmのシリコンウェーハに表2に示す条件のレーザビームを照射し、レーザビームを照射する側の表面から深さ2μmの位置に、密度:10 6 個/cm2の改質部分を形成したシリコンウェーハを作製した。
改質部分のゲッタリング効果を確認するため、レーザビームを照射しないこと以外は実施例と同一のシリコンウェーハを準備した。
長時間熱処理による酸素析出部を形成した場合のゲッタリング効果を確認するため、10時間と20時間の熱処理を施すこと以外は比較例1と同一のシリコンウェーハを準備した。
上記した実施例および比較例1および2で作製した各サンプルについて、ゲッタリング効果を次に示す方法で評価した。
各サンプルを、アンモニア水と過酸化水素水の混合溶液および塩酸と過酸化水素水の混合溶液で洗浄した後、スピンコート汚染法によりニッケルで1.0×1012atoms/cm2程度表面汚染させた後、縦型熱処理炉において1000℃で1時間、窒素雰囲気中で拡散熱処理を施し、その後、Wright液(48% HF:30ml、69% HNO3:30ml、CrO3 1g+H2O 2ml、酢酸:60ml)によりサンプル表面をエッチングし、表面のエッチピット(ニッケルシリサイドがエッチングされて形成されるピット)の個数を光学顕微鏡により観察してエッチピット密度(個/cm2)を測定することによりゲッタリング能力を評価した。なお、この方法におけるエッチピット密度の測定限界は1.0×103個/cm2である。ゲッタリング能力は、エッチピット密度が1.0×103個/cm2以下(測定限界以下)を良好、1.0×103個/cm2を超え1.0×105個/cm2未満を可、1.0×105個/cm2以上を不可とした。
各サンプルを(110)方向でへき開してWright液でエッチングした後、へき開面(サンプル断面)を光学顕微鏡することにより酸素析出物の密度(個/cm2)を観察することで評価した。ゲッタリング能力評価は、実施例1と同様にニッケル元素での表面汚染によるゲッタリング能力評価を実施した。
比較例2において、10時間の熱処理を施したサンプルでは、酸素析出物の密度が1.0×104個/cm2で、エッチピット密度も1.0×105個/cm2とほとんどゲッタリング効果が認められず、20時間の熱処理を施したサンプルでも、酸素析出物の密度が1.0×105個/cm2で、エッチピット密度は1.0×104個/cm2となり多少のゲッタリング効果が認められるにとどまった。
これに対し、実施例では、エッチピット密度が1.0×103個/cm2以下と十分なゲッタリング効果が認められた。
以上により、レーザビームを短時間照射してシリコンウェーハの所定深さ位置のみに多光子吸収過程を生じさせて形成した改質部分がゲッタリングシンクとして有効に機能することを確認できた。
11 集光用レンズ
12 結像用レンズ
15 レーザ発生装置
17a、17b ビームスプリッタ(ハーフミラー)
16 パルス制御回路(Qスイッチ)
19 可視光レーザ発生装置
20 半導体ウェーハ
21 所定深さ位置
22 改質部分
23 表面層
24 改質部分の幅
30 CCDカメラ
35 CCDカメラ制御回路
40 ステージ
45 ステージ制御回路
50 中央制御回路
51 表示手段
Claims (1)
- シリコンウェーハの両面のいずれか一方の面から、該シリコンウェーハの所定深さ位置に焦点位置を合わせて、ビーム波長1000〜1200nm、ビーム径0.5〜1.0μm、繰返し周波数1〜100MHz、パルス幅1.0×10 -15 〜1.0×10 -9 秒、出力1〜100mJ/パルスの条件で超短パルスレーザからレーザビームを照射し、前記所定深さ位置にあるシリコンウェーハの特定部分のみに多光子吸収過程を生じさせて、密度が1.0×10 5 〜1.0×10 6 個/cm 2 の酸素析出部を含みゲッタリングシンクとして作用する改質部分を形成することを特徴とするシリコンウェーハの製造方法。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008121602A JP5365063B2 (ja) | 2008-05-07 | 2008-05-07 | シリコンウェーハの製造方法 |
US12/436,711 US8124501B2 (en) | 2008-05-07 | 2009-05-06 | Method of producing semiconductor wafer |
AT09159575T ATE543602T1 (de) | 2008-05-07 | 2009-05-06 | Verfahren zur herstellung eines halbleiter-wafers |
EP09159575A EP2116323B1 (en) | 2008-05-07 | 2009-05-06 | Method of producing semiconductor wafer |
KR1020090039215A KR101210980B1 (ko) | 2008-05-07 | 2009-05-06 | 반도체 웨이퍼의 제조방법 |
TW098114996A TWI398911B (zh) | 2008-05-07 | 2009-05-06 | 製造半導體晶圓之方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008121602A JP5365063B2 (ja) | 2008-05-07 | 2008-05-07 | シリコンウェーハの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009272440A JP2009272440A (ja) | 2009-11-19 |
JP5365063B2 true JP5365063B2 (ja) | 2013-12-11 |
Family
ID=40954662
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008121602A Active JP5365063B2 (ja) | 2008-05-07 | 2008-05-07 | シリコンウェーハの製造方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8124501B2 (ja) |
EP (1) | EP2116323B1 (ja) |
JP (1) | JP5365063B2 (ja) |
KR (1) | KR101210980B1 (ja) |
AT (1) | ATE543602T1 (ja) |
TW (1) | TWI398911B (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5600948B2 (ja) * | 2010-01-29 | 2014-10-08 | 株式会社Sumco | シリコンウェーハ及びエピタキシャルウェーハの製造方法 |
KR101244352B1 (ko) * | 2010-01-29 | 2013-03-18 | 가부시키가이샤 사무코 | 실리콘 웨이퍼, 에피택셜 웨이퍼 및 고체촬상소자의 제조방법, 그리고 실리콘 웨이퍼의 제조장치 |
KR100984723B1 (ko) * | 2010-04-16 | 2010-10-01 | 유병소 | 레이저 가공방법 |
JP5510256B2 (ja) * | 2010-10-06 | 2014-06-04 | 株式会社Sumco | シリコンウェーハの製造方法 |
CN102870201B (zh) * | 2010-11-10 | 2016-01-13 | 丰田自动车株式会社 | 半导体装置的制造方法 |
JP5917412B2 (ja) * | 2010-11-24 | 2016-05-11 | 株式会社フジクラ | 微細孔の製造方法 |
DE102011100175B4 (de) * | 2011-05-02 | 2021-12-23 | OSRAM Opto Semiconductors Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Laserlichtquelle mit einer Stegwellenleiterstruktur und einer Modenfilterstruktur |
JP2014053351A (ja) * | 2012-09-05 | 2014-03-20 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの加工方法 |
JP6474810B2 (ja) * | 2013-08-16 | 2019-02-27 | エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド | 薄層の内部にマーキングするためのレーザシステム並びに方法及びこれにより作製される対象物 |
JP6925902B2 (ja) | 2017-07-28 | 2021-08-25 | 浜松ホトニクス株式会社 | 積層型素子の製造方法 |
DE102021203609A1 (de) * | 2021-04-13 | 2022-10-13 | Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Verfahren zur Behandlung wenigstens einer Schicht oder eines Bereichs eines Bauteils und Vorrichtung zum Durchführen des Verfahrens |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5844726A (ja) * | 1981-09-11 | 1983-03-15 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | ゲッタリング方法 |
JPS5950531A (ja) * | 1982-09-16 | 1984-03-23 | Toshiba Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2575545B2 (ja) * | 1990-07-05 | 1997-01-29 | 株式会社東芝 | 半導体装置の製造方法 |
US6639177B2 (en) * | 2001-03-29 | 2003-10-28 | Gsi Lumonics Corporation | Method and system for processing one or more microstructures of a multi-material device |
JP4298953B2 (ja) * | 2002-03-11 | 2009-07-22 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザゲッタリング方法 |
JP3761566B2 (ja) * | 2002-03-12 | 2006-03-29 | 浜松ホトニクス株式会社 | 半導体チップの製造方法 |
TWI372463B (en) | 2003-12-02 | 2012-09-11 | Semiconductor Energy Lab | Laser irradiation apparatus, laser irradiation method, and method for manufacturing semiconductor device |
US20050237895A1 (en) * | 2004-04-23 | 2005-10-27 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Laser irradiation apparatus and method for manufacturing semiconductor device |
US7550367B2 (en) * | 2004-08-17 | 2009-06-23 | Denso Corporation | Method for separating semiconductor substrate |
US7732349B2 (en) * | 2004-11-30 | 2010-06-08 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Manufacturing method of insulating film and semiconductor device |
JP4816390B2 (ja) * | 2005-11-16 | 2011-11-16 | 株式会社デンソー | 半導体チップの製造方法および半導体チップ |
KR100858983B1 (ko) | 2005-11-16 | 2008-09-17 | 가부시키가이샤 덴소 | 반도체 장치 및 반도체 기판 다이싱 방법 |
JP2007220825A (ja) | 2006-02-15 | 2007-08-30 | Sumco Corp | シリコンウェーハの製造方法 |
JP4322881B2 (ja) | 2006-03-14 | 2009-09-02 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ加工方法及びレーザ加工装置 |
JP2008108792A (ja) * | 2006-10-23 | 2008-05-08 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの加工方法 |
-
2008
- 2008-05-07 JP JP2008121602A patent/JP5365063B2/ja active Active
-
2009
- 2009-05-06 EP EP09159575A patent/EP2116323B1/en active Active
- 2009-05-06 KR KR1020090039215A patent/KR101210980B1/ko active IP Right Grant
- 2009-05-06 TW TW098114996A patent/TWI398911B/zh active
- 2009-05-06 US US12/436,711 patent/US8124501B2/en active Active
- 2009-05-06 AT AT09159575T patent/ATE543602T1/de active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101210980B1 (ko) | 2012-12-11 |
US20090280623A1 (en) | 2009-11-12 |
KR20090116647A (ko) | 2009-11-11 |
EP2116323A1 (en) | 2009-11-11 |
US8124501B2 (en) | 2012-02-28 |
TW201007822A (en) | 2010-02-16 |
ATE543602T1 (de) | 2012-02-15 |
JP2009272440A (ja) | 2009-11-19 |
EP2116323B1 (en) | 2012-02-01 |
TWI398911B (zh) | 2013-06-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5365063B2 (ja) | シリコンウェーハの製造方法 | |
TWI419203B (zh) | 具吸附槽之固態攝影元件用磊晶基板、半導體裝置、背照式固態攝影元件及其製造方法 | |
JP6680494B2 (ja) | レーザ加工方法及びレーザ加工装置 | |
JP2010283220A (ja) | 固体撮像素子用エピタキシャル基板の製造方法、固体撮像素子の製造方法 | |
JP2005294801A (ja) | レーザー結晶化装置及びレーザー結晶化方法 | |
KR101393611B1 (ko) | 반도체 디바이스용 반도체 기판의 제조방법, 반도체 디바이스용 반도체 기판의 제조장치, 반도체 디바이스의 제조방법 및 반도체 디바이스의 제조장치 | |
JP2010098107A (ja) | 裏面照射型固体撮像素子の製造方法、固体撮像素子用エピタキシャル基板 | |
JP2010098106A (ja) | 半導体デバイスの製造方法、半導体デバイス | |
JP2008028303A (ja) | 平面表示装置の製造方法 | |
JP5544734B2 (ja) | シリコンウェーハの製造方法、エピタキシャルウェーハの製造方法、および固体撮像素子の製造方法 | |
JP2010098105A (ja) | 固体撮像素子用エピタキシャル基板の製造方法、固体撮像素子用エピタキシャル基板 | |
JP2010283219A (ja) | 半導体デバイス向け半導体基板の製造方法、半導体デバイスの製造方法、半導体デバイスの製造装置 | |
JP2009182147A (ja) | 半導体膜の製造方法および光アニール装置 | |
JP2010283193A (ja) | 半導体デバイス向け半導体基板の製造方法、半導体デバイス向け半導体基板の製造装置 | |
KR101244352B1 (ko) | 실리콘 웨이퍼, 에피택셜 웨이퍼 및 고체촬상소자의 제조방법, 그리고 실리콘 웨이퍼의 제조장치 | |
JP5600948B2 (ja) | シリコンウェーハ及びエピタキシャルウェーハの製造方法 | |
JP2010283023A (ja) | 半導体デバイス向け半導体基板の製造方法、半導体デバイスの製造方法 | |
JP2005210103A5 (ja) | ||
JP2011159696A (ja) | シリコンウェーハ及びエピタキシャルウェーハの製造方法 | |
JP2006043717A (ja) | マーキング方法、単結晶炭化ケイ素製部材の製造方法、及び単結晶炭化ケイ素製部材 | |
JP2011200897A (ja) | 半導体ウェーハの製造方法 | |
JP2011159687A (ja) | シリコンウェーハ及びエピタキシャルウェーハの製造方法 | |
JP2011054826A (ja) | 多結晶半導体膜及びその製造方法 | |
JP2005236253A (ja) | 結晶化装置及び結晶化方法 | |
JP2009065101A (ja) | 平面表示装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110413 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130415 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130423 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130618 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130813 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130826 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5365063 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |