JP5363480B2 - マルチコラム電子ビーム露光装置及び磁場発生装置 - Google Patents
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Description
図1は、本実施形態に係るマルチコラム電子ビーム露光装置の概略構成図である。
マルチコラム電子ビーム露光装置は、電子ビームコラム10と電子ビームコラム10を制御する制御部20に大別される。このうち、電子ビームコラム10は、同等なコラムセル11が複数、例えば16集まって、全体のコラムが構成されている。すべてのコラムセル11は後述する同じユニットで構成される。コラムセル11の下には、例えば300mmウエハ12を搭載したウエハステージ13が配置されている。
次に、マルチコラム電子ビーム露光装置のレンズ(電子ビーム収束部)について説明する。
図7(a)及び(b)は、電子ビーム収束部70の光軸Cを通り光軸Cに平行な断面図を示しており、図7(a)には磁力線によって磁場が示され、図7(b)には磁場の強さが示されている。
図8は、電子ビーム収束部の他の構成例を示している。図8(a)及び(b)は、電子ビーム収束部80の光軸Cを通り光軸Cに平行な断面図を示しており、図8(a)には磁力線によって磁場が示され、図8(b)には磁場の強さが示されている。
図9は、電子ビーム収束部のさらに他の構成例を示している。図9(a)及び(b)は、電子ビーム収束部90の光軸Cを通り光軸Cに平行な断面図を示しており、図9(a)には磁力線によって磁場が示され、図9(b)には磁場の強さが示されている。
また、永久磁石の磁場強度は一定であるため焦点調整のために磁場強度の微調整をすることはできない。そのため、永久磁石の近傍に電磁コイルが設けられ、電磁コイルによる磁場を干渉させることによって永久磁石による磁場強度を調整するようにしている。
Claims (6)
- 複数のコラムセルを備えるマルチコラム電子ビーム露光装置であって、
光軸方向に着磁された光軸対称な2個の環状永久磁石と前記永久磁石の近傍に配置されて前記永久磁石による磁場を調整する電磁コイルとが強磁性体枠によって取り囲まれた電子ビーム収束部と、
前記各コラムセルで使用される電子ビームが通過する円型開口部が設けられ、当該各円型開口部の側部に前記電子ビーム収束部が配置された基板と、
を備え、
前記環状永久磁石は前記電磁コイルを挟んで光軸方向に上下2個配置され、極性の方向が同一であることを特徴とするマルチコラム電子ビーム露光装置。 - 前記環状永久磁石はネオジウム磁石又はサマリウムコバルト磁石であり、前記強磁性体枠は純鉄で形成されていることを特徴とする請求項1に記載のマルチコラム電子ビーム露光装置。
- 前記永久磁石の磁場強度は所要の磁場強度よりも5%低い強度から5%高い強度の範囲であることを特徴とする請求項1に記載のマルチコラム電子ビーム露光装置。
- 半径方向に直角な方向に着磁され、上下に配置された2個の環状永久磁石と、
前記永久磁石の近傍に配置されて前記環状永久磁石による磁場を調整する電磁コイルと、
前記環状永久磁石及び前記電磁コイルを取り囲む強磁性体枠と、
を備え、
前記環状永久磁石の間に前記電磁コイルが配置され、前記環状永久磁石の極性の方向は同一であることを特徴とする磁場発生装置。 - 前記環状永久磁石はネオジウム磁石又はサマリウムコバルト磁石であり、前記強磁性体枠は純鉄で形成されていることを特徴とする請求項4に記載の磁場発生装置。
- 前記永久磁石の磁場強度は所要の磁場強度よりも5%低い強度から5%高い強度の範囲であることを特徴とする請求項4に記載の磁場発生装置。
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